專利名稱：基板處理裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種利用各種藥液對基板進(jìn)行處理時，可減少藥液損失的基板處理裝置。
背景技術(shù)：
眾所周知，用于制造平板顯示元件用基板的光刻作業(yè)，大致由光刻膠涂覆工藝與蝕刻工藝構(gòu)成。這種光刻膠涂覆工藝和蝕刻工藝，大部分通過將各種藥液(例如顯影液、蝕刻液、 剝離液)噴射或涂布在基板上的方式來進(jìn)行，且在具備腔室的腔室裝置內(nèi)進(jìn)行，所述腔室可以容納基板。所述腔室裝置包括回收單元和排氣單元。所述回收單元連接在腔室上，以便從腔室回收基板處理中使用過的藥液。所述排氣單元連接在腔室，對腔室進(jìn)行排氣的同時均勻地維持腔室的內(nèi)部壓力。尤其，所述排氣單元在排氣通道的一側(cè)具備常規(guī)的過濾器，在對腔室進(jìn)行排氣時， 可通過過濾器直接過濾出包含在氣體中的霧狀藥液。這樣，通過所述排氣單元對腔室進(jìn)行排氣時，可最大限度地減少由于所排出的氣體中含有霧狀藥液而產(chǎn)生的藥液損失。然而，如此以堵截排氣單元的排氣通道一側(cè)的狀態(tài)設(shè)置過濾器，并用該過濾器從氣體中過濾出霧狀藥液的方式存在各種缺陷。尤其，若以堵截排氣通道一側(cè)的狀態(tài)設(shè)置過濾器，則通過吸力對腔室內(nèi)部進(jìn)行排氣時，會降低吸力，從而無法得到滿意的排氣效率。而且，通過過濾器過濾的藥液大部分以附著狀態(tài)停留在過濾器表面，因而可能會導(dǎo)致藥液回收率顯著下降的現(xiàn)象。況且，如果過濾器表面處于藥液附著的狀態(tài)，則對腔室進(jìn)行排氣時，會進(jìn)一步加劇吸力損失。另外，對消耗性過濾器的維修會占用過多的時間和費用。出現(xiàn)上述問題是由于采用了直接在排氣單元的排氣通道一側(cè)設(shè)置過濾器，使氣體通過該過濾器的狀態(tài)流動，以過濾出霧狀藥液的結(jié)構(gòu)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是為了解決上述問題而提出的，其目的在于提供一種基板處理裝置，在對腔室進(jìn)行排氣時，能夠以形成旋風(fēng)氣流的狀態(tài)，使氣體流動的同時輕易地過濾出包含在氣體中的霧狀藥液。為了達(dá)到上述目的而提供的本發(fā)明的基板處理裝置，包括腔室殼體，其具備可容納基板的腔室；藥液供給單元，其可向位于所述腔室殼體的腔室內(nèi)的基板供給藥液；
藥液回收單元，其包括連接在所述腔室殼體上的回收管，可回收由所述藥液供給單元供給的藥液；排氣單元，其包括連接在所述腔室殼體上的排氣管，可通過吸力對所述腔室殼體的腔室內(nèi)部進(jìn)行排氣；霧體分離單元，其連接在所述排氣單元的排氣管一側(cè)，讓氣體以旋風(fēng)氣流的狀態(tài)流過的同時過濾出包含在氣體中的霧狀藥液。具有如上結(jié)構(gòu)的本發(fā)明不僅具備藥液供給單元，而且具備藥液回收單元及排氣單元，因此在可進(jìn)行排氣及回收藥液的腔室內(nèi)，能夠通過向基板涂布或噴射藥液的方式，輕易地進(jìn)行基板處理作業(yè)。進(jìn)而，本發(fā)明具備與所述排氣單元對應(yīng)的霧體分離單元，由此對腔室殼體的腔室進(jìn)行排氣時，能夠以形成旋風(fēng)氣流的方式，使氣體流動的同時過濾出包含在氣體中的霧狀藥液，從而輕易地進(jìn)行回收，以便能夠再使用。特別是通過所述霧體分離單元，可以改善具有例如以直接堵截排氣通道一側(cè)的狀態(tài)設(shè)置過濾器，并用該過濾器直接過濾出霧狀藥液的排氣結(jié)構(gòu)的以往基板處理裝置。


圖。
圖1是根據(jù)本發(fā)明一實施例的基板處理裝置整體結(jié)構(gòu)的概略圖。 圖2至圖4是用來說明根據(jù)本發(fā)明一實施例的霧體分離單元的詳細(xì)結(jié)構(gòu)及作用的
圖中附圖標(biāo)記 2 腔室殼體 8 排氣單元 A:氣體
4 藥液供給單元 10 霧體分離單元 W 藥液
6 藥液回收單元 G:基板 Wl 霧體
具體實施例方式下面，參照附圖詳細(xì)地說明本發(fā)明的優(yōu)選實施例。在所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員能夠?qū)嵤┍景l(fā)明的范圍內(nèi)，對本發(fā)明的實施例進(jìn)行說明。 本發(fā)明的實施例可以變更為其他各種形式，因此本發(fā)明的權(quán)利要求范圍并不局限于下述實施例。圖1是根據(jù)本發(fā)明一實施例的基板處理裝置整體結(jié)構(gòu)的概略圖，其中附圖標(biāo)記2 表示腔室殼體。所述腔室殼體2可按常規(guī)的箱體形式構(gòu)成，且內(nèi)部具備可容納基板G的腔室C。所述腔室殼體2可具有以下結(jié)構(gòu)例如，通過常規(guī)的傳送裝置M如輥式輸送機(jī)，將基板G從一側(cè)傳送到另一側(cè)，從而供給到所述腔室C內(nèi)或者排出到外部。根據(jù)本發(fā)明一實施例的所述基板處理裝置包括藥液供給單元4，其向基板G供給藥液W ；藥液回收單元6，其用于回收由該藥液供給單元4供給的藥液W。再如圖1所示，所述藥液供給單元4可包括噴嘴附，其與基板G相對應(yīng)地配置在所述腔室殼體2內(nèi)；藥液供給罐N2，其可向所述噴嘴m供給藥液W。所述噴嘴m例如以向配置于所述腔室殼體2內(nèi)的基板G的一面(上面)噴射或涂布藥液W的狀態(tài)配置在所述腔室C內(nèi)。所述藥液供給罐N2可按常規(guī)的儲液罐形式構(gòu)成，以便裝藥液W，且配置在所述腔室殼體2的外側(cè)。所述藥液供給罐N2中，例如可盛裝有用于進(jìn)行基板G的顯影或蝕刻、剝離作業(yè)等的藥液W。如圖1所示，所述藥液供給罐N2與所述噴嘴附之間由供給管N3相連接，而且雖然未圖示，可設(shè)置成所述藥液供給罐N2的藥液通過常規(guī)液壓泵的抽吸作用，通過供給管N3 供給到所述噴嘴W。如此通過液壓泵的抽吸作用供給流體(藥液)的結(jié)構(gòu)，是所屬領(lǐng)域中常用的結(jié)構(gòu)， 因此省略其詳細(xì)說明。根據(jù)上述藥液供給單元4的結(jié)構(gòu)，所述噴嘴m可從藥液供給罐N2供給得到藥液 W，并向基板G噴射或者涂布藥液W。所述藥液回收單元6可包括回收管Rl，其一端連接在所述腔室殼體2上，以從所述腔室殼體2的腔室C回收藥液W ；藥液回收罐R2，其與所述回收管Rl的另一端相連，用于盛裝回收的藥液W。如圖1所示，所述回收管Rl優(yōu)選連接在所述腔室殼體2的腔室C底面。如此連接所述回收管Rl，可使積聚在所述腔室C底面的藥液W順著所述回收管Rl 落下且被排出。所述藥液回收單元6可設(shè)置成能夠把從所述腔室C回收的藥液W重新供給到所述藥液供給單元4。例如如圖1所示，用連接管R3連接所述藥液回收罐R2和所述藥液供給罐N2之間， 并且雖然在圖中未表示，在所述連接管R3的一側(cè)可設(shè)置常規(guī)的液壓泵。如此一來，可通過液壓泵的抽吸作用，將盛裝于所述藥液回收罐R2的藥液W再次供給到所述藥液供給罐N2。根據(jù)上述藥液回收單元6的結(jié)構(gòu)，當(dāng)于所述腔室殼體2通過藥液供給單元4噴射或者涂布藥液以進(jìn)行基板G的處理作業(yè)時，能夠把積聚在所述腔室C底面的藥液回收并供給到所述藥液供給單元4。根據(jù)本發(fā)明一實施例的所述基板處理裝置包括排氣單元8，該排氣單元8可對所述腔室殼體2內(nèi)部進(jìn)行排氣。所述排氣單元8可通過吸力對所述腔室殼體2的腔室C內(nèi)部進(jìn)行排氣。請再次參見圖1，所述排氣單元8可包括排氣管Tl，其與所述腔室殼體2的腔室 C的一側(cè)相連接；排氣用驅(qū)動源T2，其與所述排氣管Tl的另一端相連接，用于產(chǎn)生吸力。所述排氣管Tl的一端連接成與所述腔室殼體2的腔室C的一側(cè)連通。而且，所述排氣管Tl的另一端與排氣用驅(qū)動源T2相連接。所述排氣用驅(qū)動源T2 例如可使用具有電扇且通過所述電扇的旋轉(zhuǎn)運動產(chǎn)生吸力的常規(guī)鼓風(fēng)裝置。所述排氣用驅(qū)動源T2設(shè)置成其能夠產(chǎn)生吸力，以在通過排氣管Tl與所述腔室殼體2的腔室C相連接的狀態(tài)下，通過所述排氣管Tl向腔室C外排氣。由此，能夠通過所述排氣用驅(qū)動源T2驅(qū)動時產(chǎn)生的吸力，將所述腔室殼體2的腔室C內(nèi)的氣體A向外排出。
根據(jù)所述排氣單元8的結(jié)構(gòu)，在所述腔室殼體2內(nèi)部利用藥液W以常規(guī)的方法進(jìn)行處理基板G的作業(yè)時，可輕易地對所述腔室C內(nèi)部進(jìn)行排氣處理。尤其，如果通過上述方法對腔室C內(nèi)部進(jìn)行排氣，可使所述腔室C內(nèi)部維持一定的壓力，因此通過所述藥液供給單元4向基板G噴射或涂布藥液W時，可獲得均勻的作業(yè)質(zhì)量。另外，根據(jù)本發(fā)明一實施例的基板處理裝置包括霧體分離單元10，其用于過濾霧狀藥液Wl (以下稱為“霧體”)，所述霧狀藥液Wl包含在所述排氣單元8工作時向所述腔室殼體2外排出的氣體A中。圖2至圖4是用來說明霧體分離單元的具體結(jié)構(gòu)及作用的圖。所述霧體分離單元10構(gòu)成為，在所述排氣單元8的排氣區(qū)段內(nèi)通過離心分離方式，即以形成螺旋狀旋風(fēng)氣流的狀態(tài)，使氣體A流動的同時過濾出包含在氣體A中的霧體 Wl。如圖2所示，所述霧體分離單元可包括分離筒D1，其具備從一側(cè)向另一側(cè)延伸的分離空間S ；流入口 D2，其與所述分離筒Dl相連接，以提供可使氣體A流入所述分離空間S 內(nèi)的通道；排出口 D3，其從所述分離筒Dl的一側(cè)向所述分離空間S的內(nèi)側(cè)延伸，以提供可使氣體A向外排出的通道；回收口 D4，其與所述分離空間S的一側(cè)相連接，以提供可向外排出從氣體A分離出的霧體Wl的通道。所述分離筒Dl具備與外界隔絕的分離空間S，且如圖2所示，其被配置成與所述排氣單元8的排氣管Tl的一側(cè)相連接。以圖2為基準(zhǔn)時，所述分離筒Dl從一側(cè)向另一側(cè)延伸為圓筒狀，且從左側(cè)到右側(cè)其周長逐漸變小，形成大致圓錐狀的傾斜部Si。所述分離空間S提供一空間，使氣體A中所包含的霧體Wl附著于內(nèi)表面的同時從氣體A分離。所述流入口 D2和排出口 D3形成為可使氣體A流入所述分離筒Dl的內(nèi)部之后，形成螺旋狀旋風(fēng)氣流的狀態(tài)從一側(cè)向另一側(cè)流動的同時被排出。即以圖2為基準(zhǔn)時，所述流入口 D2的一端可與所述分離筒Dl的左側(cè)外表面一側(cè)相連接，以與所述分離空間S相連通，而另一端與配置在所述分離筒Dl兩側(cè)的排氣管Tl中其中一側(cè)排氣管(腔室側(cè))Tl相連接。而且，以圖2為基準(zhǔn)，所述排出口 D3貫穿所述分離筒Dl的左右兩端中與所述流入口 D2對應(yīng)的端部(左側(cè))，且其一端從所述分離空間S的一側(cè)(左側(cè))向另一側(cè)(右側(cè)) 延伸并與所述分離空間S連通，而另一端可以與配置在所述分離筒Dl兩側(cè)的排氣管Tl (驅(qū)動源側(cè))相連接。特別是所述流入口 D2以圖3為基準(zhǔn)時優(yōu)選連接在脫離所述分離空間S中心部的位置上，而所述排出口 D3以圖2為基準(zhǔn)時優(yōu)選延伸形成在所述分離空間S的中心部上。如此一來，如圖3及圖4所示，可以引導(dǎo)流入所述分離筒Dl內(nèi)的氣體A更加順利地形成螺旋狀的旋風(fēng)氣流，并且使之從所述分離空間S的一側(cè)流向另一側(cè)。此外，如果所述分離筒Dl具有傾斜部Si，能夠引導(dǎo)氣體A從所述分離空間S的一側(cè)向另一側(cè)移動之后，順利地由所述排出口 D3排出。請再次參見圖2，所述回收口 D4形成為在所述分離筒Dl的下方與所述分離空間S相連通。而且，所述回收口 D4可以是通過連接管D5與所述藥液回收單元6的藥液回收罐 R2相連接的結(jié)構(gòu)。如此一來，可通過所述回收口 D4和連接管D5排出積聚在所述分離筒Dl的分離空間S底面的液體(霧體)，同時將液體裝到所述藥液回收罐R2內(nèi)。通過所述排氣單元8對所述腔室殼體2的腔室C進(jìn)行排氣時，所述霧體分離單元 10能夠使氣體A在所述分離筒Dl內(nèi)通過離心分離方式，即以形成螺旋狀旋風(fēng)氣流的狀態(tài)流過的同時，輕易地過濾出包含在氣體A中的霧體W1。例如，當(dāng)驅(qū)動所述排氣單元8的排氣用驅(qū)動源T2時，腔室C內(nèi)的氣體A在所述排氣管Tl的連接區(qū)段內(nèi)，流經(jīng)所述霧體分離單元10的分離筒Dl而實現(xiàn)排氣。S卩，如圖3所示，流入所述分離筒Dl內(nèi)的氣體A在分離空間S中以所述排出口 D3 為中心旋轉(zhuǎn)，從而如圖4所示那樣形成螺旋狀氣流，并在此狀態(tài)下從所述分離空間S的一側(cè)向另一側(cè)移動后通過所述排出口 D3排出。通過這種螺旋狀氣流的流動，流入所述分離筒Dl內(nèi)的所有氣體A不僅與所述分離空間S的內(nèi)表面，而且與排出口 D3的外表面反復(fù)接觸的同時移動。此時，由于包含在氣體A中的霧體Wl具有粘度，因此在氣體A以上述方式移動時， 霧體Wl將附著在所述分離空間S的內(nèi)表面及排出口 D3的外表面。通過這種作用，在氣體A的移動中，可輕易地分離并除去霧體Wl，因此能夠僅讓分離并除去霧體Wl的氣體A從所述排出口 D3排出，以實現(xiàn)排氣。而且，附著在所述分離空間S的內(nèi)表面及排出口 D3外表面的霧體Wl流向所述分離空間S的底面，并通過所述回收口 D4排出，從而裝到所述藥液回收罐R2中，以便回收使用。因此，本發(fā)明通過所述排氣單元8排出腔室殼體2內(nèi)的氣體時，在氣體A的移動過程中可輕易地過濾出霧體W1，從而只排出氣體A，并且回收霧體Wl以便回收使用。尤其，在所述分離筒Dl內(nèi)部形成螺旋狀旋風(fēng)氣流的狀態(tài)下使氣體A流過的同時過濾出包含在氣體A中的霧體Wl的方式，可以改善例如直接堵塞排氣通道一側(cè)的狀態(tài)設(shè)置常規(guī)過濾器，并通過該過濾器來過濾霧體的排氣結(jié)構(gòu)所具有的缺陷。S卩，能夠防止由于設(shè)置在排氣通道上的過濾器而排氣壓力(吸力)下降，或者頻繁的對過濾器的維修所導(dǎo)致的消耗過多時間和費用的問題。另外，還可以防止由于霧體直接附著在過濾器上，從而導(dǎo)致霧體回收率明顯下降的現(xiàn)象。
權(quán)利要求
1.一種基板處理裝置，其特征在于，包括腔室殼體，其具備可容納基板的腔室；藥液供給單元，其構(gòu)成為可向位于所述腔室殼體的腔室內(nèi)的基板供給藥液；藥液回收單元，其包括連接在所述腔室殼體上的回收管，用于回收由所述藥液供給單元供給的藥液；排氣單元，其包括連接在所述腔室殼體上的排氣管，通過吸力對所述腔室殼體的腔室內(nèi)部進(jìn)行排氣；霧體分離單元，其連接在所述排氣單元的排氣管一側(cè)，使得氣體以旋風(fēng)氣流的狀態(tài)流過的同時過濾出包含在氣體中的霧狀藥液。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板處理裝置，其特征在于，所述霧體分離單元可包括分離筒，其具備從一側(cè)向另一側(cè)延伸的分離空間；流入口，其與所述分離筒相連接，以提供讓氣體流入所述分離空間內(nèi)的通道；排出口，其與所述分離筒相連接，以提供讓通過所述流入口流入的氣體經(jīng)由所述分離空間向外排出的通道；回收口，其與所述分離空間的一側(cè)相連接，以提供氣體在所述分離筒的分離空間內(nèi)移動時把從所述氣體中分離出的霧狀藥液向所述分離筒外部排出的通道。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板處理裝置，其特征在于，所述分離筒具有從一側(cè)向另一側(cè)延伸時外周長逐漸變小的傾斜部。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板處理裝置，其特征在于，在與所述分離筒的一側(cè)端部對應(yīng)的外表面上，所述流入口連接在脫離所述分離空間中心部的位置上。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板處理裝置，其特征在于，所述排出口貫穿所述分離筒的左右兩端中與所述流入口對應(yīng)的端部，并沿著所述分離空間的中心部向另一側(cè)延伸。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種利用各種藥液對基板進(jìn)行處理時，可減少藥液損失的基板處理裝置，包括腔室殼體，其具備可容納基板的腔室；藥液供給單元，其構(gòu)成為可向位于所述腔室殼體的腔室內(nèi)的基板供給藥液；藥液回收單元，其包括連接在所述腔室殼體上的回收管，用于回收由所述藥液供給單元供給的藥液；排氣單元，其包括連接在所述腔室殼體上的排氣管，可通過吸力對所述腔室殼體的腔室內(nèi)部進(jìn)行排氣；霧體分離單元，其連接在所述排氣單元的排氣管一側(cè)，讓氣體以旋風(fēng)氣流的狀態(tài)流過的同時過濾出包含在氣體中的霧狀藥液。
文檔編號B05C11/10GK102233312SQ20111007666
公開日2011年11月9日 申請日期2011年3月25日 優(yōu)先權(quán)日2010年5月4日
發(fā)明者姜京旻, 李承俊, 李相河 申請人:顯示器生產(chǎn)服務(wù)株式會社