專利名稱：薄膜圖案的制造方法、有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光元件的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及使用液滴噴出方式的薄膜圖案的制造方法、有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光元件的制造方法、濾色片的制造方法、等離子顯示面板的制造方法、液晶顯示面板的制造方法及電子設(shè)備。
背景技術(shù)：
以往研究出了使用有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光元件的顯示面板。有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光元件的基本構(gòu)成為，將包含熒光性有機(jī)分子的固體薄膜(發(fā)光層)用2片電極(陰極和陽(yáng)極)夾持。當(dāng)在該電極上加上電壓時(shí)，空穴即從陽(yáng)極注入發(fā)光層，電子即從陰極注入發(fā)光層，從該發(fā)光層發(fā)出熒光。
但是，由于僅由發(fā)光層構(gòu)成的單層型構(gòu)造元件發(fā)光效率低，在耐久性上也有問(wèn)題，因此提出了在陽(yáng)極和發(fā)光層間設(shè)置有密接性良好的空穴注入層(空穴注入輸送層)的雙層構(gòu)造元件。通過(guò)采用該疊層構(gòu)造，利用載流子的注入/輸送平衡及載流子的復(fù)合部位的控制，就可以提高有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光元件的發(fā)光效率及耐久性。另外，根據(jù)該疊層構(gòu)造，由于使發(fā)光、注入/輸送之類的功能分擔(dān)在各個(gè)材料上，因此有可以實(shí)現(xiàn)材料及元件的最佳設(shè)計(jì)的優(yōu)點(diǎn)。
另外，作為以往的雙層疊層型有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光元件的空穴注入輸送層化合物，已經(jīng)提出有使用卟啉化合物、苯胺或吡啶及它們的衍生物低分子或者碳層的空穴注入輸送層等。在使用了這些低分子類材料的空穴注入輸送層的形成中，一般采用利用真空蒸鍍或?yàn)R射的成膜法。作為高分子材料已知有聚苯胺等，用旋涂法等濕式法進(jìn)行成膜。
但是，由于利用真空蒸鍍或?yàn)R射的成膜法是批處理，需要很長(zhǎng)時(shí)間，因而批量生產(chǎn)效率較差。另外，對(duì)于低分子材料的情況，有成膜后容易結(jié)晶化、元件的可靠性降低之類的問(wèn)題。另一方面，對(duì)于高分子材料的情況，雖然有分子設(shè)計(jì)上的自由度較高，并且由于是濕式方法，因此容易實(shí)現(xiàn)材料的最佳化之類的優(yōu)點(diǎn)，但是，旋涂法等成膜法會(huì)有將材料的大部分都浪費(fèi)掉的較大的問(wèn)題。
而且，當(dāng)需要進(jìn)行全色顯示等材料的微細(xì)圖案形成等時(shí)，利用蒸鍍法難以進(jìn)行高精度的圖案形成，另外，在利用光刻的圖案形成工序中，有材料缺乏耐久性之類的問(wèn)題。這對(duì)于高分子材料也同樣是問(wèn)題。另外，作為空穴注入層或緩沖層使用的材料由于是具有導(dǎo)電性的材料，因此如果不能實(shí)現(xiàn)完全的圖案形成，則會(huì)成為導(dǎo)致設(shè)于同一基板上的相鄰象素間的漏電的原因。
另一方面，為了解決所述問(wèn)題，即為了可以進(jìn)行材料或元件設(shè)計(jì)的最佳化，并且能夠簡(jiǎn)便、快速并以低成本進(jìn)行高精度的圖案成膜，已經(jīng)研發(fā)出使用液滴噴出方式的空穴注入層及發(fā)光層等的制造方法。使用該液滴噴出方式的制造方法是從墨噴嘴將由空穴注入層的成分和溶劑構(gòu)成的液滴向所需區(qū)域噴出而形成薄膜圖案的方法(例如參照專利文獻(xiàn)1)。
特開(kāi)2000-106278號(hào)公報(bào)但是，一直以來(lái)，當(dāng)使用液滴噴出方式形成構(gòu)成象素的薄膜圖案時(shí)，由于使墨噴嘴沿著象素區(qū)域的長(zhǎng)軸方向掃描而進(jìn)行液滴噴出，因此在該象素的長(zhǎng)軸方向會(huì)產(chǎn)生條紋形狀的不均(條狀不均)。
圖12是表示利用以往的液滴噴出方式的象素區(qū)域的涂布方法的說(shuō)明圖。
如圖12所示，一般來(lái)說(shuō)，象素區(qū)域1采用具有長(zhǎng)軸及短軸的縱向形狀，沿著象素區(qū)域1的長(zhǎng)軸，設(shè)定有墨噴嘴的掃描線L100。一邊使墨噴嘴沿著該掃描線L100移動(dòng)，一邊從該墨噴嘴逐次噴出液滴。該多個(gè)液滴在象素區(qū)域1內(nèi)命中在線上，在象素區(qū)域1內(nèi)形成具有條狀不均的薄膜圖案。
當(dāng)產(chǎn)生此種條狀不均時(shí)，由于薄膜圖案的膜厚變得不均勻，因此當(dāng)將該薄膜圖案作為例如象素的空穴注入層、發(fā)光層或?yàn)V色片使用時(shí)，就會(huì)產(chǎn)生條紋狀的發(fā)光不均。
另外，在使用了以往的液滴噴出方式的構(gòu)成象素的薄膜圖案的形成中，由于在對(duì)1個(gè)象素區(qū)域的1次掃描中，使用1個(gè)墨噴嘴噴出液滴，因此有為了形成該薄膜圖案要花費(fèi)較多時(shí)間的問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于所述問(wèn)題而進(jìn)行的，目的在于提供一種在使用液滴噴出方式形成構(gòu)成象素的薄膜圖案時(shí)，可以減少該薄膜圖案上產(chǎn)生的條狀不均或可以使該條狀不均分散的薄膜圖案的制造方法、有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光元件的制造方法、濾色片的制造方法、等離子顯示面板的制造方法、液晶顯示面板的制造方法及電子設(shè)備。
另外，本發(fā)明的目的還在于，提供一種可以利用液滴噴出方式高速地形成構(gòu)成象素的薄膜圖案的薄膜圖案的制造方法、有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光元件的制造方法、濾色片的制造方法、等離子顯示面板的制造方法、液晶顯示面板的制造方法及電子設(shè)備。
為了達(dá)成所述目的，本發(fā)明的薄膜圖案的制造方法的特征是，具有在具有長(zhǎng)軸及短軸的象素區(qū)域內(nèi)以液滴噴出方式涂布液狀體材料的液狀體涂布處理、在所述液狀體涂布處理中將液滴噴出裝置的噴嘴頭沿所述象素區(qū)域的短軸方向掃描，在該掃描過(guò)程中從設(shè)于該噴嘴頭上的墨噴嘴向該象素區(qū)域噴出液滴的短軸方向噴出處理。
根據(jù)本發(fā)明，通過(guò)將噴嘴頭沿象素區(qū)域的短軸方向掃描，從該噴嘴頭的墨噴嘴向該象素區(qū)域噴出液滴，就可以形成成為象素的構(gòu)成要素的薄膜。這樣，與將噴嘴頭沿象素區(qū)域的長(zhǎng)軸方向掃描的情況相比，就很容易地利用設(shè)于噴嘴頭上的多個(gè)墨噴嘴向1個(gè)象素區(qū)域進(jìn)行多個(gè)液滴的噴出。
這是因?yàn)?，例如?dāng)將噴嘴頭沿象素區(qū)域的長(zhǎng)軸方向掃描時(shí)，僅1個(gè)墨噴嘴橫穿該象素區(qū)域，而當(dāng)將噴嘴頭沿象素的短軸方向掃描時(shí)，則有等間隔地配置在噴嘴頭上的多個(gè)墨噴嘴橫穿象素區(qū)域。
另外，根據(jù)本發(fā)明，如上所示，由于很容易利用多個(gè)墨噴嘴向1個(gè)象素區(qū)域噴出液滴，因此很容易分散各墨噴嘴間的噴出量的差，從而可以使在構(gòu)成象素的薄膜上產(chǎn)生的「條狀不均」等減少。所以，根據(jù)本發(fā)明，很容易使構(gòu)成象素的薄膜的膜厚均勻化，從而可以減少發(fā)光不均等。
另外，根據(jù)本發(fā)明，由于很容易利用相鄰的多個(gè)墨噴嘴向1個(gè)象素區(qū)域近似同時(shí)或逐次地噴出多個(gè)液滴，因此很容易使利用液滴噴出方式進(jìn)行的向象素區(qū)域的液狀體的涂布高速化。
另外，本發(fā)明的薄膜圖案的制造方法最好在所述短軸方向噴出處理中，對(duì)1個(gè)所述象素區(qū)域進(jìn)行多次的液滴噴出，該多次的液滴噴出由至少2個(gè)不同的所述墨噴嘴進(jìn)行。
根據(jù)本發(fā)明，由于用2個(gè)以上的墨噴嘴進(jìn)行針對(duì)1個(gè)象素區(qū)域的多次液滴噴出，因此可以使各墨噴嘴間的液滴噴出量等的差(誤差)分散。以往，僅用噴出量較少的墨噴嘴對(duì)例如某個(gè)象素區(qū)域進(jìn)行多次液滴噴出，而對(duì)其他的象素區(qū)域僅用噴出量較大的墨噴嘴進(jìn)行多次液滴噴出，因此誤差被累積，對(duì)于每個(gè)象素區(qū)域液滴噴出(涂布)量的差增大，從畫(huà)面整體來(lái)看很容易出現(xiàn)「條狀不均」。根據(jù)本發(fā)明，由于可以減少每個(gè)象素區(qū)域的液滴噴出量的差，因此可以使得從畫(huà)面整體來(lái)看難以出現(xiàn)「條狀不均」。
另外，本發(fā)明的薄膜圖案的制造方法中，最好所述噴嘴頭具有多個(gè)所述墨噴嘴，對(duì)所述1個(gè)象素區(qū)域的多次液滴噴出由至少2個(gè)相鄰的所述墨噴嘴近似同時(shí)或逐次地進(jìn)行。
根據(jù)本發(fā)明，由于用多個(gè)相鄰的墨噴嘴對(duì)1個(gè)象素區(qū)域近似同時(shí)或逐次地進(jìn)行液滴噴出，因此可以使墨噴嘴間的液滴噴出量的差分散而減少「條狀不均」，并且可以對(duì)象素區(qū)域整體(也對(duì)于配置在基板整體上的多個(gè)各象素區(qū)域)高速地涂布液狀體。
另外，本發(fā)明的薄膜圖案的制造方法中，對(duì)所述1個(gè)象素區(qū)域的多次液滴噴出最好以至少2種液滴噴出量來(lái)進(jìn)行。
根據(jù)本發(fā)明，通過(guò)對(duì)各墨噴嘴的液滴噴出量進(jìn)行控制，就能夠以2種以上的液滴噴出量向1個(gè)象素區(qū)域噴出液滴。
這樣，例如通過(guò)使對(duì)象素區(qū)域的角部的液滴噴出量較少，對(duì)象素區(qū)域的中央部的液滴噴出量較多等，就可以在象素區(qū)域整體高速地形成均勻厚度的高精度的薄膜。
另外，本發(fā)明的薄膜圖案的制造方法中，對(duì)所述1個(gè)象素區(qū)域的多次液滴噴出最好采用至少2種粘度的該液滴來(lái)進(jìn)行。
根據(jù)本發(fā)明，例如通過(guò)改變向各墨噴嘴供給的液狀體的粘度，就可以在象素區(qū)域的所需位置涂布所需粘度的液狀體。所以，根據(jù)本發(fā)明，可以在象素區(qū)域整體形成膜厚更加均勻的高精度的薄膜。
另外，本發(fā)明的薄膜圖案的制造方法中，最好所述噴嘴頭具有多個(gè)所述墨噴嘴，所述多個(gè)墨噴嘴在所述噴嘴頭上被配置在近似直線上，在所述短軸方向噴出處理中，規(guī)定所述多個(gè)墨噴嘴的配置的直線形成與設(shè)定在所述短軸方向上的掃描線斜交的狀態(tài)，使所述噴嘴頭進(jìn)行掃描。
根據(jù)本發(fā)明，在噴嘴頭與規(guī)定該噴嘴頭的移動(dòng)位置的掃描線斜交的狀態(tài)下，使該噴嘴頭進(jìn)行掃描。這樣，設(shè)于噴嘴頭上的多個(gè)墨噴嘴的移動(dòng)軌跡(每個(gè)墨噴嘴的掃描線)的間隔就會(huì)比墨噴嘴相互的間隔更短。所以，根據(jù)本發(fā)明，就可以容易地利用更多的墨噴嘴近似同時(shí)或逐次地對(duì)1個(gè)象素區(qū)域噴出液滴，無(wú)論是小的象素還是大的象素，都可以減少「條狀不均」，并且可以更高速地形成構(gòu)成象素的薄膜圖案。
另外，本發(fā)明的薄膜圖案的制造方法中，在對(duì)所述1個(gè)象素區(qū)域的多次液滴噴出中，最好在最初命中該象素區(qū)域的液滴大約完全干燥之前，進(jìn)行最后的液滴噴出。
根據(jù)本發(fā)明，由于在命中1個(gè)象素區(qū)域的多個(gè)液滴分別完全干燥以前，進(jìn)行對(duì)該1個(gè)象素區(qū)域整體的液滴的噴出而形成薄膜，因此可以形成膜厚更加均勻的高精度的圖案。
另外，本發(fā)明的薄膜圖案的制造方法中，在對(duì)所述1個(gè)象素區(qū)域的多次液滴噴出中，最好在對(duì)該象素區(qū)域的最初的液滴噴出和最后的液滴噴出之間，進(jìn)行使命中該象素區(qū)域的液滴不達(dá)到完全干燥的程度的干燥處理。
根據(jù)本發(fā)明，由于在對(duì)1個(gè)象素區(qū)域的多次液滴噴出過(guò)程中，進(jìn)行使命中的液滴不達(dá)到完全干燥的中間干燥處理，因此就可以在利用中間干燥處理減少命中的液滴的體積后進(jìn)而進(jìn)行液滴噴出。所以，根據(jù)本發(fā)明，在對(duì)1個(gè)象素區(qū)域的多次液滴噴出過(guò)程中，可以避免該液滴向象素區(qū)域的外側(cè)溢出，同時(shí)能夠形成厚度均勻并且可以具有較大的厚度的薄膜圖案。
另外，本發(fā)明的薄膜圖案的制造方法中，所述薄膜圖案的制造方法最好具有長(zhǎng)軸方向噴出處理，即，在所述液狀體涂布處理中，將液滴噴出裝置的噴嘴頭沿所述象素區(qū)域的長(zhǎng)軸方向掃描，在該掃描的過(guò)程中，從設(shè)于該噴嘴頭上的墨噴嘴向該象素區(qū)域噴出液滴。
根據(jù)本發(fā)明，由于具有將噴嘴頭沿象素區(qū)域的短軸方向掃描的短軸方向噴出處理和將噴嘴頭沿象素區(qū)域的長(zhǎng)軸方向掃描的長(zhǎng)軸方向噴出處理，因此可以避免液滴噴出狀態(tài)相對(duì)于象素區(qū)域(或基板整體)以直線狀偏離，從而可以更有效地避免在構(gòu)成象素的薄膜圖案中產(chǎn)生「條狀不均」。
另外，本發(fā)明的薄膜圖案的制造方法中，最好在所述長(zhǎng)軸方向噴出處理中，規(guī)定所述多個(gè)墨噴嘴的配置的直線形成與設(shè)定在所述長(zhǎng)軸方向上的掃描線斜交的狀態(tài)，使所述噴嘴頭進(jìn)行掃描。
根據(jù)本發(fā)明，即使在長(zhǎng)軸方向噴出處理中，也可以很容易地利用更多的墨噴嘴對(duì)1個(gè)象素區(qū)域近似同時(shí)或逐次地涂布液滴。
所以，根據(jù)本發(fā)明，無(wú)論是小的象素還是大的象素，都可以減少「條狀不均」，并且可以高速地形成構(gòu)成象素的薄膜圖案。
另外，本發(fā)明的薄膜圖案的制造方法中，對(duì)所述1個(gè)象素區(qū)域的多次液滴噴出，最好按照使因一個(gè)液滴的命中而形成的薄膜的一部分與因另外的液滴的命中而形成的薄膜的一部分重疊的方式來(lái)進(jìn)行。
根據(jù)本發(fā)明，在整個(gè)象素區(qū)域中，就不會(huì)有漏涂，從而可以形成更加均勻的厚度的薄膜圖案。
另外，本發(fā)明的有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光元件的制造方法，是在基板上形成在電極間具有發(fā)光層和空穴注入層的發(fā)光元件而制成的有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光元件的制造方法，其特征是，具有利用形成于液滴噴出裝置上的噴墨頭噴出液滴來(lái)形成所述空穴注入層的工序，所述空穴注入層形成于具有長(zhǎng)軸及短軸的象素區(qū)域內(nèi)，在形成所述空穴注入層的工序中，將所述噴墨頭沿所述象素區(qū)域的短軸方向掃描，在該掃描過(guò)程中，從該墨噴嘴向該象素區(qū)域噴出液滴。
根據(jù)本發(fā)明，對(duì)于有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光元件的空穴注入層，在利用液滴噴出方式形成薄膜圖案的情況下，可以減少在該空穴注入層上產(chǎn)生的「條狀不均」，并且可以迅速地制造「發(fā)光不均」較少的高品位的有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光元件。
另外，本發(fā)明的有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光元件的制造方法，是在基板上形成在電極間具有發(fā)光層和空穴注入層的發(fā)光元件而制成的有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光元件的制造方法，其特征是，具有利用形成于液滴噴出裝置上的噴墨頭噴出液滴來(lái)形成所述發(fā)光層的工序，所述發(fā)光層形成于具有長(zhǎng)軸及短軸的象素區(qū)域內(nèi)，在形成所述發(fā)光層的工序中，將所述噴墨頭沿所述象素區(qū)域的短軸方向掃描，在該掃描過(guò)程中，從該墨噴嘴向該象素區(qū)域噴出液滴。
根據(jù)本發(fā)明，對(duì)于有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光元件的發(fā)光層，在利用液滴噴出方式形成薄膜圖案的情況下，可以減少在該發(fā)光層上產(chǎn)生的「條狀不均」，并且可以迅速地制造「發(fā)光不均」較少的高品位的有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光元件。
另外，本發(fā)明的濾色片的制造方法，是在基板上形成在電極間具有發(fā)光層和空穴注入輸送層的發(fā)光元件而制成的、在發(fā)光方向一側(cè)形成有濾色片的濾色片的制造方法，其特征是，具有利用形成于液滴噴出裝置上的噴墨頭噴出液滴來(lái)形成所述濾色片的工序，所述濾色片形成于具有長(zhǎng)軸及短軸的象素區(qū)域內(nèi)，在形成所述濾色片的工序中，將所述噴墨頭沿所述象素區(qū)域的短軸方向掃描，在該掃描過(guò)程中，從該墨噴嘴向該象素區(qū)域噴出液滴。
根據(jù)本發(fā)明，在例如從有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光元件的發(fā)光層放射出白色光并使該白色光經(jīng)過(guò)濾色片后向外部射出的有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光元件中，可以不產(chǎn)生「條狀不均」地均勻并且高速地形成構(gòu)成該濾色片的薄膜圖案。所以，根據(jù)本發(fā)明，對(duì)由具有濾色片的有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光元件構(gòu)成的顯示面板，可以大幅度地減少顏色不均等。
另外，本發(fā)明的等離子顯示面板的制造方法，是具有形成于基板上的電極的等離子顯示面板的制造方法，其特征是，具有利用形成于液滴噴出裝置上的噴墨頭噴出液滴來(lái)形成所述電極的工序，所述電極形成于具有長(zhǎng)軸及短軸的規(guī)定區(qū)域內(nèi)，在形成所述電極的工序中，將所述噴墨頭沿所述規(guī)定區(qū)域的短軸方向掃描，在該掃描過(guò)程中，從該墨噴嘴向該規(guī)定區(qū)域噴出液滴。
根據(jù)本發(fā)明，在利用液滴噴出方式形成構(gòu)成等離子顯示面板的電極的薄膜圖案的情況下，可以減少在該薄膜圖案上產(chǎn)生的「條狀不均」，從而可以高精度并且迅速地形成等離子顯示面板的電極。
另外，本發(fā)明的液晶顯示面板的制造方法，是具有形成于基板上的濾色片的液晶顯示面板的制造方法，其特征是，具有利用形成于液滴噴出裝置上的噴墨頭噴出液滴來(lái)形成所述濾色片的工序，所述濾色片形成于具有長(zhǎng)軸及短軸的規(guī)定區(qū)域內(nèi)，在形成所述濾色片的工序中，將所述噴墨頭沿所述規(guī)定區(qū)域的短軸方向掃描，在該掃描過(guò)程中，從該墨噴嘴向該規(guī)定區(qū)域噴出液滴。
根據(jù)本發(fā)明，在利用液滴噴出方式形成構(gòu)成液晶顯示面板的濾色片的薄膜圖案的情況下，可以減少在該薄膜圖案上產(chǎn)生的「條狀不均」，使液晶顯示面板的顏色不均大幅度減少，并且可以縮短制造時(shí)間。
另外，本發(fā)明的薄膜圖案的制造方法中，所述液狀體材料最好是形成光刻膠膜的材料。
根據(jù)本發(fā)明，可以用使用了液滴噴出方式的所述薄膜圖案的制造方法迅速地形成用例如光刻法在基板上轉(zhuǎn)印形成各種圖案時(shí)形成的光刻膠膜。此外，根據(jù)本發(fā)明，由于可以減少光刻膠膜上產(chǎn)生的「條狀不均」，因此可以使用光刻法及液滴噴出方式，高精度并且迅速地形成各種薄膜圖案。
本發(fā)明的電子設(shè)備的特征是，具有用所述薄膜圖案的制造方法而制造的薄膜圖案。
根據(jù)本發(fā)明，由于可以迅速地提供以「條狀不均」較少的薄膜圖案作為構(gòu)成要素的電子設(shè)備，因此通過(guò)例如使用該薄膜圖案作為象素，就能夠以低成本提供具有發(fā)光不均較少的顯示部的電子設(shè)備。另外，通過(guò)例如以所述「條狀不均」較少的薄膜圖案作為半導(dǎo)體集成電路等的構(gòu)成要素，可以提供既緊湊又高性能而且不良情況的發(fā)生概率較低的電子設(shè)備。


圖1是本發(fā)明的實(shí)施方式1的薄膜圖案的制造方法的說(shuō)明圖。
圖2是對(duì)同上的涂布方法的其他的說(shuō)明圖。
圖3是本發(fā)明的實(shí)施方式2的薄膜圖案的制造方法的說(shuō)明圖。
圖4是本發(fā)明的實(shí)施方式3的薄膜圖案的制造方法的說(shuō)明圖。
圖5是表示同上實(shí)施方式的變形例的說(shuō)明圖。
圖6是表示有機(jī)EL裝置的制造方法的剖面圖。
圖7是表示等離子顯示面板的制造方法的剖面圖。
圖8是表示液晶裝置的制造方法的剖面圖。
圖9是表示本發(fā)明的實(shí)施方式的電子設(shè)備的一個(gè)例子的圖。
圖10是表示本發(fā)明的實(shí)施方式的電子設(shè)備的一個(gè)例子的圖。
圖11是表示本發(fā)明的實(shí)施方式的電子設(shè)備的一個(gè)例子的圖。
圖12是表示利用以往的液滴噴出方式的涂布方法的說(shuō)明圖。
其中，1、1a、1b、1c、1d、1e、1f...象素區(qū)域，10...基板，20...噴嘴頭，21a、21b、21c...墨噴嘴，L1、L2、L3、L4、L5、L6、L11、L12、L13、L11a、L11b、L11c...掃描線具體實(shí)施方式
下面將參照附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式的薄膜圖案的制造方法進(jìn)行說(shuō)明。
(實(shí)施方式1)圖1是表示本發(fā)明的實(shí)施方式1的薄膜圖案的制造方法的說(shuō)明圖。在基板上形成有象素區(qū)域1。最好在象素區(qū)域1的外周設(shè)置凸條形狀的隔壁(堤壩bank)。象素區(qū)域1采用縱向形狀，具有穿過(guò)象素區(qū)域1的中央并縱貫該象素區(qū)域1的長(zhǎng)軸、穿過(guò)象素區(qū)域1的中央并橫貫該象素區(qū)域1的短軸。而且，象素區(qū)域1的形狀也可以是長(zhǎng)方形或橢圓形等。
在象素區(qū)域1內(nèi)，以液滴噴出方式涂布液狀體材料。例如在形成于象素區(qū)域1內(nèi)的象素為有機(jī)EL元件時(shí)，該液狀體材料為由形成空穴注入層或發(fā)光層的材料及溶劑構(gòu)成的材料。圖1所示的掃描線L1、L2、L3是為了規(guī)定設(shè)于液滴噴出裝置的噴嘴頭上的墨噴嘴的移動(dòng)位置而假想設(shè)定的掃描線。掃描線L1、L2、L3被設(shè)定為與象素區(qū)域1的短軸平行。
所以，墨噴嘴一邊在掃描線L1上向圖面右側(cè)移動(dòng)，即沿象素區(qū)域1的短軸方向掃描，一邊噴出所述液狀體材料的液滴，使該液滴命中象素區(qū)域1內(nèi)。另外，墨噴嘴一邊在掃描線L2上向圖面右側(cè)移動(dòng)，一邊噴出液滴，使該液滴命中象素區(qū)域1內(nèi)。另外，墨噴嘴一邊在掃描線L2上向圖面右側(cè)移動(dòng)，一邊噴出液滴，使該液滴命中象素區(qū)域1內(nèi)。
這樣，多個(gè)液滴在象素區(qū)域1的整體上分散噴出，在象素區(qū)域1整體上涂布液狀體材料。此外，通過(guò)使被涂布的液狀體材料干燥，即形成例如所述空穴注入層及發(fā)光層等。
圖2是表示在設(shè)于所述基板上的多個(gè)象素區(qū)域涂布液狀體材料的狀態(tài)的說(shuō)明圖。在基板10的上表面形成多個(gè)象素區(qū)域1a、1b、1c、1d、1e、1f。在各象素區(qū)域1a、1b、1c、1d、1e、1f的外周，最好設(shè)置凸條形狀的隔壁(堤壩)。各象素區(qū)域1a、1b、1c、1d、1e、1f采用與圖1所示的象素區(qū)域1近似相同的形狀。
此外，對(duì)于作為第1行的象素而形成的象素區(qū)域1a、1b、1c，與圖1所示的方法相同，設(shè)定掃描線L1、L2、L3，一邊將墨噴嘴沿象素區(qū)域1a、1b、1c的短軸方向掃描，一邊進(jìn)行液滴噴出。另外，對(duì)于作為第2行的象素而形成的象素區(qū)域1d、1e、1f，與圖1所示的方法相同，設(shè)定掃描線L4、L5、L6，一邊將墨噴嘴沿象素區(qū)域1d、1e、1f的短軸方向掃描，一邊進(jìn)行液滴噴出。
這樣，多個(gè)液滴在各象素區(qū)域1a、1b、1c、1d、1e、1f的整體上分散噴出，在各象素區(qū)域內(nèi)的整體上涂布液狀體材料。
此外，通過(guò)使被涂布的液狀體材料干燥，即在形成于基板10上的各象素區(qū)域1a、1b、1c、1d、1e、1f上形成例如所述空穴注入層及發(fā)光層等。
在所述液狀體材料的涂布中所使用的液滴噴出裝置的噴嘴頭上，最好設(shè)置多個(gè)墨噴嘴。該多個(gè)墨噴嘴也可以在例如直線上以規(guī)定間隔配置。如果這樣設(shè)置，則可以例如對(duì)掃描線L1用第1墨噴嘴進(jìn)行液滴噴出，對(duì)掃描線L2用與第1墨噴嘴相鄰配置的第2墨噴嘴進(jìn)行液滴噴出，對(duì)掃描線L3用與第2墨噴嘴相鄰配置的第3墨噴嘴進(jìn)行液滴噴出。
即，可以對(duì)1個(gè)象素區(qū)域1用多個(gè)墨噴嘴近似同時(shí)或逐次地噴出多個(gè)液滴。
如果像這樣采用本實(shí)施方式的薄膜圖案的制造方法，則由于使墨噴嘴沿象素區(qū)域的短軸方向掃描，因此與使墨噴嘴沿象素區(qū)域的長(zhǎng)軸方向掃描的情況相比，更容易進(jìn)行利用多個(gè)墨噴嘴向1個(gè)象素區(qū)域進(jìn)行近似同時(shí)的液滴噴出。所以，根據(jù)本實(shí)施方式，可以比以往更高速地進(jìn)行基于液滴噴出方式的向象素區(qū)域的液狀體材料的涂布。
另外，根據(jù)本實(shí)施方式，雖然對(duì)1個(gè)象素區(qū)域用多個(gè)不同的墨噴嘴涂布液狀體，但是與使墨噴嘴沿象素區(qū)域的長(zhǎng)軸方向掃描的情況相比，更加容易。這樣，由于將各墨噴嘴間的液滴噴出量的差(誤差)分散，因此可以減少在成為象素的構(gòu)成要素的薄膜(空穴注入層或發(fā)光層等)上產(chǎn)生「條狀不均」，從而可以減少發(fā)光不均的產(chǎn)生。
另外，在所述實(shí)施方式中，利用掃描線L1、L2、L3對(duì)1個(gè)象素區(qū)域1進(jìn)行的多次液滴噴出最好按照由某1個(gè)液滴命中而形成的薄膜(點(diǎn)薄膜)的一部分與由另外的液滴命中而形成的點(diǎn)薄膜的一部分重合的方式來(lái)進(jìn)行。如果這樣做，則可以對(duì)象素區(qū)域1的整體都不會(huì)漏涂，而形成厚度更均勻的薄膜圖案。
另外，在所述實(shí)施方式中，利用掃描線L1、L2、L3對(duì)1個(gè)象素區(qū)域1進(jìn)行的多次液滴噴出也可以用2種以上的液滴噴出量來(lái)進(jìn)行。例如，也可以對(duì)掃描線L1、L3使用較少的液滴噴出量，對(duì)掃描線L2使用較多的液滴噴出量。如果這樣做，則可以對(duì)象素區(qū)域1內(nèi)的中央附近增多液滴噴出量，對(duì)象素區(qū)域1內(nèi)的端部減少液滴噴出量。所以，對(duì)于象素區(qū)域1的整體就可以沒(méi)有漏涂，并且抑制「條狀不均」的產(chǎn)生，同時(shí)快速地形成所需的薄膜圖案。
另外，在所述實(shí)施方式中，利用掃描線L1、L2、L3對(duì)1個(gè)象素區(qū)域1進(jìn)行的多次液滴噴出也可以用2種以上的粘度的液滴來(lái)進(jìn)行。例如，在液滴噴出裝置中，對(duì)向掃描線L1、L3進(jìn)行液滴噴出的第1及第3墨噴嘴供給粘度比較高的液狀體材料，對(duì)向掃描線L2進(jìn)行液滴噴出的第2墨噴嘴供給粘度比較低的液狀體材料。
這樣，就會(huì)向象素區(qū)域1內(nèi)的端部噴出高粘度的液滴，對(duì)象素區(qū)域1內(nèi)的中央附近噴出低粘度的液滴。所以，根據(jù)本薄膜圖案的制造方法，可以對(duì)象素區(qū)域1的整體實(shí)現(xiàn)膜厚的均勻化，并且可以快速地形成所需的薄膜圖案。
另外，在所述實(shí)施方式中，雖然對(duì)1個(gè)象素區(qū)域1進(jìn)行多次液滴噴出，但是最好在最初命中象素區(qū)域1的液滴完全干燥之前，完成對(duì)象素區(qū)域1整體的液滴噴出。即，最好在命中1個(gè)象素區(qū)域1的多個(gè)液滴分別完全干燥之前，噴出對(duì)該1個(gè)象素區(qū)域1整體的液滴而形成薄膜。如果這樣做，則可以將命中象素區(qū)域1的多個(gè)液滴互相混合，形成更加平坦的薄膜圖案。
另外，在所述實(shí)施方式中，也可以在對(duì)1個(gè)象素區(qū)域1的多次液滴噴出過(guò)程中加入中間干燥工序。即，對(duì)1個(gè)象素區(qū)域1進(jìn)行規(guī)定次數(shù)的一半的液滴噴出，然后實(shí)施使命中的液滴不達(dá)到完全干燥程度的干燥處理(中間干燥工序)。然后，對(duì)象素區(qū)域1進(jìn)行剩余的液滴噴出。
如果這樣做，則可以在利用中間干燥工序減少命中的液滴的體積后進(jìn)行剩余的液滴噴出，避免液滴向象素區(qū)域1的外側(cè)溢出，而且能夠形成厚度均勻并且具有較大厚度的薄膜圖案。
另外，也可以使用所述實(shí)施方式的薄膜圖案的制造方法形成有機(jī)EL元件的濾色片。例如，在從發(fā)光層放射白色光并使該白色光經(jīng)過(guò)濾色片向外部射出的有機(jī)EL元件中，可以不產(chǎn)生「條狀不均」而均勻并且快速地形成構(gòu)成該濾色片的薄膜圖案。所以，根據(jù)本實(shí)施方式，對(duì)于由具有濾色片的有機(jī)EL元件形成的顯示面板，可以大幅度地減少顏色不均等。
(實(shí)施方式2)下面參照?qǐng)D3對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式2進(jìn)行說(shuō)明。圖3是表示本發(fā)明的實(shí)施方式2的薄膜圖案的制造方法的說(shuō)明圖。本實(shí)施方式與所述實(shí)施方式1的不同點(diǎn)在于，在本實(shí)施方式中，不僅沿象素區(qū)域1a、1b、1c、1d、1e、1f的短軸方向設(shè)定掃描線L1、L2、L3、L4、L5、L6，而且沿象素區(qū)域1a、1b、1c、1d、1e、1f的長(zhǎng)軸方向設(shè)定掃描線L11、L12、L13。
具體來(lái)說(shuō)，首先在基板10的上表面形成多個(gè)象素區(qū)域1a、1b、1c、1d、1e、1f。在各象素區(qū)域1a、1b、1c、1d、1e、1f的外周最好設(shè)置凸條形狀的隔壁(堤壩)。
此后，對(duì)于作為第1行的象素形成的象素區(qū)域1a、1b、1c，與圖2所示的方法相同，設(shè)定掃描線L1、L2、L3，一邊將墨噴嘴沿象素區(qū)域1a、1b、1c的短軸方向掃描，一邊進(jìn)行液滴噴出。另外，對(duì)于作為第2行的象素形成的象素區(qū)域1d、1d、1f，與圖2所示的方法相同，設(shè)定掃描線L4、L5、L6，一邊將墨噴嘴沿象素區(qū)域1d、1e、1f的短軸方向掃描，一邊進(jìn)行液滴噴出。
另外，對(duì)于作為第1列的象素形成的象素區(qū)域1a、1d，與該象素區(qū)域的長(zhǎng)軸平行地設(shè)定掃描線L11。該掃描線L11也可以是互相平行的多條掃描線。另外，對(duì)于作為第2列的象素形成的象素區(qū)域1b、1e，與該象素區(qū)域的長(zhǎng)軸平行地設(shè)定掃描線L12。該掃描線L12也可以是互相平行的多條掃描線。另外，對(duì)于作為第3列的象素形成的象素區(qū)域1c、1f，與該象素區(qū)域的長(zhǎng)軸平行地設(shè)定掃描線L13。該掃描線L13也可以是互相平行的多條掃描線。
此后，一邊將墨噴嘴對(duì)掃描線L11、L12、L13進(jìn)行掃描，一邊向各象素區(qū)域1a、1b、1c、1d、1e、1f進(jìn)行液滴噴出。該液滴噴出可以與對(duì)所述掃描線L1、L2、L3的液滴噴出相同地進(jìn)行。
這樣，本實(shí)施方式即具有將墨噴嘴沿象素區(qū)域1a、1b、1c、1d、1e、1f的短軸方向掃描的短軸方向噴出處理和將墨噴嘴沿象素區(qū)域1a、1b、1c、1d、1e、1f的長(zhǎng)軸方向掃描的長(zhǎng)軸方向噴出處理。所以，由于在各象素區(qū)域1a、1b、1c、1d、1e、1f中，使用掃描方向相差90度的2種掃描線進(jìn)行液滴噴出，因此，各液滴的噴出量及粘度等的差(誤差)被分散。所以，根據(jù)本實(shí)施方式，可以避免液滴噴出狀態(tài)對(duì)各象素區(qū)域1a、1b、1c、1d、1e、1f以直線狀偏離，可以更有效地避免在構(gòu)成象素的薄膜圖案上產(chǎn)生「條狀不均」。
(實(shí)施方式3)下面參照?qǐng)D4及圖5對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式3進(jìn)行說(shuō)明。圖4是表示本發(fā)明的實(shí)施方式3的薄膜圖案的制造方法的說(shuō)明圖。本實(shí)施方式中，使用在噴嘴頭20上設(shè)有多個(gè)墨噴嘴21a、21b、21c的液滴噴出裝置。各墨噴嘴21a、21b、21c也可以在噴嘴頭20上在規(guī)定直線上以規(guī)定間隔配置。
相對(duì)于象素區(qū)域1，與該象素區(qū)域1的短軸平行地設(shè)定多條掃描線L1、L2、L3。此外，按照墨噴嘴21a在掃描線L1上移動(dòng)，墨噴嘴21b在掃描線L2上移動(dòng)，墨噴嘴21c在掃描線L3上移動(dòng)的方式，使噴嘴頭20在象素區(qū)域1的短軸方向移動(dòng)。
這里，按照使規(guī)定墨噴嘴21a、21b、21c的配置位置的直線與掃描線L1、L2、L3斜交的方式，即，形成使噴嘴頭20的正面與掃描線L1、L2、L3斜向面對(duì)的狀態(tài)，使該噴嘴頭20移動(dòng)。此外，在噴嘴頭20的移動(dòng)過(guò)程中，從墨噴嘴21a、21b、21c噴出液滴，在象素區(qū)域1上形成薄膜圖案。
根據(jù)本實(shí)施方式，可以使設(shè)于噴嘴頭20上的多個(gè)墨噴嘴21a、21b、21c的移動(dòng)軌跡(掃描線L1、L2、L3)的間隔比墨噴嘴21a、21b、21c相互的間隔更短。所以，根據(jù)本實(shí)施方式，對(duì)于1個(gè)象素區(qū)域1，就可以用更多的墨噴嘴近似同時(shí)或逐次地噴出液滴，無(wú)論是小的象素還是大的象素，都可以減少「條狀不均」，并可以更快速地形成構(gòu)成象素的薄膜圖案。
下面參照?qǐng)D5對(duì)本實(shí)施方式的變形例進(jìn)行說(shuō)明。圖5是表示本實(shí)施方式的變形例的薄膜圖案的制造方法的說(shuō)明圖。本薄膜圖案的制造方法中，在使噴嘴頭20沿長(zhǎng)軸方向?qū)ο笏貐^(qū)域1進(jìn)行掃描時(shí)，形成該噴嘴頭20的正面與長(zhǎng)軸方向(即掃描線L11a、L11b、L11c)斜向面對(duì)的狀態(tài)，使該噴嘴頭20移動(dòng)。此外，在噴嘴頭20的移動(dòng)過(guò)程中，從墨噴嘴21a、21b、21c噴出液滴，在象素區(qū)域1上形成薄膜圖案。
根據(jù)本變形例，可以使設(shè)于噴嘴頭20上的多個(gè)墨噴嘴21a、21b、21c的移動(dòng)軌跡(掃描線L11a、L11b、L11c)的間隔比墨噴嘴21a、21b、21c相互的間隔更短。所以，根據(jù)本實(shí)施方式，即使在將噴嘴頭20沿象素區(qū)域1的長(zhǎng)軸方向掃描的情況下，也可以對(duì)1個(gè)象素區(qū)域1，用更多的墨噴嘴21a、21b、21c近似同時(shí)或逐次地噴出液滴。所以，根據(jù)本實(shí)施方式，無(wú)論是對(duì)于小的象素還是大的象素，都可以減少「條狀不均」，并可以更快速地形成構(gòu)成象素的薄膜圖案。
<有機(jī)EL裝置的制造方法>
下面將參照?qǐng)D6對(duì)使用了所述實(shí)施方式1到3的薄膜圖案的制造方法的有機(jī)EL裝置的制造方法進(jìn)行具體說(shuō)明。本制造方法用所述實(shí)施方式的薄膜圖案的制造方法形成有機(jī)EL裝置的空穴注入輸送層。
空穴注入輸送層用組成物主要包含形成空穴注入輸送層的導(dǎo)電性化合物、分散溶劑、濕潤(rùn)劑，用于利用液滴噴出方式的圖案成膜中。形成該空穴注入輸送層的導(dǎo)電性化合物最好為由陽(yáng)極離子化的電勢(shì)較低的化合物。例如，當(dāng)使用銦錫氧化物(ITOIndium Tin Oxide)作為陽(yáng)極時(shí)，作為低分子類材料，可以舉出銅酞菁等卟啉化合物。
而且，也可以添加其他的添加劑、覆蓋膜穩(wěn)定化材料，例如可以使用粘度調(diào)節(jié)劑、老化防止劑、pH調(diào)節(jié)劑、防腐劑、樹(shù)脂乳劑、均化劑等。
對(duì)使用銅酞菁作為導(dǎo)電性化合物(空穴注入輸送層成分)時(shí)的空穴注入輸送層用組成物的物性特性進(jìn)行了研究。調(diào)整了表1至表10所示的組成物A至組成物J的試樣。
組成物A
組成物B
組成物C
組成物D
組成物E
組成物F
組成物G
組成物H
組成物I
組成物J

(噴出評(píng)價(jià))對(duì)表1～表8所示的組成物A～組成物H對(duì)構(gòu)成噴墨頭的噴嘴面構(gòu)成材料的接觸角、粘度及表面張力進(jìn)行了測(cè)定，評(píng)價(jià)了它們的噴出性。使用噴墨打印裝置(愛(ài)普生制MJ-500C)進(jìn)行了噴出評(píng)價(jià)。
而且，粘度為20℃時(shí)的測(cè)定值。將它們的結(jié)果表示在表11中。


從該結(jié)果可以看到，接觸角優(yōu)選30°～170°，特別優(yōu)選35°～65°。另外發(fā)現(xiàn)，粘度優(yōu)選1cp到20cp，特別優(yōu)選2cp到4cp，表面張力優(yōu)選20dyne到70dyne的范圍，特別優(yōu)選25dyne到40dyne的范圍。
另外，當(dāng)混入甘油作為濕潤(rùn)劑的組成物A至組成物C與未混入濕潤(rùn)劑的組成物F至組成物H比較時(shí)，發(fā)現(xiàn)噴出性更為優(yōu)良。所以，最好在墨水組成物中含有濕潤(rùn)劑。通過(guò)混入濕潤(rùn)劑，就可以有效地防止墨水組成物在噴嘴口處干燥·凝固。作為該濕潤(rùn)劑，例如雖然可以舉出甘油、二甘醇等多價(jià)醇類，但是特別優(yōu)選甘油。
(空穴注入輸送層用組成物的制法)制造了表1至表3及表9、表10中分別所示的組成物A至組成物C及組成物I、組成物J，對(duì)超聲波處理前后的空穴注入輸送層形成化合物(銅酞菁)的粒度分布進(jìn)行了測(cè)定。另外，對(duì)超聲波處理后，使用經(jīng)過(guò)了過(guò)濾工序的所述空穴注入輸送層用組成物，利用液滴噴出方式的圖案處理而形成的空穴注入輸送層的成膜性進(jìn)行了評(píng)價(jià)。
將它們的結(jié)果表示在表12中。超聲波處理的效果用1μm以下的粒度分布的比例表示。而且，在苯乙烯丙烯酸樹(shù)脂分散液中的粒徑在1μm以上。


從該結(jié)果可以看到，通過(guò)對(duì)所述分散液進(jìn)行4小時(shí)超聲波處理，可以提高分散性。另外，通過(guò)進(jìn)一步過(guò)濾超聲波處理分散液，可以獲得更加均勻的空穴注入輸送層膜。另外發(fā)現(xiàn)，作為導(dǎo)電性化合物的分散極性溶劑，最好為水、或水與甲醇或者乙氧基乙醇的混合溶劑(組成物A至組成物C)，當(dāng)使用這些溶劑時(shí)，成膜性也十分良好。
(有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光元件的制造工序)使用表1至表3所示的組成物A至組成物C，按照如下所示的順序，進(jìn)行基于液滴噴出方式的空穴注入輸送層的圖案成膜，制造了有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光元件(發(fā)光層)。
陽(yáng)極形成工序(圖6(A))本工序是在玻璃基板102上形成陽(yáng)極101的工序。作為玻璃基板102，最好是難以被酸或堿等藥品侵蝕的可以批量生產(chǎn)的材料。在基板102上以0.1μm的厚度形成ITO透明電極薄膜，以例如100μm的間距進(jìn)行圖案形成。
分隔構(gòu)件形成工序(同圖(B))本工序是在玻璃基板102上形成分隔構(gòu)件103的工序。具體來(lái)說(shuō)，利用光刻法形成填充陽(yáng)極(ITO電極)101之間并兼作防止墨水流淌壁(堤壩)的非感光性聚亞胺(分隔構(gòu)件)。
這里，在分隔構(gòu)件103的形成中，也可以使用圖1至圖5所示的本實(shí)施方式的薄膜圖案的制造方法。將分隔構(gòu)件103設(shè)為例如寬20μm，厚2.0μm。
空穴注入輸送層用組成物噴出工序(同圖(C))另外，從噴墨打印裝置(愛(ài)普生制MJ-800C)104的噴頭105噴出空穴注入輸送層用組成物A至C(圖中106)，對(duì)空穴注入輸送層107進(jìn)行了圖案成膜。該成膜使用了圖1到圖5所示的本實(shí)施方式的薄膜圖案的制造方法。在圖案成膜后，利用200℃下10分鐘的干燥處理形成了空穴注入輸送層。在空穴注入輸送層用組成物噴出時(shí)，未看到超越堤壩的涂布，獲得了「條狀不均」較少、高精度的空穴注入輸送層圖案。
發(fā)光層組成物填充工序(同圖(D))然后，作為綠色發(fā)光層，制造了PPV前體(聚對(duì)苯乙烯)組成物。利用液滴噴出方式噴出發(fā)光層組成物108，對(duì)發(fā)光層109進(jìn)行了圖案成膜。該成膜也使用了圖1到圖5所示的本實(shí)施方式的薄膜圖案的制造方法。也可以使用摻雜了顯示紅色光的羅丹明B的PPV或摻雜了顯示藍(lán)色光的香豆素的PPV作為發(fā)光層109。通過(guò)在空穴注入輸送層上進(jìn)一步圖案形成顯示紅、綠、藍(lán)三原色光的發(fā)光層，就可以實(shí)現(xiàn)沒(méi)有顏色不均的高品位的全色有機(jī)EL顯示的制造。
陰極形成工序(同圖(E))最后，按照覆蓋發(fā)光層109的方式蒸鍍陰極110，形成了有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光元件。
根據(jù)本有機(jī)EL裝置的制造方法，可以簡(jiǎn)便地快速并且以低成本制成沒(méi)有條紋形狀的顏色不均的有機(jī)EL裝置。
<等離子顯示面板的制造方法>
下面參照?qǐng)D7對(duì)使用了所述實(shí)施方式的薄膜圖案形成方法的等離子顯示面板的制造方法進(jìn)行具體地說(shuō)明。本制造方法中，用所述實(shí)施方式的薄膜圖案的制造方法形成等離子顯示面板的電極布線圖案。圖7是表示使用本實(shí)施方式的薄膜圖案的制造方法制造的等離子顯示面板的一個(gè)例子的剖面圖。
等離子顯示面板120是將2片玻璃基板121、129粘接并在由兩基板形成的空間中填充了惰性氣體的裝置。在玻璃基板121、129上，分別設(shè)有用本實(shí)施方式的薄膜圖案的制造方法形成的電極(透明電極122、總線電極123、地址電極127)等。下面對(duì)等離子顯示面板120的構(gòu)成進(jìn)行具體說(shuō)明。
在等離子顯示面板120中，在夾隔放電空間125的基板當(dāng)中的觀察側(cè)的玻璃基板121的內(nèi)表面上，在每條作為畫(huà)面的水平方向的單元(cell)列的行(line)上排列有保持電極。保持電極由作為透明導(dǎo)電膜的透明電極122和作為用于降低電阻值的金屬膜的總線電極123構(gòu)成。透明電極122和總線電極123是用所述的圖1到圖5所示的薄膜圖案的制造方法設(shè)置的電極。即，透明電極122是用圖1到圖5所示的液滴噴出方式形成的銦錫氧化物，總線電極123也是用圖1所示的液滴噴出方式形成的。
透明電極122和總線電極123由用于交流驅(qū)動(dòng)的電介質(zhì)層124覆蓋。電介質(zhì)層124具有透光性。在背面?zhèn)鹊牟ＡЩ?29的內(nèi)側(cè)，設(shè)有地址電極127、隔壁128及用于彩色顯示的3色(紅R、綠G、藍(lán)B)的熒光體126R、126G、126B。
放電空間125被隔壁128沿行方向劃分出各單位發(fā)光區(qū)域。在放電空間125中，填充有由氬氣或氖氣等構(gòu)成的放電氣體。熒光體126R、126G、126B被放電中產(chǎn)生的紫外線局部地激發(fā)，發(fā)出規(guī)定顏色的可見(jiàn)光。顯示的1個(gè)單位的發(fā)光區(qū)域由沿行方向并列的3個(gè)單位發(fā)光區(qū)域構(gòu)成。各單位發(fā)光區(qū)域的范圍內(nèi)的構(gòu)造體為單元(cell)。
下面對(duì)具有所述構(gòu)造的等離子顯示面板120的制造工序進(jìn)行說(shuō)明。而且，將2片玻璃基板121、129當(dāng)中的觀察側(cè)(顯示面?zhèn)?的玻璃基板121稱為觀察面?zhèn)然鍢?gòu)造體，將與玻璃基板121相反一側(cè)(背面?zhèn)?的玻璃基板129稱為背面?zhèn)然鍢?gòu)造體。
首先，作為觀察面?zhèn)然鍢?gòu)造體，在光透過(guò)性的玻璃基板121上形成透明電極122。透明電極122的形成如圖1至圖5所示，用涂布銦錫氧化物的方式進(jìn)行。然后，在透明電極122之上形成總線電極123?？偩€電極123的形成也如圖1到圖5所示，用涂布導(dǎo)電性材料的方式進(jìn)行。然后，通過(guò)形成覆蓋透明電極122及總線電極的電介質(zhì)層124，即完成觀察面?zhèn)然鍢?gòu)造體。
另一方面，作為背面?zhèn)然鍢?gòu)造體，首先，在玻璃基板129上形成地址電極127。該地址電極127的形成也如圖1到圖5所示，用涂布導(dǎo)電性材料的方式進(jìn)行。然后，在形成了隔壁128之后，在由隔壁128分隔的空間中用絲網(wǎng)印刷法等形成熒光體126R、126G、126B。該熒光體126R、126G、126B例如利用絲網(wǎng)印刷法形成將規(guī)定發(fā)光顏色的熒光體粉末、和由纖維素類或丙烯酸類的增粘劑樹(shù)脂和醇類或酯類等有機(jī)溶劑構(gòu)成的載色劑(vehicle)混合了的熒光體糊狀物。在地址電極127方向上交互形成發(fā)出紅色光的熒光體126R、發(fā)出綠色光的熒光體126G、發(fā)出藍(lán)色光的熒光體126B。然后，對(duì)熒光體126R、126G、126B在大氣壓的空氣氣氛中實(shí)施熱處理，使載色劑的揮發(fā)成分蒸發(fā)。該熱處理也被稱為熒光體的燒結(jié)工序。
當(dāng)熒光體126R、126G、126B的燒結(jié)完成時(shí)，將觀察面?zhèn)然鍢?gòu)造體和背面?zhèn)然鍢?gòu)造體粘合，將內(nèi)部進(jìn)行真空排氣后，通過(guò)填充惰性氣體，即完成等離子顯示面板120。
這樣，本實(shí)施方式的等離子顯示面板120的制造方法中，由于在透明電極122、總線電極123及地址電極127的形成中，使用本實(shí)施方式的薄膜圖案的制造方法(液滴噴出方式)，因此與用光刻法或蝕刻法制造的情況相比，可以大幅度地減少銦錫氧化物及導(dǎo)電性材料的浪費(fèi)量。另外，在本實(shí)施方式的等離子顯示面板120的制造方法中，由于在形成透明電極122、總線電極123及地址電極127時(shí)，不需要制造光掩模，因此可以縮短制造時(shí)間，同時(shí)還可以降低制造成本。
另外，在本實(shí)施方式的等離子顯示面板120中，即使在總線電極123中出現(xiàn)了斷線，由于在該導(dǎo)電性圖案之下形成有由銦錫氧化物構(gòu)成的透明電極123，因此作為基板上的布線而連接在一起，可以發(fā)揮等離子顯示面板120的規(guī)定的功能。
另外，在本實(shí)施方式的等離子顯示面板120中，在用液滴噴出方式形成透明電極122、總線電極123及地址電極127時(shí)，如圖1到圖5所示，由于沿薄膜圖案形成區(qū)域的短軸方向設(shè)定掃描線并涂布液滴，因此可以在構(gòu)成透明電極122、總線電極123及地址電極127的薄膜圖案上抑制「條狀不均」的產(chǎn)生，并且可以快速地形成該薄膜圖案。所以，根據(jù)本制造方法，由于可以高精度地并且快速地形成等離子顯示面板120的透明電極122、總線電極123及地址電極127，因此可以顯示高品位的圖像，能夠以低成本提供電流泄漏等問(wèn)題發(fā)生概率低的等離子顯示面板120。
<液晶裝置的制造方法>
下面將參照?qǐng)D8對(duì)使用所述實(shí)施方式的薄膜圖案的制造方法的液晶裝置的制造方法進(jìn)行具體說(shuō)明。本制造方法中，用所述實(shí)施方式的涂布方法形成液晶裝置的電極布線圖案及濾色片。圖8是表示使用本實(shí)施方式的薄膜圖案的制造方法制造的液晶裝置200的一個(gè)例子的剖面圖。
如圖8所示，在下側(cè)基板201的液晶層203側(cè)表面上，依次層疊形成有濾色片205、由有機(jī)膜等構(gòu)成的平坦化膜206、透明電極207、配向膜209。另一方面，在上側(cè)基板202的液晶層203側(cè)表面上，依次層疊形成有由銦錫氧化物構(gòu)成的透明電極208和配向膜210。另外，在液晶層203內(nèi)配置有多個(gè)球狀的間隔物(spacer)213。
濾色片205由在規(guī)定的圖案上形成的紅(R)、綠(G)、藍(lán)(B)著色層205a和對(duì)相鄰的著色層205a間進(jìn)行遮光的遮光層(黑底)205b構(gòu)成。另外，配向膜209、210由聚亞胺等配向性高分子構(gòu)成，與未加電場(chǎng)時(shí)的液晶層203的配向狀態(tài)吻合地使用布等將其表面沿規(guī)定的方向摩擦。濾色片205及平坦化膜206至少形成于顯示區(qū)域內(nèi)，并且僅形成于比密封材料204更靠近內(nèi)側(cè)的位置。
下面對(duì)所述構(gòu)造的液晶裝置200的制造方法進(jìn)行說(shuō)明。
首先，在下側(cè)基板201的表面，依次形成濾色片205、平坦化膜206、透明電極207、配向膜209。這里，濾色片205及透明電極207分別用圖1到圖5所示的薄膜圖案的制造方法形成。
另外，在上側(cè)基板202的表面，依次形成透明電極208和配向膜210。這里，透明電極208也用圖1到圖5所示的薄膜圖案的制造方法形成。即，在基板202的表面通過(guò)用液滴噴出裝置噴出銦錫氧化物的液滴來(lái)形成透明電極208。
然后，將在表面依次層疊形成了濾色片205、平坦化膜206、透明電極207、配向膜209的下側(cè)基板201和依次層疊形成了透明電極208和配向膜210的上側(cè)基板202夾隔未硬化的密封材料204而粘貼在一起，之后，將未硬化的密封材料204按照形成液晶的注入口的方式硬化，形成液晶單元(cell)。
然后，通過(guò)利用真空注入法向液晶單元內(nèi)抽吸液晶而形成液晶層203，來(lái)制造出所述構(gòu)造的液晶裝置200。
這樣，在本實(shí)施方式的液晶裝置200的制造方法中，由于用液滴噴出方式形成由銦錫氧化物等構(gòu)成的透明電極207、208，因此與用光刻法或蝕刻法制造的情況相比，可以大幅度地減少銦錫氧化物等的浪費(fèi)量。
另外，在本實(shí)施方式的液晶裝置200的制造方法中，由于在形成透明電極207、208時(shí)，不需要制造光掩模，因此可以縮短制造時(shí)間，同時(shí)還可以降低制造成本。
另外，在本實(shí)施方式的液晶裝置200的制造方法中，在用液滴噴出方式形成濾色片205及透明電極207、208時(shí)，由于用圖1到圖5所示的方法涂布液滴，因此可以快速地制造條紋形狀的發(fā)光不均較少的高品位的液晶裝置200。
(電子設(shè)備)對(duì)具有使用所述實(shí)施方式的薄膜圖案形成方法制造的電光學(xué)裝置(有機(jī)EL裝置、等離子顯示面板或液晶裝置)的電子設(shè)備的例子進(jìn)行說(shuō)明。
圖9是表示攜帶電話的一個(gè)例子的立體圖。在圖9中，符號(hào)1000表示攜帶電話主體，符號(hào)1001表示使用了所述電光學(xué)裝置的顯示部。
圖10是表示手表型電子設(shè)備的一個(gè)例子的立體圖。在圖10中，符號(hào)1100表示手表主體，符號(hào)1101表示使用了所述電光學(xué)裝置的顯示部。
圖11是表示文字處理器、個(gè)人電腦等便攜式信息處理裝置的一個(gè)例子的立體圖。在圖11中，符號(hào)1200表示信息處理裝置，符號(hào)1202表示鍵盤(pán)等輸入部，符號(hào)1204表示信息處理裝置主體，符號(hào)1206表示使用了所述電光學(xué)裝置的顯示部。
由于從圖9到圖11所示的電子設(shè)備具有所述實(shí)施方式的電光學(xué)裝置，因此能夠以低成本提供減少了顯示部等的發(fā)光不均及電流泄漏等的高品位的電子設(shè)備。
而且，本發(fā)明的技術(shù)范圍并不限定于所述實(shí)施方式，在不脫離本發(fā)明的主旨的范圍內(nèi)可以添加各種變更，在實(shí)施方式中舉出的具體的材料或?qū)訕?gòu)成等只不過(guò)是一個(gè)例子，可以進(jìn)行適當(dāng)?shù)淖兏?br> 權(quán)利要求
1.一種薄膜圖案的制造方法，其特征是，具有在具有長(zhǎng)軸及短軸的象素區(qū)域內(nèi)以液滴噴出方式涂布液狀體材料的液狀體涂布處理、和在所述液狀體涂布處理中將液滴噴出裝置的噴嘴頭沿所述象素區(qū)域的短軸方向掃描，在該掃描過(guò)程中從設(shè)于該噴嘴頭上的墨噴嘴向該象素區(qū)域噴出液滴的短軸方向噴出處理。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄膜圖案的制造方法，其特征是，在所述短軸方向噴出處理中，對(duì)1個(gè)所述象素區(qū)域進(jìn)行多次液滴噴出，該多次液滴噴出由至少2個(gè)不同的所述墨噴嘴進(jìn)行。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的薄膜圖案的制造方法，其特征是，所述噴嘴頭具有多個(gè)所述墨噴嘴，對(duì)所述1個(gè)象素區(qū)域的多次液滴噴出由至少2個(gè)相鄰的所述墨噴嘴大致同時(shí)或逐次地進(jìn)行。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的薄膜圖案的制造方法，其特征是，對(duì)所述1個(gè)象素區(qū)域的多次液滴噴出以至少2種液滴噴出量來(lái)進(jìn)行。
5.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的薄膜圖案的制造方法，其特征是，對(duì)所述1個(gè)象素區(qū)域的多次液滴噴出采用至少2種粘度的該液滴來(lái)進(jìn)行。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任意一項(xiàng)所述的薄膜圖案的制造方法，其特征是，所述噴嘴頭具有多個(gè)所述墨噴嘴，所述多個(gè)墨噴嘴在所述噴嘴頭上被配置在近似直線上，在所述短軸方向噴出處理中，規(guī)定所述多個(gè)墨噴嘴的配置的直線形成與設(shè)定在所述短軸方向上的掃描線斜交的狀態(tài)，使所述噴嘴頭進(jìn)行掃描。
7.根據(jù)權(quán)利要求2至6中任意一項(xiàng)所述的薄膜圖案的制造方法，其特征是，對(duì)所述1個(gè)象素區(qū)域的多次液滴噴出在最初命中該象素區(qū)域的液滴大致完全干燥之前，進(jìn)行最后的液滴噴出。
8.根據(jù)權(quán)利要求2至6中任意一項(xiàng)所述的薄膜圖案的制造方法，其特征是，在對(duì)所述1個(gè)象素區(qū)域的多次液滴噴出中，在對(duì)該象素區(qū)域的最初的液滴噴出和最后的液滴噴出之間，進(jìn)行使命中該象素區(qū)域的液滴不達(dá)到完全干燥的程度的干燥處理。
9.根據(jù)權(quán)利要求1至8中任意一項(xiàng)所述的薄膜圖案的制造方法，其特征是，該方法具有長(zhǎng)軸方向噴出處理，即，在所述液狀體涂布處理中，將液滴噴出裝置的噴嘴頭沿所述象素區(qū)域的長(zhǎng)軸方向掃描，在該掃描過(guò)程中，從設(shè)于該噴嘴頭上的墨噴嘴向該象素區(qū)域噴出液滴。
10.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任意一項(xiàng)所述的薄膜圖案的制造方法，其特征是，在所述長(zhǎng)軸方向噴出處理中，規(guī)定所述多個(gè)墨噴嘴的配置的直線形成與設(shè)定在所述長(zhǎng)軸方向上的掃描線斜交的狀態(tài)，使所述噴嘴頭進(jìn)行掃描。
11.根據(jù)權(quán)利要求2至10中任意一項(xiàng)所述的薄膜圖案的制造方法，其特征是，對(duì)所述1個(gè)象素區(qū)域的多次液滴噴出，按照使由一個(gè)液滴的命中而形成的薄膜的一部分與由另外的液滴的命中而形成的薄膜的一部分重疊的方式來(lái)進(jìn)行。
12.一種有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光元件的制造方法，是在基板上形成在電極間具有發(fā)光層和空穴注入層的發(fā)光元件而制成的有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光元件的制造方法，其特征是，具有利用形成于液滴噴出裝置上的噴墨頭噴出液滴來(lái)形成所述空穴注入層的工序，所述空穴注入層形成于具有長(zhǎng)軸及短軸的象素區(qū)域內(nèi)，在形成所述空穴注入層的工序中，將所述噴墨頭沿所述象素區(qū)域的短軸方向掃描，在該掃描過(guò)程中，從該墨噴嘴向該象素區(qū)域噴出液滴。
13.一種有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光元件的制造方法，是在基板上形成在電極間具有發(fā)光層和空穴注入層的發(fā)光元件而制成的有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光元件的制造方法，其特征是，具有利用形成于液滴噴出裝置上的噴墨頭噴出液滴來(lái)形成所述發(fā)光層的工序，所述發(fā)光層形成于具有長(zhǎng)軸及短軸的象素區(qū)域內(nèi)，在形成所述發(fā)光層的工序中，將所述噴墨頭沿所述象素區(qū)域的短軸方向掃描，在該掃描過(guò)程中，從該墨噴嘴向該象素區(qū)域噴出液滴。
14.一種濾色片的制造方法，是在基板上形成在電極間具有發(fā)光層和空穴注入輸送層的發(fā)光元件而制成的、在發(fā)光方向一側(cè)形成有濾色片的濾色片的制造方法，其特征是，具有利用形成于液滴噴出裝置上的噴墨頭噴出液滴來(lái)形成所述濾色片的工序，所述濾色片形成于具有長(zhǎng)軸及短軸的象素區(qū)域內(nèi)，在形成所述濾色片的工序中，將所述噴墨頭沿所述象素區(qū)域的短軸方向掃描，在該掃描過(guò)程中，從該墨噴嘴向該象素區(qū)域噴出液滴。
15.一種等離子顯示面板的制造方法，是具有形成于基板上的電極的等離子顯示面板的制造方法，其特征是，具有利用形成于液滴噴出裝置上的噴墨頭噴出液滴來(lái)形成所述電極的工序，所述電極形成于具有長(zhǎng)軸及短軸的規(guī)定區(qū)域內(nèi)，在形成所述電極的工序中，將所述噴墨頭沿所述規(guī)定區(qū)域的短軸方向掃描，在該掃描過(guò)程中，從該墨噴嘴向該規(guī)定區(qū)域噴出液滴。
16.一種液晶顯示面板的制造方法，是具有形成于基板上的濾色片的液晶顯示面板的制造方法，其特征是，具有利用形成于液滴噴出裝置上的噴墨頭噴出液滴來(lái)形成所述濾色片的工序，所述濾色片形成于具有長(zhǎng)軸及短軸的規(guī)定區(qū)域內(nèi)，在形成所述濾色片的工序中，將所述噴墨頭沿所述規(guī)定區(qū)域的短軸方向掃描，在該掃描過(guò)程中，從該墨噴嘴向該規(guī)定區(qū)域噴出液滴。
17.根據(jù)權(quán)利要求1至11中任意一項(xiàng)所述的薄膜圖案的制造方法，其特征是，所述液狀體材料是形成光刻膠膜的材料。
18.一種電子設(shè)備，其特征是，具有使用權(quán)利要求1至11中任意一項(xiàng)所述的薄膜圖案的制造方法而制造的薄膜圖案。
全文摘要
本發(fā)明提供一種薄膜圖案的制造方法、有機(jī)場(chǎng)致發(fā)光元件的制造方法、濾色片的制造方法、等離子顯示面板的制造方法、液晶顯示面板的制造方法及電子設(shè)備。其特征是，具有在具有長(zhǎng)軸及短軸的象素區(qū)域(1)內(nèi)用液滴噴出方式涂布液狀體材料的液狀體涂布處理、和在液狀體涂布處理中將液滴噴出裝置的噴嘴頭沿象素區(qū)域(1)的短軸方向(掃描線L1、L2、L3的方向)掃描，在該掃描過(guò)程中從設(shè)于該噴嘴頭上的墨噴嘴向象素區(qū)域(1)噴出液滴的短軸方向噴出處理。由此，在使用液滴噴出方式形成構(gòu)成象素的薄膜圖案時(shí)，可以減少在該薄膜圖案上產(chǎn)生的條狀不均或可以使該條狀不均分散。
文檔編號(hào)H01J11/22GK1575054SQ200410047808
公開(kāi)日2005年2月2日 申請(qǐng)日期2004年6月1日 優(yōu)先權(quán)日2003年6月2日
發(fā)明者酒井寬文 申請(qǐng)人:精工愛(ài)普生株式會(huì)社