層間運(yùn)送設(shè)備的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及在多層之間運(yùn)送物品的層間運(yùn)送設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]在日本國特開2009 — 137675號(hào)公報(bào)中，公開了在多層(上層、下層)設(shè)有基板的處理裝置的半導(dǎo)體處理設(shè)備中，將收容基板的容器作為運(yùn)送對(duì)象的物品的層間運(yùn)送設(shè)備。在該層間運(yùn)送設(shè)備中，升降運(yùn)送裝置在多層之間運(yùn)送該物品。在層間運(yùn)送設(shè)備中，具備作為支撐向上層和下層運(yùn)入的物品的運(yùn)入用載貨臺(tái)，以及作為支撐從上層和下層運(yùn)出的物品的運(yùn)出用載貨臺(tái)的物品支撐部。在上層和下層還設(shè)有用于預(yù)先暫時(shí)保管物品的物品收納部。在升降運(yùn)送裝置中，具備物品支撐部，物品收納部，以及能夠在升降運(yùn)送裝置相互之間移載物品的移載裝置(圖1?圖3、
[0021]、
[0026]等)。另外，物品收納部用于在遍及多層地運(yùn)送物品的情況下，因相對(duì)于各層上的物品的處理時(shí)機(jī)的不同等而在某一層收到的物品不能夠立即向其它層交接的情況下，預(yù)先暫時(shí)保管物品。日本國特開2009 - 137675號(hào)公報(bào)的層間運(yùn)送設(shè)備是僅具備一個(gè)單位運(yùn)送設(shè)備的例子，該單位運(yùn)送設(shè)備具備升降運(yùn)送裝置和物品支撐部與物品收納部的。
[0003]這樣，在僅具備一個(gè)單位運(yùn)送設(shè)備的情況下，若該單位運(yùn)送設(shè)備的升降運(yùn)送裝置發(fā)生故障，則產(chǎn)生不能夠在多層之間運(yùn)送物品的事態(tài)。例如，如果是半導(dǎo)體處理設(shè)備的層間運(yùn)送設(shè)備，則存在不能夠繼續(xù)半導(dǎo)體的生產(chǎn)的可能性。為了避免這種事態(tài)，考慮具備多個(gè)單位運(yùn)送設(shè)備。但是，即使在設(shè)置了多個(gè)單位運(yùn)送設(shè)備的情況下，雖然能夠繼續(xù)多層之間的物品的運(yùn)送，但存在保管在與發(fā)生了故障的升降運(yùn)送裝置相對(duì)應(yīng)的物品收納部中的物品留在該保管用載貨臺(tái)上的可能性。
[0004]為此，希望實(shí)現(xiàn)即使升降運(yùn)送裝置發(fā)生了故障，也能夠維持層間運(yùn)送設(shè)備的運(yùn)送功能，而且物品不會(huì)留在暫時(shí)保管用的收納部中的層間運(yùn)送設(shè)備。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]作為一個(gè)技術(shù)方案，在多層之間運(yùn)送物品的層間運(yùn)送設(shè)備具備:遍及前述多層的多個(gè)升降路徑；和多個(gè)升降運(yùn)送裝置，分別沿著前述多個(gè)升降路徑升降，在前述多層之間運(yùn)送前述物品；
各升降運(yùn)送裝置具有:物品運(yùn)送用的升降體，沿著各升降路徑升降自如；和移載裝置，與前述升降體一體地升降，并且在各層上在支撐前述物品的載貨臺(tái)與各升降運(yùn)送裝置之間移載運(yùn)送對(duì)象的前述物品；
前述載貨臺(tái)包括:運(yùn)入用載貨臺(tái)，支撐向各層運(yùn)入的物品；運(yùn)出用載貨臺(tái)，支撐從各層運(yùn)出的物品；和保管用載貨臺(tái)，在各層暫時(shí)保管運(yùn)送對(duì)象的物品；
前述運(yùn)入用載貨臺(tái)以及前述運(yùn)出用載貨臺(tái)在各層上設(shè)在能夠在與一個(gè)前述移載裝置之間移載前述物品的位置，
前述保管用載貨臺(tái)在各層上設(shè)在能夠在與所有的前述移載裝置之間移載前述物品的位置。
[0006]S卩、由于升降運(yùn)送裝置設(shè)有多個(gè)，所以即使在該多個(gè)升降運(yùn)送裝置中的某一個(gè)發(fā)生了故障，也能夠由未發(fā)生故障的升降運(yùn)送裝置繼續(xù)運(yùn)送，維持系統(tǒng)的運(yùn)送功能。此外，由于保管用載貨臺(tái)成為多個(gè)升降路徑的所有升降運(yùn)送裝置中的前述移載裝置的移載對(duì)象，所以即使某一個(gè)升降運(yùn)送裝置發(fā)生了故障，也能夠由其它的升降運(yùn)送裝置取出由該保管用載貨臺(tái)支撐的物品。因此，物品不會(huì)留在保管用載貨臺(tái)上。這樣，根據(jù)本結(jié)構(gòu)，能夠?qū)崿F(xiàn)即使升降運(yùn)送裝置發(fā)生了故障，也能夠維持層間運(yùn)送設(shè)備的運(yùn)送功能，而且物品不會(huì)留在保管用載貨臺(tái)上的層間運(yùn)送設(shè)備。
[0007]作為一個(gè)技術(shù)方案，優(yōu)選的是，層間運(yùn)送設(shè)備設(shè)有對(duì)前述多個(gè)升降運(yùn)送裝置的工作進(jìn)行控制的控制部，前述控制部執(zhí)行排他移載控制，在同一層上使前述多個(gè)移載裝置中的一個(gè)進(jìn)行相對(duì)于前述保管用載貨臺(tái)的移載工作的期間，禁止其它的前述移載裝置相對(duì)于該保管用載貨臺(tái)的移載工作。
[0008]S卩、由于在多個(gè)移載裝置中的一個(gè)進(jìn)行相對(duì)于其保管用載貨臺(tái)的移載工作的期間，其它的移載裝置不進(jìn)行相對(duì)于其保管用載貨臺(tái)的移載工作，所以多個(gè)移載裝置不會(huì)同時(shí)相對(duì)于同一個(gè)保管用載貨臺(tái)進(jìn)行移載工作。因此，能夠以不發(fā)生與其它的移載裝置或者其它的移載裝置所支撐的物品的干涉的狀態(tài)恰當(dāng)?shù)剡M(jìn)行物品相對(duì)于保管用載貨臺(tái)的移載。
[0009]作為一個(gè)技術(shù)方案，優(yōu)選的是，層間運(yùn)送設(shè)備在多個(gè)前述升降運(yùn)送裝置的每一個(gè)上設(shè)有接近檢測傳感器，檢測其它的升降運(yùn)送裝置中的移載裝置的接近，在同一層上使多個(gè)前述移載裝置移載工作的情況下，前述控制部基于針對(duì)該多個(gè)移載裝置的前述升降運(yùn)送裝置中的至少一個(gè)升降運(yùn)送裝置的前述接近檢測傳感器的檢測信息，執(zhí)行對(duì)多個(gè)前述升降運(yùn)送裝置的工作進(jìn)行控制的干涉避免控制，以避免在同一層上移載工作的多個(gè)前述移載裝置彼此的干涉。
[0010]通過基于接近檢測傳感器的檢測信息對(duì)多個(gè)升降運(yùn)送裝置的工作進(jìn)行控制，能夠恰當(dāng)?shù)乇苊舛鄠€(gè)移載裝置彼此的干涉。因此，在同一層使移載裝置移載工作時(shí)多個(gè)升降運(yùn)送裝置中的移載裝置相互接近的情況下，能夠恰當(dāng)?shù)乇苊膺@些裝置發(fā)生干涉的事態(tài)。
[0011]作為一個(gè)技術(shù)方案，優(yōu)選的是，層間運(yùn)送設(shè)備在設(shè)置有前述保管用載貨臺(tái)的各層設(shè)有分隔體，將一個(gè)特定的前述升降運(yùn)送裝置所具有的前述移載裝置進(jìn)行物品的移載的情況下的工作區(qū)域分隔成從沿著前述升降路徑的方向俯視觀察為前述保管用載貨臺(tái)所在的區(qū)域，和該特定的升降運(yùn)送裝置所在的區(qū)域，前述分隔體在對(duì)前述工作區(qū)域進(jìn)行分隔的作用狀態(tài)和不對(duì)前述工作區(qū)域進(jìn)行分隔的非作用狀態(tài)之間切換自如，并且前述分隔體設(shè)成在前述作用狀態(tài)下容許與前述特定的升降運(yùn)送裝置不同的其它的前述升降運(yùn)送裝置所具有的前述移載裝置進(jìn)行的物品相對(duì)于前述保管用載貨臺(tái)的移載。
[0012]例如，有作業(yè)者進(jìn)行特定的升降運(yùn)送裝置的保養(yǎng)作業(yè)的情況。此時(shí)，通過預(yù)先使分隔體為作用狀態(tài)，能夠防止作業(yè)者無意識(shí)地侵入與成為保養(yǎng)作業(yè)對(duì)象的特定的升降運(yùn)送裝置鄰接的升降運(yùn)送裝置的移載裝置的工作區(qū)域。即、這樣一來，能夠確保保養(yǎng)作業(yè)的安全性。
[0013]作為一個(gè)技術(shù)方案，優(yōu)選的是，層間運(yùn)送設(shè)備中，前述多個(gè)移載裝置的每一個(gè)具備支撐運(yùn)送對(duì)象的物品的移載用支撐體，設(shè)在前述升降路徑鄰接的前述升降運(yùn)送裝置中的至少兩臺(tái)升降運(yùn)送裝置中一方的前述升降運(yùn)送裝置上的前述移載裝置作為前述移載用支撐體具備以第1姿勢支撐物品的第1移載用支撐體，設(shè)在另一方的前述升降運(yùn)送裝置上的前述移載裝置作為前述移載用支撐體具備以與前述第1姿勢不同的第2姿勢支撐物品的第2移載用支撐體，在設(shè)在前述一方的前述升降運(yùn)送裝置上的前述移載裝置移載物品的情況，和設(shè)在前述另一方的前述升降運(yùn)送裝置上的前述移載裝置移載物品的情況的雙方，前述至少兩臺(tái)的升降運(yùn)送裝置所具有的移載裝置的任一個(gè)均能夠移載物品的前述保管用載貨臺(tái)以相同的姿勢支撐物品。
[0014]此外，作為一個(gè)技術(shù)方案，層間運(yùn)送設(shè)備優(yōu)選是分別設(shè)在前述升降路徑鄰接的前述升降運(yùn)送裝置中的至少兩臺(tái)升降運(yùn)送裝置上的兩臺(tái)前述移載裝置隔著該兩臺(tái)移載裝置所兼用的保管用載貨臺(tái)配置在對(duì)稱的位置，物品在該兩臺(tái)移載裝置中的一方朝向前表面一側(cè)地載置，在另一方朝向后表面一側(cè)地載置。
[0015]根據(jù)該結(jié)構(gòu)，在層間運(yùn)送設(shè)備中，作為保管用載貨臺(tái)具備能夠以單一的姿勢支撐物品的保管載貨臺(tái)即可。在具備多個(gè)升降運(yùn)送裝置所具有的移載裝置共同利用的保管用載貨臺(tái)的情況下，無需因由第1移載用支撐體支撐物品的情況和由第2移載用支撐體支撐物品的情況的不同而切換保管用載貨臺(tái)的姿勢。換句話說，這樣，與能夠切換保管用載貨臺(tái)的姿勢地構(gòu)成的情況相比，通過本結(jié)構(gòu)能夠謀求保管用載貨臺(tái)的結(jié)構(gòu)簡潔化。
[0016]此外，即使在針對(duì)多個(gè)升降路徑的每一個(gè)設(shè)置的升降運(yùn)送裝置存在3臺(tái)以上的情況下，作為該多個(gè)升降運(yùn)送裝置具備如下的升降運(yùn)送裝置，即具備第1移載用支撐體的升降運(yùn)送裝置，和具備第2移載用支撐體的升降運(yùn)送裝置，作為該3臺(tái)以上的升降運(yùn)送裝置的每一個(gè)中的移載裝置均移載的對(duì)象的保管用載貨臺(tái)以相同的姿勢支撐作為具備第1移載用支撐體的移載裝置移載的對(duì)象的物品，和作為具備第2移載用支撐體的移載裝置移載的對(duì)象的物品，如上所述，與構(gòu)成為切換保管用載貨臺(tái)的姿勢的情況相比，能夠謀求保管用載貨臺(tái)的結(jié)構(gòu)簡潔化。
[0017]層間運(yùn)送設(shè)備的進(jìn)一步的特征和優(yōu)點(diǎn)根據(jù)針對(duì)參照附圖所說明的實(shí)施方式的以下的記載而明確。
【附圖說明】
[0018]圖1是層間運(yùn)送設(shè)備的整體立體圖；
圖2是層間運(yùn)送設(shè)備的主要部分俯視圖；
圖3是表示鄰接的兩個(gè)升降運(yùn)送裝置和保管用載貨臺(tái)的位置關(guān)系的俯視圖；
圖4是表示容器授受時(shí)的載貨用支撐體與移載用支撐體的位置關(guān)系的俯視圖；
圖5是表示障礙物傳感器的檢測作用的示意圖；
圖6是表示將容器支撐在保管用載貨臺(tái)上的狀態(tài)的附圖；
圖7是控制框圖；
圖8是表示干涉避免控制的流程圖；
圖9是表示第2升降運(yùn)送裝置中發(fā)生了故障時(shí)的擋板的工作的附圖；
圖10是表示別的實(shí)施方式中的層間運(yùn)送設(shè)備的結(jié)構(gòu)的俯視圖；