專利名稱：用于測試分選機(jī)的開放裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及測試半導(dǎo)體元件時操作的用于測試分選機(jī)的開放裝置。
背景技術(shù)：
測試分選機(jī)作為用于支持測試裝置對經(jīng)過預(yù)定的制造工藝制造的半導(dǎo)體元件進(jìn)行測試、根據(jù)測試結(jié)果將半導(dǎo)體元件按等級分類并裝載到用戶托盤的設(shè)備，已經(jīng)通過例如第10-0553992號韓國授權(quán)專利(發(fā)明名稱測試分選機(jī))的多個公開文獻(xiàn)公開。一般來說，生產(chǎn)出的半導(dǎo)體元件以裝載于用戶托盤的狀態(tài)被供給到測試分選機(jī)。 之后，在將供給到測試分選機(jī)的半導(dǎo)體元件裝載到裝載位置處的載板之后，在測試位置對裝載在載板的半導(dǎo)體元件進(jìn)行測試，在載板位于卸載位置時將半導(dǎo)體元件卸載在用戶托盤。這里所說的載板是可裝載多個半導(dǎo)體元件以支持能夠一次測試多個半導(dǎo)體元件的裝載單元，這樣的載板包括傳統(tǒng)概念的測試托盤和新提出的新概念的測試板。由上可知，載板在裝載位置、測試位置和卸載位置持續(xù)地循環(huán)移動。因此，為防止發(fā)生因載板的移動沖擊、姿勢變換等導(dǎo)致的裝載的半導(dǎo)體元件的脫離或姿勢的歪斜，載板上設(shè)置有可固定半導(dǎo)體元件的固定裝置。但是，在裝載位置和卸載位置，為裝載或卸載半導(dǎo)體元件，需要解除根據(jù)固定裝置的半導(dǎo)體元件的固定狀態(tài)，為此，還需要用于解除半導(dǎo)體元件的固定狀態(tài)的另外的開放裝置。在公開號為10-2009-0102167的韓國專利(發(fā)明名稱用于測試托盤的插口開放單元和使用其的半導(dǎo)體元件安裝方法，以下稱為現(xiàn)有技術(shù)1)中，揭示了對裝載在載板的插口上的半導(dǎo)體進(jìn)行固定或解除固定的技術(shù)的一個例子。大體上說，如參照現(xiàn)有技術(shù)1(特別是，參照現(xiàn)有技術(shù)1的專利公開文本的圖1和圖8)，通過可旋轉(zhuǎn)的固定部件可固定半導(dǎo)體元件，形成于開放裝置的開放板(現(xiàn)有技術(shù)1中稱為主體)的開放銷通過操作固定部件的旋轉(zhuǎn)狀態(tài)，以能夠解除固定部件的固定狀態(tài)。S卩，若開放板向載板的插口側(cè)前進(jìn)并緊貼，則開放銷通過抬升固定部件而使其逆旋轉(zhuǎn)，以使固定部件成為可解除半導(dǎo)體元件的固定的狀態(tài)；若開放板從載板的插口側(cè)后退， 則固定部件根據(jù)彈簧的恢復(fù)力正旋轉(zhuǎn)，由此固定部件回到可固定半導(dǎo)體元件的狀態(tài)。如上，為了根據(jù)開放銷順暢地操縱固定部件，在開放板緊貼于載板插口時，載板不能被擠到容許的標(biāo)準(zhǔn)之上。為此，如同附于申請?zhí)枮?0-2009-63752的韓國專利申請(發(fā)明名稱插口開放裝置、插口及載板)的說明書的圖12，通過另外的導(dǎo)軌防止載板被推擠。另一方面，如公開號為10-2009-0084007的韓國專利公開(發(fā)明名稱測試分選機(jī)的載板型插口)的圖9所示，背面具有球形電接觸點的球柵陣列(BGA)型半導(dǎo)體元件在插口裝載部的底面形成有可適當(dāng)?shù)夭迦肭虻亩鄠€開孔。在這樣形成開孔(或槽)的情況下， 因為發(fā)生插口扭曲等缺陷，開孔變歪，插入開孔的球被緊緊地夾在開孔中，導(dǎo)致此后從插口卸載半導(dǎo)體裝置的操作中產(chǎn)生錯誤。即，在卸載時發(fā)生移動半導(dǎo)體元件的拾放裝置不能在插口抓握半導(dǎo)體元件的情況。
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因制造問題或長久使用導(dǎo)致載板彎曲等原因，開放板和插口緊貼，據(jù)此開放板的接觸壓力傳遞到插口時，開放板的上面和設(shè)置在載板上的插口不平行，可導(dǎo)致插口故障。 即，不均勻地持續(xù)施加在插口背面的開放板接觸壓力被認(rèn)為是導(dǎo)致插口扭曲等故障的原因。此外，在開放板不能以水平狀態(tài)向載板插口側(cè)前進(jìn)的情況下，開放板不能向同時接觸的插口(對于下面描述的開放板，根據(jù)一個開放板，32個插口的固定部件同時被操作)施加均勻的力，向一部分插口不均勻地施加期望之外的過度的力，導(dǎo)致發(fā)生插口扭曲的情況。如上的插口扭曲更易產(chǎn)生于在申請?zhí)枮?0-2009-63752號韓國專利的圖恥中涉及的插口。對于所述圖恥涉及的插口，安裝半導(dǎo)體元件的安裝面不像申請?zhí)枮?10-2009-63752號韓國專利的圖1那樣彼此連接，而是在中間連接被中斷，在向插口下部施加略微不均勻的力的情況下，容易發(fā)生插口扭曲的現(xiàn)象。一般來說，使插口的安裝面彼此連接雖然在抗扭曲方面好于所述圖恥的情況，但為了以其他目的使用插口的安裝面的中斷部分，在用戶要求的情況下，有必要使用如所述圖恥的插口。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供能夠防止開放板的緊貼力施加到插口的技術(shù)。進(jìn)一步講，本發(fā)明的目的在于提供即使在半導(dǎo)體元件掉落的情況下也可適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行開放操作的技術(shù)及其他目的。為了實現(xiàn)所述目的，根據(jù)本發(fā)明的用于測試分選機(jī)的開放裝置包括開放板，位于載板插口的下側(cè)，并具備開放銷，該開放銷能夠通過操作用于固定裝載于載板插口的半導(dǎo)體元件的固定部件而解除半導(dǎo)體元件的固定狀態(tài)；驅(qū)動源，使所述開放板向載板插口側(cè)前進(jìn)或從載板插口側(cè)后退，在所述開放板向載板插口側(cè)前進(jìn)時，通過所述開放銷操作固定部件而解除固定狀態(tài)，在所述開放板從載板側(cè)后退時，通過所述開放銷解除固定部件的操作狀態(tài)而保持固定的狀態(tài)，在所述開放板向所述載板插口側(cè)前進(jìn)，并以通過所述開放銷解除固定的狀態(tài)完成固定部件的操作時，在所述開放板與插口之間保持預(yù)定間隔。為保持所述預(yù)定間隔，所述開放板具有防止緊貼突起，以防止朝向載板的插口側(cè)的對向面緊貼在插口，從而使插口與開放板之間保持預(yù)定間隔。優(yōu)選地，所述防止緊貼突起位于與載板的框架對應(yīng)的位置。優(yōu)選地，所述預(yù)定間隔在半導(dǎo)體元件的厚度以上。如上，根據(jù)本發(fā)明，由于即使以通過所述開放銷解除固定的狀態(tài)完成固定部件的操作時，插口的底面與開放板的上面也不直接緊貼，因此開放板的緊貼力不會施加在插口， 從而具有可防止插口扭曲等故障的效果。


圖1是根據(jù)本發(fā)明實施例的用于測試分選機(jī)的開放裝置的立體圖。圖2是一般的載板的立體圖。圖3是用于說明因半導(dǎo)體元件掉落的傳統(tǒng)的裝載操作時的問題的參照圖。圖4至圖7是圖1的開放裝置的操作狀態(tài)的示圖。
具體實施方式
以下，參照附圖來說明如上的本發(fā)明優(yōu)選實施例，為了說明的簡潔，盡可能省略或壓縮重復(fù)的說明。圖1是根據(jù)本發(fā)明實施例的用于測試分選機(jī)的開放裝置100(以下簡稱為開放裝置)的立體圖。開放裝置100分別設(shè)置在測試分選機(jī)的裝載部分和卸載部分，如圖1所示，開放裝置100包括開放板110和驅(qū)動源120等。開放板110為四邊形板，為操作插口的固定部件， 在開放板110上面形成多個成對的開放銷llla、lllb，并且，開放板上面具有多個成對的用于確定開放銷IllaUllb的位置的位置確定突起112a、11 以使開放銷IllaUllb能夠精確操作固定部件。并且，根據(jù)本發(fā)明一個示例的開放板110具有防止緊貼突起113，這樣的防止緊貼突起113位于與載板框架對應(yīng)的位置。即，如圖2所示，載板200由框架210和設(shè)置在框架 210上的插口 220構(gòu)成，由于防止緊貼突起113位于與框架210對應(yīng)的位置P，因此開放板 110的上面不會與插口 220的底面直接緊貼，即使以通過開放銷IllaUllb解除固定的狀態(tài)完成固定部件的操作時，在開放板110的上面和插口 220底面之間也保持等同于防止緊貼突起113的高度的間隔。因此，不會發(fā)生開放板110的緊貼力施加到插口 220的底面的情況。另一方面，在測試分選機(jī)持續(xù)運行期間，偶爾發(fā)生半導(dǎo)體元件掉落到開放板的上面的情況。在這種情況下，傳統(tǒng)上，參照圖3的概略圖，由于置于開放板310上面的半導(dǎo)體元件D，發(fā)生固定部件h的操作故障。在這種情況下，導(dǎo)致在沒有正常操作固定部件h的狀態(tài)下，半導(dǎo)體元件裝載在插口 220的結(jié)果，此后如果載板220發(fā)生移動或姿勢變換(從水平狀態(tài)變?yōu)樨Q直狀態(tài))等情況，則發(fā)生裝載在載板220的半導(dǎo)體元件一次全掉落的問題。本發(fā)明旨在即使在以解除固定的狀態(tài)完成固定部件h的操作的情況下，也使插口 220的底面與開放板110的上面之間保持預(yù)定間隔，更進(jìn)一步，將防止緊貼突起113的高度實現(xiàn)為保持在半導(dǎo)體元件D的厚度以上，如參照圖4所示，即使半導(dǎo)體元件D置于開放板 110上面的情況下，也可適當(dāng)?shù)夭僮鞴潭ú考。驅(qū)動源120用于提供使開放板110向載板200側(cè)上升或下降的動力，在本實施例中，驅(qū)動源120以汽缸來實現(xiàn)。接著，參照圖5及之后的

所述開放裝置100的操作。參照圖5，空的載板200移動到裝載位置并位于開放板110的上側(cè)時，參照圖6，操作驅(qū)動源120使開放板110上升以裝載半導(dǎo)體元件。接著，參照圖7，開放板110上升直至防止緊貼突起113接觸載板200的框架210。 即，通過導(dǎo)軌51a、51b載板200兩端被抓握，所述上升只能被阻止，且防止緊貼突起113對接于如此停止上升的載板200的框架210，從而開放板110的上升也停止。當(dāng)然，參照圖6 和圖7的過程，隨著開放板110上升，開放銷IllaUllb與固定部件h接觸，推動并抬升固定部件h的一側(cè)，且開放板110的上升結(jié)束的同時，開放銷IllaUllb也結(jié)束對固定部件h 的操作。此時，在插口 220的底面與開放板110的上面之間保持等同于防止緊貼突起113 的高度的間隔，即使在開放板110的上面放置有半導(dǎo)體元件D的情況下，也可通過開放銷 111a、11 Ib適當(dāng)?shù)夭僮鞴潭ú考。在圖7的狀態(tài)下，通過拾放裝置(未示出，移動半導(dǎo)體元件的裝置)將半導(dǎo)體元件裝載在載板200的插口 220之后，裝載結(jié)束后，操作驅(qū)動源120，使開放板110下降，使裝載的半導(dǎo)體元件通過固定部件h而固定。卸載操作也像裝載操作一樣運行開放裝置，只是有以下不同，即，拾放裝置從載板 200卸載半導(dǎo)體元件及由于半導(dǎo)體元件已經(jīng)安裝在載板上，因此如同裝載時裝載出問題而半導(dǎo)體元件置于開放板上面的情況少。因此省略對卸載操作時開放裝置100的操作。因此，如上所述，卸載時，在開放板的上面與載板插口未直接接觸的狀態(tài)下，將固定部件完全推動抬升，避免開放板的緊貼力直接施加到插口，可使扭曲最小化，并可因此防止因插口扭曲的現(xiàn)象導(dǎo)致半導(dǎo)體元件的球被夾在插口的安裝面而使拾放裝置在插口不能抓握半導(dǎo)體元件。如上所述，雖然已經(jīng)參照附圖的實施例詳細(xì)說明了本發(fā)明，但由于所述實施例僅是對本發(fā)明優(yōu)選實施例的說明，本發(fā)明不應(yīng)理解為局限于所述實施例，本發(fā)明的范圍由權(quán)利要求及其等同物限定。
權(quán)利要求
1.一種用于測試分選機(jī)的開放裝置，其特征在于包括開放板，位于載板插口的下側(cè)，并具備開放銷，該開放銷能夠通過操作用于固定裝載于載板插口的半導(dǎo)體元件的固定部件而解除半導(dǎo)體元件的固定狀態(tài)；驅(qū)動源，使所述開放板向載板插口側(cè)前進(jìn)或從載板插口后退，在所述開放板向載板插口側(cè)前進(jìn)時，通過所述開放銷操作固定部件解除固定狀態(tài)，在所述開放板從載板插口側(cè)后退時，通過所述開放銷解除固定部件的操作狀態(tài)而保持固定的狀態(tài)，在所述開放板向所述載板插口側(cè)前進(jìn)，并以通過所述開放銷解除固定的狀態(tài)完成固定部件的操作時，在所述開放板與插口之間保持預(yù)定間隔。
2.如權(quán)利要求1所述的用于測試分選機(jī)的開放裝置，其特征在于，所述開放板具有防止緊貼突起，用以防止朝向載板的插口側(cè)的對向面緊貼在插口，從而使插口與開放板之間保持預(yù)定的間隔。
3.如權(quán)利要求2所述的用于測試分選機(jī)的開放裝置，其特征在于，所述防止緊貼突起位于與載板的框架對應(yīng)的位置。
4.如權(quán)利要求1所述的用于測試分選機(jī)的開放裝置，其特征在于，所述預(yù)定間隔在半導(dǎo)體元件的厚度以上。
全文摘要
本發(fā)明涉及用于測試分選機(jī)的開放裝置，根據(jù)本發(fā)明，揭示了即使在操作載板的插口的固定部件被操作為解除半導(dǎo)體元件的固定的狀態(tài)下也可通過使開放板的上面和插口底面之間保持預(yù)定間隔來防止插口故障的技術(shù)。所述用于測試分選機(jī)的開放裝置特征在于包括開放板，位于載板插口的下側(cè)，并具備開放銷，該開放銷能夠通過操作用于固定裝載于載板插口的半導(dǎo)體元件的固定部件而解除半導(dǎo)體元件的固定狀態(tài)；驅(qū)動源，使所述開放板向載板插口側(cè)前進(jìn)或從載板插口后退，在所述開放板向所述載板插口側(cè)前進(jìn)，并以通過所述開放銷解除固定的狀態(tài)完成固定部件的操作時，在所述開放板與插口之間保持預(yù)定間隔。
文檔編號B07C5/00GK102274828SQ20111010380
公開日2011年12月14日 申請日期2011年4月21日 優(yōu)先權(quán)日2010年4月30日
發(fā)明者具泰興, 羅閏成, 黃正佑 申請人:泰克元有限公司