一種靶材原料燒結(jié)用的燒結(jié)機(jī)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于靶材制造領(lǐng)域，具體涉及一種靶材原料燒結(jié)用的燒結(jié)機(jī)。
【背景技術(shù)】
[0002]鍍膜靶材是通過磁控濺射、多弧離子鍍或其他類型的鍍膜系統(tǒng)在適當(dāng)工藝條件下濺射在基板上形成各種功能薄膜的濺射源。其中基板經(jīng)過制粉、煅燒、燒結(jié)之后，制成基板毛料，基板毛料經(jīng)過平面磨床拋光打磨之后進(jìn)行濺射鍍膜，目前所采用的燒結(jié)工藝中用到的燒結(jié)機(jī)需要將氫氧化鈮沉淀做成方磚，然后燒結(jié)、干燥，提前制作方磚的工序復(fù)雜，費(fèi)事費(fèi)力，并且由于氫氧化鈮導(dǎo)熱性差，方磚結(jié)構(gòu)中心不易干透，容易造成開裂、干濕不均勻，影響下一步工序質(zhì)量。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型為了解決上述現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題，本實(shí)用新型提供了一種靶材原料燒結(jié)用的燒結(jié)機(jī)，能夠方便物料裝填，提高生產(chǎn)效率及生產(chǎn)質(zhì)量。
[0004]本實(shí)用新型采用的具體技術(shù)方案是:
[0005]—種靶材原料燒結(jié)用的燒結(jié)機(jī)，包括燒結(jié)爐，燒結(jié)爐為箱體結(jié)構(gòu)，燒結(jié)爐還設(shè)置有密封門，密封門與燒結(jié)爐側(cè)壁鉸接形成轉(zhuǎn)動配合，所述的燒結(jié)爐為多層結(jié)構(gòu)，其由內(nèi)向外依次為耐火磚層、保溫層及外殼，所述的燒結(jié)爐還設(shè)置有鉑銠測溫計(jì)，所述的燒結(jié)爐內(nèi)還設(shè)置有物料托盤，所述的物料托盤內(nèi)設(shè)置有一組多個(gè)的輔熱粧，輔熱粧在物料托盤內(nèi)側(cè)的底面呈矩陣排布。
[0006]所述的輔熱粧為圓柱結(jié)構(gòu)，輔熱粧中心設(shè)置有貫通孔，貫通孔與物料托盤下端面連通。
[0007]還設(shè)置有固定滑軌，固定滑軌分別設(shè)置在燒結(jié)爐內(nèi)相對的左、右側(cè)面上，固定滑軌呈C型槽體結(jié)構(gòu)，固定滑軌與物料托盤形成滑動配合。
[0008]所述的物料托盤設(shè)置有多個(gè)，多個(gè)物料托盤在燒結(jié)爐內(nèi)豎向排列。
[0009]本實(shí)用新型的有益效果是:
[0010]本實(shí)用新型，采用輔熱粧將物料托盤內(nèi)的物料貫穿，當(dāng)加熱時(shí)，借助于輔熱粧能夠使得物料受熱更加均勻，增加受熱面積，設(shè)置的固定滑軌能夠方便物料托盤的取用，便于物料裝填及取出。
【附圖說明】
[0011]圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0012]附圖中，1、燒結(jié)爐，2、密封門，3、鉑銠測溫計(jì)，4、物料托盤，5、輔熱粧，6、貫通孔，7、
固定滑軌。
【具體實(shí)施方式】
[0013]下面結(jié)合附圖及具體實(shí)施例對本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明:
[0014]具體實(shí)施例如圖1所示，本實(shí)用新型為一種靶材原料燒結(jié)用的燒結(jié)機(jī)，包括燒結(jié)爐I，燒結(jié)爐I為箱體結(jié)構(gòu)，燒結(jié)爐I還設(shè)置有密封門2，密封門2與燒結(jié)爐I側(cè)壁鉸接形成轉(zhuǎn)動配合，所述的燒結(jié)爐I為多層結(jié)構(gòu)，其由內(nèi)向外依次為耐火磚層、保溫層及外殼，所述的燒結(jié)爐I還設(shè)置有鉑銠測溫計(jì)3，所述的燒結(jié)爐I內(nèi)還設(shè)置有物料托盤4，所述的物料托盤4內(nèi)設(shè)置有一組多個(gè)的輔熱粧5，輔熱粧5在物料托盤4內(nèi)側(cè)的底面呈矩陣排布。
[0015]所述的輔熱粧5為圓柱結(jié)構(gòu)，輔熱粧5中心設(shè)置有貫通孔6，貫通孔6與物料托盤4下端面連通。
[0016]還設(shè)置有固定滑軌7，固定滑軌7分別設(shè)置在燒結(jié)爐I內(nèi)相對的左、右側(cè)面上，固定滑軌7呈C型槽體結(jié)構(gòu)，固定滑軌7與物料托盤4形成滑動配合。
[0017]作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述的物料托盤4設(shè)置有多個(gè)，多個(gè)物料托盤4在燒結(jié)爐I內(nèi)豎向排列，設(shè)置在物料托盤4上的輔熱粧5在物料托盤4安裝到位后，輔熱粧5相互貫通，即使物料托盤4密集擺放，也能保證物料中心受熱均勻。
[0018]本實(shí)用新型，采用輔熱粧將物料托盤內(nèi)的物料貫穿，當(dāng)加熱時(shí)，借助于輔熱粧能夠使得物料受熱更加均勻，增加受熱面積，設(shè)置的固定滑軌能夠方便物料托盤的取用，便于物料裝填及取出。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種靶材原料燒結(jié)用的燒結(jié)機(jī)，包括燒結(jié)爐(I)，燒結(jié)爐(I)為箱體結(jié)構(gòu)，燒結(jié)爐(I)還設(shè)置有密封門(2)，密封門(2)與燒結(jié)爐(I)側(cè)壁鉸接形成轉(zhuǎn)動配合，所述的燒結(jié)爐(I)為多層結(jié)構(gòu)，其由內(nèi)向外依次為耐火磚層、保溫層及外殼，所述的燒結(jié)爐(I)還設(shè)置有鉑銠測溫計(jì)(3)，所述的燒結(jié)爐(I)內(nèi)還設(shè)置有物料托盤(4)，其特征在于:所述的物料托盤(4)內(nèi)設(shè)置有一組多個(gè)的輔熱粧(5)，輔熱粧(5)在物料托盤(4)內(nèi)側(cè)的底面呈矩陣排布。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種靶材原料燒結(jié)用的燒結(jié)機(jī)，其特征在于:所述的輔熱粧(5)為圓柱結(jié)構(gòu)，輔熱粧(5)中心設(shè)置有貫通孔(6)，貫通孔(6)與物料托盤(4)下端面連通。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種靶材原料燒結(jié)用的燒結(jié)機(jī)，其特征在于:還設(shè)置有固定滑軌(7)，固定滑軌(7)分別設(shè)置在燒結(jié)爐(I)內(nèi)相對的左、右側(cè)面上，固定滑軌(7)呈C型槽體結(jié)構(gòu)，固定滑軌(7)與物料托盤(4)形成滑動配合。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種靶材原料燒結(jié)用的燒結(jié)機(jī)，其特征在于:所述的物料托盤(4)設(shè)置有多個(gè)，多個(gè)物料托盤(4)在燒結(jié)爐(I)內(nèi)豎向排列。
【專利摘要】本實(shí)用新型屬于靶材制造領(lǐng)域，具體涉及一種靶材原料燒結(jié)用的燒結(jié)機(jī)，包括燒結(jié)爐，燒結(jié)爐為箱體結(jié)構(gòu)，燒結(jié)爐還設(shè)置有密封門，密封門與燒結(jié)爐側(cè)壁鉸接形成轉(zhuǎn)動配合，所述的燒結(jié)爐為多層結(jié)構(gòu)，其由內(nèi)向外依次為耐火磚層、保溫層及外殼，所述的燒結(jié)爐還設(shè)置有鉑銠測溫計(jì)，所述的燒結(jié)爐內(nèi)還設(shè)置有物料托盤，所述的物料托盤內(nèi)設(shè)置有一組多個(gè)的輔熱樁，輔熱樁在物料托盤內(nèi)側(cè)的底面呈矩陣排布。本實(shí)用新型，采用輔熱樁將物料托盤內(nèi)的物料貫穿，當(dāng)加熱時(shí)，借助于輔熱樁能夠使得物料受熱更加均勻，增加受熱面積，設(shè)置的固定滑軌能夠方便物料托盤的取用，便于物料裝填及取出。
【IPC分類】F27B17/00
【公開號】CN205262187
【申請?zhí)枴緾N201521061850
【發(fā)明人】崔娜, 朱輝, 閆麗娜, 張衛(wèi), 康林杰, 郄奕
【申請人】河北東同光電科技有限公司
【公開日】2016年5月25日
【申請日】2015年12月18日