本發(fā)明涉及VOC廢氣處理領(lǐng)域，具體而言，涉及一種VOC廢氣處理方法及VOC廢氣處理工藝。

背景技術(shù)：

VOC氣體，即揮發(fā)性有機(jī)物；但是環(huán)保意義上的定義是指活潑的一類揮發(fā)性有機(jī)物，即會產(chǎn)生危害的那一類揮發(fā)性有機(jī)物。它包括：苯系物、有機(jī)氯化物、氟里昂系列、有機(jī)酮、胺、醇、醚、酯、酸和石油烴化合物等?，F(xiàn)有的大多數(shù)采用的是生物發(fā)酵、熱破壞或者吸附去除VOC廢氣。但是這些方法去除VOC廢氣步驟過于繁瑣，且不能在線檢測VOC廢氣處理結(jié)果，或者僅能進(jìn)行單次檢測。

電子束常見于處理NOx廢氣處理，通過電子束輻射將氮氧化物廢氣轉(zhuǎn)化為硝酸煙霧，將含硫廢氣轉(zhuǎn)化為硫酸煙霧，進(jìn)而與噴淋的氨水反應(yīng)得到硫酸銨與硝酸銨顆粒物，將有害氣體轉(zhuǎn)化為具有經(jīng)濟(jì)價值的化肥。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的在于提供一種VOC廢氣處理方法，其能夠有效的去除VOC廢氣，該方法處理量大、效率高、物料消耗少并且自動化程度高。

本發(fā)明的另一目的在于提供一種VOC廢氣處理工藝，其能夠有效去除VOC廢氣，其智能化程度高并且安全可靠。

本發(fā)明的實(shí)施例是這樣實(shí)現(xiàn)的：

一種VOC廢氣處理方法包括將VOC廢氣通過冷阱進(jìn)行物理降溫處理除去高濃度高沸點(diǎn)組分，得到第一氣體。將第一氣體與過氧化氫蒸氣和水蒸氣混合后得到的第二氣體，第二氣體與具有高能量的電子接觸并進(jìn)行反應(yīng)，得到第三氣體。將第三氣體通入檢測管進(jìn)行檢測。檢測不合格的第三氣體通入具有催化劑的催化裝置內(nèi)進(jìn)行催化反應(yīng)，將進(jìn)行催化反應(yīng)后的氣體再次通入檢測管進(jìn)行檢測。

一種VOC廢氣處理工藝，包括上述的VOC廢氣處理方法。

本發(fā)明實(shí)施例VOC廢氣處理方法的有益效果是：由于本發(fā)明的VOC廢氣處理方法通過冷阱去除了高沸點(diǎn)高濃度的有機(jī)物，降低待廢氣處理的總量，降低了VOC廢氣處理設(shè)備的運(yùn)行壓力。具有高能量的電子能夠快速有效的與過氧化氫蒸氣、水蒸氣反應(yīng)產(chǎn)生自由基并且使得自由基與廢氣能夠快速的反應(yīng)進(jìn)而去除大部分的VOC廢氣。分階段、分次檢測VOC廢氣處理結(jié)果，能夠?qū)崟r的根據(jù)檢測結(jié)果對已處理過的VOC廢氣進(jìn)行不同的處理，提升了本方法的實(shí)用性以及針對性，同時擴(kuò)大了本方法的應(yīng)用范圍。本方法還有處理量大、效率高、物料消耗少且自動化程度高的特點(diǎn)。VOC廢氣處理工藝能夠有效地去除VOC廢氣，同時智能化程度高且安全可靠。

附圖說明

為了更清楚地說明本發(fā)明實(shí)施例的技術(shù)方案，下面將對實(shí)施例中所需要使用的附圖作簡單地介紹，應(yīng)當(dāng)理解，以下附圖僅示出了本發(fā)明的某些實(shí)施例，因此不應(yīng)被看作是對范圍的限定，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他相關(guān)的附圖。

圖1為本發(fā)明第一實(shí)施例提供的VOC廢氣處理方法的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本發(fā)明第一實(shí)施例提供的電子照射核心機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本發(fā)明第一實(shí)施例提供的催化裝置的結(jié)構(gòu)意圖；

圖4為本發(fā)明第一實(shí)施例提供的電控干粉滅火罐的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5為本發(fā)明第二實(shí)施例提供的VOC廢氣處理方法的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖6為本發(fā)明第二實(shí)施例提供的催化元件的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖標(biāo)：100A-VOC廢氣處理裝置；100B-VOC廢氣處理裝置；200-冷阱；300-第一溫濕度監(jiān)測室；400-電子照射管；500-第二溫濕度監(jiān)測室；201-第一廢氣進(jìn)管；503-第二電磁閥；600-催化裝置；700-檢測管；800-過氧化氫蒸氣泵；410-電子照射核心機(jī)；420-電子照射外管；430-支管；411-瞄準(zhǔn)極；412-熱陰極燈絲；413-初級加速極；414-聚焦線圈；415-瞄準(zhǔn)線圈；416-二級加速極；502-連通管；501-第一電磁閥；610-催化裝置本體；620-催化元件；611-催化反應(yīng)腔；621-氣流通孔；630-第一封堵件；640-第二封堵件；631-第二廢氣進(jìn)管；641-廢氣出管；632-密封圈；633-第一堵塊；634-第二堵塊；900-沖洗氣泵；701-干粉滅火罐本體；703-導(dǎo)火索；705-慢速火藥管；707-干粉滅火劑；708-噴灑預(yù)備口；910-氣源增壓泵；623-凸起結(jié)構(gòu)；643-濾片。

具體實(shí)施方式

為使本發(fā)明實(shí)施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。通常在此處附圖中描述和示出的本發(fā)明實(shí)施例的組件可以以各種不同的配置來布置和設(shè)計。

因此，以下對在附圖中提供的本發(fā)明的實(shí)施例的詳細(xì)描述并非旨在限制要求保護(hù)的本發(fā)明的范圍，而是僅僅表示本發(fā)明的選定實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。

應(yīng)注意到：相似的標(biāo)號和字母在下面的附圖中表示類似項，因此，一旦某一項在一個附圖中被定義，則在隨后的附圖中不需要對其進(jìn)行進(jìn)一步定義和解釋。

在本發(fā)明的描述中，需要說明的是，術(shù)語“第一”、“第二”等僅用于區(qū)分描述，而不能理解為指示或暗示相對重要性。

下面結(jié)合附圖，對本發(fā)明的一些實(shí)施方式作詳細(xì)說明。在不沖突的情況下，下述的實(shí)施例及實(shí)施例中的特征可以相互組合。

第一實(shí)施例

S1、將VOC廢氣通過冷阱200進(jìn)行物理降溫處理除去高濃度高沸點(diǎn)組分，得到第一氣體；

如圖1所示，本實(shí)施例還提供一種VOC廢氣處理裝置100A，其包括依次連接的冷阱200、第一溫濕度監(jiān)測室300、用于產(chǎn)生自由基的電子照射管400、第二溫濕度監(jiān)測室500、第二電磁閥503、催化裝置600以及檢測管700。

冷阱200用于去除VOC廢氣中苯、甲苯、苯乙烯等高沸點(diǎn)高濃度的組分，降低后續(xù)設(shè)備處理的廢氣量。冷阱200設(shè)有第一廢氣進(jìn)管201用于通入VOC廢氣進(jìn)入VOC廢氣處理裝置100A。冷阱200利用VOC廢氣中各組分沸點(diǎn)的不同，進(jìn)行物理降溫，使得VOC廢氣中的沸點(diǎn)高于80℃的高沸點(diǎn)組分由氣體冷凝為液體，沉積到冷阱200底部，進(jìn)而去除上述高沸點(diǎn)組分。需要說明的是，冷阱200采用現(xiàn)有的壓縮機(jī)制冷或半導(dǎo)體制冷達(dá)到物理制冷。冷阱200內(nèi)的液體可以進(jìn)行重新提取得到有價值的組分，并節(jié)約資源，減少環(huán)境污染。

S2、將第一氣體與過氧化氫蒸氣和水蒸氣混合后得到第二氣體，第二氣體與具有高能量的電子接觸并進(jìn)行反應(yīng)得到第三氣體；

將第一氣體通入到第一溫濕度監(jiān)測室300內(nèi)與過氧化氫蒸氣、水蒸氣混合，并且監(jiān)控進(jìn)入電子照射管400內(nèi)的氣體的濕度以及溫度，以保證進(jìn)入電子照射管400內(nèi)的第二氣體符合反應(yīng)要求，確保水蒸氣、過氧化氫蒸氣與高能電子束接觸反應(yīng)以及自由基與VOC廢氣的氧化還原反應(yīng)能夠在電子照射管400內(nèi)順利進(jìn)行。

優(yōu)選地，第一溫濕度監(jiān)測室300監(jiān)測的合格溫度為0度-30度，濕度為40-70％，同時水蒸氣的體積含量占水蒸氣、過氧化氫蒸氣、VOC廢氣混合氣體總體積的0.1-2.0％。溫濕監(jiān)控室采用現(xiàn)有的溫室監(jiān)控裝置。若第一溫濕度監(jiān)測室300監(jiān)測的濕度不符合要求則通過調(diào)節(jié)水蒸氣進(jìn)行調(diào)節(jié)，若溫度不符合要求則改變通過冷阱200氣體的流量以及蒸氣的流量共同調(diào)節(jié)。

進(jìn)一步地，氧化氫蒸氣以及水蒸氣通過過氧化氫蒸氣泵800輸送到第一溫濕度監(jiān)測室300內(nèi)，為后續(xù)生成具有強(qiáng)氧化性的自由基提供原料。需要說明的是，過氧化氫蒸氣中過氧化氫的含量為30-50％。

通過第一溫濕度監(jiān)測室300監(jiān)測合格的第二氣體通入電子照射管400內(nèi)。電子照射管400發(fā)射出自由電子，水蒸氣和過氧化氫蒸氣在電子的轟擊下產(chǎn)生羥基自由基、氧自由基等具有強(qiáng)氧化性的自由基以及臭氧，第二氣體內(nèi)的部分有害物質(zhì)被這些具有強(qiáng)氧化性的物質(zhì)氧化為無毒害的物質(zhì)。

需要說明的是，電子束處理VOC廢氣需要優(yōu)質(zhì)的電子源，因此，本實(shí)施例提供的電子照射管400為開放式高能電子照射管。

結(jié)合圖1和圖2，進(jìn)一步地，開放式高能電子照射管包括電子照射核心機(jī)410以及用于靜電屏蔽的電子照射外管420。電子照射外管420的中部連通有用于流通VOC廢氣的支管430。電子照射外管420套設(shè)于電子照射核心機(jī)410外，電子照射外管420的一端與電子照射核心機(jī)410的一端膠封。電子照射核心機(jī)410用于產(chǎn)生并輸送自由電子而電子照射管400外設(shè)置靜電屏蔽保證了電子運(yùn)輸?shù)姆较虿话l(fā)生偏移，使得電子能夠順利的與水蒸氣、過氧化氫蒸氣接觸。同時，電子照射外管420電子與水蒸氣、過氧化氫蒸氣反應(yīng)提供必要的場所，以完成第一次處理。使用該電子照射管400克服了傳統(tǒng)的電子照射管400對高真空度的要求以及時常需要更換鎢絲燈芯的缺點(diǎn)，節(jié)約了后期維護(hù)費(fèi)用。

進(jìn)一步地，電子照射核心機(jī)410包括沿電子水平直線運(yùn)輸方向依次設(shè)置的瞄準(zhǔn)極411、熱陰極燈絲412、初級加速極413、聚焦線圈414、瞄準(zhǔn)線圈415以及二級加速極416。熱陰極燈絲412通電后高溫的金屬絲發(fā)射出自由電子，自由電子在瞄準(zhǔn)極411的作用下沿水平方向運(yùn)動，并通過初級加速極413獲得更高的電子能量能夠運(yùn)動到更遠(yuǎn)的距離。而后自由電子通過聚焦線圈414聚集得到電子束，電子束通過瞄準(zhǔn)線圈415保持水平運(yùn)動方向，而后再在二級加速極416的作用下，進(jìn)一步獲得更大的動能。

需要說明的是采用高功率的燈絲，能夠獲得大同量的電子。同時，為了提升氣體處理量，可采用多個支管430通入VOC廢氣，在電子照射管400內(nèi)可以設(shè)置多個電子照射核心機(jī)410，并采用徑向照射的方式進(jìn)一步提升處理量。

S3、將第三氣體通入檢測管700進(jìn)行檢測；檢測不合格的第三氣體通入具有催化劑的催化裝置600內(nèi)進(jìn)行催化反應(yīng)，將進(jìn)行催化反應(yīng)后的氣體再次通入檢測管700進(jìn)行檢測；

通過電子照射管400反應(yīng)后的第三氣體通入到第二溫濕度監(jiān)測室500內(nèi)。第二溫濕度監(jiān)測室500用于監(jiān)測進(jìn)入催化裝置600進(jìn)行催化反應(yīng)的氣體的溫度和濕度。此時，監(jiān)測的溫度范圍為15度-50度，濕度為40-70％。采用第二溫濕度監(jiān)測室500能夠隨時刷新溫濕度數(shù)據(jù)以便自動控制調(diào)節(jié)過氧化氫蒸氣泵800的流量。

進(jìn)一步地，第二溫濕度監(jiān)測室500和檢測管700的出氣端之間還設(shè)有連通管502，第一電磁閥501設(shè)置于連通管502上。通過電子照射管400去除有害物質(zhì)的第三氣體經(jīng)過第二溫濕度監(jiān)測室500后，通過第一電磁閥501，進(jìn)入到檢測管700內(nèi)進(jìn)行檢測，若檢測得到的第三氣體內(nèi)含有的物質(zhì)的各項指標(biāo)符合排放要求則可進(jìn)行排放，VOC廢氣排放標(biāo)準(zhǔn)為GB16297-1996。若不符合該要求則關(guān)閉自動第一電磁閥501，并打開第二電磁閥503，將第三氣體繼續(xù)通入到催化裝置600內(nèi)進(jìn)行催化反應(yīng)，進(jìn)一步地去除第三氣體內(nèi)的有害物質(zhì)。

結(jié)合圖1和圖3，催化裝置600包括催化裝置本體610和8個催化元件620，催化裝置本體610設(shè)有催化反應(yīng)腔611。8個催化元件620沿VOC廢氣流通方向排列設(shè)置與催化反應(yīng)腔611內(nèi)，每個催化元件620均包括5個氣流通孔621。催化元件620的表面和氣流通孔621內(nèi)均附著有催化劑，VOC氣體在流動的過程中與催化劑接觸并發(fā)生反應(yīng)，進(jìn)而去除VOC廢氣中的有害物質(zhì)。同時，采用氣流通孔不僅增大了VOC廢氣與催化劑接觸的表面積，同時降低了氣體流通的阻力。

優(yōu)選地，氣流通孔621的直徑為催化元件620直徑的1/10-1/5。此時，氣體流經(jīng)氣流每個催化元件620所受到的催化阻力最小并且流量較快。相鄰兩個催化元件620之間的距離為催化元件620直徑的2/5-3/5。此時，氣體流量大、流動阻力小且與催化劑接觸充分。并且相鄰兩個催化元件620之間的多個氣流通孔621交錯分布，進(jìn)一步地增大了VOC廢氣與催化劑接觸的面積，提升了催化反應(yīng)的效果，增大了VOC廢氣處理裝置100A的處理效率。

進(jìn)一步地，催化元件620的表面和氣流通孔621上附著的催化劑通過溶液浸漬/灼燒工藝制備，即將催化劑加熱熔化或者溶解為液體，而后將開有氣流通孔621的催化元件620侵入液體中，使得催化元件620表面、氣流通孔621附著有催化劑液體，進(jìn)而灼燒，使得催化劑液體重新變?yōu)楣腆w并粘附在催化元件620的表面和氣流通孔621上。該方法制備的附著催化劑的催化元件620抗脫落性能良好。

需要說明的是催化元件620可以是泡化耐火磚材料、凹凸棒石、石棉塊或者多孔表面的氧化鋁塊。催化元件620的數(shù)量可以根據(jù)生產(chǎn)需求、氣體處理量以及催化裝置600本體長度進(jìn)行合理的設(shè)計，并不限于本實(shí)施例提供的8個。同理，氣流通孔621的個數(shù)也可以根據(jù)氣體的處理量、催化元件620的個數(shù)等綜合進(jìn)行合理的選擇。氣流通孔621可以在催化元件620未附著催化劑之前便開設(shè)好，也可在催化元件620表面附著催化劑后再開設(shè)氣流通孔621。

再參見圖3，催化裝置600本體的兩端分別設(shè)有用于封堵催化裝置600本體的第一封堵件630和第二封堵件640。第一封堵件630和第二封堵件640的結(jié)構(gòu)一致。第一封堵件630包括密封圈632、第一堵塊633以及第二堵塊634。第一堵塊633的端部和第二堵塊634端部相連并一體成型。第一堵塊633的中部垂直于VOC廢氣流通方向的表面設(shè)置有放置密封圈632的凹槽。第一堵塊633的直徑小于催化反應(yīng)腔611的直徑，第二堵塊634的直徑大于催化反應(yīng)腔611的直徑，密封圈632的直徑與催化反應(yīng)腔611的直徑相等。在對催化裝置600本體進(jìn)行密封時，將第一堵塊633和密封圈632塞進(jìn)催化反應(yīng)腔611內(nèi)，密封圈632與催化反應(yīng)腔611的直徑恰好匹配并對其進(jìn)行密封，第二堵塊634位于催化轉(zhuǎn)化器本體。需要重新更換催化元件620時，用力向外拖動第二堵塊634，進(jìn)而帶動第一堵塊633以及密封圈632離開催化反應(yīng)腔611。該催化裝置600能夠隨時更換催化元件620，保證催化反應(yīng)的效果，同時，更換操作簡單、便于維護(hù)催化裝置600。

優(yōu)選地，第一封堵件630上設(shè)置有與催化反應(yīng)腔611連通的第二廢氣進(jìn)管631，第二封堵件640上設(shè)置有與催化反應(yīng)腔611連通的廢氣出管641，催化反應(yīng)腔611和廢氣出管641的連通處設(shè)置有濾片643。該濾片643用于截留VOC廢氣流經(jīng)催化元件620以及氣流通孔621時所吹落的催化劑顆粒。降低了經(jīng)過催化的VOC氣體內(nèi)有害物質(zhì)的含量，同時，節(jié)約了截留的催化劑顆粒可以回收利用，減少了催化劑的使用量，節(jié)約成本。

經(jīng)過催化裝置600的VOC廢氣通入到檢測管700內(nèi)進(jìn)行檢測以判斷VOC廢氣處理是否達(dá)標(biāo)。進(jìn)一步地，檢測管700的進(jìn)氣端還與沖洗氣泵900連接。在檢測管700進(jìn)行檢測之間開啟沖洗氣泵900往檢測管700內(nèi)通入純氮?dú)?，沖洗檢測管700內(nèi)的傳感器表面可能附著的氣體，將檢測管700進(jìn)行校零，以保證檢測的結(jié)果準(zhǔn)確。同時，通過對傳感器的沖洗，減少傳感器的數(shù)量、降低成本并提高了自動化水平。

通過上述VOC廢氣處理方法，能夠快速、簡單的處理VOC廢氣，并根據(jù)VOC廢氣內(nèi)有害物質(zhì)的含量不同自動選擇進(jìn)行不同的處理，即若VOC廢氣通過電子照射管的初級處理已達(dá)標(biāo)則無需進(jìn)行后續(xù)處理，若初級處理不達(dá)標(biāo)則再繼續(xù)進(jìn)行后續(xù)處理。增強(qiáng)了VOC廢氣處理方法的應(yīng)用范圍，增大了該方法的處理量，增強(qiáng)了該方法自動化的程度。同時，該本實(shí)施例所提供的裝置結(jié)構(gòu)簡單、維護(hù)便利。

電子束法處理VOC廢氣存在一定的安全隱患、如果其中的可燃組分達(dá)到爆炸下限，在照射高能電子之后可能引起爆炸、起火等事故。

因此，為了解決這一問題，本發(fā)明還提供一種VOC廢氣處理系統(tǒng)(圖未示)，該系統(tǒng)包括紅外火焰?zhèn)鞲衅?、電控干粉滅火罐以及上述的VOC廢氣處理裝置100A。VOC廢氣處理裝置100A與紅外火焰?zhèn)鞲衅魍ㄐ胚B接，電控干粉滅火罐與紅外火焰?zhèn)鞲衅魍ㄐ胚B接。VOC廢氣處理裝置100A在紅外火焰?zhèn)鞲衅鞯谋O(jiān)測之下，一旦起火便可自動啟動滅火系統(tǒng)，電動啟動電控干粉滅火罐進(jìn)行滅火，降低了整個系統(tǒng)著火爆炸的風(fēng)險發(fā)生率，提升了VOC廢氣處理裝置100A以及VOC廢氣處理系統(tǒng)的安全性。

參見圖4，電控干粉滅火罐包括通過干粉滅火罐本體701、用于電力點(diǎn)燃的導(dǎo)火索703、慢速火藥管705、干粉滅火劑707以及噴灑預(yù)備口708。導(dǎo)火索703與慢速火藥管705的端部連接，慢速火藥管705設(shè)于干粉滅火罐本體701內(nèi)，干粉滅火劑707填滿干粉滅火罐本體701，并覆蓋慢速火藥管705。噴灑預(yù)備口708設(shè)于干粉滅火罐本體701底部。著火時，通過電力點(diǎn)燃導(dǎo)火索703，進(jìn)而引燃慢速火藥管705內(nèi)的慢速火藥，慢速火藥燃燒產(chǎn)生大量的二氧化碳?xì)怏w。由于電控干粉滅火罐密封，內(nèi)部承受的壓力受限，而隨著二氧化碳?xì)怏w增加，干粉滅火罐本體701內(nèi)部壓力增加，噴灑預(yù)備口708在較大壓力的作用下脫離干粉滅火罐本體701，進(jìn)而使得干粉滅火罐本體701內(nèi)的干粉滅火劑707噴灑出來，進(jìn)行滅火。優(yōu)選地，噴灑預(yù)備口708為干粉滅火罐本體701底部的中部鏤刻的1/3-2/3壁厚的切割痕跡。噴灑預(yù)備口708設(shè)置為方式更便于干粉滅火劑707的噴灑，噴灑節(jié)約干粉滅火劑707的時間。

進(jìn)一步地，本實(shí)施例的VOC廢氣處理系統(tǒng)采用64位ARM處理器作為控制機(jī)構(gòu)核心(博通BCM28371.2GHz四核處理器、1GB RAM和VideoCore IV GPU。)，同時兼顧手動操作，其中包括模塊化的主控板，傳感器板，提供WIFI與RJ45寬帶接口，便于實(shí)現(xiàn)網(wǎng)絡(luò)遠(yuǎn)程監(jiān)控與操作的目的，提高了管理的便捷性與安全性，節(jié)約了人員，降低成本。

第二實(shí)施例

本實(shí)施例提供的VOC廢氣處理方法的過程與第一實(shí)施例提供的VOC廢氣處理方法基本一致，不同點(diǎn)在于本實(shí)施例對于輸送VOC氣體的方式略有不同。

參見圖5，本實(shí)施例提供的VOC廢氣處理裝置100B的結(jié)構(gòu)與第一實(shí)施例提供的VOC廢氣處理裝置100A的結(jié)構(gòu)大致相同，不同點(diǎn)在于本實(shí)施例提供的VOC廢氣處理裝置100B多設(shè)置了一個氣源增壓泵910，采用不同的電子照射管400的結(jié)構(gòu)略有不同以及催化元件620結(jié)構(gòu)略有不同。

本實(shí)施例通過氣源增壓泵910對VOC廢氣進(jìn)行輸送，采用氣源增壓泵910對VOC廢氣加壓，增大冷阱200的處理量同時加快VOC廢氣流動的動力。氣源增壓泵910設(shè)于第一廢氣進(jìn)管201上，對通入VOC廢氣處理裝置100B的VOC廢氣加壓，。進(jìn)一步地，提升VOC廢氣處理方法的處理能力。

本實(shí)施例的電子照射管400為高壓電子照射管，其采用間距更大的加速極提高電子能量，防止空氣被擊穿，獲得更高的廢氣處理效果。

參見圖6，催化元件620表面設(shè)置有多個凸起結(jié)構(gòu)623，該凸起結(jié)構(gòu)623用于增大VOC廢氣與催化劑的接觸面積。需要說明的是凸起結(jié)構(gòu)623的數(shù)量可以根據(jù)催化元件620表面的大小進(jìn)行合理的設(shè)置。凸起結(jié)構(gòu)623不僅可以設(shè)置在催化元件620表面也可以設(shè)置在每個催化元件620對應(yīng)的氣流通孔621內(nèi)壁上。同時，為了增大接觸面積，不僅僅可以設(shè)置凸起結(jié)構(gòu)623，也可以設(shè)置凹陷結(jié)構(gòu)。

綜上所述，本發(fā)明經(jīng)過冷阱去除VOC廢氣中含有的苯、甲苯、苯乙烯等高濃度高沸點(diǎn)組分，降低污染物處理量。通過具有高能量的電子能夠快速有效的與過氧化氫蒸氣、水蒸氣反應(yīng)產(chǎn)生自由基并且使得自由基與廢氣能夠快速的反應(yīng)進(jìn)而去除大部分的VOC廢氣。通過提供兩種不同的電子照射管，對應(yīng)處理所需的有機(jī)物的電子的能量，增強(qiáng)了VOC廢氣處理方法的適用性和針對性，也克服了傳統(tǒng)電子槍對高真空度的需求以及時常需要更換鎢絲燈芯的缺點(diǎn)，節(jié)約了后期維護(hù)費(fèi)用。通過分階段、分次檢測VOC廢氣處理結(jié)果，能夠?qū)崟r的根據(jù)檢測結(jié)果對已處理過的VOC廢氣進(jìn)行不同的處理，提升了本方法的實(shí)用性以及針對性，同時擴(kuò)大了本方法的應(yīng)用范圍。

上所述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例而已，并不用于限制本發(fā)明，對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說，本發(fā)明可以有各種更改和變化。凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。