1.一種在激光制造加工期間保護(hù)一表面的方法,包括:
將要進(jìn)行激光制造加工的物體的腔內(nèi)的保護(hù)襯底置于所述物體的所述腔的壁與后壁之間,其中,所述保護(hù)襯底包括孔的網(wǎng)格,其中,所述孔延伸穿過所述保護(hù)襯底的全部厚度;
將流體引導(dǎo)至所述保護(hù)襯底上,其中,所述流體不具有激光吸收性質(zhì);以及
在正被激光制造加工的物體的所述壁處引導(dǎo)多個激光脈沖,其中,所述多個激光脈沖被配置成形成穿透所述壁的孔,使得在所述保護(hù)襯底浸沒于所述流體中的同時所述多個激光脈沖中的至少一個激光脈沖穿過所述孔并進(jìn)入所述腔,從而使得所述至少一個激光脈沖同時入射到所述流體和所述保護(hù)襯底的表面上以便抑制后壁損傷。
2.如權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,所述引導(dǎo)包括使所述流體在所述保護(hù)襯底上流動。
3.如權(quán)利要求2所述的方法,其特征在于,所述流動處于一流速足以使所述保護(hù)襯底的至少一部分保持浸沒于所述流體中。
4.如權(quán)利要求1所述的方法,還包括將氣體引導(dǎo)至所述腔中以限制所述流體進(jìn)入所述孔。
5.如權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,所述置于包括使所述襯底相對于所述多個激光脈沖以一斜角放置。
6.如權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,所述置于包括使所述襯底垂直于所述多個激光脈沖放置。
7.如權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,所述置于包括將所述保護(hù)襯底置于所述壁與所述后壁之間,其中,所述保護(hù)襯底的所述表面具有選自包括下列的形狀的組中的形狀:圓形、球形、管形、圓錐形、圓錐段。
8.如權(quán)利要求1所述的方法,還包括在引導(dǎo)所述激光脈沖期間使所述保護(hù)襯底相對于所述激光脈沖而移動。
9.如權(quán)利要求8所述的方法,其特征在于,移動所述保護(hù)襯底包括旋轉(zhuǎn)所述保護(hù)襯底。
10.如權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,所述保護(hù)襯底的置于包括置于所述保護(hù)襯底,其中,所述保護(hù)襯底是由選自由下列構(gòu)成的材料組中的一個或多個材料制成:Iconel、銅、鎳、鋼、碳、陶瓷、銀、難熔材料以及碳化鎢。
11.如權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,所述保護(hù)襯底的置于包括置于所述保護(hù)襯底,其中,所述保護(hù)襯底至少部分地反射所述激光脈沖。
12.如權(quán)利要求11所述的方法,其特征在于,所述保護(hù)襯底的置于包括置于所述保護(hù)襯底,其中,所述保護(hù)襯底包括反射涂層。
13.如權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,所述保護(hù)襯底的置于包括置于所述保護(hù)襯底,其中,所述保護(hù)襯底包括孔的網(wǎng)格,其中,所述孔包括錐形孔。
14.如權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,所述保護(hù)襯底的置于包括置于所述保護(hù)襯底,其中,所述保護(hù)襯底包括孔的網(wǎng)格,其中,所述孔包括圓錐形的孔。
15.如權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,所述保護(hù)襯底的置于包括置于所述保護(hù)襯底,其中,所述保護(hù)襯底包括孔的網(wǎng)格,其中,所述孔是按六角形配置而排列。
16.如權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,所述保護(hù)襯底的置于包括置于所述保護(hù)襯底,其中,所述保護(hù)襯底包括孔的網(wǎng)格,其中,所述孔包括具有在20微米和50微米之間的直徑的孔。
17.如權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,所述保護(hù)襯底的置于包括置于所述保護(hù)襯底,其中,所述保護(hù)襯底包括孔的網(wǎng)格,其中,所述孔包括具有在保護(hù)襯底第一側(cè)的18微米和27微米之間的直徑以及在保護(hù)襯底第二側(cè)的5微米和10微米之間的直徑的孔。
18.如權(quán)利要求1所述的方法,還包括檢測由所述激光脈沖對所述壁的燒穿。
19.如權(quán)利要求18所述的方法,還包括響應(yīng)于所述檢測來控制下列之中的一個或多個:脈沖持續(xù)時間、脈沖之間的持續(xù)時間、激光脈沖的強(qiáng)度、激光波長、光束形狀、開孔的開始以及氣體輔助。
20.如權(quán)利要求1所述的方法,還包括給所述激光脈沖的引導(dǎo)定時。
21.如權(quán)利要求20所述的方法,還包括響應(yīng)于所述定時來控制下列之中的一個或多個:脈沖持續(xù)時間、脈沖之間的持續(xù)時間、激光脈沖的強(qiáng)度、激光波長、光束形狀、開孔的開始以及氣體輔助。
22.如權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,所述多個激光脈沖的引導(dǎo)包括:
在所述壁處引導(dǎo)第一激光脈沖;
在所述第一激光脈沖的引導(dǎo)之后,等待直到第一持續(xù)時間結(jié)束;
在所述壁處引導(dǎo)第二激光脈沖;
其中,所述第一持續(xù)時間被選擇成足夠長,基本上所有的接近所述后壁的氣泡在所述第一持續(xù)時間期間崩解或消散。
23.如權(quán)利要求22所述的方法,其特征在于,等待直到第一持續(xù)時間結(jié)束包括等待所述第一持續(xù)時間,其中,所述第一持續(xù)時間被選擇成允許響應(yīng)于所述第一激光脈沖的引導(dǎo)而形成的氣泡崩解或遠(yuǎn)離所述壁移動。
24.如權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,所述引導(dǎo)進(jìn)一步包括將表面活性劑引導(dǎo)至所述保護(hù)襯底上。