專利名稱：板狀被處理體的冷卻裝置和安裝有該裝置的熱處理系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及對(duì)基板等板狀被處理體(以下，簡(jiǎn)稱為"被處理體") 進(jìn)行冷卻的裝置和能夠從加熱至冷卻一貫地進(jìn)行的熱處理系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
為了對(duì)玻璃基板等板狀的被處理體進(jìn)行加熱處理，使用一種裝置， 其利用機(jī)械手將預(yù)先對(duì)被處理體涂敷規(guī)定的溶液并使其干燥后的被處 理體放置在裝載段上，然后利用被導(dǎo)入加熱處理室內(nèi)的熱風(fēng)進(jìn)行加熱
處理(燒制)。這種裝置被應(yīng)用于液晶顯示器(LCD: Liquid Crystal Display)、等離子體顯示器(PDP: Plasma Display)、有機(jī)EL顯示器 等平板顯示器(FPD)的制作中。
被以上述方式進(jìn)行過加熱處理后的的被處理體需要進(jìn)行冷卻，歷 來，通過放置進(jìn)行冷卻，但這種方法存在耗費(fèi)時(shí)間過多的缺點(diǎn)。因此， 向其強(qiáng)制地吹風(fēng)，在短時(shí)間內(nèi)進(jìn)行冷卻。
例如，日本專利公開公報(bào)"特開2002-71936號(hào)"公開了一種被處 理體的冷卻裝置。在該裝置中，分別設(shè)置對(duì)被處理體進(jìn)行加熱的加熱 處理槽和進(jìn)行冷卻的冷卻槽，將加熱處理結(jié)束后的被處理體從加熱處 理槽搬送至冷卻槽進(jìn)行冷卻。這種裝置的優(yōu)點(diǎn)是，當(dāng)不空留時(shí)間連續(xù) 進(jìn)行加熱處理時(shí)，由于不使加熱處理槽的溫度降低就能夠進(jìn)行冷卻， 因此能夠防止用于加熱處理槽中的能量的浪費(fèi)。
當(dāng)為分別設(shè)置加熱處理槽和冷卻槽的系統(tǒng)時(shí)，如果不能使各個(gè)槽 中的處理工序的速度相等，則全體的加熱、冷卻處理的效率變差。而 且，當(dāng)冷卻槽中的冷卻時(shí)間過長(zhǎng)時(shí)，每單位時(shí)間能夠冷卻的被處理體 的個(gè)數(shù)變少，冷卻槽的處理速度變慢，因此，為了處理大量的被處理 體不得不使冷卻槽大型化。
另外，如上述專利公開公報(bào)所示，被處理體的冷卻是通過間隔一 定距離排列被處理體，將冷卻用的空氣從一側(cè)供向被處理體之間，并
使其向另一側(cè)流動(dòng)來進(jìn)行的。因此，由于在另一側(cè)的流動(dòng)變?nèi)酰⑶?另一側(cè)的空氣溫度變高，所以，另一側(cè)的冷卻需要時(shí)間，至冷卻完成 為止的時(shí)間有變長(zhǎng)的傾向。
特別是當(dāng)被處理體為基板等精密電子零件時(shí)，由于不能利用包含 雜質(zhì)的空氣冷卻，所以必須使用帶有HEPA (高效率空氣微粒high
efficiency particulate air)過濾器的風(fēng)扇等使冷卻用的空氣流動(dòng)。為此， 由于供給的空氣的流速慢，供給量少，所以冷卻時(shí)間變長(zhǎng)。
并且，必需將加熱處理后的高溫的被處理體搬入該裝置中，冷卻 后再將它搬出。如果在保持打開冷卻槽的搬入部、搬出部的狀態(tài)下進(jìn) 行冷卻，則冷卻空氣從該開放部分向外部流出，所以另一側(cè)的空氣流 動(dòng)變慢，該部分的冷卻不充分，因此必需使冷卻時(shí)間較長(zhǎng)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種能夠?qū)Ρ粚?shí)施加熱處理后的被處理體高 效率地進(jìn)行冷卻的板狀被處理體的加熱冷卻一貫系統(tǒng)。
用于達(dá)成上述目的第一方式包括被處理體的配置部；和在配置的 被處理體的兩面中的至少任一側(cè)配置的冷卻部，上述冷卻部具備內(nèi)側(cè) 板、外側(cè)板和風(fēng)扇，在內(nèi)側(cè)板和外側(cè)板之間設(shè)置有中間空間，并使內(nèi) 側(cè)板為被處理體一側(cè)，在配置被處理體的整個(gè)區(qū)域上配置有多個(gè)連通 內(nèi)側(cè)板和外側(cè)板、且利用隔斷中間空間的筒狀體形成的第一通孔，和 貫通內(nèi)側(cè)板的第二通孔，通過使風(fēng)扇動(dòng)作形成從外側(cè)板的外部通過第 一通孔進(jìn)入內(nèi)側(cè)板的內(nèi)部，然后從第二通孔通過中間空間到達(dá)外部的 空氣的流動(dòng)，由此進(jìn)行被處理體的冷卻。
根據(jù)第一方式，通過利用風(fēng)扇強(qiáng)制地使空氣流在配置于配置被處 理體的整個(gè)區(qū)域的多個(gè)第一通孔和第二通孔中流動(dòng)，能夠在整體上均 勻地冷卻被處理體。
第二方式包括被處理體的配置部；和在配置的被處理體的兩面中 的至少任一側(cè)配置的冷卻部，上述冷卻部具備內(nèi)側(cè)板、外側(cè)板和風(fēng)扇， 在內(nèi)側(cè)板和外側(cè)板之間設(shè)置有中間空間，并使內(nèi)側(cè)板為被處理體一側(cè)， 在被處理體的整個(gè)配置區(qū)域上配置有多個(gè)連通內(nèi)側(cè)板和外側(cè)板、且利 用隔斷中間空間的筒狀體形成的第一通孔，和貫通內(nèi)側(cè)板的第二通孔，
通過使風(fēng)扇動(dòng)作形成從外部通過中間空間后從第二通孔進(jìn)入內(nèi)側(cè)板的 內(nèi)部，然后通過第一通孔到達(dá)外側(cè)板的外部的空氣的流動(dòng)，由此進(jìn)行 被處理體的冷卻。
根據(jù)第二方式，形成連通內(nèi)側(cè)板和外側(cè)板且利用隔斷中間空間的 筒狀體形成的第一通孔、和貫通內(nèi)側(cè)板的第二通孔，第一通孔和第二 通孔在配置被處理體的整個(gè)區(qū)域配置有多個(gè)，通過使風(fēng)扇動(dòng)作形成從 外部通過中間空間后從第二通孔進(jìn)入內(nèi)側(cè)板的內(nèi)部，然后通過第一通 孔到達(dá)外側(cè)板的外部的氣流，由此進(jìn)行被處理體的冷卻，因此能夠在 整體上均勻地進(jìn)行被處理體的冷卻。
第三方式的特征在于，在第一或第二方式中，在配置部設(shè)置有多 個(gè)支撐銷，將被處理體載置在支撐銷上加以配置。
根據(jù)第三方式，因?yàn)閷⒈惶幚眢w載置在多個(gè)支撐銷上進(jìn)行冷卻， 所以在冷卻時(shí)難以防礙氣流，能夠簡(jiǎn)單地進(jìn)行被處理體的配置。
在第四方式中，包括配置在被處理體的下側(cè)的作為冷卻部的下側(cè) 冷卻部，還能夠在上述下側(cè)冷卻部的內(nèi)側(cè)板的上側(cè)固定多個(gè)支撐銷。
第五方式的特征在于，在第三或第四方式中，支撐銷能夠伸縮或 上下運(yùn)動(dòng)，通過支撐銷的伸縮或上下運(yùn)動(dòng)能夠改變冷卻部與被處理體 的距離。
根據(jù)第五方式，因?yàn)橹武N能夠伸縮或上下運(yùn)動(dòng)，且利用支撐銷 的伸縮或上下運(yùn)動(dòng)能夠改變冷卻部與被處理體的距離，因此能夠根據(jù) 需要改變用于冷卻的氣流的速度，提高被處理體的搬入搬出的作業(yè)效
"第六方式的特征在于，在方式一 五中還交替地排列配置有第一 通孔和第二通孔。
根據(jù)第六方式，因?yàn)榻惶娴嘏帕信渲玫谝煌缀偷诙?，所?能夠使用于冷卻的氣流穩(wěn)定。
在第7方式中，第一通孔和第二通孔的配置為棋盤眼狀。此處，
所謂第一通孔和第二通孔的配置為棋盤眼狀是指，第一通孔和第二通 孔的配置在橫豎方向排列，在橫和豎的排列的任一個(gè)中，第一通孔和 第二通孔均交替排列。
第八方式的特征在于，在第一 第七方式中，相對(duì)的兩面開放。根據(jù)第八方式，因?yàn)橄鄬?duì)的兩面開放，所以配置部能夠從任一面 搬入被處理體，而從另一面搬出被處理體。
在第九方式中，利用進(jìn)行被處理體的加熱處理的加熱處理裝置、 第一 第八方式的被處理體冷卻裝置、和取出被進(jìn)行過加熱處理的被 處理體后將其搬入上述被處理體冷卻裝置的搬入裝置構(gòu)成熱處理系 統(tǒng)。
發(fā)明的效果
本發(fā)明的被處理體冷卻裝置雖然小型，但是能夠高效率地進(jìn)行被 處理體的冷卻。


圖1為表示本發(fā)明的第一實(shí)施方式的被處理體冷卻裝置的立體圖。
圖2為圖1所示的被處理體冷卻裝置的一部分剖開的立體圖。
圖3為表示圖1所示的被處理體冷卻裝置的內(nèi)側(cè)板和風(fēng)扇的說明圖。
圖4為圖1所示的被處理體冷卻裝置的A-A截面圖。
圖5為本發(fā)明的第二實(shí)施方式的被處理體冷卻裝置的截面圖。
圖6為本發(fā)明的第三實(shí)施方式的被處理體冷卻裝置的截面圖。
圖7為本發(fā)明的第四實(shí)施方式的被處理體冷卻裝置的截面圖。
符號(hào)說明
1、 2、 3、 4被處理體冷卻裝置
5熱處理系統(tǒng)
8被處理體冷卻組件
10冷卻部
11被處理體配置部
20上側(cè)冷卻部
21內(nèi)側(cè)板
22外側(cè)板
23中間空間
25第二通孔
28第一通孔29風(fēng)扇
30下側(cè)冷卻部 31內(nèi)側(cè)板 32外側(cè)板 33中間空間 35第二通孔 38第一通孔 39風(fēng)扇 43、 53支撐銷 90被處理體
具體實(shí)施例方式
以下，對(duì)本發(fā)明的實(shí)施例進(jìn)行說明。
如圖1、圖2所示，第一實(shí)施方式的被處理體冷卻裝置1具有由上 側(cè)冷卻部20與下側(cè)冷卻部30構(gòu)成的冷卻部10、和在上側(cè)冷卻部20 與下側(cè)冷卻部30之間形成的被處理體配置部11。板狀的被處理體90 配置在配置部11上，通過位于被處理體90的兩面上的上側(cè)冷卻部20 和下側(cè)冷卻部30進(jìn)行冷卻。
上側(cè)冷卻部20具有內(nèi)側(cè)板21和外側(cè)板22。被處理體90位于內(nèi)側(cè) 板21的下表面一側(cè)。在內(nèi)側(cè)板21與外側(cè)板22之間存在中間空間23。 內(nèi)側(cè)板21和外側(cè)板22為大小大致相同的長(zhǎng)方形狀，相對(duì)的邊21a、21b、 22a、 22b與側(cè)板40、 41接合。
如圖2所示，內(nèi)側(cè)板21具有貫通被處理體配置部11側(cè)和中間空 間23側(cè)的通孔24和25。通孔24為圓形的孔且與筒狀體26連通。另 外，通孔25為正方形狀(以下，稱為第二通孔)。
在外側(cè)板22上設(shè)置有貫通中間空間23與外部的通孔27。該通孔 27為圓形，設(shè)置在與內(nèi)側(cè)板21的通孔24對(duì)應(yīng)的位置上。通孔27與筒 狀體26連通，兩者作為一體形成第一通孔28。
該第一通孔28通過筒狀體26與中間空間23之間隔斷，連接外部 與被處理體配置部ll。在第一通孔28內(nèi)配置風(fēng)扇29。
第一通孔28和第二通孔25形成有多組，在橫豎方向交替地并排
配置，如圖3所示，整體為棋盤眼狀。而且，第一通孔28和第二通孔 25配置在配置被處理體90的整個(gè)區(qū)域上。因此，能夠利用上側(cè)冷卻部 20在整體上對(duì)被處理體90進(jìn)行冷卻。
風(fēng)扇29位于第一通孔28的內(nèi)部，利用風(fēng)扇29在該通孔28內(nèi)產(chǎn) 生氣流。在上側(cè)冷卻部20上設(shè)置有多個(gè)第一通孔28，各個(gè)通孔28中 設(shè)置有風(fēng)扇29。如圖4所示，氣流全部向著被處理體配置部11，利用 通孔28內(nèi)的風(fēng)扇29，在上側(cè)冷卻部20的全部區(qū)域中使空氣從外部流 向被處理體配置部11。
下側(cè)冷卻部30與上側(cè)冷卻部20的結(jié)構(gòu)相同，如圖l、圖2所示， 具有內(nèi)側(cè)板31、外側(cè)板32，內(nèi)側(cè)板31以位于被處理體90—側(cè)的方式 配置。并且，在內(nèi)側(cè)31和外側(cè)板32之間形成有中間空間33。
內(nèi)側(cè)板31和外側(cè)板32為長(zhǎng)方形狀，大小大致相同，相對(duì)的邊31a、 31b、 32a、 32b與側(cè)板40、 41接合。這樣，上側(cè)冷卻部20的內(nèi)側(cè)板
21、 下側(cè)冷卻部30的內(nèi)側(cè)板31和側(cè)板40、41形成一個(gè)被包圍的空間， 在該空間中形成有被處理體配置部11。并且，關(guān)于被處理體配置部11， 配置的被處理體90的板面(上面，下面)以外的相對(duì)的二個(gè)面開放， 并具有開放面lla、 llb。如圖1的箭頭所示，能夠從開放面lla、 lib 進(jìn)行被處理體90的搬入或搬出。
中間空間23、 33也分別由各自的內(nèi)側(cè)板21、 31、各自的外側(cè)板
22、 32和側(cè)板40、 41包圍，與被處理體配置部11相同的一側(cè)開放， 具有開放面23a、 23b、 33a、 33b。
在下側(cè)冷卻部30的內(nèi)側(cè)板31上具有貫通被處理體配置部11 一側(cè) 與中間空間33 —側(cè)的圓形的通孔34和正方形的通孔35，通孔35作為 第二通孔發(fā)揮作用。
在外側(cè)板32上設(shè)置有貫通中間空間33和外部的圓形的通孔37。 通孔37設(shè)置在與內(nèi)側(cè)板31的通孔34對(duì)應(yīng)的位置上，通孔34和通孔 37經(jīng)筒狀體36連通，成為第一通孔38。在第一通孔38中配置有風(fēng)扇 39。
第一通孔38和第二通孔35形成有多個(gè)，它們?cè)跈M豎方向交替地 并排配置，成為棋盤眼狀，該配置與第一通孔28和第二通孔25—致。 設(shè)置在下側(cè)冷卻部30的第一通孔38中的風(fēng)扇39也與設(shè)置在上側(cè)
冷卻部20中的風(fēng)扇29相同，均能夠在第一通孔38內(nèi)產(chǎn)生氣流。如圖 4所示，第一通孔38內(nèi)的氣流方向在所有風(fēng)扇39中均相同，為被處理 體配置部ll的方向。結(jié)果，由上側(cè)冷卻部20和下側(cè)冷卻部30的全部 風(fēng)扇29、 39產(chǎn)生的氣流的方向均為朝向被處理體配置部11的方向。
這樣，在本實(shí)施方式的冷卻部10中，當(dāng)風(fēng)扇29、 39動(dòng)作時(shí)，產(chǎn) 生從第一通孔28， 38朝向被處理體配置部11的氣流，外側(cè)板22、 32
外側(cè)的外部空氣流向被處理體配置部11。
在下側(cè)冷卻部30的內(nèi)側(cè)板31的上側(cè)，即，在被處理體配置部ll 一側(cè)配置有用于載置被處理體90的支撐銷43，并被固定在內(nèi)側(cè)板31 的上側(cè)。支撐銷43避開內(nèi)側(cè)板31的通孔34和通孔35形成有多個(gè)， 且長(zhǎng)度相同。因此，載置在支撐銷43上的被處理體卯與內(nèi)側(cè)板31平 行配置，被處理體90與內(nèi)側(cè)板31的間隔在整個(gè)區(qū)域中大致相同。
另外，由于支撐銷43的前端部分較尖，所以與被處理體90成為 近似于點(diǎn)接觸的狀態(tài)，使得與被處理體90的接觸部分較少，并且，在 冷卻時(shí)氣體與更大的面積接觸，能夠提高冷卻性。
配置的被處理體90位于冷卻部10的上側(cè)冷卻部20和下側(cè)冷卻部 30之間。由于風(fēng)扇29、 39的動(dòng)作，外部空氣從上側(cè)冷卻部20的第一 通孔28、下側(cè)冷卻部30的第一通孔38流向被處理體配置部11，朝向 被處理體90的上表面、下表面流動(dòng)，與該被處理體90的上表面、下 表面沖擊。
如圖4所示，獲取被處理體90的熱量后溫度上升的空氣從第二通 孔25、 35流向中間空間23、 33。由于第一通孔28、 38和第二通孔25、 35相鄰配置，為互相被夾住的位置關(guān)系，所以空氣幾乎不流向被處理 體配置部11的開放部分lla、 llb，主要流向中間空間23、 33 。進(jìn)一 步，空氣流向中間空間23、 33的開放面23a、 23b、 33a、 33b并被排 出。
接著，對(duì)被處理體冷卻裝置1的使用方法進(jìn)行說明。 在本實(shí)施方式的被處理體冷卻裝置1中，還同時(shí)使用圖中沒有顯
示的加熱處理裝置、搬入裝置、和搬出裝置。利用這些裝置構(gòu)成熱處
理系統(tǒng)5。
由被處理體冷卻裝置1冷卻的被處理體90被上述加熱處理裝置在高溫下進(jìn)行加熱處理，被搬入裝置從加熱處理裝置移動(dòng)至被處理體冷 卻裝置1的被處理體配置部11，冷卻后，由搬出裝置從被處理體冷卻 裝置1搬出。
關(guān)于加熱處理裝置、搬入裝置、和搬出裝置，能夠使用公知的裝 置。例如，作為加熱處理裝置能夠使用利用電加熱器等的烘烤裝置
(oven)，另外，作為搬入裝置、搬出裝置，能夠使用機(jī)械手式臂。 從開放面lla進(jìn)行搬入裝置的搬入。如圖2、圖4所示，該搬入的
剛完成加熱處理的被處理體90被載置在支撐銷43上。使風(fēng)扇29、 39
動(dòng)作，將比外側(cè)板22、 32更位于外側(cè)的外部的空氣供向內(nèi)部，由此對(duì)
被處理體90進(jìn)行冷卻。
由于外部空氣被供向被處理體90的全部區(qū)域，因此不會(huì)存在如現(xiàn)
有技術(shù)那樣，當(dāng)空氣沿被處理體90的表面流動(dòng)時(shí)下游側(cè)的冷卻能力下
降的問題，從而能夠進(jìn)行均勻的冷卻。
冷卻至規(guī)定溫度以下的被處理體卯由搬出裝置從開放面lib搬
出，之后，另一個(gè)被處理體90被搬入并被依次冷卻。關(guān)于風(fēng)扇29、 39
的動(dòng)作，既可以只在進(jìn)行冷卻的情況下使其動(dòng)作，也可以使其一直動(dòng)作。
在本實(shí)施方式的被處理體冷卻裝置1中，在設(shè)置在相互相對(duì)的位 置上的開放面lla、 11b處進(jìn)行被處理體90的搬入搬出。因此，能夠令 熱處理系統(tǒng)5中的被處理體冷卻裝置1的前后的工序的配置為直線狀， 甚至容易令整體的配置為直線狀。
也能夠僅使用開放面11a、llb中的任一個(gè)進(jìn)行被處理體90的搬入 搬出。在這種情況下，優(yōu)選將不用于被處理體90的搬入搬出的另一個(gè) 開放面lla、 llb封閉。
在熱處理系統(tǒng)5中使用的被處理體冷卻裝置1的數(shù)目既可以是一 臺(tái)，也可以是多臺(tái)。該臺(tái)數(shù)能夠由進(jìn)行冷卻的時(shí)間和每單位時(shí)間進(jìn)行 冷卻的被處理體90的個(gè)數(shù)決定。如后所述，能夠使用配置有多臺(tái)結(jié)構(gòu) 與被處理體冷卻裝置1相同的被處理體冷卻組件8的被處理體冷卻裝 置4。也能夠利用該被處理體冷卻裝置4形成熱處理系統(tǒng)5。
風(fēng)扇29、 30能夠配置在其它位置。例如，也能夠如圖5所示的第 二實(shí)施方式的被處理體冷卻裝置2那樣，采用將風(fēng)扇29、 39配置在第二通孔25、 35的中間空間23、 33—側(cè)，而不設(shè)置在第一通孔28、 38 中的結(jié)構(gòu)。然后，利用該被處理體冷卻裝置2的風(fēng)扇29、 39，能夠產(chǎn) 生從被處理體配置部11流向中間空間23、 33的氣流。由此，第二通 孔25、 35的被處理體配置部11 一側(cè)附近的壓力降低，為此，外部的 空氣從第一通孔28、 38流向被處理體配置部11，產(chǎn)生與被處理體冷卻 裝置1同樣的空氣流動(dòng)，從而能夠進(jìn)行被處理體90的冷卻。
而且，冷卻部10雖然在被處理體90的兩面上設(shè)置有上側(cè)冷卻部 20和下側(cè)冷卻部30，也可以只在任一面上設(shè)置。例如，如圖6所示的 第3實(shí)施方式的被處理體冷卻裝置3那樣，也能夠采用只設(shè)置上側(cè)冷 卻部20的結(jié)構(gòu)。而且，本實(shí)施方式的上側(cè)冷卻部20雖然與第一實(shí)施 方式的被處理體冷卻裝置1相同，但也能夠采用與第二實(shí)施方式的被 處理體冷卻裝置2為相同的結(jié)構(gòu)的裝置。
在被處理體冷卻裝置3中設(shè)置有多個(gè)用于載置被處理體90的支撐 銷53，該支撐銷53能夠伸縮。而且，通過使支撐銷53伸縮，能夠改 變冷卻部IO (上側(cè)冷卻部20)與被處理體90的距離。
當(dāng)使支撐銷53伸出時(shí)，上側(cè)冷卻部20和被處理體90的距離接近， 能夠使從外部供給的冷卻用的空氣流動(dòng)加快。并且，因?yàn)槟軌蛟龃蟊?處理體90的下側(cè)的間隙，所以能夠使搬入被處理體90的作業(yè)變得容 易。
在被處理體冷卻裝置3中設(shè)置傳送滾輪50，該傳送滾輪50能夠進(jìn) 行冷卻后的被處理體卯的搬入、搬出。傳送滾輪50具有軸部51和滾 子部52。轉(zhuǎn)動(dòng)軸部51，使得滾子部52轉(zhuǎn)動(dòng)，由此，滾子部52上的被 處理體90移動(dòng)，從而進(jìn)行被處理體90的搬入、搬出。
因?yàn)楸緦?shí)施方式的被處理體冷卻裝置3的支撐銷53能夠伸縮，所 以在冷卻后，使支撐銷53縮回至被處理體90與滾子部52接觸的程度， 由此，能夠使得在冷卻時(shí)滾子部52與被處理體卯不接觸，在搬送時(shí) 使被處理體90可靠地與滾子52接觸。
并且，如果能夠使載置在支撐銷53上的被處理體90上下運(yùn)動(dòng)， 則支撐銷53即使不能夠伸縮也可。在這種情況下，通過使支撐銷53 自身上下運(yùn)動(dòng)，能夠改變上側(cè)冷卻部20與被處理體90的距離，使被 處理體90與滾子部52為接觸或不接觸狀態(tài)。例如，使位于支撐銷53的下側(cè)且固定支撐銷53的板部件60升降， 由此能夠通過板部件60的升降使支撐銷53上下運(yùn)動(dòng)。
在被處理體冷卻裝置1、 2、 3中，冷卻用的空氣從外部向被處理 體配置部11流入，這種流入在第一通孔28、 38的外側(cè)板22、 32 —側(cè)， 在被處理體冷卻裝置1、 2、 3的整體的上表面和下表面。因此，能夠 在該面上配置過濾器等，使從外部流入的空氣成為雜質(zhì)少的空氣。并 且，通過在過濾器與外側(cè)板22、 32之間設(shè)置間隙來配置過濾器，能夠 采用面積大的過濾器，能夠使通過過濾器時(shí)的阻力較小。
在開放面23a 、 23b、 33a、 33b上設(shè)置用于排氣的裝置，能夠強(qiáng) 制地排出因被處理體卯的冷卻而被加熱的空氣。例如，作為該用于排 氣的裝置，能夠使用橫流扇等。
在被處理體冷卻裝置l、 2、 3中，通過使風(fēng)扇29、 39動(dòng)作，形成 以下氣流進(jìn)行被處理體90的冷卻，g卩，從外側(cè)板22的外部通過第一 通孔28、 38進(jìn)入內(nèi)側(cè)板21、 31的內(nèi)部的被處理體配置部11，再從第 二通孔25、 35通過中間空間23、 33到達(dá)外部的氣流，但也可以使風(fēng) 扇29、 39逆旋轉(zhuǎn)，產(chǎn)生與上述氣流相反的流動(dòng)，從而進(jìn)行被處理體90 的冷卻。具體而言，形成從外部通過中間空間23、 33，再從第二通孔 25、 28進(jìn)入內(nèi)側(cè)板的內(nèi)部的被處理體配置部11，然后通過第一通孔， 流向外側(cè)板22、 32的外部的流動(dòng)，由此進(jìn)行被處理體90的冷卻。而 且，在這種情況下，被處理體冷卻裝置l、 2、 3能夠采用相同的結(jié)構(gòu)。
另外，能夠使用圖7所示的第4實(shí)施方式的被處理體冷卻裝置4， 進(jìn)行被處理體90的冷卻。被處理體冷卻裝置4包括多個(gè)被處理體冷卻 組件8，能夠利用各個(gè)被處理體冷卻組件8冷卻被處理體90。該被處 理體冷卻組件8使用與上述被處理體冷卻裝置1為相同結(jié)構(gòu)的裝置， 設(shè)置有上側(cè)冷卻部20和下側(cè)冷卻部30。利用上側(cè)冷卻部20和下側(cè)冷 卻部30對(duì)被處理體90進(jìn)行冷卻。并且，被處理體90配置在支撐銷43 上。
被處理體冷卻裝置4還包括排氣部61、配管部62、排氣管(duct) 63、冷卻裝置65，強(qiáng)制地對(duì)因被處理體90的冷卻而被加熱的空氣進(jìn)行 排氣，成為能夠進(jìn)行冷卻的結(jié)構(gòu)。排氣部61設(shè)置在被處理體冷卻組件 8 (被處理體冷卻裝置1)的上側(cè)冷卻部20、下側(cè)冷卻部30的開放面
23b、 33b—側(cè)。排氣部61的內(nèi)部為空洞狀，通過開放面23b、 33b與 內(nèi)部空間23、 33連接。
各排氣部61與配管部62連接合流，并與排氣管63連接。而且， 排氣管63與冷卻裝置65連接。冷卻裝置65為能夠冷卻空氣的裝置。 本實(shí)施方式的冷卻裝置65為水冷型。當(dāng)使排氣管63工作時(shí)，能夠吸 引配管部62的空氣向冷卻裝置65移動(dòng)。因此，因被處理體90的冷卻 而被加熱的高溫的空氣從內(nèi)部空間23、 33通過配管部62、排氣管63 進(jìn)入冷卻裝置65，被冷卻裝置65冷卻，冷卻后的空氣被從排出口 65a 排出。
從排出口 65a排出的空氣能夠被再次利用于被處理體90的冷卻 中。因此，即使在潔凈室等中使用被處理體冷卻裝置4的情況下，也 能夠反復(fù)使用清潔度高的空氣，還能夠防止室溫上升。
在被處理體冷卻裝置4的本體部66中，與各個(gè)被處理體冷卻組件 8對(duì)應(yīng)地形成有搬入搬出部66a，能夠從該搬入搬出部66a進(jìn)行被處理 體90的搬入搬出。
這樣，因?yàn)樵诒惶幚眢w冷卻裝置4中具有多個(gè)被處理體冷卻組件 8，所以能夠同時(shí)進(jìn)行多個(gè)被處理體90的冷卻。并且，因?yàn)槟軌蚣?排出因冷卻被處理體90而被加熱的空氣，且能夠利用冷卻裝置65對(duì) 其進(jìn)行冷卻，所以能夠防止周圍的溫度升高。
權(quán)利要求
1.一種被處理體冷卻裝置，其特征在于，包括配置作為冷卻對(duì)象的被處理體的配置部；和在配置的被處理體的兩面中的至少一側(cè)配置的冷卻部，所述冷卻部具備內(nèi)側(cè)板、外側(cè)板和風(fēng)扇，在內(nèi)側(cè)板和外側(cè)板之間設(shè)置有中間空間，并使內(nèi)側(cè)板為被處理體一側(cè)，在配置被處理體的整個(gè)區(qū)域上配置有多個(gè)連通內(nèi)側(cè)板和外側(cè)板、且利用隔斷中間空間的筒狀體形成的第一通孔，和貫通內(nèi)側(cè)板的第二通孔，通過使風(fēng)扇動(dòng)作形成從外側(cè)板的外部通過第一通孔進(jìn)入內(nèi)側(cè)板的內(nèi)部，然后從第二通孔通過中間空間到達(dá)外部的空氣的流動(dòng)，由此進(jìn)行被處理體的冷卻。
2. —種被處理體冷卻裝置，其特征在于，包括 配置作為冷卻對(duì)象的被處理體的配置部；和在配置的被處理體的兩面中的至少一側(cè)配置的冷卻部，所述冷卻部具備內(nèi)側(cè)板、外側(cè)板和風(fēng)扇， 在內(nèi)側(cè)板和外側(cè)板之間設(shè)置有中間空間，并使內(nèi)側(cè)板為被處理體在配置被處理體的整個(gè)區(qū)域上配置有多個(gè)連通內(nèi)側(cè)板和外側(cè)板、 且利用隔斷中間空間的筒狀體形成的第一通孔，和貫通內(nèi)側(cè)板的第二 通孔，通過使風(fēng)扇動(dòng)作形成從外部通過中間空間后從第二通孔進(jìn)入內(nèi) 側(cè)板的內(nèi)部，然后通過第一通孔到達(dá)外側(cè)板的外部的空氣的流動(dòng)，由 此進(jìn)行被處理體的冷卻。
3. 如權(quán)利要求1或2所述的被處理體冷卻裝置，其特征在于在被處理體配置部設(shè)置有多個(gè)支撐銷，在該支撐銷上載置有被處 理體。
4. 如權(quán)利要求3所述的被處理體冷卻裝置，其特征在于在被處理體的下側(cè)設(shè)置有下側(cè)冷卻部，在該下側(cè)冷卻部的內(nèi)側(cè)板的上表面固定有多個(gè)支撐銷。
5. 如權(quán)利要求3或4所述的被處理體冷卻裝置，其特征在于 支撐銷能夠伸縮或上下運(yùn)動(dòng)，通過支撐銷的伸縮或上下運(yùn)動(dòng)能夠改變冷卻部與被處理體的距離。
6. 如權(quán)利要求1 5中任一項(xiàng)所述的被處理體冷卻裝置，其特征在于第一通孔和第二通孔交替地排列配置。
7. 如權(quán)利要求6所述的被處理體冷卻裝置，其特征在于 第一通孔和第二通孔的配置為棋盤眼狀。
8. 如權(quán)利要求1 7中任一項(xiàng)所述的被處理體冷卻裝置，其特征在于被處理體配置部的相對(duì)的兩面開放。
9. 一種熱處理系統(tǒng)，其特征在于，包括 進(jìn)行被處理體的加熱處理的加熱處理裝置； 權(quán)利要求1 8中任一項(xiàng)所述的被處理體冷卻裝置；和取出被進(jìn)行過加熱處理的被處理體后將其搬入所述被處理體冷卻 裝置的搬入裝置。
全文摘要
本發(fā)明提供板狀被處理體的冷卻裝置和安裝有該裝置的熱處理系統(tǒng)。板狀被處理體冷卻裝置(1)包括板狀被處理體(90)的配置部(11)和由上側(cè)冷卻部(20)與下側(cè)冷卻部(30)構(gòu)成的冷卻部。上側(cè)冷卻部(20)和下側(cè)冷卻部(30)配置在被處理體配置部(11)的上下，并設(shè)置有內(nèi)側(cè)板(21、31)、外側(cè)板(22、32)和風(fēng)扇(29、39)。在整個(gè)區(qū)域上形成有連通內(nèi)側(cè)板(21、31)和外側(cè)板(22、32)、且利用筒狀體(26、36)而形成的第一通孔(28、38)，和貫通內(nèi)側(cè)板(21、31)的第二通孔(25、35)。使風(fēng)扇(29、39)動(dòng)作，使外部空氣通過第一通孔(28、38)后冷卻被處理體90，然后使其從第二通孔(25、35)通過中間空間(23、33)后排向外部。
文檔編號(hào)F27D15/00GK101338976SQ20081013031
公開日2009年1月7日 申請(qǐng)日期2008年7月4日 優(yōu)先權(quán)日2007年7月6日
發(fā)明者神田敏朗 申請(qǐng)人:愛斯佩克株式會(huì)社