測試分選的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及支持半導(dǎo)體元件的測試的測試分選機(jī)。根據(jù)本發(fā)明的測試分選機(jī)，在將半導(dǎo)體元件推向測試器而使半導(dǎo)體元件與測試器電連接的推進(jìn)裝置中具有出入開關(guān)器，該出入開關(guān)器容許或阻止匹配板由構(gòu)成于支撐匹配板的支撐裝置的各支撐軌所支撐并進(jìn)入設(shè)置位置或從設(shè)置位置退出。根據(jù)本發(fā)明，由于能夠穩(wěn)定地設(shè)置匹配板，因而提高設(shè)備的可靠度。
【專利說明】測試分選機(jī)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及支持半導(dǎo)體元件的測試的測試分選機(jī)。
【背景技術(shù)】
[0002]測試分選機(jī)是支持經(jīng)規(guī)定的制造工序所制造的各半導(dǎo)體元件能夠由測試器(TESTER)所測試，并根據(jù)測試結(jié)果將半導(dǎo)體元件按照等級分類并在用戶托盤上裝載的設(shè)備。
[0003]圖1是從正上方觀察了一般的測試分選機(jī)100的概念圖。
[0004]如圖1所示，測試分選機(jī)(TEST HANDLER) 100構(gòu)成為包括:測試托盤(TESTTRAY) 110、裝載裝置(LOADING APPARATUS) 120、均熱室(SOAK CHAMBER) 130、測試室(TESTCHAMBER) 140、推進(jìn)裝置(PUSHING APPARATUS) 150、退均熱室(DESOAK CHAMBER) 160、以及卸載裝置(UNLOADING APPARATUS) 170 等。
[0005]如圖2所示，測試托盤110設(shè)有能夠安裝設(shè)置半導(dǎo)體元件D的多個插入件111，并通過多個輸送裝置(未圖示)沿著所確定的閉合路徑C循環(huán)。
[0006]裝載位置120將裝載于用戶托盤上的所要測試的各半導(dǎo)體元件裝載到位于裝載位置LP (LOADING POSITION)的測試托盤。
[0007]為了將從裝載位置LP輸送而來的裝載于測試托盤110的各半導(dǎo)體元件按照測試環(huán)境條件預(yù)熱或預(yù)冷而設(shè)有均熱室130。
[0008]為了測試經(jīng)在均熱室130預(yù)熱/預(yù)冷之后輸送到測試位置TP (TEST POSITION)的、裝載于測試托盤110的各半導(dǎo)體元件而設(shè)有測試室140。
[0009]為了將位于測試室140內(nèi)的裝載于測試托盤110的各半導(dǎo)體元件推向與測試室140側(cè)結(jié)合的測試器(TESTER)側(cè)使得各半導(dǎo)體元件與測試器電連接，而設(shè)有推進(jìn)裝置150。本發(fā)明涉及這種推進(jìn)裝置150，對此將在下面進(jìn)一步詳細(xì)說明。
[0010]為了將從測試室140輸送而來的裝載于測試托盤110的、經(jīng)加熱或冷卻的各半導(dǎo)體元件回歸到常溫而設(shè)有退均熱室160。
[0011]卸載裝置170將從退均熱室160輸送至卸載位置UP的、裝載于測試托盤110的各半導(dǎo)體元件按照測試等級進(jìn)行分類并卸載到空著的用戶托盤上。
[0012]如以上所說明，各半導(dǎo)體元件以裝載于測試托盤110的狀態(tài)沿著閉合路徑C循環(huán)，該閉合路徑C從裝載位置LP經(jīng)均熱室130、測試室140、退均熱室160、以及卸載位置UP重新連接至裝載位置LP。
[0013]接著，進(jìn)一步說明推進(jìn)裝置150。
[0014]推進(jìn)裝置150通過韓國授權(quán)專利第10-0709114號(發(fā)明名稱:測試分選機(jī)，尤其參照其中圖6，以下稱為“現(xiàn)有技術(shù)”)等多個專利文獻(xiàn)已有公開。
[0015]圖3是對于現(xiàn)有推進(jìn)裝置150的概略立體圖。
[0016]如在圖3中所參照，推進(jìn)裝置150包括匹配板151、支撐裝置152、以及氣缸(CYLINDER) 153。[0017]匹配板151具有與裝載于測試托盤110的各半導(dǎo)體元件一對一地對應(yīng)的推進(jìn)件151a。
[0018]支撐裝置152支撐匹配板151并包括各支撐軌152a_l、支撐軌152a_2、設(shè)置部件152b、制動器152c、以及球塞152d。
[0019]各支撐軌152a-l、152a_2引導(dǎo)匹配板151的用于設(shè)置以及拆卸的移動，并支撐所設(shè)置的匹配板151。
[0020]在設(shè)置部件152b上結(jié)合設(shè)置有各支撐軌152a-l、152a_2。作為參考，根據(jù)實(shí)施方式還可具備用于設(shè)置部件152b向半導(dǎo)體元件提供所設(shè)定的溫度的空氣的通道(DUCT)。
[0021]制動器152c在將匹配板151設(shè)置在設(shè)置部件152b上時，限制由各支撐軌152a_l、152a-2所引導(dǎo)而移動的匹配板151的過度的移動。
[0022]球塞152d設(shè)置于支撐軌152a_2,該球塞152d作為防止匹配板151脫離設(shè)定位置的脫離防止器起作用。即、如圖4的剖視圖所示，由球塞152d的彈簧S而彈性支撐的球B的一端插入匹配板151的球孔151b中，從而防止所設(shè)置的匹配板151任意地脫離設(shè)定位置。作為參考，若匹配板151脫離設(shè)定位置，則實(shí)現(xiàn)不了推進(jìn)件151a與裝載于測試托盤110的各半導(dǎo)體元件之間的匹配，因而會導(dǎo)致工作不良以及配件損傷。
[0023]氣缸153是用于使支撐裝置152進(jìn)退，最終使支撐于支撐裝置152的匹配板151進(jìn)退的驅(qū)動源。通過這種氣缸153的動作，匹配板151的推進(jìn)件151a向測試器側(cè)加壓半導(dǎo)體元件D,或者解除加壓。
[0024]在如上所述的推進(jìn)裝置150中，如圖5的(a)、(b)、以及(C)所示，匹配板151其兩端在各支撐軌152a-l、152a-2的側(cè)方由各支撐軌152a_l、152a_2所支撐并被引導(dǎo)，從而匹配板151結(jié)合設(shè)置于支撐裝置上，或者相反地被拆卸。而且，在所要測試的各半導(dǎo)體元件的規(guī)格變化時，每次必須進(jìn)行參照圖5所說明的匹配板151的拆卸作業(yè)。
[0025]然而，若構(gòu)成于旨在防止匹配板151脫離設(shè)定位置的球塞152d上的彈簧S彈力較強(qiáng)則難以進(jìn)行匹配板151的拆卸作業(yè)，若彈簧S的彈力較弱則即便工作沖擊較小也會發(fā)生匹配板151脫離設(shè)定位置的問題。而且，這種所謂彈簧S的彈力的不穩(wěn)定的變量成為降低設(shè)備的可靠度的原因。
[0026]另一方面，在匹配板151的兩端倒過來設(shè)置或者如現(xiàn)有技術(shù)的圖6那樣同時具備一對匹配板時，有可能因操作人員的失誤而將各匹配板設(shè)置成彼此位置顛倒。在這種情況下，若匹配板以穿過中心的線為基準(zhǔn)準(zhǔn)確地對稱，則即便倒過來設(shè)置匹配板的兩端或者成雙的兩匹配板的位置被混淆也無妨。但如本 申請人:的在先申請即專利申請第10-2012-000338號那樣，若匹配板以穿過中心的線為基準(zhǔn)時并不對稱，則在倒過來設(shè)置匹配板的兩端或者成雙的兩匹配板的位置彼此被混淆時，發(fā)生工作不良以及配件損傷問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0027]所要解決的問題
[0028]本發(fā)明的第一目的在于提供一種在匹配板的拆裝和穩(wěn)定的安裝固定上不必考慮不穩(wěn)定的變量的技術(shù)。
[0029]本發(fā)明的第二目的在于提供一種能夠引導(dǎo)匹配板的正確的設(shè)置的技術(shù)。
[0030]旨在達(dá)到第一目的的根據(jù)本發(fā)明的測試分選機(jī)，包括:裝載裝置，其將裝載于用戶托盤上的所要測試的各半導(dǎo)體元件裝載到位于裝載位置的測試托盤；推進(jìn)裝置，其將在通過上述裝載裝置的裝載作業(yè)結(jié)束之后輸送至測試位置的、裝載于測試托盤的各半導(dǎo)體元件推向測試器側(cè)使得各半導(dǎo)體元件與測試器電連接；以及，卸載裝置，其從所裝載的各半導(dǎo)體元件的測試結(jié)束之后輸送至卸載位置的測試托盤，將各半導(dǎo)體元件按照測試等級進(jìn)行分類并卸載到用戶托盤上，上述推進(jìn)裝置，包括:匹配板，具有與裝載于測試托盤的各半導(dǎo)體元件一對一地對應(yīng)的各推進(jìn)件；支撐裝置，用于支撐上述匹配板；以及，驅(qū)動源，使上述支撐裝置進(jìn)退，上述支撐裝置，包括:各支撐軌，引導(dǎo)并支撐上述匹配板的移動；設(shè)置部件，上述各支撐軌所結(jié)合設(shè)置；制動器，限制上述匹配板超過設(shè)定位置即設(shè)置位置而過度地移動；以及，出入開關(guān)器，容許或阻止上述匹配板由上述各支撐軌所支撐并進(jìn)入設(shè)置位置或從設(shè)置位置退出。
[0031]上述出入開關(guān)器，包括:開關(guān)板，根據(jù)移動狀態(tài)而敞開或關(guān)閉上述匹配板的出入路徑；以及，設(shè)置殼體，用于將上述開關(guān)板以能夠移動的方式設(shè)置。
[0032]上述出入開關(guān)器進(jìn)一步包括用于操作上述開關(guān)板的移動的操作把手，上述設(shè)置殼體容納上述開關(guān)板，并具有在上述開關(guān)板的敞開位置(敞開匹配板的出入路徑的位置)與關(guān)閉位置(關(guān)閉匹配板的出入路徑的位置)之間的移動的導(dǎo)槽、以及與上述開關(guān)板結(jié)合的上述操作把手的一部分所能夠穿過并突出的通過孔，上述通過孔是其長度方向?yàn)樯鲜鲩_關(guān)板的移動方向的形狀。
[0033]上述出入開關(guān)器進(jìn)一步包括用于固定上述開關(guān)板的位置的固定要素。
[0034]在上述匹配板位于設(shè)置位置且上述出入開關(guān)器關(guān)閉了上述匹配板的出入路徑的情況下，上述匹配板的一端與上述制動器相接且上述匹配板的另一端與上述開關(guān)板相接。
[0035]上述匹配板具有用于引導(dǎo)正確的設(shè)置的切開部位，上述設(shè)置部件在與上述切開部位對應(yīng)的位置具有導(dǎo)銷。
[0036]旨在達(dá)到第二目的的根據(jù)本發(fā)明的測試分選機(jī)，包括:裝載裝置，其將裝載于用戶托盤上的所要測試的各半導(dǎo)體元件裝載到位于裝載位置的測試托盤；推進(jìn)裝置，其將在通過上述裝載裝置的裝載作業(yè)結(jié)束之后輸送至測試位置的、裝載于測試托盤的各半導(dǎo)體元件推向測試器側(cè)使得各半導(dǎo)體元件與測試器電連接；以及，卸載裝置，其從所裝載的各半導(dǎo)體元件的測試結(jié)束之后輸送至卸載位置的測試托盤，將各半導(dǎo)體元件按照測試等級進(jìn)行分類并卸載到用戶托盤上，上述推進(jìn)裝置，包括:一對匹配板，具有與裝載于測試托盤的各半導(dǎo)體元件一對一地對應(yīng)的各推進(jìn)件；以及，支撐裝置，用于支撐上述一對匹配板，上述支撐裝置，包括:各支撐軌，引導(dǎo)并支撐上述一對匹配板的移動；設(shè)置部件，上述各支撐軌所結(jié)合設(shè)置；以及，至少一個制動器，限制上述匹配板的過度移動，上述一對匹配板分別具有用于引導(dǎo)正確的設(shè)置的切開部位，上述設(shè)置部件在與上述各切開部位對應(yīng)的位置分別具有導(dǎo)銷。
[0037]發(fā)明效果
[0038]根據(jù)本發(fā)明，通過出入開關(guān)器完全地控制匹配板的拆卸以及脫位，從而在匹配板的拆裝和穩(wěn)定的安裝固定上不必考慮不穩(wěn)定的變量，并防止匹配板的混淆，因而提高設(shè)備的可靠度。
【專利附圖】

【附圖說明】[0039]圖1是一般測試分選機(jī)的概略俯視圖。
[0040]圖2至圖5是用于說明現(xiàn)有技術(shù)的參照圖。
[0041]圖6是對于根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施例的測試分選機(jī)的概略俯視圖。
[0042]圖7是對于適用到圖6的測試分選機(jī)的推進(jìn)裝置的概略立體圖。
[0043]圖8是對于適用到圖7的推進(jìn)裝置的出入開關(guān)器的概略立體圖。
[0044]圖9至圖13是用于在圖7的推進(jìn)裝置中交替匹配板的作業(yè)的參照圖。
[0045]圖14是對于適用到根據(jù)本發(fā)明的第二實(shí)施例的測試分選機(jī)的推進(jìn)裝置的概略立體圖。
[0046]圖15是對于適用到圖14的推進(jìn)裝置的一對匹配板的俯視圖。
[0047]符號說明
[0048]200—測試分選機(jī)，210—測試托盤，220—裝載裝置，250、350—推進(jìn)裝置，251、35IT、35IB —匹配板，25Ia—推進(jìn)件，25Ib—切開部位，25Ic—識別孔，252—支撐裝置，252a-l、252a-2、352a-l、352a-2、352a-3—支撐軌，252b、352b — 通道，252b_l、352b_la、352b-lb—導(dǎo)銷，252c、352c—制動器，252d、352d —出入開關(guān)器，252d_l—開關(guān)板，PS—定位槽，252d-2—把手，252d-3—設(shè)置殼體，GS —導(dǎo)槽，TH—通過孔，252d_4—球塞，253—驅(qū)動源，270—卸載裝置，IP—設(shè)置位置。
【具體實(shí)施方式】
[0049]以下參照【專利附圖】

【附圖說明】如上所述的根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，便于說明的簡潔起見，盡量省略或簡述重復(fù)的說明。
[0050]圖6是對于根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施例的測試分選機(jī)200的概略俯視圖。
[0051]如圖6所示，根據(jù)本發(fā)明的測試分選機(jī)200構(gòu)成為包括測試托盤210、裝載裝置220、均熱室230、測試室240、推進(jìn)裝置250、退均熱室260、以及卸載裝置270等。
[0052]在上述的構(gòu)成中，測試托盤210、裝載裝置220、均熱室230、測試室240、退均熱室260、以及卸載裝置270與“【背景技術(shù)】”中所提及的內(nèi)容相同，因而省略其說明。
[0053]如在圖7中所參照，推進(jìn)裝置250包括匹配板251、支撐裝置252、以及驅(qū)動源253。
[0054]匹配板251具有與裝載于測試托盤210的各半導(dǎo)體元件一對一地對應(yīng)的推進(jìn)件251a，并在一側(cè)邊緣部分具有切開部位251b。這里，切開部位251b起著引導(dǎo)匹配板251的正確的設(shè)置的作用。而且，在匹配板251上形成有識別孔251c。
[0055]支撐裝置252支撐匹配板251。這種支撐裝置252包括一對支撐軌252a_l、252a-2、通道252b、制動器252c、出入開關(guān)器252d、以及位置識別器252e。
[0056]—對支撐軌252a_l、252a_2引導(dǎo)并支撐匹配板251的移動，并以彼此相隔一定間距的狀態(tài)設(shè)置于通道252b。
[0057]為了向所要測試的各半導(dǎo)體元件提供所設(shè)定的溫度的空氣而設(shè)置通道252b，在本實(shí)施例中該通道252b也作為各支撐軌252a-l、252a-2所結(jié)合設(shè)置的設(shè)置部件而發(fā)揮功能。另外，通道252b具有與匹配板251的切開部位251b對應(yīng)的導(dǎo)銷252b_l。這里，導(dǎo)銷252b_l朝向匹配板251所在的方向突出，并引導(dǎo)匹配板251的正確的設(shè)置。導(dǎo)銷252b-l能夠以螺栓等具體實(shí)現(xiàn)。
[0058]制動器252c限制匹配板251超過設(shè)定位置即設(shè)置位置而過度地移動。這種制動器252c可以一體形成于構(gòu)成通道252b的一側(cè)壁面上，還可以被另行制作而與通道252b結(jié)
口 O
[0059]出入開關(guān)器252d容許或阻止匹配板251由一對支撐軌252a_l、252a_2所支撐并進(jìn)入設(shè)置位置IP或從設(shè)置位置IP退出。為此，如在圖8中所參照，出入開關(guān)器252d包括開關(guān)板252d-l、把手252d-2、設(shè)置殼體252d_3、以及一對球塞252d_4。
[0060]開關(guān)板252d-l位于與制動器252c相對的位置，根據(jù)移動狀態(tài)而敞開或關(guān)閉匹配板251的出入路徑。在這種開關(guān)板252d-l的兩端設(shè)有定位槽PS。
[0061]為了操作開關(guān)板252d-l的移動而設(shè)有把手252d_2。
[0062]為了使開關(guān)板252d-l能夠移動而安裝設(shè)置殼體252d-3，該設(shè)置殼體252d_3與通道252b結(jié)合。這種設(shè)置殼體252d-3具有導(dǎo)槽GS和通過孔TH。
[0063]導(dǎo)槽GS在構(gòu)成通道252b的壁面與設(shè)置殼體252d_3之間形成容納開關(guān)板252d_l的容納空間。因此，開關(guān)板252d-l在容納于導(dǎo)槽GS中的狀態(tài)下向敞開位置或關(guān)閉位置移動。當(dāng)然，導(dǎo)槽GS還具有引導(dǎo)開關(guān)板252d-l的移動的功能。這里，所謂敞開位置是指敞開匹配板的出入路徑的位置，作為關(guān)閉位置是指關(guān)閉匹配板的出入路徑的位置。
[0064]通過孔TH使一側(cè)與開關(guān)板252d-l結(jié)合的把手252d_2的另一側(cè)能夠通過并突出。因此，作業(yè)人員用手握住所突出的把手252d-2的另一側(cè)而能夠操作開關(guān)板252d-l的移動。因此，通過孔TH具有其長度方向?yàn)殚_關(guān)板252d-l的移動方向(把手的移動方向)的形狀。而且，以把手252d-2的一部分穿過通過孔TH的狀態(tài)設(shè)置的構(gòu)造，不僅限制開關(guān)板252d-l的移動距離，而且還防止開關(guān)板252d-l脫離導(dǎo)槽GS。
[0065]球塞252d-4結(jié)合設(shè)置于設(shè)置殼體252d_3,并作為將開關(guān)板252d_l固定在敞開位置或關(guān)閉位置的固定要素。即、球塞252d-4的彈性支撐的球插入開關(guān)板252d-l的定位槽PS中，從而能夠?qū)㈤_關(guān)板252d-l固定在敞開位置或關(guān)閉位置。
[0066]位置識別器252e在作業(yè)人員將匹配板251推入設(shè)置位置IP時，使作業(yè)人員能夠識別是否匹配板251準(zhǔn)確地位于設(shè)置位置IP。具備與支撐軌252a-l、252a-2結(jié)合的球塞作為這種位置識別器252e，通過球塞的球插入匹配板251的識別孔251c中，使得作業(yè)人員識別出匹配板251已準(zhǔn)確地位于設(shè)置位置IP。
[0067]能夠具備氣缸或馬達(dá)作為驅(qū)動源253，以使支撐裝置252以及由支撐裝置252所支撐的匹配板251進(jìn)退。
[0068]接著，說明在具有如上所述的構(gòu)成的測試分選機(jī)200中交替匹配板251的作業(yè)。
[0069]作業(yè)人員操作把手252d-2而使開關(guān)板252d_l如圖9那樣向敞開位置移動，從而敞開匹配板251的出入路徑。在圖9的狀態(tài)下，作業(yè)人員將當(dāng)前的匹配板251向箭頭a方向抽出，且如圖10那樣使匹配板251N向箭頭b方向進(jìn)入。由此，若匹配板251N如圖11那樣位于設(shè)置位置IP，則匹配板251N由位置識別器252e而首先固定于固定位置。作業(yè)人員在識別了圖11的狀態(tài)之后，操作把手252d-2使得開關(guān)板252d-l如圖12那樣移動到關(guān)閉位置，從而關(guān)閉匹配板251的出入路徑。因此，以匹配板251的一端與制動器252c相接且匹配板251的另一端與開關(guān)板252d-l相接的狀態(tài)，穩(wěn)定地設(shè)置匹配板251。
[0070]另一方面，如圖13所示，若因作業(yè)人員的失誤導(dǎo)致匹配板251N上下顛倒并使匹配板251N進(jìn)入設(shè)置位置IP，則匹配板251N的一端與導(dǎo)銷252b_l接觸，從而阻止匹配板251N朝向設(shè)置位置IP進(jìn)一步進(jìn)入。由此，使作業(yè)人員能夠識別匹配板251N的錯誤的進(jìn)入狀態(tài)，并轉(zhuǎn)換到匹配板251N的切開部位251b位于導(dǎo)銷252b-l所在的部分的正確的狀態(tài)而設(shè)置匹配板251N。
[0071]圖14是對于適用到根據(jù)本發(fā)明的第二實(shí)施例的測試分選機(jī)的推進(jìn)裝置350的概略立體圖。
[0072]在第一實(shí)施例中，一個匹配板251與一個測試托盤210匹配，但在第二實(shí)施例中被分割的兩個匹配板351T、351B與一個測試托盤210匹配。
[0073]如圖15所示，在本實(shí)施例中，就被分割的各匹配板351T、351B而言，推進(jìn)件351a并不是以中心線CLp CL2為基準(zhǔn)對稱地配置。因此，各匹配板351T、351B具有用于匹配板351T、351B的正確的設(shè)置的切開部位351b-l、351b-2，且通道352b具有用于分別引導(dǎo)兩個匹配板351T、351B的正確的設(shè)置的兩個導(dǎo)銷352b-la、352b-lb。
[0074]而且，還具備三個支撐軌352a-l、352a-2、352a_3，以支撐并引導(dǎo)兩個分割的匹配板351T、351B。此時，位于中部的支撐軌352a-3將匹配板351T、351B —起支撐并引導(dǎo)。
[0075]當(dāng)然，根據(jù)本實(shí)施例的推進(jìn)裝置350中也具備制動器352c、出入開關(guān)器352d、以及位置識別器352e-l、352e-2。
[0076]如上所述，雖然通過參照了附圖的實(shí)施例進(jìn)行了對于本發(fā)明的具體的說明，但上述的實(shí)施例只是舉出優(yōu)選例子來說明了本發(fā)明而已，因此，不應(yīng)當(dāng)理解為本發(fā)明局限于上述的實(shí)施例，而應(yīng)當(dāng)理解為本發(fā)明的權(quán)利范圍由所附的權(quán)利要求書及其等價概念所決定。
【權(quán)利要求】
1.一種測試分選機(jī)，其特征在于，包括: 裝載裝置，其將裝載于用戶托盤上的所要測試的各半導(dǎo)體元件裝載到位于裝載位置的測試托盤； 推進(jìn)裝置，其將在通過上述裝載裝置的裝載作業(yè)結(jié)束之后輸送至測試位置的、裝載于測試托盤的各半導(dǎo)體元件推向測試器側(cè)使得各半導(dǎo)體元件與測試器電連接；以及， 卸載裝置，其從所裝載的各半導(dǎo)體元件的測試結(jié)束之后輸送至卸載位置的測試托盤，將各半導(dǎo)體元件按照測試等級進(jìn)行分類并卸載到用戶托盤上， 上述推進(jìn)裝置，包括: 匹配板，具有與裝載于測試托盤的各半導(dǎo)體元件一對一地對應(yīng)的各推進(jìn)件； 支撐裝置，用于支撐上述匹配板；以及， 驅(qū)動源，使上述支撐裝置進(jìn)退， 上述支撐裝置，包括: 各支撐軌，引導(dǎo)并支撐上述匹配板的移動； 設(shè)置部件，上述各支撐軌所結(jié)合設(shè)置； 制動器，限制上述匹配板超過設(shè)定位置即設(shè)置位置而過度地移動；以及， 出入開關(guān)器，容許或阻止上述匹配板由上述各支撐軌所支撐并進(jìn)入設(shè)置位置或從設(shè)置位置退出。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測試分選機(jī)，其特征在于， 上述出入開關(guān)器，包括: 開關(guān)板，根據(jù)移動狀態(tài)而敞開或關(guān)閉上述匹配板的出入路徑；以及， 設(shè)置殼體，用于將上述開關(guān)板以能夠移動的方式設(shè)置。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的測試分選機(jī)，其特征在于， 上述出入開關(guān)器進(jìn)一步包括用于操作上述開關(guān)板的移動的操作把手， 上述設(shè)置殼體容納上述開關(guān)板，并具有在上述開關(guān)板的敞開位置(敞開匹配板的出入路徑的位置)與關(guān)閉位置(關(guān)閉匹配板的出入路徑的位置)之間的移動的導(dǎo)槽、以及與上述開關(guān)板結(jié)合的上述操作把手的一部分所能夠穿過并突出的通過孔， 上述通過孔是其長度方向?yàn)樯鲜鲩_關(guān)板的移動方向的形狀。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的測試分選機(jī)，其特征在于， 上述出入開關(guān)器進(jìn)一步包括用于固定上述開關(guān)板的位置的固定要素。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的測試分選機(jī)，其特征在于， 在上述匹配板位于設(shè)置位置且上述出入開關(guān)器關(guān)閉了上述匹配板的出入路徑的情況下，上述匹配板的一端與上述制動器相接且上述匹配板的另一端與上述開關(guān)板相接。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測試分選機(jī)，其特征在于， 上述匹配板具有用于引導(dǎo)正確的設(shè)置的切開部位， 上述設(shè)置部件在與上述切開部位對應(yīng)的位置具有導(dǎo)銷。
7.—種測試分選機(jī)，其特征在于，包括: 裝載裝置，其將裝載于用戶托盤上的所要測試的各半導(dǎo)體元件裝載到位于裝載位置的測試托盤； 推進(jìn)裝置，其將在通過上述裝載裝置的裝載作業(yè)結(jié)束之后輸送至測試位置的、裝載于測試托盤的各半導(dǎo)體元件推向測試器側(cè)使得各半導(dǎo)體元件與測試器電連接；以及， 卸載裝置，其從所裝載的各半導(dǎo)體元件的測試結(jié)束之后輸送至卸載位置的測試托盤，將各半導(dǎo)體元件按照測試等級進(jìn)行分類并卸載到用戶托盤上， 上述推進(jìn)裝置，包括: 一對匹配板，具有與裝載于測試托盤的各半導(dǎo)體元件一對一地對應(yīng)的各推進(jìn)件；以及， 支撐裝置，用于支撐上述一對匹配板， 上述支撐裝置，包括: 各支撐軌，引導(dǎo)并支撐上述一對匹配板的移動； 設(shè)置部件，上述各支撐軌所結(jié)合設(shè)置；以及， 至少一個制動器，限制上述匹配板的過度移動， 上述一對匹配板分別具有用于引導(dǎo)正確的設(shè)置的切開部位， 上述設(shè)置部件在與上 述各切開部位對應(yīng)的位置分別具有導(dǎo)銷。
【文檔編號】B07C5/36GK104001680SQ201410189222
【公開日】2014年8月27日 申請日期:2014年5月7日 優(yōu)先權(quán)日:2013年6月18日
【發(fā)明者】羅閏成, 權(quán)寧鎬, 金溶范 申請人:泰克元有限公司