本發(fā)明涉及干式真空泵，更詳細地，涉及如下的具有螺桿轉(zhuǎn)子和槽的干式真空泵，即，優(yōu)化在干式真空泵形成真空的螺桿轉(zhuǎn)子的葉片的形狀及結合結構，通過在殼體的內(nèi)部形成槽來實現(xiàn)高真空和高效率，并防止冷凝及腐蝕。

背景技術：

一般而言，真空泵為用于去除密閉容器內(nèi)的氣體分子的裝置，通過在低于大氣壓的低壓吸入、壓縮氣體后向大氣中排出來提高容器內(nèi)的真空度。這種真空泵大體分為分別以干式和濕式表示的機械式真空泵和擴散/離子泵。為實現(xiàn)高真空，擴散/離子泵為使用油或水銀的濕式泵，與此不同地，雖然機械式真空泵的真空度相對低，但由于是不使用油的干式型泵，其結構相對簡單、耐久性優(yōu)秀，并且由于顯示出穩(wěn)定的真空度，具有使用人員可以容易操作、維持費用低的優(yōu)點，因此被廣泛使用于各產(chǎn)業(yè)領域。但是，在干式真空泵中，聚合物、單體、粉末、灰塵等與冷凝性蒸汽一同冷凝的情況下，螺桿及殼體容易受損，在流入具有腐蝕性的其他工序物質(zhì)的情況下，存在發(fā)生內(nèi)部腐蝕的問題。

韓國授權專利公報第10-1074633號公開了設置有二級螺桿的水冷式干式真空泵，上述設置有二級螺桿的水冷式干式真空泵包括：主動螺桿轉(zhuǎn)子及從動螺桿轉(zhuǎn)子，在一對主動軸及從動軸安裝有一級螺桿及二級螺桿，上述一級螺桿及二級螺桿以不同的導螺桿的長度加工而成，并與上述一對主動軸及從動軸形成為一體；前端蓋體，包括與冷卻水注入口、用于防止氣體的泄露的油封、單軸承、安全軸以法蘭連接的方式相緊固的定時齒輪；前端框架，由排出口的水套、用于防止氣體的泄露的機械密封件及雙列軸承構成；本體，在本體的上部形成有吸入口和冷卻水排出口，在本體的上部的兩側面分別形成有冷卻水循環(huán)空間，在本體的左側部安裝有用于防止上述主軸及從軸的工作或設置時所產(chǎn)生的晃動的導向板，在與上述主軸及從軸相緊固的右側末端安裝有油封、唇型密封件、滾子軸承；以及油脂蓋體，安裝于上述本體的右側端，用于密封上述本體的內(nèi)部。但這也如上述記載，仍然存在螺桿及殼體受損以及內(nèi)部腐蝕的問題。

技術實現(xiàn)要素：

技術問題

為解決上述問題，本發(fā)明的目的在于提供如下的具有螺桿轉(zhuǎn)子和槽的干式真空泵，即，與設置有一個螺桿的干式真空泵相比，可以提高泵的效率，并在同等動力條件下，可通過高旋轉(zhuǎn)來實現(xiàn)高真空，同時可以節(jié)減動力，在異物流入內(nèi)部的情況下，也能夠最小化螺桿及殼體受損以及內(nèi)部的腐蝕。

解決問題的方案

為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的具有螺桿轉(zhuǎn)子和槽的干式真空泵包括：主動螺桿，設置有以主動軸為中心旋轉(zhuǎn)的三個以上的轉(zhuǎn)子；從動螺桿，設置有以從動軸為中心旋轉(zhuǎn)的三個以上的轉(zhuǎn)子，以與上述主動螺桿相嚙合的方式旋轉(zhuǎn)；殼體，內(nèi)置有上述主動螺桿和從動螺桿；至少兩個槽，設置于上述殼體的內(nèi)周面。

本發(fā)明的再一特征在于，上述槽橫向設置于主動軸與從動軸之間，更具體地，在上述主動螺桿從流體吸入部向流體排氣部的方向依次設置有主動螺桿一級轉(zhuǎn)子、主動螺桿二級轉(zhuǎn)子、主動螺桿三級轉(zhuǎn)子、主動螺桿四級轉(zhuǎn)子、主動螺桿五級轉(zhuǎn)子，在上述從動螺桿從流體吸入部向流體排氣部的方向依次設置有從動螺桿從動螺桿一級轉(zhuǎn)子、從動螺桿二級轉(zhuǎn)子、從動螺桿三級轉(zhuǎn)子、從動螺桿四級轉(zhuǎn)子、從動螺桿五級轉(zhuǎn)子，在設置有主動螺桿二級轉(zhuǎn)子及從動螺桿二級轉(zhuǎn)子的殼體的內(nèi)周面設置有第一槽，在設置有主動螺桿三級轉(zhuǎn)子及從動螺桿三級轉(zhuǎn)子的殼體的內(nèi)周面設置有第二槽，在設置有主動螺桿四級轉(zhuǎn)子及從動螺桿四級轉(zhuǎn)子的殼體的內(nèi)周面設置有第三槽，在設置有主動螺桿五級轉(zhuǎn)子及從動螺桿五級轉(zhuǎn)子的殼體的內(nèi)周面設置有第四槽。

本發(fā)明的另一特征在于，上述槽橫向設置于主動軸與從動軸之間，并以與轉(zhuǎn)子的傾斜度平行的方式傾斜。

發(fā)明的效果

如上所述，本發(fā)明的具有螺桿轉(zhuǎn)子和槽的干式真空泵具有如下的效果，即，與設置有一個螺桿的干式真空泵相比，可以提高泵的效率，并在同等動力條件下，可通過高旋轉(zhuǎn)來實現(xiàn)高真空，同時可以節(jié)減動力。并且，防止在殼體的內(nèi)部所發(fā)生的冷凝并靈活移動及去除發(fā)生冷凝時所生成的冷凝物，從而在異物流入內(nèi)部的情況下，也最小化螺桿及殼體受損以及內(nèi)部的腐蝕。

附圖說明

圖1為現(xiàn)有的設置有二級螺桿的水冷式干式真空泵的橫向剖視圖。

圖2為現(xiàn)有的具有螺桿轉(zhuǎn)子的干式真空泵的壓力和溫度平行圖。

圖3為本發(fā)明的具有螺桿轉(zhuǎn)子和槽的干式真空泵的主動螺桿的側視圖。

圖4為本發(fā)明的具有螺桿轉(zhuǎn)子和槽的干式真空泵的橫向剖視圖。

圖5為本發(fā)明的具有螺桿轉(zhuǎn)子和槽的干式真空泵的s-s’剖視圖。

圖6為本發(fā)明的具有螺桿轉(zhuǎn)子和槽的干式真空泵的實施例的橫向剖視圖。

具體實施方式

圖4和圖5分別為本發(fā)明的具有螺桿轉(zhuǎn)子和槽的干式真空泵橫向剖視圖和s-s’部分的剖視圖，參照其對本發(fā)明的結構進行如下的說明。

具有螺桿轉(zhuǎn)子和槽的干式真空泵的特征在于，包括：主動螺桿10，設置有以主動軸11為中心旋轉(zhuǎn)的三個以上的轉(zhuǎn)子；從動螺桿20，設置有以從動軸21為中心旋轉(zhuǎn)的三個以上的轉(zhuǎn)子，以與上述主動螺桿10相嚙合的方式旋轉(zhuǎn)；殼體30，內(nèi)置有上述主動螺桿10和從動螺桿20；以及至少兩個槽40，設置于上述殼體30的內(nèi)周面。

并且，上述槽40的特征在于，橫向設置于主動軸11與從動軸21之間。

圖2為現(xiàn)有的具有螺桿轉(zhuǎn)子的干式真空泵的壓力和溫度平行圖，圖3為本發(fā)明的具有螺桿轉(zhuǎn)子和槽的干式真空泵的主動螺桿的側視圖，參照其對本發(fā)明的原理進行如下說明。

在一般的螺桿干式真空泵中，通過流體吸入部a流入的氣體借助一級轉(zhuǎn)子a及二級轉(zhuǎn)子b開始進行壓縮。此時，因較低的溫度和高真空狀態(tài)而容易發(fā)生氣體的冷凝。與此相比，三級轉(zhuǎn)子c及四級轉(zhuǎn)子d通過執(zhí)行正式的壓縮過程來獲得較高的溫度和低真空狀態(tài)，從而顯著減少氣體冷凝的發(fā)生。并且，五級轉(zhuǎn)子e執(zhí)行以相比大氣壓高的壓力向流體排氣部b排氣的過程。如上所述，為解決因在具有螺桿轉(zhuǎn)子的干式真空泵殼體的內(nèi)部所發(fā)生的冷凝而產(chǎn)生的問題，尤其需要在一級轉(zhuǎn)子a及二級轉(zhuǎn)子b的位置防止冷凝或者去除因冷凝而生成的冷凝物的對策。

圖6為本發(fā)明的具有螺桿轉(zhuǎn)子和槽的干式真空泵的實施例的橫向剖視圖，參照其對用于解決上述問題的實施例的結構進行如下的說明。

具有螺桿轉(zhuǎn)子和槽的干式真空泵的特征在于，包括：主動螺桿10，設置有以主動軸11為中心旋轉(zhuǎn)的三個以上的轉(zhuǎn)子；從動螺桿20，設置有以從動軸21為中心旋轉(zhuǎn)的三個以上的轉(zhuǎn)子，以與上述主動螺桿10相嚙合的方式旋轉(zhuǎn)；殼體30，內(nèi)置有上述主動螺桿10和從動螺桿20；以及至少兩個槽40，設置于上述殼體30的內(nèi)周面，在上述主動螺桿10從流體吸入部a向流體排氣部b的方向依次設置有主動螺桿一級轉(zhuǎn)子10a、主動螺桿二級轉(zhuǎn)子10b、主動螺桿三級轉(zhuǎn)子10c、主動螺桿四級轉(zhuǎn)子10d、主動螺桿五級轉(zhuǎn)子10，在上述從動螺桿20從流體吸入部a向流體排氣部b的方向依次設置有從動螺桿一級轉(zhuǎn)子20a、從動螺桿二級轉(zhuǎn)子20b、從動螺桿三級轉(zhuǎn)子20c、從動螺桿四級轉(zhuǎn)子20d、從動螺桿五級轉(zhuǎn)子20e，在設置有主動螺桿二級轉(zhuǎn)子10b及從動螺桿二級轉(zhuǎn)子20b的殼體30的內(nèi)周面設置有第一槽41，在設置有主動螺桿三級轉(zhuǎn)子10c及從動螺桿三級轉(zhuǎn)子20c的殼體30的內(nèi)周面設置有第二槽42，在設置有主動螺桿四級轉(zhuǎn)子10d及從動螺桿四級轉(zhuǎn)子20d的殼體30的內(nèi)周面設置有第三槽43，在設置有主動螺桿五級轉(zhuǎn)子10e及從動螺桿五級轉(zhuǎn)子20e的殼體30的內(nèi)周面設置有第四槽44。

壓力借助上述第一槽41相對降低，由此可以防止流入殼體30的內(nèi)部的異物的冷凝。但是，在第一槽41的面積充分大的情況下，防止冷凝效果雖然得到提高，但存在真空泵的效果降低的問題，因此槽的面積受限制。由此，脫離第一槽41的防止冷凝效果而發(fā)生的冷凝物通過第二槽42、第三槽43移動至流體排氣部b側。以如上所述的方式移動的冷凝物因積蓄在第四槽44而容易被排出。

而且，如圖5所示，在設置本發(fā)明的具有螺桿轉(zhuǎn)子和槽的干式真空泵的情況下，由于上述槽40僅設置于朝向底部的部分，冷凝物由螺桿轉(zhuǎn)子和重力積蓄在各個槽40，若積蓄至高于槽40的高度，則冷凝物由螺桿轉(zhuǎn)子被強制提取，從而冷凝物從流體吸入部a側的槽41依次向流體排氣部b側的槽44移動并被排出。

由此，具有以下效果，即，可以防止因冷凝物在真空泵殼體30的內(nèi)部無法排出而被積蓄從而發(fā)生的螺桿和殼體的內(nèi)部的破損。

除了上述優(yōu)選實施例，對于一般的二級螺桿干式真空泵，可以適用如下的結構，即，在流體吸入部a側中頻繁發(fā)生冷凝的轉(zhuǎn)子部位的內(nèi)部殼體設置槽40，并向流體排氣部b依次設置槽40，來排出冷凝物。并且，上述槽40橫向設置于主動軸11與從動軸21之間，并能夠以與轉(zhuǎn)子的傾斜度平行的方式傾斜，此外，也可以適用公知的多種槽形狀。

本發(fā)明對于特定的實施例及適用例進行了圖示及說明，但在不脫離通過附加的發(fā)明要求保護范圍來示出的發(fā)明的思想及范圍內(nèi)，本發(fā)明所屬技術領域的普通技術人員可以進行多種改造及變化。

附圖標記的說明

a：流體吸入部b：流體排氣部

a：一級轉(zhuǎn)子b：二級轉(zhuǎn)子

c：三級轉(zhuǎn)子d：四級轉(zhuǎn)子

e：五級轉(zhuǎn)子10：主動螺桿

10a：主動螺桿一級轉(zhuǎn)子10b：主動螺桿二級轉(zhuǎn)子

10c：主動螺桿三級轉(zhuǎn)子10d：主動螺桿四級轉(zhuǎn)子

10e：主動螺桿五級轉(zhuǎn)子11：主動軸

20：從動螺桿20a：從動螺桿一級轉(zhuǎn)子

20b：從動螺桿二級轉(zhuǎn)子20c：從動螺桿三級轉(zhuǎn)子

20d：從動螺桿四級轉(zhuǎn)子20e：從動螺桿五級轉(zhuǎn)子

21：從動軸30：殼體

40：槽41：第一槽

42：第二槽43：第三槽

44：第四槽