玻璃基板的清洗方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明設(shè)及用于對利用含有氧化錦粒子的研磨劑進(jìn)行研磨后的玻璃基板進(jìn)行清 洗的清洗方法，特別設(shè)及用于清洗液晶顯示裝置用等的玻璃基板的清洗方法。
【背景技術(shù)】
[0002] 作為液晶顯示裝置（LCD)等的FPD(FlatPanelDisplay:平板顯示器）使用的玻 璃基板，例如通過將由烙融玻璃成形為板狀的玻璃基板用自轉(zhuǎn)和公轉(zhuǎn)的研磨工具進(jìn)行研磨 W除去表面的微小的凹凸及波紋，從而形成滿足FTO用玻璃基板所要求的平坦度的具有規(guī) 定厚度（例如0. 4~1. 1mm)的薄板狀。
[0003] 該樣的玻璃基板的研磨中，使用含有氧化錦粒子作為磨粒的研磨劑（漿料），研磨 后，實施利用清洗液將玻璃基板表面附著的研磨劑（磨粒等）清洗除去（例如參照專利文 獻(xiàn)1)。
[0004] 接著，對于該樣的W氧化錦粒子作為磨粒的研磨劑的殘留，例如使用包含無機或 有機的堿成分和表面活性劑的堿性的清洗液時，清洗性不充分，無法充分除去粒徑為亞微 米級的磨粒殘渣。
[0005] 現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0006] 專利文獻(xiàn)
[0007] 專利文獻(xiàn)1;日本專利特開2009-215093號公報

【發(fā)明內(nèi)容】

[000引發(fā)明所要解決的技術(shù)問題
[0009] 作為上述堿清洗中的問題的解決方法，本發(fā)明人提出了通過使用包含有機麟酸該 樣的有機酸的酸性的清洗液來溶解氧化錦等的方法，除去玻璃基板上的磨粒的殘渣的方法 (參照日本專利申請2011-115353號）。
[0010] 但是，在將LCD用等的由侶娃酸鹽玻璃構(gòu)成的基板用上述的酸性的清洗液進(jìn)行清 洗的情況下，通過浸提（leaching、浸出）作用，玻璃基板的表面（表層）的A1離子等的 A1成分脫出，結(jié)果在玻璃基板的表面形成OH基過量的親水性高的層（W下稱為富OH親水 層）。
[0011] 因此，在清洗后的玻璃基板上使用含有炭黑該樣的黑色顏料的樹脂組合物來形成 濾色片用的黑色矩陣炬M:blackmatrix)的工序中，存在顯影液自玻璃基板表面的富OH親 水層和樹脂類的黑色矩陣膜的界面浸入而引起膜剝離的問題。
[0012] 本發(fā)明是為了解決上述問題而完成的發(fā)明，其目的是提供玻璃基板的清洗方法， 該方法不損害玻璃基板的平坦性，能夠?qū)⑵浔砻鏆埩艉透街难心ツチ７稚⒉⒊?，且?制在清洗后的玻璃基板表面所形成的樹脂類黑色矩陣膜下也稱為樹脂BM膜）的密合 性降低，防止樹脂BM膜的剝離。
[0013] 解決技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案
[0014] 本發(fā)明的玻璃基板的清洗方法的特征是，對于利用含有氧化錦粒子的研磨劑進(jìn)行 研磨后的玻璃基板，用含有有機酸的酸性的水系清洗液進(jìn)行清洗，接著用含有堿的堿性的 水系清洗濃進(jìn)行清洗。
[0015] 本發(fā)明的玻璃基板的清洗方法中，上述酸性的水系清洗液較好是在P冊W下。此 夕F，上述酸性的水系清洗液較好是含有（A)有機麟酸、炬）多元駿酸鹽、（C)芳香族橫酸、 和值）胺-環(huán)氧燒加成物的水系清洗液。此外，上述酸性的水系清洗液中，上述（A)~值） 的各成分的含有比例相對于（A)~值）的合計量100質(zhì)量％較好分別是：(A)有機麟酸為 0. 01~50質(zhì)量％，炬）多元駿酸鹽為0. 01~10質(zhì)量％，（C)芳香族橫酸為0. 01~50質(zhì) 量％，W及值）胺-環(huán)氧燒加成物為0. 02~10質(zhì)量％。還有，上述堿性的水系清洗液較好 是抑10W上的水系清洗液。此外，上述堿性的水系清洗液較好是含有堿、馨合劑和表面活 性劑的水系清洗液。還有，上述堿性的水系清洗液中，上述堿和上述馨合劑和上述表面活 性劑的質(zhì)量含有比率（堿）：（馨合劑）：（表面活性劑）較好是（1~10) : (1~10) : (1~ 10)。
[0016] 此外，上述玻璃基板較好是由侶娃酸鹽玻璃構(gòu)成的玻璃基板。此外，上述侶娃酸鹽 玻璃較好是實質(zhì)上不含有堿金屬成分的侶棚娃酸鹽玻璃。還有，上述玻璃基板較好是在其 上形成樹脂類黑色矩陣膜的液晶顯示裝置用的玻璃基板。
[0017] 發(fā)明的效果
[001引根據(jù)本發(fā)明的清洗方法，對于用含有氧化錦粒子的研磨劑進(jìn)行研磨后的玻璃基 板，能夠在不損害表面的平坦性的前提下高效地進(jìn)行清洗，將表面殘留和附著的氧化錦粒 子等的磨粒除去，且抑制在清洗后的玻璃基板表面所形成的樹脂BM膜的密合性降低，防止 樹脂BM膜的剝離。
[0019] 目P，本發(fā)明的清洗方法中，用上述研磨劑研磨后的玻璃基板首先利用含有機酸的 酸性的水系清洗液進(jìn)行清洗，將玻璃基板的表面上殘留和附著的氧化錦粒子等的磨粒高效 地除去后，利用含堿的堿性的水系清洗液除去因上述酸清洗產(chǎn)生的玻璃基板表面的富OH 親水層。該樣除去玻璃基板表面的富OH親水層的結(jié)果是，在玻璃基板上形成樹脂BM膜時， 可抑制顯影液自玻璃基板和BM用樹脂組合物膜的界面浸入，提高樹脂BM膜的密合性，防止 膜剝離。
【附圖說明】
[0020] 圖1是表示本發(fā)明的玻璃基板的清洗方法的一實施方式的圖。
[002U 圖2是表示本發(fā)明的實施例等中得到的玻璃基板表面的樹脂BM膜的殘留分辨率、 W及A1元素和Si元素的存在比（Al/Si比）的圖。
[0022] 圖3是表示本發(fā)明的實施例等中得到的玻璃基板的表面的接觸角的經(jīng)時變化的 圖。
【具體實施方式】
[0023] 下面，W用于對作為LCD等的FTO使用的玻璃基板進(jìn)行清洗的清洗方法為例來說 明本發(fā)明。本發(fā)明不局限于該實施方式，只要符合本發(fā)明的技術(shù)思想，則其他的實施方式也 屬于本發(fā)明的范疇。
[0024] 本發(fā)明的玻璃基板的清洗方法的特征是，對于利用含有氧化錦粒子的研磨劑進(jìn)行 研磨后的玻璃基板，用含有有機酸的酸性的水系清洗液（W下也稱為酸性清洗液）進(jìn)行清 洗，接著用含有堿的堿性的水系清洗液（W下也稱為堿性清洗液）進(jìn)行清洗。另外，W下也 將利用酸性清洗液的清洗稱為酸清洗，將利用堿性清洗液的清洗稱為堿清洗。
[0025] 此外，本發(fā)明的清洗方法中，可在酸清洗和堿清洗之間進(jìn)行干燥。還可在堿清洗后 進(jìn)行干燥。作為干燥方法，可例舉噴射暖風(fēng)的方法、及噴射壓縮后的空氣的方法等。
[0026] <玻璃基板〉
[0027] 本發(fā)明中，作為清洗對象物的玻璃基板是LCD該樣的Fro用的玻璃基板，用含有氧 化錦粒子的研磨劑進(jìn)行研磨后，進(jìn)行用于除去表面的研磨劑等的殘留物的清洗。構(gòu)成該玻 璃基板的玻璃較好是具有包含Si〇2和A1 2〇3和B2〇3^及堿±金屬的氧化物的組成的侶娃酸 鹽玻璃，更好是玻璃組成中實質(zhì)上不含堿金屬成分的所謂無堿的侶棚娃酸鹽玻璃。另外，實 質(zhì)上不含堿金屬成分是指玻璃組成中的堿金屬酸化物的含量在1質(zhì)量％W下。
[002引清洗前的研磨中，對于該樣的玻璃基板的表面通過例如使用研磨墊、利用包含氧 化錦粒子作為磨粒的研磨劑（漿料）進(jìn)行研磨。磨粒的平均粒徑較好在例如0. 8~1. 0ym 的范圍。
[0029] <酸性的水系清洗液〉
[0030] 本發(fā)明中，對于利用上述研磨劑進(jìn)行研磨后的玻璃基板，用含有機酸的酸性的清 洗液進(jìn)行清洗（W下將該清洗工序稱為酸清洗工序）。酸性清洗液的pH較好是6W下，更 好是5W下，特好是3. 5W下。此外，酸性清洗液的抑較好是1W上，更好是1. 5W上，特 好是2W上。作為酸性清洗液中含有的有機酸，可例舉例如抗壞血酸、巧樣酸等有機駿酸、 及有機麟酸等，但并不限定于此。在添加該些有機酸的同時，可添加無機酸（例如硫酸、磯 酸、硝酸、氨氣酸、鹽酸等）。此外，為了抑制抑的變動，在添加上述無機酸的同時還可添加 該些酸的鹽。
[0031] 從研磨后的玻璃基板的表面殘留和附著的氧化錦的除去性、W及防止清洗廢液中 的磨粒殘渣的凝集的觀點來看，作為酸性清洗液，較好使用包含（A)有機麟酸、炬）多元駿 酸鹽、（C)芳香族橫酸和值）胺-環(huán)氧燒加成物的清洗液。
[0032] 該酸性清洗液中，作為（A)成分的有機麟酸起到氧化錦的馨合劑的作用，發(fā)揮促 進(jìn)玻璃基板的表面附著和殘留的由氧化錦等構(gòu)成的磨粒的分散并將其從玻璃基板表面剝 離并除去的作用。
[0033] 該里，有機麟酸是指具有W式-p( = 0) (〇h)2表示