專利名稱：彩色濾光片的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及液晶顯示器制造領(lǐng)域，尤其涉及一種彩色濾光片的制造方法。
背景技術(shù)：
隨著液晶顯示技術(shù)的發(fā)展，具有低消耗功率、無(wú)輻射等特性的TFT LCD 已經(jīng)成為液晶顯示市場(chǎng)的主流。LCD必須通過(guò)彩色濾光片(Color Filter, 簡(jiǎn)稱CF)才能使液晶顯示產(chǎn)生色彩變化。作為L(zhǎng)CD的重要部件，彩色濾光片 主要是由玻璃基板、黑矩陣、彩色樹(shù)脂圖形、保護(hù)層和透明導(dǎo)電層組成?，F(xiàn) 有技術(shù)中通常采用以下方法制造彩色濾光片首先在玻璃基板上形成一層黑 矩陣薄膜，通過(guò)構(gòu)圖工藝形成黑矩陣圖形，然后形成一層彩色樹(shù)脂薄膜，該 彩色樹(shù)脂薄膜覆蓋黑矩陣圖形，通過(guò)構(gòu)圖工藝形成彩色樹(shù)脂圖形，例如可以 首先形成紅色樹(shù)脂圖形；重復(fù)執(zhí)行上述形成彩色樹(shù)脂圖形的步驟，即可再形 成綠色樹(shù)脂圖形和藍(lán)色樹(shù)脂圖形，從而形成紅、綠、藍(lán)樹(shù)脂圖形規(guī)則排列的 彩色樹(shù)脂圖形。其中，構(gòu)圖工藝包括掩膜版掩膜、曝光、顯影、刻蝕、剝離 等工藝。
現(xiàn)有技術(shù)制造彩色濾光片的方法存在如下缺陷現(xiàn)有技術(shù)中一臺(tái)設(shè)備只 能制造出一張彩色濾光片，制造速度慢，生產(chǎn)效率低；并且在形成彩色樹(shù)脂 圖形的過(guò)程中，需要使用造價(jià)高昂的紫外線曝光機(jī)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種彩色濾光片的制造方法，克服了現(xiàn)有技術(shù)中彩 色濾光片生產(chǎn)效率低以及需要使用造價(jià)高昂的紫外線曝光機(jī)的缺陷。 為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供了一種彩色濾光片的制造方法，包括步驟l、制備具有凹槽的結(jié)構(gòu)模板，所述凹槽用于形成結(jié)構(gòu)圖形；
步驟2、將所述結(jié)構(gòu)模板扣設(shè)在目標(biāo)基板上，使所述凹槽與所述目標(biāo)基 板對(duì)接部分形成結(jié)構(gòu)圖形孔，所述結(jié)構(gòu)圖形孔的一端開(kāi)口，另一端封閉；
步驟3、將完成步驟2之后的所述結(jié)構(gòu)^莫板和所述目標(biāo)基板設(shè)置在一封 閉室中，使封閉室成為真空狀態(tài)；
步驟4、將完成步驟3之后的所述結(jié)構(gòu)模板和所述目標(biāo)基板的所述結(jié)構(gòu) 圖形孔開(kāi)口的一端浸入封閉室內(nèi)的溶液中，取消所述封閉室的真空狀態(tài)，使
所述溶液填充到所述結(jié)構(gòu)圖形孔內(nèi)；
步驟5、將完成步驟4之后的所述結(jié)構(gòu)模板和所述目標(biāo)基板從封閉室中 取出，設(shè)置在加熱室中加熱使所述結(jié)構(gòu)圖形孔內(nèi)的所述溶液固化；
步驟6、將完成步驟5之后的所述結(jié)構(gòu)模板與所述目標(biāo)基板分離，在所 述目標(biāo)基;^反上形成所述結(jié)構(gòu)圖形。
其中，所述步驟l具體包括
步驟ll、在基板上涂覆光刻膠；
步驟12、將基板上的光刻膠曝光，使光刻膠形成未曝光區(qū)域和完全曝光 區(qū)域；
步驟13、通過(guò)顯影工藝去除所述完全曝光區(qū)域的光刻膠； 步驟14、通過(guò)刻蝕工藝將完全曝光區(qū)域的基板刻蝕出用于形成所述結(jié)構(gòu) 圖形的凹槽；
步驟15、去除基板上未曝光區(qū)域的光刻膠，形成所述結(jié)構(gòu)模板。 所述結(jié)構(gòu)^t板為黑矩陣圖形結(jié)構(gòu)模板、紅色樹(shù)脂圖形結(jié)構(gòu)4莫板、綠色樹(shù) 脂圖形結(jié)構(gòu)模板或藍(lán)色樹(shù)脂圖形結(jié)構(gòu)模板。所述溶液為黑矩陣溶液、紅色樹(shù) 脂溶液、綠色樹(shù)脂溶液或藍(lán)色樹(shù)脂溶液。所述結(jié)構(gòu)圖形為黑矩陣圖形、紅色 樹(shù)脂圖形、綠色樹(shù)脂圖形或藍(lán)色樹(shù)脂圖形。所述黑矩陣圖形的厚度為0. 5 in m ~ 1. 5 jn m。所述紅色樹(shù)脂圖形、綠色樹(shù)脂圖形和藍(lán)色樹(shù)脂圖形的厚度為1. 5 ji m ~ 2.5jim。所述加熱室的溫度為20(TC 230。C。成為真空狀態(tài)封閉室的真空度為0.1Pa ~ 10Pa。
此外，該制造方法還包括在形成結(jié)構(gòu)圖形的目標(biāo)基板上形成保護(hù)層和透 明導(dǎo)電層。
本發(fā)明的技術(shù)方案通過(guò)將結(jié)構(gòu)模板扣設(shè)在目標(biāo)基板上，使結(jié)構(gòu)模板與目 標(biāo)基板對(duì)接部分形成結(jié)構(gòu)圖形孔，并通過(guò)氣壓差使溶液填充到結(jié)構(gòu)圖形孔中， 最終形成需要的結(jié)構(gòu)圖形。與現(xiàn)有技術(shù)采用掩膜版掩膜、曝光、顯影等工藝 形成結(jié)構(gòu)圖形的技術(shù)方案相比，本發(fā)明技術(shù)方案不僅不需要在形成結(jié)構(gòu)圖形 過(guò)程中使用造價(jià)高昂的紫外線曝光機(jī)，降低了生產(chǎn)成本，而且一次可制造完 成數(shù)個(gè)彩色濾光片，克服了現(xiàn)有技術(shù)制造速度慢的缺陷，能實(shí)現(xiàn)彩色濾光片 的批量生產(chǎn)，提高了彩色濾光片的生產(chǎn)效率。
下面通過(guò)附圖和實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明的技術(shù)方案做進(jìn)一步的詳細(xì)描述。


圖1為本發(fā)明彩色濾光片的制造方法的流程圖； 圖2為本發(fā)明彩色濾光片的制造方法實(shí)施例一的流程圖； 圖3為本發(fā)明形成黑矩陣圖形結(jié)構(gòu)模板的流程圖； 圖4a為本發(fā)明形成黑矩陣圖形結(jié)構(gòu)模板中涂覆光刻膠的示意圖； 圖4b為本發(fā)明形成黑矩陣圖形結(jié)構(gòu)模板中光刻膠曝光的示意圖； 圖4c為本發(fā)明形成黑矩陣圖形結(jié)構(gòu)模板中去除完全曝光區(qū)域的光刻膠 的示意圖4d為本發(fā)明形成黑矩陣圖形結(jié)構(gòu)模板中刻蝕基板的示意圖； 圖4e為本發(fā)明形成黑矩陣圖形結(jié)構(gòu)模板中去除未曝光區(qū)域的光刻膠的 示意圖5為本發(fā)明紅色樹(shù)脂圖形結(jié)構(gòu)模板的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖6為本發(fā)明綠色樹(shù)脂圖形結(jié)構(gòu)才莫板的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖7為本發(fā)明藍(lán)色樹(shù)脂圖形結(jié)構(gòu)模板的結(jié)構(gòu)示意圖；圖8為本發(fā)明形成紅色樹(shù)脂圖形的流程圖9a為本發(fā)明實(shí)施例一中將黑矩陣圖形結(jié)構(gòu)模板扣設(shè)在玻璃基板上的 示意圖9b為本發(fā)明實(shí)施例一中使封閉室成為真空狀態(tài)的示意圖； 圖9c為本發(fā)明實(shí)施例一中填充黑矩陣溶液的示意圖； 圖9d為本發(fā)明實(shí)施例一中黑矩陣溶液加熱固化的示意圖； 圖9e為本發(fā)明實(shí)施例一中形成黑矩陣圖形的示意圖； 圖9f為本發(fā)明實(shí)施例一中將紅色樹(shù)脂圖形結(jié)構(gòu)模板扣設(shè)在玻璃基板上 的示意圖9 g為本發(fā)明實(shí)施例 一 中紅色樹(shù)脂溶液加熱固化的示意圖； 圖9h為本發(fā)明實(shí)施例一中形成紅色樹(shù)脂圖形的示意圖； 圖9i為本發(fā)明實(shí)施例一中將綠色樹(shù)脂圖形結(jié)構(gòu)模板扣設(shè)在玻璃基板上 的示意圖9j為本發(fā)明實(shí)施例一中綠色樹(shù)脂溶液加熱固化的示意圖； 圖9k為本發(fā)明實(shí)施例一中形成綠色樹(shù)脂圖形的示意圖； 圖91為本發(fā)明實(shí)施例一中將藍(lán)色樹(shù)脂圖形結(jié)構(gòu)模板扣設(shè)在玻璃基板上 的示意圖9m為本發(fā)明實(shí)施例一中藍(lán)色樹(shù)脂溶液加熱固化的示意圖； 圖9n為本發(fā)明實(shí)施例一中形成藍(lán)色樹(shù)脂圖形的示意圖。 附圖標(biāo)記說(shuō)明
1-基板 2-光刻膠 3-完全曝光區(qū)域的光刻膠
4-凹槽 5-玻璃基板 6-黑矩陣圖形結(jié)構(gòu)模板
7-黑矩陣溶液 8-封閉室 9-加熱室
10-黑矩陣圖形11-紅色樹(shù)脂圖形結(jié)構(gòu)模板 12-紅色樹(shù)脂溶液
13-紅色樹(shù)脂圖形 14-綠色樹(shù)脂圖形結(jié)構(gòu)模板 15-綠色樹(shù)脂溶液
16-綠色樹(shù)脂圖形 17-藍(lán)色樹(shù)脂圖形結(jié)構(gòu)模板 18-藍(lán)色樹(shù)脂溶液19-藍(lán)色樹(shù)脂圖形 2 0-結(jié)構(gòu)圖形孔
具體實(shí)施例方式
圖1為本發(fā)明彩色濾光片的制造方法的流程圖，如圖1所示，具體包括
步驟IOI、制備具有凹槽的結(jié)構(gòu)模板，所述凹槽用于形成結(jié)構(gòu)圖形；
步驟102、將所述結(jié)構(gòu)才莫板扣設(shè)在目標(biāo)基板上，使所述凹槽與所述目標(biāo) 基板對(duì)接部分形成結(jié)構(gòu)圖形孔，所述結(jié)構(gòu)圖形孔的一端開(kāi)口，另一端封閉；
步驟103、將完成步驟102之后的所述結(jié)構(gòu)模板和所述目標(biāo)基板設(shè)置在 一封閉室中，使封閉室成為真空狀態(tài)；
步驟104、將完成步驟103之后的所述結(jié)構(gòu)模板和所述目標(biāo)基板的所述 結(jié)構(gòu)圖形孔開(kāi)口的一端浸入封閉室內(nèi)的溶液中，取消所述封閉室的真空狀態(tài)， 使所述溶液填充到所述結(jié)構(gòu)圖形孔內(nèi)；
步驟105、將完成步驟104之后的所述結(jié)構(gòu)模板和所述目標(biāo)基板從封閉 室中取出，設(shè)置在加熱室中加熱使所述結(jié)構(gòu)圖形孔內(nèi)的所述溶液固化；
步驟106、將完成步驟105之后的所述結(jié)構(gòu)模板與所述目標(biāo)基板分離， 在目標(biāo)基板上形成所述結(jié)構(gòu)圖形。
上述制造方法可用于制造彩色濾光片的各個(gè)結(jié)構(gòu)圖形，下面通過(guò)具體實(shí) 施例詳細(xì)描述彩色濾光片的實(shí)際制造過(guò)程。
圖2為本發(fā)明彩色濾光片的制造方法實(shí)施例一的流程圖，本實(shí)施例中目 標(biāo)基板為玻璃勤良，如圖2所示，具體包括
步驟201、制備具有凹槽的結(jié)構(gòu)模板，該凹槽用于形成結(jié)構(gòu)圖形；
在制造彩色濾光片之前要首先制造出結(jié)構(gòu)模板，該結(jié)構(gòu)模板上具有用于 形成結(jié)構(gòu)圖形的凹槽。彩色濾光片上形成的結(jié)構(gòu)圖形可以為黑矩陣圖形、紅 色樹(shù)脂圖形、綠色樹(shù)脂圖形或藍(lán)色樹(shù)脂圖形，因此在制造彩色濾光片 前要 預(yù)先制備出黑矩陣圖形結(jié)構(gòu)模板、紅色樹(shù)脂圖形結(jié)構(gòu)模板、緣色樹(shù)脂圖形結(jié) 構(gòu)模板和藍(lán)色樹(shù)脂圖形結(jié)構(gòu)模板四種結(jié)構(gòu)模板，以便于在后續(xù)制造彩色濾光片的過(guò)程中使用。制造上述結(jié)構(gòu)模板可以利用構(gòu)圖工藝來(lái)實(shí)現(xiàn)。下面以黑矩 陣圖形結(jié)構(gòu)模板的制造過(guò)程為例對(duì)上述結(jié)構(gòu)模板的制造方法進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。
圖3為本發(fā)明形成黑矩陣圖形結(jié)構(gòu)模板的流程圖，如圖3所示，具體為 步驟2011、在基板上涂覆光刻膠；
步驟2012、將基板上的光刻膠曝光，使光刻膠形成未曝光區(qū)域和完全曝 光區(qū)域；
步驟2013、通過(guò)顯影工藝去除完全曝光區(qū)域的光刻膠； 步驟2014、通過(guò)刻蝕工藝將完全曝光區(qū)域的基;^反刻蝕出用于形成黑矩陣 圖形的凹槽；
步驟2015、去除基板上未曝光區(qū)域的光刻膠，使基板形成黑矩陣圖形結(jié) 構(gòu)模板。
圖4a~圖4e為本發(fā)明形成黑矩陣圖形結(jié)構(gòu)才莫板的示意圖。圖4a為本發(fā) 明形成黑矩陣圖形結(jié)構(gòu)模板中涂覆光刻膠的示意圖，如圖4a所示，在基板l 上涂覆一層光刻膠2。圖4b為本發(fā)明形成黑矩陣圖形結(jié)構(gòu)模板中光刻膠曝光 的示意圖，如圖4b所示，將基板1上的光刻膠2曝光，使光刻膠形成未曝光 區(qū)域和完全曝光區(qū)域。圖4c為本發(fā)明形成黑矩陣圖形結(jié)構(gòu)模板中去除完全曝 光區(qū)域的光刻膠的示意圖，如圖4c所示，通過(guò)顯影工藝去除完全曝光區(qū)域的 光刻膠3。圖4d為本發(fā)明形成黑矩陣圖形結(jié)構(gòu)模板中刻蝕基板的示意圖，如 圖4d所示，通過(guò)刻蝕工藝將完全曝光區(qū)域的基板1刻蝕出用于形成黑矩陣圖 形的凹槽4。圖4e為本發(fā)明形成黑矩陣圖形結(jié)構(gòu)模板中去除未曝光區(qū)域的光 刻膠的示意圖，如圖4e所示，去除基板1上未曝光區(qū)域的光刻膠2，使基板 1形成黑矩陣圖形結(jié)構(gòu)模板。
在上述黑矩陣圖形結(jié)構(gòu)模板的制造過(guò)程中，對(duì)光刻膠進(jìn)行曝光時(shí)可采用 紫外線曝光機(jī)對(duì)光刻膠進(jìn)行曝光。其中，基板可以為樹(shù)脂基板或玻璃基板。
采用上述制造方法還可形成紅色樹(shù)脂圖形結(jié)構(gòu)模板、綠色樹(shù)脂圖形結(jié)構(gòu) 模板和藍(lán)色樹(shù)脂圖形結(jié)構(gòu)模板。圖5為本發(fā)明紅色樹(shù)脂圖形結(jié)構(gòu)模板的結(jié)構(gòu)示意圖，圖6為本發(fā)明綠色樹(shù)脂圖形結(jié)構(gòu)模板的結(jié)構(gòu)示意圖，圖7為本發(fā)明 藍(lán)色樹(shù)脂圖形結(jié)構(gòu)模板的結(jié)構(gòu)示意圖。上述三種結(jié)構(gòu)模板的制造方法與黑矩 陣圖形結(jié)構(gòu)模板的制造方法相同，此處不再詳細(xì)描述。
本發(fā)明只在形成結(jié)構(gòu)模板的過(guò)程中對(duì)光刻膠進(jìn)行曝光時(shí)使用一次紫外線 曝光機(jī)，在后續(xù)形成結(jié)構(gòu)圖形的過(guò)程中不再使用紫外線曝光機(jī)。
步驟202、將黑矩陣圖形結(jié)構(gòu)模板扣設(shè)在玻璃基板上，使凹槽與玻璃基 板對(duì)接部分形成結(jié)構(gòu)圖形孔，該結(jié)構(gòu)圖形孔的一端開(kāi)口，另一端封閉；
步驟203、將黑矩陣圖形結(jié)構(gòu)模板和玻璃基板設(shè)置在一封閉室中，使封 閉室成為真空狀態(tài)，此時(shí)結(jié)構(gòu)圖形孔中的空氣被抽取干凈；
步驟204、將黑矩陣圖形結(jié)構(gòu)模板和玻璃基板的結(jié)構(gòu)圖形孔開(kāi)口的一端 浸入封閉室內(nèi)的黑矩陣溶液中，取消封閉室的真空狀態(tài)，使黑矩陣溶液填充 到結(jié)構(gòu)圖形孔內(nèi)；
也就是說(shuō)，將黑矩陣圖形結(jié)構(gòu)模板和玻璃基板上的結(jié)構(gòu)圖形孔開(kāi)口的一 端浸入黑矩陣溶液，再讓空氣進(jìn)入封閉室中以取消封閉室的真空狀態(tài)，此時(shí) 封閉室中黑矩陣溶液表面的氣壓大于結(jié)構(gòu)圖形孔內(nèi)的氣壓，則黑矩陣溶液在 氣壓差的作用下填充到結(jié)構(gòu)圖形孔中；
步驟205、將黑矩陣圖形結(jié)構(gòu)模板和玻璃基板從封閉室中取出，設(shè)置在 加熱室中加熱使結(jié)構(gòu)圖形孔內(nèi)的黑矩陣溶液固化；
步驟206、將黑矩陣圖形結(jié)構(gòu)模板與玻璃基板分離，在玻璃基板上形成 黑矩陣圖形；
步驟207、在形成有黑矩陣圖形的玻璃基板上依次形成紅色樹(shù)脂圖形、 綠色樹(shù)脂圖形和藍(lán)色樹(shù)脂圖形。
下面僅以紅色樹(shù)脂圖形的形成過(guò)程為例進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明，圖8為本發(fā)明形 成紅色樹(shù)脂圖形的流程圖，如圖8所示，具體包括
步驟2071、將紅色樹(shù)脂圖形結(jié)構(gòu)模板扣設(shè)在玻璃基板上，使凹槽與玻璃 基板對(duì)接部分形成結(jié)構(gòu)圖形孔，該結(jié)構(gòu)圖形孔的一端開(kāi)口，另一端封閉；步驟2072、將紅色樹(shù)脂圖形結(jié)構(gòu)模板和玻璃基板設(shè)置在一封閉室中，使 封閉室成為真空狀態(tài)，此時(shí)結(jié)構(gòu)圖形孔中的空氣被抽取干凈；
步驟2073、將紅色樹(shù)脂圖形結(jié)構(gòu)模板和玻璃基板的結(jié)構(gòu)圖形孔開(kāi)口的一 端浸入封閉室內(nèi)的紅色樹(shù)脂溶液中，取消封閉室的真空狀態(tài)，使紅色樹(shù)脂溶 液填充到結(jié)構(gòu)圖形孔內(nèi)；
也就是說(shuō)，將紅色樹(shù)脂圖形結(jié)構(gòu)模板和玻璃基板上的結(jié)構(gòu)圖形孔開(kāi)口的 一端浸入紅色樹(shù)脂溶液，再讓空氣進(jìn)入封閉室中以取消封閉室的真空狀態(tài)， 此時(shí)封閉室中紅色樹(shù)脂溶液表面的氣壓大于結(jié)構(gòu)圖形孔內(nèi)的氣壓，則紅色樹(shù) 脂溶液在氣壓差的作用下填充到結(jié)構(gòu)圖形孔中。
步驟2074、將紅色樹(shù)脂圖形結(jié)構(gòu)模板和玻璃基板從封閉室中取出，設(shè)置 在加熱室中加熱使結(jié)構(gòu)圖形孔內(nèi)的紅色樹(shù)脂溶液固化；
步驟2075、將紅色樹(shù)脂圖形結(jié)構(gòu)模板與玻璃基板分離，在玻璃基板上形 成紅色樹(shù)脂圖形。
綠色樹(shù)脂圖形和藍(lán)色樹(shù)脂圖形的形成過(guò)程與紅色樹(shù)脂圖形相同，此處不 再詳細(xì)描述。
圖9a 圖9n為本發(fā)明彩色濾光片的制造方法實(shí)施例一的示意圖。圖9a 為本發(fā)明實(shí)施例 一 中將黑矩陣圖形結(jié)構(gòu)模板扣設(shè)在玻璃基板上的示意圖，如 圖9a所示，將黑矩陣圖形結(jié)構(gòu)模板6扣設(shè)在玻璃基板5上，使凹槽與玻璃基 板5對(duì)接部分形成結(jié)構(gòu)圖形孔20，結(jié)構(gòu)圖形孔20的一端開(kāi)口，另一端封閉。 圖9b為本發(fā)明實(shí)施例一中使封閉室成為真空狀態(tài)的示意圖，如圖9b所示， 將黑矩陣圖形結(jié)構(gòu)模板6和玻璃基板5設(shè)置在一封閉室8中，使封閉室8成 為真空狀態(tài)，此時(shí)結(jié)構(gòu)圖形孔20中的空氣被抽取干凈。圖9c為本發(fā)明實(shí)施 例一中填充黑矩陣溶液的示意圖，如圖9c所示，將黑矩陣圖形結(jié)構(gòu)模板6和 玻璃基板5上的結(jié)構(gòu)圖形孔20開(kāi)口的一端浸入封閉室8內(nèi)的黑矩陣溶液7中， 取消封閉室8的真空狀態(tài)，使黑矩陣溶液7填充到結(jié)構(gòu)圖形孔20內(nèi)。當(dāng)空氣 進(jìn)入封閉室8時(shí)，黑矩陣溶液7表面與結(jié)構(gòu)圖形孔20內(nèi)存在氣壓差，即黑矩陣溶液7表面的氣壓大于結(jié)構(gòu)圖形孔20中的氣壓，則黑矩陣溶液7在氣壓差 的作用下填充到結(jié)構(gòu)圖形孔20中；另外黑矩陣溶液7與結(jié)構(gòu)圖形孔20之間 的毛細(xì)作用也促使黑矩陣溶液7填充到結(jié)構(gòu)圖形孔20中。其中，氣壓差是使 黑矩陣溶液填充到結(jié)構(gòu)圖形孔20中的主要原因。圖9d為本發(fā)明實(shí)施例一中 黑矩陣溶液加熱固化的示意圖，如圖9d所示，將黑矩陣圖形結(jié)構(gòu)模板6和玻 璃基板5從封閉室中取出，設(shè)置在加熱室9中加熱使結(jié)構(gòu)圖形孔內(nèi)的黑矩陣 溶液7固化。圖9e為本發(fā)明實(shí)施例一中形成黑矩陣圖形的示意圖，如圖9e 所示，將黑矩陣圖形結(jié)構(gòu)模板與玻璃基板5分離，在玻璃基板5上形成黑矩 陣圖形10。圖9f為本發(fā)明實(shí)施例一中將紅色樹(shù)脂圖形結(jié)構(gòu)模板扣設(shè)在玻璃 基板上的示意圖，如圖9f所示，將紅色樹(shù)脂圖形結(jié)構(gòu)模板11扣設(shè)在玻璃基 板5上，使凹槽與紅色樹(shù)脂圖形結(jié)構(gòu)模板11對(duì)接部分形成結(jié)構(gòu)圖形孔20， 結(jié)構(gòu)圖形孔20的一端開(kāi)口，另一端封閉。圖9g為本發(fā)明實(shí)施例一中紅色樹(shù) 脂溶液加熱固化的示意圖，如圖9g所示，將紅色樹(shù)脂圖形結(jié)構(gòu)模板ll和玻 璃基板5從封閉室中取出，設(shè)置在加熱室9中加熱使結(jié)構(gòu)圖形孔內(nèi)的紅色樹(shù) 脂溶液12固化。圖9h為本發(fā)明實(shí)施例一中形成紅色樹(shù)脂圖形的示意圖，如 圖9h所示，將紅色樹(shù)脂圖形結(jié)構(gòu)模板與玻璃基板5分離，在玻璃基板5上形 成紅色樹(shù)脂圖形13。圖9i為本發(fā)明實(shí)施例一中將綠色樹(shù)脂圖形結(jié)構(gòu)模板扣 設(shè)在玻璃基板上的示意圖，如圖9i所示，將綠色樹(shù)脂圖形結(jié)構(gòu)才莫板14扣設(shè) 在玻璃基板5上，使凹槽與玻璃基板5對(duì)接部分形成結(jié)構(gòu)圖形孔20，結(jié)構(gòu)圖 形孔20的一端開(kāi)口，另一端封閉。圖9j為本發(fā)明實(shí)施例一中綠色樹(shù)脂溶液 加熱固化的示意圖，如圖9j所示，將綠色樹(shù)脂圖形結(jié)構(gòu)模板14和玻璃基板 5從封閉室中取出，設(shè)置在加熱室9中加熱使結(jié)構(gòu)圖形孔內(nèi)的綠色樹(shù)脂溶液 15固化。圖9k為本發(fā)明實(shí)施例一中形成綠色樹(shù)脂圖形的示意圖，如圖9k所 示，將綠色樹(shù)脂圖形結(jié)構(gòu)模板與玻璃基板5分離，在玻璃基板5上形成綠色 樹(shù)脂圖形16。圖91為本發(fā)明實(shí)施例一中將藍(lán)色樹(shù)脂圖形結(jié)構(gòu)模板扣設(shè)在玻 璃基板上的示意圖，如圖91所示，將藍(lán)色樹(shù)脂圖形結(jié)構(gòu)模板17扣設(shè)在玻璃基板5上，使凹槽與玻璃基板5對(duì)接部分形成結(jié)構(gòu)圖形孔20,結(jié)構(gòu)圖形孔20 的一端開(kāi)口，另一端封閉。圖9m為本發(fā)明實(shí)施例一中藍(lán)色樹(shù)脂溶液加熱固化 的示意圖，如圖9m所示，將藍(lán)色樹(shù)脂圖形結(jié)構(gòu)模板17和玻璃基板5從封閉 室中取出，設(shè)置在加熱室9中加熱使結(jié)構(gòu)圖形孔內(nèi)的藍(lán)色樹(shù)脂溶液18固化。 圖9n為本發(fā)明實(shí)施例一中形成藍(lán)色樹(shù)脂圖形的示意圖，如圖9n所示，將藍(lán) 色樹(shù)脂圖形結(jié)構(gòu)模板與玻璃基板5分離，在玻璃基板5上形成藍(lán)色樹(shù)脂圖形 19。
本實(shí)施例中加熱室的溫度可以為200°C ~ 230°C,本實(shí)施例中形成的黑矩 陣圖形的厚度可以為0. 5jum~l. 5jum;形成的紅色樹(shù)脂圖形、綠色樹(shù)脂圖形 和藍(lán)色樹(shù)脂圖形的厚度可以為1. 5|am~2. 5jLim。成為真空狀態(tài)的封閉室的真 空度與實(shí)際生產(chǎn)中的生產(chǎn)設(shè)備、工藝參數(shù)以及樹(shù)脂材料等有關(guān)，本實(shí)施例中 成為真空狀態(tài)的封閉室的真空度為0. 1Pa 10Pa。
本實(shí)施例中形成紅色、藍(lán)色和綠色樹(shù)脂圖形過(guò)程中抽取結(jié)構(gòu)圖形孔中的 空氣、填充紅色、藍(lán)色或綠色樹(shù)脂溶液的示意圖分別與圖9b和圖9c相同， 具體可參見(jiàn)圖9b和圖9c,不同之處在于結(jié)構(gòu)模板分別為紅色、藍(lán)色或綠色 樹(shù)脂圖形結(jié)構(gòu)模板,封閉室中的溶液分別為紅色、藍(lán)色或綠色樹(shù)脂溶液。
進(jìn)一步地，本實(shí)施例中還可以包括在玻璃基板上形成保護(hù)層的步驟，該 保護(hù)層覆蓋整個(gè)玻璃基板；以及在玻璃基板上形成透明導(dǎo)電層的步驟，該透 明導(dǎo)電層覆蓋整個(gè)玻璃基板。
本發(fā)明實(shí)施例一 中在目標(biāo)基板上形成結(jié)構(gòu)圖形的順序依次為黑矩陣圖 形、紅色樹(shù)脂圖形、綠色樹(shù)脂圖形和藍(lán)色樹(shù)脂圖形，但在實(shí)際生產(chǎn)過(guò)程中可 根據(jù)需要變更結(jié)構(gòu)圖形的形成順序，另外，結(jié)構(gòu)圖形并非僅限于上述四種結(jié) 構(gòu)圖形，還可以根據(jù)需要增加或減少結(jié)構(gòu)圖形的種類，上述情況均應(yīng)在本發(fā) 明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
本發(fā)明的技術(shù)方案通過(guò)將結(jié)構(gòu)模板扣設(shè)在目標(biāo)基板上，使結(jié)構(gòu)模板與目 標(biāo)基板對(duì)接部分形成結(jié)構(gòu)圖形孔，并通過(guò)氣壓差使溶液填充到結(jié)構(gòu)圖形孔中，最終形成需要的結(jié)構(gòu)圖形。與現(xiàn)有技術(shù)采用掩膜版掩膜、曝光、顯影等工藝 形成結(jié)構(gòu)圖形的技術(shù)方案相比，本發(fā)明技術(shù)方案不僅不需要在形成結(jié)構(gòu)圖形 過(guò)程中使用造價(jià)高昂的紫外線曝光機(jī)，降低了生產(chǎn)成本，而且一次可制造完 成數(shù)個(gè)彩色濾光片，克服了現(xiàn)有技術(shù)制造速度慢的缺陷，能實(shí)現(xiàn)彩色濾光片 的批量生產(chǎn)，提高了彩色濾光片的生產(chǎn)效率。
最后應(yīng)說(shuō)明的是以上實(shí)施例僅用以說(shuō)明本發(fā)明的技術(shù)方案而非對(duì)其進(jìn) 行限制，盡管參照較佳實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了詳細(xì)的說(shuō)明，本領(lǐng)域的普通技 術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解其依然可以對(duì)本發(fā)明的技術(shù)方案進(jìn)行修改或者等同替換， 而這些修改或者等同替換亦不能使修改后的技術(shù)方案脫離本發(fā)明技術(shù)方案的 精神和范圍。
權(quán)利要求
1、一種彩色濾光片的制造方法，其特征在于，包括步驟1、制備具有凹槽的結(jié)構(gòu)模板，所述凹槽用于形成結(jié)構(gòu)圖形；步驟2、將所述結(jié)構(gòu)模板扣設(shè)在目標(biāo)基板上，使所述凹槽與所述目標(biāo)基板對(duì)接部分形成結(jié)構(gòu)圖形孔，所述結(jié)構(gòu)圖形孔的一端開(kāi)口，另一端封閉；步驟3、將完成步驟2之后的所述結(jié)構(gòu)模板和所述目標(biāo)基板設(shè)置在一封閉室中，使封閉室成為真空狀態(tài)；步驟4、將完成步驟3之后的所述結(jié)構(gòu)模板和所述目標(biāo)基板的所述結(jié)構(gòu)圖形孔開(kāi)口的一端浸入封閉室內(nèi)的溶液中，取消所述封閉室的真空狀態(tài)，使所述溶液填充到所述結(jié)構(gòu)圖形孔內(nèi)；步驟5、將完成步驟4之后的所述結(jié)構(gòu)模板和所述目標(biāo)基板從封閉室中取出，設(shè)置在加熱室中加熱使所述結(jié)構(gòu)圖形孔內(nèi)的所述溶液固化；步驟6、將完成步驟5之后的所述結(jié)構(gòu)模板與所述目標(biāo)基板分離，在所述目標(biāo)基板上形成所述結(jié)構(gòu)圖形。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述步驟1具體包括 步驟ll、在基板上涂覆光刻膠；步驟12、將基板上的光刻膠曝光，使光刻膠形成未曝光區(qū)域和完全曝光 區(qū)域；步驟13、通過(guò)顯影工藝去除所述完全曝光區(qū)域的光刻膠； 步驟14、通過(guò)刻蝕工藝將完全曝光區(qū)域的基板刻蝕出用于形成所述結(jié)構(gòu) 圖形的凹槽；步驟15、去除基板上未曝光區(qū)域的光刻膠，形成所述結(jié)構(gòu)模板。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述結(jié)構(gòu)模板為黑矩 陣圖形結(jié)構(gòu)模板、紅色樹(shù)脂圖形結(jié)構(gòu)模板、綠色樹(shù)脂圖形結(jié)構(gòu)模板或藍(lán)色樹(shù) 脂圖形結(jié)構(gòu)模板。
4、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述溶液為黑矩陣溶液、紅色樹(shù)脂溶液、綠色樹(shù)脂溶液或藍(lán)色樹(shù)脂溶液。
5、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述結(jié)構(gòu)圖形為黑矩 陣圖形、紅色樹(shù)脂圖形、綠色樹(shù)脂圖形或藍(lán)色樹(shù)脂圖形。
6、 根據(jù)權(quán)利要求5所述的制造方法，其特征在于，所述黑矩陣圖形的厚 度為0. 5 |i ra ~ 1. 5 p m。
7、 根據(jù)權(quán)利要求5所述的制造方法，其特征在于，所述紅色樹(shù)脂圖形、 綠色樹(shù)脂圖形或藍(lán)色樹(shù)脂圖形的厚度為1. 5 m m ~ 2. 5 ju m。
8、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述加熱室的溫度為 200°C ~ 230°C。
9、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的制造方法，其特征在于，成為真空狀態(tài)封閉室 的真空度為0. lPa~10Pa。
10、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的制造方法，其特征在于，還包括在形成結(jié)構(gòu) 圖形的目標(biāo)基板上形成保護(hù)層和透明導(dǎo)電層。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種彩色濾光片的制造方法，包括制備具有凹槽的結(jié)構(gòu)模板，凹槽用于形成結(jié)構(gòu)圖形；將結(jié)構(gòu)模板扣設(shè)在目標(biāo)基板上，使凹槽與所述目標(biāo)基板對(duì)接部分形成結(jié)構(gòu)圖形孔；將結(jié)構(gòu)模板和目標(biāo)基板設(shè)置在一封閉室中，使封閉室成為真空狀態(tài)；將結(jié)構(gòu)模板和目標(biāo)基板的結(jié)構(gòu)圖形孔開(kāi)口的一端浸入封閉室內(nèi)的溶液中，取消封閉室的真空狀態(tài)，使溶液填充到結(jié)構(gòu)圖形孔內(nèi)；將結(jié)構(gòu)模板和目標(biāo)基板設(shè)置在加熱室中加熱使結(jié)構(gòu)圖形孔內(nèi)的溶液固化；將結(jié)構(gòu)模板與目標(biāo)基板分離，在目標(biāo)基板上形成結(jié)構(gòu)圖形。本發(fā)明不僅不需要在形成結(jié)構(gòu)圖形過(guò)程中使用造價(jià)高昂的紫外線曝光機(jī)，降低了生產(chǎn)成本，而且一次可制造完成數(shù)個(gè)彩色濾光片，提高了彩色濾光片的生產(chǎn)效率。
文檔編號(hào)G03F7/00GK101676752SQ20081022243
公開(kāi)日2010年3月24日 申請(qǐng)日期2008年9月16日 優(yōu)先權(quán)日2008年9月16日
發(fā)明者均 石 申請(qǐng)人:北京京東方光電科技有限公司