專利名稱：一種檢查平面質(zhì)量缺陷的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種平面質(zhì)量的檢查方法。
背景技術(shù)：
在涉及平面加工的制造領(lǐng)域，對(duì)平面加工質(zhì)量通常有較高的要求。
下面以液晶顯示器制造領(lǐng)域?yàn)槔?，說(shuō)明目前平面質(zhì)量缺陷檢測(cè)的重要性和平面質(zhì)量缺陷的方法液晶顯示器的加工過(guò)程是在高潔凈的環(huán)境中進(jìn)行，使用的材料一般都是高純度的材料。在制作過(guò)程中需要對(duì)液晶顯示器的基板——玻璃基板進(jìn)行多次的清洗、光刻、涂鍍、摩擦等工藝。
由于液晶顯示器是平板顯示器，構(gòu)成顯示器的結(jié)構(gòu)材料都是二維的薄膜材料，其中液晶層的厚度是微米級(jí)的，PI/TOP層(聚酰亞胺層和鈍化層，作為液晶分子的取向?qū)雍鸵壕拥慕^緣層)的厚度是幾百納米，ITO層(透明導(dǎo)電層，作為產(chǎn)品的電極)的厚度是一兩百納米，所以微小的缺陷會(huì)造成ITO線斷、取向異常等缺陷。雖然液晶顯示器的加工環(huán)境是高潔凈的條件的，但是由于環(huán)境、人員以及設(shè)備存在一些不確定因素，微細(xì)的污染物不能完全避免，實(shí)際加工過(guò)程中液晶顯示器的不良品90％以上與污染物有直接或間接的關(guān)系，所以控制玻璃基板表面的質(zhì)量非常關(guān)鍵。
由于缺陷很微小，常規(guī)的控制評(píng)價(jià)手段一般工藝比較復(fù)雜，產(chǎn)品也非常貴重，并且效率也不高。比如采用顯微鏡檢查，設(shè)備費(fèi)用很高，效率很低，對(duì)產(chǎn)品有一定的傷害。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是克服現(xiàn)有檢測(cè)技術(shù)存在的操作復(fù)雜、效率較低、檢測(cè)設(shè)備昂貴、并且對(duì)產(chǎn)品有一定損傷的缺點(diǎn)，提供一種操作簡(jiǎn)便、效率較高、成本較低的檢查平面質(zhì)量缺陷的方法。
該方法包括在所述平面表面形成水蒸氣霧膜；利用光線照射附著有水蒸氣霧膜的平面并觀察其外觀。
采用本發(fā)明提供的方法，檢查平面質(zhì)量缺陷時(shí)，蒸汽膜的存在會(huì)將缺陷放大，將平面上的缺陷明顯地反應(yīng)出來(lái)。因此，很容易檢查出平面上的缺陷。本發(fā)明提供的方法由于只使用肉眼或簡(jiǎn)單的攝像設(shè)備就可以檢測(cè)到平面的缺陷，因此有效地簡(jiǎn)化了檢測(cè)操作的過(guò)程，并且具有便捷高效、成本低廉的優(yōu)點(diǎn)，而且能夠準(zhǔn)確地檢測(cè)出平面的質(zhì)量缺陷。由于該方法沒(méi)有使被檢測(cè)平面任何與其他堅(jiān)硬物體接觸的步驟，所以對(duì)產(chǎn)品沒(méi)有任何損傷具體實(shí)施方式
本發(fā)明提供的檢查平面質(zhì)量缺陷的方法包括在所述平面表面形成水蒸氣霧膜，利用光線照射平面并觀察平面的外觀。
通過(guò)蒸汽膜，玻璃基板表面的光線被散射，如果玻璃基板表面沒(méi)有缺陷，光線散射是均勻的，表面呈白霧狀；如果玻璃基板表面有缺陷，通過(guò)光線的散射將缺陷放大，缺陷處會(huì)產(chǎn)生其他狀態(tài)，例如，當(dāng)表面存在凹陷，通過(guò)霧膜的散射作用，凹陷區(qū)域會(huì)呈現(xiàn)出亮度低于周?chē)鷧^(qū)域的暗點(diǎn)，當(dāng)表面存在凸起，則凸起區(qū)域會(huì)呈現(xiàn)出亮度高于周?chē)鷧^(qū)域的亮點(diǎn)。這種狀態(tài)明顯區(qū)別于表面均勻的區(qū)域。當(dāng)然，絲狀或條狀的缺陷也可以被相應(yīng)的放大或明顯化。
如果在被檢測(cè)平面上出現(xiàn)一個(gè)以上(含一個(gè))通過(guò)肉眼或攝像裝置能發(fā)現(xiàn)點(diǎn)狀或絲狀亮或暗痕跡，則認(rèn)為該產(chǎn)品有缺陷，否則該產(chǎn)品沒(méi)有缺陷。
按照本發(fā)明提供的方法，所述平面是一種能使水蒸氣在其表面形成一層霧膜的平面，優(yōu)選為親水性平面，特別是玻璃平面。
根據(jù)本發(fā)明提供的方法，在所述平面表面形成水蒸氣霧膜的方法包括用蒸汽裝置將水形成水蒸氣、使水蒸氣接觸平面的表面。所述蒸汽裝置可以是加濕器或熱水器。
根據(jù)本發(fā)明提供的方法，所述水蒸氣的溫度通常高于平面所處的環(huán)境溫度，在本發(fā)明中，為保證霧膜能夠很好地形成，優(yōu)選范圍為40-120℃之間。而為了對(duì)平面的質(zhì)量有較好的觀察效果，形成霧膜的水蒸氣量?jī)?yōu)選為0.1-500毫克/平方厘米，優(yōu)選為5-300毫克/平方厘米。
根據(jù)本發(fā)明提供的檢查平面質(zhì)量缺陷的方法，所述照射光線可以是白光或黃綠色光線(黃綠色光線的波長(zhǎng)范圍在520納米到600納米之間)。并且照射光線的照度為200-5000勒克斯，優(yōu)選為600-3000勒克斯。
根據(jù)本發(fā)明提供的檢查平面質(zhì)量缺陷的方法，除可以通過(guò)肉眼觀察霧膜外觀外，還可以通過(guò)攝像裝置來(lái)觀察平面外觀。
下面的實(shí)施例將對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步說(shuō)明。
實(shí)施例1本實(shí)施例說(shuō)明本發(fā)明的檢查平面質(zhì)量缺陷的方法。
檢查對(duì)象為50塊玻璃基板，利用BEST A/V ULDI型電熱式蒸汽加濕器作為蒸汽裝置，在常溫常壓環(huán)境下，通過(guò)對(duì)電熱式蒸汽加濕器中的蒸餾水進(jìn)行加熱，可以產(chǎn)生恒定溫度范圍(40℃-120℃)的水蒸氣。將待檢查的玻璃基板放置在25℃的常溫環(huán)境中，玻璃基板平面距離加濕器噴霧口0.01米，與噴霧口出霧方向呈45度，并且通過(guò)調(diào)節(jié)噴霧口的打開(kāi)程度來(lái)控制噴霧量，勻速移動(dòng)玻璃基板，使溫度為110℃的水蒸氣在所檢查區(qū)域形成一層霧膜，形成所述霧膜，形成所述霧膜的水蒸氣量為60毫克/平方厘米。利用白色光線照射基板，所述光線照度為800勒克斯。對(duì)50塊附著有水蒸氣的玻璃基板，用肉眼觀察，在第8號(hào)塊基板上發(fā)現(xiàn)了一個(gè)點(diǎn)狀暗痕。
實(shí)施例2本實(shí)施例說(shuō)明本發(fā)明的檢查平面質(zhì)量缺陷的方法。
檢查對(duì)象為30塊顯示器液晶層平面，利用BEST A/V ULDI型電熱式蒸汽加濕器作為蒸汽裝置，在常溫常壓環(huán)境下，通過(guò)對(duì)電熱式蒸汽加濕器中的蒸餾水進(jìn)行加熱，可以產(chǎn)生恒定溫度范圍(40℃-120℃)的水蒸氣。將待檢查的顯示器液晶層平面放置在25℃的常溫環(huán)境中，液晶層平面距離加濕器噴霧口0.01米，與噴霧口出霧方向呈45度，并且通過(guò)調(diào)節(jié)噴霧口的打開(kāi)程度來(lái)控制噴霧量，勻速移動(dòng)液晶層平面，使溫度為80℃的水蒸氣在所檢查區(qū)域形成一層霧膜，形成所述霧膜的水蒸氣量為200毫克/平方厘米。利用波長(zhǎng)為565納米的綠色光線照射液晶層平面，所述光線照度為2500勒克斯。對(duì)30塊附著有水蒸氣的液晶層平面，通過(guò)攝像機(jī)采集附著有霧膜的液晶層平面圖像來(lái)觀察平面的外觀，在任何一塊液晶層平面都沒(méi)發(fā)現(xiàn)缺陷。
權(quán)利要求
1.一種檢查平面質(zhì)量缺陷的方法，其特征在于，在所述平面表面形成水蒸氣霧膜，利用光線照射附著有水蒸氣霧膜的平面并觀察其外觀。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于所述平面為親水性平面。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于所述親水性表面為玻璃平面。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于在所述平面表面形成水蒸氣霧膜的方法包括用蒸汽裝置將水形成水蒸氣，使水蒸氣接觸平面的表面。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其特征在于蒸汽裝置為加濕器或熱水器。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于水蒸氣的溫度為40-120℃。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于形成霧膜的水蒸氣量為0.1-500毫克/平方厘米。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于所述照射光線的照度為200-5000勒克斯。
9.根據(jù)權(quán)利要求1或8所述的方法，其特征在于所述照射光線為白光。
10.根據(jù)權(quán)利要求1或8所述的方法，其特征在于所述照射光線的波長(zhǎng)為520-600納米。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于平面外觀通過(guò)攝像裝置來(lái)觀察。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法，其特征在于所述攝像裝置為照相機(jī)或攝像機(jī)。
13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于附著有水蒸氣霧膜的平面為白霧狀。
14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于當(dāng)所述平面外觀具有點(diǎn)狀或絲狀亮或暗痕跡時(shí)，所述平面具有質(zhì)量缺陷。
全文摘要
一種檢查平面質(zhì)量缺陷的方法，其中，該方法包括在所述平面表面形成水蒸氣霧膜；利用光線照射附著有水蒸氣霧膜的平面并觀察其外觀。該方法能夠簡(jiǎn)便有效地檢測(cè)出平面的質(zhì)量缺陷。
文檔編號(hào)G01N21/88GK1847831SQ200510063548
公開(kāi)日2006年10月18日 申請(qǐng)日期2005年4月12日 優(yōu)先權(quán)日2005年4月12日
發(fā)明者馬振軍 申請(qǐng)人:比亞迪股份有限公司