一種彩色濾光片制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體器件制備領(lǐng)域，特別是涉及一種彩色濾光片制作方法。
【背景技術(shù)】
[0002]彩色濾光片(Color Filter)是顯示器進(jìn)行彩色化顯示的關(guān)鍵零組件，通常安裝在光源的前方，可以精確選擇欲通過的小范圍波段光波，而過濾掉其它不希望通過的波段，從而使人眼可以接收到飽和的某個顏色光線。
[0003]傳統(tǒng)技術(shù)中的一種彩色濾光片，結(jié)構(gòu)示意圖如圖1，包括玻璃基板101、黑色矩陣(BM, Black Matrix) 102、彩色層(Color Layer) 103、保護(hù)膜層(Over Coat) 104、ΙΤ0 導(dǎo)電薄膜105和間隔體(PS，Photo Spacer) 106。其中彩色層104包括紅色(R)濾光膜、綠色(G)濾光膜和藍(lán)色(B)濾光膜。傳統(tǒng)技術(shù)的彩色濾光片，其存在的一個問題是工藝比較復(fù)雜，先在玻璃基板上制作黑色矩陣，然后重復(fù)采用黃光制程，即分別采用涂布、曝光、顯影和固化步驟來制作R、G、B三原色濾光膜，之后在彩色濾光層上形成保護(hù)膜層，之后在保護(hù)膜層上濺鍍ΙΤ0導(dǎo)電薄膜，最后再在ΙΤ0導(dǎo)電薄膜上通過黃光制程形成間隔體，間隔體所在的位置都位于BM上方。
[0004]傳統(tǒng)技術(shù)的彩色濾光片，再一個問題是不含有白色濾光膜，近年來有些研究人員提出了一些增加白色濾光膜的方案，增加白色濾光膜，可以對顯示的亮度以及色飽和度進(jìn)行相關(guān)的控制，相對于傳統(tǒng)技術(shù)改善了顯示效果，然而這些方案制作白色濾光膜的工藝一般是參照傳統(tǒng)技術(shù)，即采用一個黃光制程，由此整個彩色濾光片的制作工藝相比于傳統(tǒng)技術(shù)更增加了復(fù)雜性。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]基于此，有必要針對提供一種彩色濾光片制作方法，相比于傳統(tǒng)技術(shù)，能夠在彩色濾光片中增加白色濾光通道，然而并不需要增加工藝的復(fù)雜性。
[0006]一種彩色濾光片制作方法，包括:
[0007]制作基板，所述制作基板的步驟包括:在玻璃基板的正面或背面形成一透明導(dǎo)電薄膜；
[0008]在所述透明導(dǎo)電薄膜或所述玻璃基板之上形成黑色矩陣；
[0009]在所述黑色矩陣之間的區(qū)域制作彩色濾光膜層，并預(yù)留空白區(qū)域作為白色濾光通道;
[0010]在所述彩色濾光膜層和所述空白區(qū)域上方形成一同時包括保護(hù)膜層和間隔體的單一膜層，所述單一膜層在所述空白區(qū)域處作為白色濾光膜層。
[0011]具體的，所述透明導(dǎo)電薄膜為ΙΤ0導(dǎo)電薄膜；
[0012]所述制作基板的步驟，包括:在所述玻璃基板的正面或背面采用磁控濺射沉積法形成ΙΤ0導(dǎo)電薄膜。
[0013]具體的，在所述透明導(dǎo)電薄膜或所述玻璃基板之上形成黑色矩陣的步驟，包括:
[0014]在所述透明導(dǎo)電薄膜或所述玻璃基板之上涂布黑色遮光材料，并將所述黑色遮光材料制作為黑色矩陣。
[0015]具體的，所述黑色遮光材料為黑色樹脂、鉻或鎳。
[0016]具體的，所述彩色濾光膜層包括紅色濾光膜、綠色濾光膜和藍(lán)色濾光膜；
[0017]所述在所述黑色矩陣之間的區(qū)域制作彩色濾光膜層的步驟，包括:
[0018]在所述黑色矩陣之間的區(qū)域涂布紅色、綠色或藍(lán)色負(fù)性感光樹脂，再經(jīng)過曝光、顯影、固化處理，得到對應(yīng)的紅色、綠色或藍(lán)色濾光膜。
[0019]具體的，在所述彩色濾光膜層和所述空白區(qū)域上方形成一同時包括保護(hù)膜層和間隔體的單一膜層的步驟，包括:
[0020]在所述彩色濾光膜層和所述空白區(qū)域上方涂布負(fù)性光阻材料；
[0021]對所述負(fù)性光阻材料采用全曝光與部分曝光相結(jié)合的方式，再經(jīng)過顯影、固化處理制成一同時包括保護(hù)膜層和間隔體的單一膜層，并在空白區(qū)域形成白色濾光通道。
[0022]具體的，所述負(fù)性光阻材料采用全曝光的位置處形成間隔體，所述負(fù)性光阻材料采用部分曝光的位置處形成保護(hù)膜層。
[0023]具體的，所述間隔體處于所述黑色矩陣的正上方。
[0024]上述彩色濾光片制作方法，在黑色矩陣之間的區(qū)域制作彩色濾光膜層，并預(yù)留空白區(qū)域作為白色濾光通道，然后在一個工藝步驟中在彩色濾光膜層和空白區(qū)域上方形成一同時包括保護(hù)膜層和間隔體的單一膜層，利用單一膜層在空白區(qū)域處作為白色濾光膜層，相比于傳統(tǒng)技術(shù)中的彩色濾光片，不僅減少了工藝的復(fù)雜性，還增加了白色透光功能。
【附圖說明】
[0025]圖1為傳統(tǒng)技術(shù)中的彩色濾光片的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0026]圖2為一個實施例中的彩色濾光片制作方法的流程示意圖；
[0027]圖3為一個實施例中的彩色濾光片結(jié)構(gòu)示意圖；
[0028]圖4為另一個實施例中的彩色濾光片的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0029]為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及實施例，對本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本發(fā)明，并不用于限定本發(fā)明。
[0030]參見圖2至圖4，在一個實施例中提供了一種彩色濾光片制作方法，包括:
[0031]201，制作基板。
[0032]具體的，制作基板的步驟包括:在玻璃基板的正面或背面形成一透明導(dǎo)電薄膜。透明導(dǎo)電薄膜通常是ΙΤ0導(dǎo)電薄膜。不同模式的顯示器，彩色濾光片的結(jié)構(gòu)中，玻璃基板與透明導(dǎo)電薄膜的位置關(guān)系有所不同。在TN模式的顯示器中，如圖3，在玻璃基板的正面形成ΙΤ0導(dǎo)電薄膜。而在圖4中，IPS模式的顯示器所采用的彩色濾光片，ΙΤ0導(dǎo)電薄膜位于玻璃基板的背面。在本實施例中，在玻璃基板正面或背面，可以采用磁控濺射沉積法形成ΙΤ0導(dǎo)電薄膜。
[0033]本步驟，相比圖1中傳統(tǒng)技術(shù)，是先在玻璃基板的正面或背面形成ΙΤ0薄膜，而不是在保護(hù)膜