技術編號：9558642
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及在多層之間運送物品的層間運送設備。背景技術在日本國特開2009 — 137675號公報中，公開了在多層(上層、下層)設有基板的處理裝置的半導體處理設備中，將收容基板的容器作為運送對象的物品的層間運送設備。在該層間運送設備中，升降運送裝置在多層之間運送該物品。在層間運送設備中，具備作為支撐向上層和下層運入的物品的運入用載貨臺，以及作為支撐從上層和下層運出的物品的運出用載貨臺的物品支撐部。在上層和下層還設有用于預先暫時保管物品的物品收納部。在升降運送...
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