本實(shí)用新型涉及太陽能設(shè)備領(lǐng)域，具體涉及一種多晶硅片用吸盤夾具。

背景技術(shù)：

現(xiàn)在隨著科技的發(fā)展，使得在一些裝置上常常會用到太陽能多晶硅片，由于多晶硅片能夠在極小的面積上，集成數(shù)千萬的晶體管，工程精細(xì)極高，特別是在現(xiàn)在的微電子技術(shù)領(lǐng)域，航空航天、工業(yè)、農(nóng)業(yè)以及商業(yè)上也被廣泛應(yīng)用。

對于現(xiàn)在生產(chǎn)太陽能多晶硅片的方法中，常常需要對多晶硅片在生產(chǎn)時進(jìn)行轉(zhuǎn)移進(jìn)行進(jìn)一步加工，但是現(xiàn)在轉(zhuǎn)移多晶硅片的夾具過于粗糙，僅僅是通過機(jī)械的夾持件進(jìn)行夾持轉(zhuǎn)移，這樣會對多晶硅片的內(nèi)部結(jié)構(gòu)造成進(jìn)一步的損害，損壞率高，不僅會增加成本，還會使得制備的工期受到影響。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型主要解決的技術(shù)問題是提供一種多晶硅片用吸盤夾具。

為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型采用的一個技術(shù)方案是：一種多晶硅片用吸盤夾具，包括：支架、抽氣管和吸盤，所述抽氣管安裝在所述支架上；

所述支架內(nèi)安裝有控制芯片，所述支架頂端設(shè)有圓孔，所述抽氣管貫穿所述圓孔，所述抽氣管外壁設(shè)有齒條，所述圓孔上端安裝有電機(jī)，所述電機(jī)上安裝有齒輪；

所述吸盤與所述抽氣管相連接，所述吸盤安裝在所述抽氣管底端；

所述支架上兩對稱的垂直面上安裝有夾頭，所述夾頭上安裝有機(jī)械爪；

所述機(jī)械爪由若干連接件組成，所述機(jī)械爪上安裝有若干感應(yīng)器。

在本實(shí)用新型一個較佳實(shí)施例中，所述齒條與所述齒輪相配合。

在本實(shí)用新型一個較佳實(shí)施例中，所述控制芯片分別與所述機(jī)械爪和所述感應(yīng)器相連接。

本實(shí)用新型的有益效果是：本實(shí)用新型一種多晶硅片用吸盤夾具，該夾具能夠與多晶硅片側(cè)面貼合，使得多晶硅片在加工的過程中更加的穩(wěn)定。

附圖說明

圖1是本實(shí)用新型一種多晶硅片用吸盤夾具的主視圖。

圖2是本實(shí)用新型一種多晶硅片用吸盤夾具的仰視圖。

附圖中各部件的標(biāo)記如下：1、支架；2、抽氣管；3、吸盤；4、圓孔；5、齒條；6、電機(jī)；7、齒輪；8、夾頭；9、機(jī)械爪；10、連接件；11、感應(yīng)器；12、控制芯片。

具體實(shí)施方式

請參閱圖1和圖2，本實(shí)用新型實(shí)施例包括：一種多晶硅片用吸盤夾具，包括：支架1、抽氣管2和吸盤3，所述抽氣管2安裝在所述支架1上；

所述支架1頂端設(shè)有圓孔4，所述抽氣管2貫穿所述圓孔4，所述圓孔4用于所述抽氣管2的通過。

所述抽氣管2外壁設(shè)有齒條5，所述圓孔4上端安裝有電機(jī)6，所述電機(jī)6上安裝有齒輪7，所述齒條5與所述齒輪7相配合，使得所述抽氣管2可以上下的移動，從而將被所述吸盤3吸住的多晶硅片提起。

所述吸盤3與所述抽氣管2相連接，所述吸盤3安裝在所述抽氣管2底端，所述抽氣管2通過對所述吸盤3和多晶硅片上表面形成的空間內(nèi)抽氣，從而將多晶硅片吸起。

所述支架1上兩對稱的垂直面上安裝有夾頭8，所述夾頭8用于對多晶硅片的側(cè)面進(jìn)行夾緊。

所述夾頭8上安裝有機(jī)械爪9，所述機(jī)械爪9由若干連接件10組成，所述連接件10使得所述機(jī)械爪9可以完全貼合多晶硅片的側(cè)面。

所述機(jī)械爪9上安裝有若干感應(yīng)器11，所述支架1內(nèi)安裝有控制芯片12，所述控制芯片12分別與所述機(jī)械爪9和所述感應(yīng)器11相連接，所述感應(yīng)器11用于感應(yīng)所述連接件10與多晶硅片側(cè)面的壓強(qiáng)，避免由于壓力過大對多晶硅片造成損壞。

所述控制芯片12根據(jù)所述感應(yīng)器11傳來的壓強(qiáng)數(shù)據(jù)來控制所述機(jī)械爪9進(jìn)行夾緊度的控制。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型一種多晶硅片用吸盤夾具，該夾具能夠與多晶硅片側(cè)面貼合，使得多晶硅片在加工的過程中更加的穩(wěn)定。

以上所述僅為本實(shí)用新型的實(shí)施例，并非因此限制本實(shí)用新型的專利范圍，凡是利用本實(shí)用新型說明書及附圖內(nèi)容所作的等效結(jié)構(gòu)或等效流程變換，或直接或間接運(yùn)用在其他相關(guān)的技術(shù)領(lǐng)域，均同理包括在本實(shí)用新型的專利保護(hù)范圍內(nèi)。