一種共聚樹脂及其制備方法
【技術領域】
[0001] 本發(fā)明涉及高分子共聚物領域，特別涉及一種共聚樹脂及其制備方法。
【背景技術】
[0002] 樹脂通常是指受熱軟化，并在軟化時在外力作用下有流動傾向的一種有機高分子 聚合物材料。由于部分樹脂在加熱或紫外光作用下，能夠發(fā)生交聯(lián)固化反應，所以，通常使 用樹脂來制備光刻膠，樹脂作為光刻膠的基體材料，能夠賦予光刻膠特定的性質，例如：附 著力、硬度、解析度及耐蝕刻性等。
[0003] 目前，常通過將一定配比的環(huán)氧樹脂、光聚合單體、光引發(fā)劑、溶劑、顏料以及助劑 均勻混合，來制備得到光刻膠。將該光刻膠噴涂在金屬基板上，然后使用掩膜板覆蓋在噴涂 有光刻膠的金屬基板上，對金屬基板進行曝光，金屬基板上接收光照的曝光區(qū)內的光刻膠 發(fā)生交聯(lián)固化反應，生成光刻膠薄膜。然后對該交聯(lián)固化后的金屬基板進行顯影，金屬基板 上能夠得到和掩膜板相對應的圖案。
[0004] 在實現(xiàn)本發(fā)明的過程中，發(fā)明人發(fā)現(xiàn)現(xiàn)有技術至少存在以下問題：
[0005] 現(xiàn)有技術使用環(huán)氧樹脂作為光刻膠的基體材料，所制備的光刻膠無法同時具有較 佳的附著力、硬度、解析度以及耐蝕刻性性能，從而導致該光刻膠無法應用在對光刻膠上述 四種性能均要求較高的領域，其應用具有較大的局限性。

【發(fā)明內容】

[0006] 為了解決現(xiàn)有技術光刻膠的應用局限性較大的問題，本發(fā)明實施例提供了一種共 聚樹脂及其制備方法。所述技術方案如下：
[0007] 一方面，本發(fā)明實施例提供了一種共聚樹脂，所述共聚樹脂的化學結構式如下：
[0008] r Rl π 尺2 ? R R5 Η2 I [H2 I [H2 I4I [H H I Γ H I I --C C--lC C---C--C---C C---c-c-- ^ CO177 OC7^t JPtI V 丫 Γ J (CH2)m H R3 ^
[0009] HR4和R5SH或CH3基團，R3選自烷基、苯甲基、以及芳基中的至少一種；j彡1、 1、1 >0、2 1、η>0、ρ> 1。
[0010] 具體地，作為優(yōu)選，所述共聚樹脂的重均分子量為20000-130000,分子量分布指數(shù) 為 1. 1-4. 0。
[0011] 另一方面，本發(fā)明實施例還提供了一種共聚樹脂的制備方法，所述制備方法包 括：
[0012] 在惰性氣體保護下，向反應器中加入惰性溶劑，并升溫至預設溫度；
[0013] 將含有不飽和雙鍵的羧酸類單體、含有不飽和雙鍵的酸酐類單體、含有不飽和雙 鍵的有機酯類單體與引發(fā)劑混合，得到混合溶液；
[0014] 將所述混合溶液滴加到含有惰性溶劑的反應器中，在所述預設溫度下，反應得到 所述共聚樹脂。
[0015] 具體地，作為優(yōu)選，所述制備方法還包括：在將所述混合溶液滴加到所述反應器之 前，向所述混合溶液中加入烯烴類單體。
[0016] 具體地，作為優(yōu)選，按重量份計，所述溶劑為100-350份，所述含有不飽和雙鍵的 羧酸類單體為5-30份，所述含有不飽和雙鍵的酸酐類單體為10-20份，所述含有不飽和雙 鍵的有機酯類單體為25-75份，所述烯烴類單體為0-50份，所述引發(fā)劑為0. 3-4份。
[0017] 具體地，作為優(yōu)選，所述含有不飽和雙鍵的羧酸類單體選自丙烯酸、甲基丙烯酸、 巴豆酸、肉桂酸、a-甲基肉桂酸中的至少一種；
[0018] 所述含有不飽和雙鍵的酸酐類單體選自馬來酸酐和/或檸康酸酐；
[0019] 所述含有不飽和雙鍵的有機酯類單體選自丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯、丙烯酸正丙 酯、丙烯酸異丙酯、丙烯酸正丁酯、丙烯酸異丁酯、丙烯酸正戊酯、丙烯酸正己酯、丙烯酸環(huán) 己酯、丙烯酸異冰片酯、丙烯酸月桂酯、丙烯酸芐酯、丙烯酸苯酯、甲基丙烯酸甲酯、甲基丙 烯酸乙酯、甲基丙烯酸正丙酯、甲基丙烯酸異丙酯、甲基丙烯酸正丁酯、甲基丙烯酸異丁酯、 甲基丙烯酸叔丁酯、甲基丙烯酸正戊酯、甲基丙烯酸異戊酯、甲基丙烯酸環(huán)己酯、甲基丙烯 酸異冰片酯、甲基丙烯酸月桂酯、甲基丙烯酸芐酯、甲基丙烯酸苯酯中的至少一種；
[0020] 所述烯烴類單體選自苯乙烯、a-甲基苯乙烯、環(huán)戊烯、環(huán)己烯中至少一種。
[0021] 具體地，作為優(yōu)選，所述引發(fā)劑為偶氮類引發(fā)劑和/或過氧化類引發(fā)劑；
[0022] 所述惰性溶劑選自甲苯、二甲苯、醋酸乙酯、醋酸丁酯、丙二醇甲醚乙酸酯、丁酮、 甲基異丁基酮中的至少一種。
[0023] 具體地，作為優(yōu)選，所述預設溫度為60-1KTC。
[0024] 具體地，作為優(yōu)選，所述將所述混合溶液滴加到含有溶劑的反應器中的滴加時間 為4-8小時。
[0025] 具體地，作為優(yōu)選，所述反應的時間為2-4小時。
[0026] 本發(fā)明實施例提供的技術方案帶來的有益效果是：
[0027] -方面，本發(fā)明實施例提供了一種共聚樹脂，該共聚樹脂同時含有一定比例的羧 基、酯基、酸酐基，以及可選的烴基基團。通過上述不同配比的各基團之間的協(xié)同作用，不 僅能夠提高該共聚樹脂所制備的光刻膠對顯影液的親和力，改善該光刻膠的感光性能，從 而提高光刻膠的解析度，還能夠提高該光刻膠的耐蝕刻性、硬度以及其對基板的附著力。可 見，本發(fā)明實施例提供的共聚樹脂制備得到的光刻膠能夠應用在更廣的領域，其應用更加 廣泛。
[0028] 另一方面，本發(fā)明實施例還提供了所述共聚樹脂的制備方法，通過在惰性氣體保 護下，將含有不飽和雙鍵的羧酸類單體、含有不飽和雙鍵的酸酐類單體、含有不飽和雙鍵的 有機酯類單體與引發(fā)劑的混合物滴加到惰性溶劑中，在一定溫度下，共聚反應即可得到所 述共聚樹脂?？梢?，本發(fā)明提供的方法簡單，易控制，便于大規(guī)模工業(yè)化應用。
【附圖說明】
[0029] 為了更清楚地說明本發(fā)明實施例中的技術方案，下面將對實施例描述中所需要使 用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實施例，對于 本領域普通技術人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他 的附圖。
[0030] 圖1是本發(fā)明實施例提供的共聚樹脂的制備方法流程圖；
[0031] 圖2是本發(fā)明又一實施例提供的共聚樹脂的制備方法流程圖。
【具體實施方式】
[0032] 為使本發(fā)明的目的、技術方案和優(yōu)點更加清楚，下面將結合附圖對本發(fā)明實施方 式作進一步地詳細描述。
[0033] 本發(fā)明實施例采用如下方法對所述共聚樹脂及利用該共聚樹脂制備得到的光刻 膠的進行性能測試：
[0034] 重均分子量：
[0035] 本發(fā)明實施例利用美國Waters E2695型高效液相色譜儀，使用凝膠滲透色譜法來 測量該共聚樹脂的重均分子量。測試條件：在共聚樹