本發(fā)明涉及高分子技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種光刻膠組合物及制備方法。

背景技術(shù)：

光刻膠是大規(guī)模集成電路工業(yè)中進(jìn)行光刻過(guò)程的關(guān)鍵功能材料。光刻膠經(jīng)紫外光照射后，發(fā)生一系列化學(xué)反應(yīng)，使得曝光前后光刻膠在顯影液中的溶解速率產(chǎn)生變化，再經(jīng)過(guò)顯影、堅(jiān)膜、蝕刻和去膜等過(guò)程就能夠?qū)⑻囟ǖ母呔葓D形轉(zhuǎn)移到待加工的基板表面。

傳統(tǒng)方法中，一般使用sinx作為tft的鈍化層，由于其介電常數(shù)k高，透明度低等原因，容阻遲滯(rcdelay)成為高開(kāi)口率的瓶頸；現(xiàn)在多使用低介電常數(shù)的材料來(lái)取代或配合sinx作為鈍化層，目前使用較多的是重氮萘醌類(lèi)樹(shù)脂材料。

然而，目前還沒(méi)有能夠進(jìn)行兩次曝光從而實(shí)現(xiàn)更精細(xì)化圖形制備的樹(shù)脂材料或樹(shù)脂組合物。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的是提供一種能夠進(jìn)行兩次曝光的光刻膠組合物及制備方法，具體技術(shù)方案如下。

根據(jù)本發(fā)明的一方面，提供了一種光刻膠組合物，包括：30-45重量份的樹(shù)脂、0.02-0.2重量份的背景染料、55-70重量份的有機(jī)溶劑；所述樹(shù)脂包括感光樹(shù)脂和成膜樹(shù)脂，所述感光樹(shù)脂包括重氮萘醌樹(shù)脂和二苯胺重氮樹(shù)脂。

根據(jù)本發(fā)明的兩種感光樹(shù)脂的感光光譜不同，重氮萘醌樹(shù)脂的主要感光波長(zhǎng)為365nm(i線)，二苯胺重氮樹(shù)脂的主要感光波長(zhǎng)為420nm(g線)；因此能夠?qū)崿F(xiàn)兩次曝光。

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式，所述成膜樹(shù)脂與感光樹(shù)脂的質(zhì)量比為(4-6)：1。

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式，所述二苯胺重氮樹(shù)脂與重氮萘醌樹(shù)脂的質(zhì)量比為(2-4)：1。

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式，所述成膜樹(shù)脂為不溶于水的聚合物，選自環(huán)氧樹(shù)脂、聚乙烯醇縮醛樹(shù)脂和聚氨酯樹(shù)脂中的任意一種或多種的組合。

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式，所述的有機(jī)溶劑選自乙二醇單甲醚、乙二醇單乙醚、丙二醇單乙醚、甲乙酮、醋酸丁酯、二氧六環(huán)、n-甲基吡咯烷酮、甲醇和四氫呋喃中的任意一種或多種的組合。

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式，所述背景染料選自堿性艷藍(lán)、結(jié)晶紫、維多利亞純藍(lán)、靛藍(lán)、甲基紫、孔雀石綠和油溶藍(lán)中的任意一種或多種的組合。

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式，所述二苯胺重氮樹(shù)脂具有以下結(jié)構(gòu)：

其中，n選自2-1000的整數(shù)；w為亞甲基，x選自氫、甲氧基或甲基，y為硝基，z選自甲基或乙基，r^-選自六氟磷酸根、十二烷基苯磺酸根、十二烷基磺酸根、對(duì)甲苯磺酸根、均三甲苯磺酸根或萘磺酸根陰離子。

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式，其中，n為6，r^-為均三甲苯磺酸根陰離子，x為h，z為甲基。

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式，所述重氮萘醌樹(shù)脂具有以下結(jié)構(gòu)：

根據(jù)本發(fā)明的另一方面，還提供了根據(jù)本發(fā)明所述的一種光刻膠組合物的制備方法，包括以下步驟：將背景染料溶解于有機(jī)溶劑，然后加入成膜樹(shù)脂、重氮萘醌樹(shù)脂和二苯胺重氮樹(shù)脂，溶解過(guò)濾，得到所述光刻膠組合物。

本發(fā)明的有益效果為：本發(fā)明提供了一種能夠?qū)崿F(xiàn)兩次曝光的光刻膠組合物，可使用雙掩模板(mask)進(jìn)行兩次曝光，以實(shí)現(xiàn)超精細(xì)化圖形的制備。

附圖說(shuō)明

圖1為重氮萘醌樹(shù)脂的感光光譜圖。

圖2為二苯胺重氮樹(shù)脂的感光光譜圖。其中，數(shù)字1至7依次表示經(jīng)波長(zhǎng)為420nm的紫外光(g線)照射0s、10s、20s、30s、40s、50s、60s之后的吸光度值。

圖3為本發(fā)明的二苯胺重氮樹(shù)脂的分子量分布測(cè)試結(jié)果。

圖4為本發(fā)明的二苯胺重氮樹(shù)脂與成膜樹(shù)脂、鈍化層的交聯(lián)示意圖。

圖5為使用雙掩模板進(jìn)行兩次曝光的示意圖；其中，a-第一掩模板，b-第二掩模板，priii-含光刻膠的薄膜，pri-第一光刻膠膜圖形，prii-第二光刻膠膜圖形。

具體實(shí)施方式

具體實(shí)施方式僅為對(duì)本發(fā)明的說(shuō)明，而不構(gòu)成對(duì)本發(fā)明內(nèi)容的限制，下面將結(jié)合具體的實(shí)施方式對(duì)本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步說(shuō)明和描述。

本發(fā)明的目的是提供一種能夠?qū)崿F(xiàn)兩次曝光的光刻膠組合物，可使用雙掩模板(mask)進(jìn)行兩次曝光，以實(shí)現(xiàn)超精細(xì)化圖形的制備。

根據(jù)本發(fā)明的一方面，提供了一種光刻膠組合物，包括：30-45重量份的樹(shù)脂、0.02-0.2重量份的背景染料、55-70重量份的有機(jī)溶劑；所述樹(shù)脂包括感光樹(shù)脂和成膜樹(shù)脂，所述感光樹(shù)脂包括重氮萘醌樹(shù)脂和二苯胺重氮樹(shù)脂。

根據(jù)本發(fā)明的兩種感光樹(shù)脂的感光光譜不同，重氮萘醌樹(shù)脂的主要感光波長(zhǎng)為365nm(i線)，二重氮樹(shù)脂的主要感光波長(zhǎng)為420nm(g線)；因此能夠?qū)崿F(xiàn)兩次曝光。

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式，所述成膜樹(shù)脂與感光樹(shù)脂的質(zhì)量比為(4-6)：1。例如，成膜樹(shù)脂與感光樹(shù)脂的質(zhì)量比可以為4:1、4.2:1、4.5:1、5:1、5.5:1、6:1等。

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式，所述二苯胺重氮樹(shù)脂與重氮萘醌樹(shù)脂的質(zhì)量比為(2-4)：1。例如，二苯胺重氮樹(shù)脂與重氮萘醌樹(shù)脂的質(zhì)量比可以為2:1、2.2:1、2.5:1、3:1、3.5:1、3.8:1、4:1等。

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式，所述成膜樹(shù)脂為不溶于水的聚合物，選自環(huán)氧樹(shù)脂、聚乙烯醇縮醛樹(shù)脂和聚氨酯樹(shù)脂中的任意一種或多種的組合。

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式，所述的有機(jī)溶劑選自乙二醇單甲醚、乙二醇單乙醚、丙二醇單乙醚、甲乙酮、醋酸丁酯、二氧六環(huán)、n-甲基吡咯烷酮、甲醇和四氫呋喃中的任意一種或多種的組合。

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式，所述背景染料選自堿性艷藍(lán)、結(jié)晶紫、維多利亞純藍(lán)、靛藍(lán)、甲基紫、孔雀石綠和油溶藍(lán)中的任意一種或多種的組合。

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式，所述二苯胺重氮樹(shù)脂具有以下結(jié)構(gòu)：

其中，n選自2-1000的整數(shù)；優(yōu)選自2-100，進(jìn)一步優(yōu)選自2-10，例如選自2、4、6、8或10，w為亞甲基，x選自氫、甲氧基或甲基，y為硝基，z選自甲基或乙基，r^-選自六氟磷酸根、十二烷基苯磺酸根、十二烷基磺酸根、對(duì)甲苯磺酸根、均三甲苯磺酸根或萘磺酸根陰離子。

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式，其中，n為6，r^-為均三甲苯磺酸根陰離子，x為h，z為甲基。

二苯胺重氮樹(shù)脂的制備方法

n-乙基2-硝基二苯胺4-重氮鹽的合成路線如下：

1)將300g(1.49mol)2,4-二硝基氯苯加入到1485ml無(wú)水乙醇中，加熱溶解，再加入173g(1.63mol)無(wú)水na2co3。加熱回流，滴入196.9g(1.63mol)n-乙基苯胺，滴完反應(yīng)6h，冷卻放置12h，得到化合物a，為深紅色棱柱型單晶體，產(chǎn)量299g，產(chǎn)率70％。

2)將180g(0.63mol)化合物a溶于1000ml95％乙醇，加入66.5g(0.63mol)無(wú)水na2co3，加熱回流，緩慢滴加301g(1.25mol)na2s·9h2o溶于500ml水的溶液，約2h滴完，然后回流4h，冷卻。將反應(yīng)混合液倒入2000ml水中，靜置一段時(shí)間，分層，倒出上層的水，再加入少量水洗滌，得到棕色油狀物苯胺b，苯胺在空氣中易被氧化不穩(wěn)定，需要將其轉(zhuǎn)化為硫酸鹽形式。

苯胺b中加入1000ml10％h2so4加熱到65℃溶解油狀物，趁熱過(guò)濾，冷卻結(jié)晶，用此飽和溶液多次重結(jié)晶剩余油狀物，直至無(wú)晶體析出，得到化合物b的硫酸鹽，為金色片狀晶體，產(chǎn)量249g，產(chǎn)率69％。

3)將100g(0.28mol)化合物b的硫酸鹽加入到360ml5％h2so4中，加入600g碎冰，冰水浴保持溫度0-5℃，攪拌下緩慢滴加nano2溶液(nano2溶液為將23g(0.33mol)nano2溶于110ml水得到)，滴加完畢，繼續(xù)攪拌2h，得到重氮鹽c。

過(guò)濾反應(yīng)后的混合液，濾液中加入151gzncl2的飽和溶液，有大量黃色固體析出，抽濾，乙醇洗滌2次，通風(fēng)櫥內(nèi)風(fēng)干，得到重氮鹽c的1/2zncl2復(fù)鹽d，產(chǎn)量72.9g，產(chǎn)率60％。

ir(cm^-1):ν＝2981.4cm^-1(w,h2c-h),2224.0cm^-1(s,c-n2⁺),1601cm^-1,1581cm^-1,1537cm^-1(vs,ar)；

¹hnmr(400mhz,d2o,δ):8.67(d,1h,har-no2),8.19(t,1h,har-n2⁺),7.54,7.30,7.23,7.14(m,6h,har),4.05(q,2h,ch2),1.12(t,3h,ch3)。

anal.calcdforc14h13n4o2⁺·hso4^-(％):c45.90,h3.85,n15.39；found(％):c44.42,h3.46,n14.73。

將上述重氮鹽c的1/2zncl2復(fù)鹽d與多聚甲醛縮合，制成重氮樹(shù)脂，聚合方法為：重氮鹽c的1/2zncl2復(fù)鹽d(0.039mol)在攪拌下分批加入到52ml98％硫酸中，完全溶解后，在0-5℃下分批加入研細(xì)的多聚甲醛(1.4g，0.047mol)，加完保持此溫度5h。將反應(yīng)混合液緩慢倒入230ml冰凍過(guò)的乙醇中，并攪拌，用足量的水溶解后，再加入足量zncl2的飽和溶液，有大量固體析出，抽濾，乙醇洗滌2次，通風(fēng)櫥內(nèi)風(fēng)干，得到相應(yīng)的水溶性甲醛縮重氮樹(shù)脂e。

上述水溶性甲醛縮重氮樹(shù)脂(0.04mol)溶于200ml水中，濾除雜質(zhì)。在攪拌下，濾液中滴加(9.99g，0.045mol)均三甲苯磺酸鈉的飽和水溶液，在ph為2.5時(shí)開(kāi)始發(fā)生陰離子交換，加入10％的naco3溶液調(diào)節(jié)ph至7，抽濾得到的沉淀，用水洗3次，27℃真空干燥過(guò)夜，得到甲醛縮n-乙基-2-硝基二苯胺4-重氮均三甲苯磺酸樹(shù)脂f(產(chǎn)率77％)。

對(duì)甲醛縮n-乙基-2-硝基二苯胺4-重氮均三甲苯磺酸樹(shù)脂進(jìn)行鑒定，其數(shù)據(jù)如下：

ir(cm^-1):ν＝2971.8cm^-1(w,h2c-h),2200.0cm^-1(s,c-n2⁺),1588.2cm^-1,1543.4cm^-1(vs,ar)；

¹hnmr(400mhz,d2o,δ):8.67(d,1h,h-ar-no2),8.19(t,1h,h-ar-n2⁺),7.54,7.30,7.23,7.14(m,6h,h-ar),4.05(q,2h,ch2),1.12(t,3h,ch3)。

凝膠色譜測(cè)定樹(shù)脂分子量分布，并經(jīng)過(guò)系統(tǒng)自帶軟件計(jì)算的結(jié)果如圖3所示。

類(lèi)似地，可以通過(guò)采用相應(yīng)的原料，通過(guò)類(lèi)似的合成方法制備其他不同取代基的二苯胺重氮樹(shù)脂。

根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式，所述重氮萘醌樹(shù)脂具有以下結(jié)構(gòu)：

該重氮萘醌樹(shù)脂可以通過(guò)商購(gòu)得到，例如由湖北固潤(rùn)科技股份有限公司出售的bp207、bp208、bp209、bp210、bp211、bp212、702正膠、703正膠等。這些產(chǎn)品的主要成分是感光性基團(tuán)鄰重氮萘醌基的有機(jī)化合物、線型甲酚醛樹(shù)脂和溶劑的混合物。

根據(jù)本發(fā)明的另一方面，還提供了根據(jù)本發(fā)明所述的一種光刻膠組合物的制備方法，包括以下步驟：將背景染料溶解于有機(jī)溶劑，然后加入成膜樹(shù)脂、重氮萘醌樹(shù)脂和二苯胺重氮樹(shù)脂，溶解過(guò)濾，得到所述光刻膠組合物。過(guò)濾可以采用例如濾紙進(jìn)行。

成膜樹(shù)脂、重氮萘醌樹(shù)脂和二苯胺重氮樹(shù)脂三者的加入順序是任意的，例如可以同時(shí)加入這三種樹(shù)脂，可以依次加入成膜樹(shù)脂、重氮萘醌樹(shù)脂、二苯胺重氮樹(shù)脂，依次加入成膜樹(shù)脂、二苯胺重氮樹(shù)脂、重氮萘醌樹(shù)脂，依次加入重氮萘醌樹(shù)脂、成膜樹(shù)脂、二苯胺重氮樹(shù)脂，依次加入重氮萘醌樹(shù)脂、二苯胺重氮樹(shù)脂、成膜樹(shù)脂，依次加入二苯胺重氮樹(shù)脂、重氮萘醌樹(shù)脂、成膜樹(shù)脂，依次加入二苯胺重氮樹(shù)脂、成膜樹(shù)脂、重氮萘醌樹(shù)脂等。

光刻膠組合物及制備方法

實(shí)施例1

光刻膠組合物，包括：堿性艷藍(lán)0.02重量份、環(huán)氧樹(shù)脂30重量份、重氮萘醌樹(shù)脂bp2071.5重量份、二苯胺重氮樹(shù)脂(其中，n＝2、w為ch2、r^-為十二烷基磺酸根陰離子、x為甲氧基、y為硝基、z為甲基)5.5重量份、乙二醇單甲醚62.8重量份。

光刻膠組合物的制備方法：將0.02g堿性艷藍(lán)溶于62.8g乙二醇單甲醚，然后依次加入1.5重量份重氮萘醌樹(shù)脂、5.5g二苯胺重氮樹(shù)脂、30g環(huán)氧樹(shù)脂，溶解并用濾紙過(guò)濾，得到實(shí)施例1的光刻膠組合物。

實(shí)施例2

光刻膠組合物，包括：結(jié)晶紫2重量份、聚氨酯樹(shù)脂25重量份、重氮萘醌樹(shù)脂bp2101重量份、二苯胺重氮樹(shù)脂(其中，n＝6、w為ch2、r^-為均三甲苯磺酸根陰離子、x為氫、y為硝基、z為甲基)4重量份、丙二醇單乙醚68重量份。

光刻膠組合物的制備方法：將2g結(jié)晶紫溶于68g丙二醇單乙醚，然后依次加入4g二苯胺重氮樹(shù)脂、1g重氮萘醌樹(shù)脂、25g聚氨酯樹(shù)脂，溶解并用濾紙過(guò)濾，得到實(shí)施例2的光刻膠組合物。

實(shí)施例3

光刻膠組合物，包括：維多利亞純藍(lán)0.2重量份、聚乙烯醇縮醛樹(shù)脂27重量份、重氮萘醌樹(shù)脂bp2091.2重量份、二苯胺重氮樹(shù)脂(其中，n＝1000、w為ch2、r^-為六氟磷酸根陰離子、x為甲基、y為硝基、z為乙基)3.6重量份、二氧六環(huán)68重量份。

光刻膠組合物的制備方法：將0.2g維多利亞純藍(lán)溶于68g二氧六環(huán)，然后依次加入1.2g重氮萘醌樹(shù)脂、27g聚乙烯醇縮醛樹(shù)脂、3.6g二苯胺重氮樹(shù)脂，溶解并用濾紙過(guò)濾，得到實(shí)施例3的光刻膠組合物。

實(shí)施例4

光刻膠組合物，包括：油溶藍(lán)1重量份、聚氨酯樹(shù)脂33重量份、重氮萘醌樹(shù)脂bp2112重量份、二苯胺重氮樹(shù)脂(其中，n＝10、w為ch2、r^-為萘磺酸根陰離子、x為甲基、y為硝基、z為甲基)6重量份、甲醇58重量份。

光刻膠組合物的制備方法：將1g油溶藍(lán)溶于58g甲醇，然后依次加入6g二苯胺重氮樹(shù)脂、33g聚氨酯樹(shù)脂、2g重氮萘醌樹(shù)脂，溶解并用濾紙過(guò)濾，得到實(shí)施例4的光刻膠組合物。

實(shí)施例5

光刻膠組合物，包括：甲基紫0.5重量份、聚乙烯醇縮醛樹(shù)脂36重量份、重氮萘醌樹(shù)脂bp2123重量份、二苯胺重氮樹(shù)脂(其中，n＝8、w為ch2、r^-為對(duì)甲苯磺酸根陰離子、x為氫、y為硝基、z為乙基)6重量份、四氫呋喃54.5重量份。

光刻膠組合物的制備方法：將0.5g甲基紫溶于54.5g四氫呋喃，然后依次加入36g聚乙烯醇縮醛樹(shù)脂、3g重氮萘醌樹(shù)脂、6g二苯胺重氮樹(shù)脂，溶解并用濾紙過(guò)濾，得到實(shí)施例5的光刻膠組合物。

實(shí)施例6

光刻膠組合物，包括：靛藍(lán)1.5重量份、環(huán)氧樹(shù)脂32重量份、重氮萘醌樹(shù)脂bp2082.5重量份、二苯胺重氮樹(shù)脂(其中，n＝100、w為ch2、r^-為十二烷基苯磺酸根陰離子、x為甲基、y為硝基、z為乙基)5重量份、甲乙酮59重量份。

光刻膠組合物的制備方法：將1.5g靛藍(lán)溶于59g甲乙酮，然后依次加入32g環(huán)氧樹(shù)脂、5g二苯胺重氮樹(shù)脂、2.5g重氮萘醌樹(shù)脂，溶解并用濾紙過(guò)濾，得到實(shí)施例6的光刻膠組合物。

實(shí)施例7

光刻膠組合物，包括：孔雀石綠1.7重量份、聚乙烯醇縮醛樹(shù)脂28重量份、重氮萘醌樹(shù)脂703正膠1.8重量份、二苯胺重氮樹(shù)脂(其中，n＝500、w為ch2、r^-為均三甲苯磺酸根陰離子、x為甲氧基、y為硝基、z為甲基)4.5重量份、n-甲基吡咯烷酮64重量份。

光刻膠組合物的制備方法：將1.7g孔雀石綠溶于64gn-甲基吡咯烷酮，然后依次加入1.8g重氮萘醌樹(shù)脂、4.5g二苯胺重氮樹(shù)脂、28g聚乙烯醇縮醛樹(shù)脂，溶解并用濾紙過(guò)濾，得到實(shí)施例7的光刻膠組合物。

兩次曝光

根據(jù)本發(fā)明的兩次曝光可以通過(guò)以下步驟來(lái)進(jìn)行，其中重氮萘醌樹(shù)脂作為正性光刻膠，二苯胺重氮樹(shù)脂作為負(fù)性光刻膠。圖1為重氮萘醌樹(shù)脂的感光光譜圖。圖2為二苯胺重氮樹(shù)脂的感光光譜圖。由圖1可以看出，重氮萘醌樹(shù)脂的主要感光波長(zhǎng)在365nm附近。由圖2可以看出，二苯胺重氮樹(shù)脂的主要感光波長(zhǎng)在420nm附近，此外，隨著曝光時(shí)間的延長(zhǎng)，吸光度值不斷減小，即二苯胺重氮樹(shù)脂的含量不斷降低，且在420nm波長(zhǎng)下照射60s后二苯胺重氮樹(shù)脂完全被分解。

(1)第一次曝光

將本發(fā)明的光刻膠組合物以2000-6000轉(zhuǎn)/min的轉(zhuǎn)速涂布到等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積有sio2(厚度為)的玻璃基板上，100℃前烘2-10分鐘形成含光刻膠的薄膜priii，然后用曝光機(jī)進(jìn)行第一次曝光，波長(zhǎng)為365nm(i線)，曝光強(qiáng)度為30-180mj/cm²。

由于重氮萘醌樹(shù)脂的主要感光波長(zhǎng)在365nm(i線)附近(如圖1所示)，因此在365nm的紫外光照射時(shí)發(fā)生光分解。用顯影液顯影20秒，感光部分溶于顯影液而除去，未感光部分顯影成像。同時(shí)，由于二苯胺重氮樹(shù)脂的主要感光波長(zhǎng)為420nm(g線)(如圖2所示)，因此在365nm的紫外光照射時(shí)未發(fā)生反應(yīng)，感光部分和未感光部分均不溶于顯影液而被留下。因此得到與第一掩模板a圖像相同的第一光刻膠膜圖形pri。

(2)第二次曝光

使用波長(zhǎng)為420nm的紫外光(g線)對(duì)光刻膠組合物進(jìn)行第二次曝光，曝光強(qiáng)度為30-180mj/cm²。

由于二苯胺重氮樹(shù)脂的主要感光波長(zhǎng)在420nm(g線)附近，故在第二次曝光時(shí)二苯胺重氮樹(shù)脂與成膜樹(shù)脂發(fā)生交聯(lián)。用顯影液顯影20秒，感光部分顯影成像，未感光部分溶于顯影液而除去。同時(shí)，由于重氮萘醌樹(shù)脂的主要感光波長(zhǎng)為365nm(i線)，因此在420nm的紫外光照射時(shí)不發(fā)生光分解，感光部分和不感光部分均不溶于顯影液而被留下。從而得到第二光刻膠膜圖形prii。

通過(guò)雙掩模板兩次曝光的模式，可以實(shí)現(xiàn)掩模板線寬限制下更細(xì)線寬圖形的制備。如圖5中，第一掩模板a、第二掩模板b的制備最小線寬或線距為1μm，通過(guò)將兩個(gè)掩模板錯(cuò)位0.5μm，可實(shí)現(xiàn)0.5μm線寬圖形的曝光(即第一光刻膠膜圖形i的線寬為1μm，而第二光刻膠膜圖形ii的線寬為0.5μm)。

圖4為本發(fā)明的二苯胺重氮樹(shù)脂與成膜樹(shù)脂、鈍化層的交聯(lián)示意圖。在曝光時(shí)，由于硝基吸電子作用，導(dǎo)致重氮苯基主要發(fā)生異裂，產(chǎn)生大量的二苯胺陽(yáng)離子，與成膜樹(shù)脂上的-oh親核試劑發(fā)生反應(yīng)。此外，二苯胺陽(yáng)離子還會(huì)與sio2膜層表面與水分子形成的氫鍵交聯(lián)，結(jié)果是曝光部分的光刻膠與sio2表面通過(guò)氫鍵粘合在一起，不會(huì)在顯影過(guò)程中發(fā)生脫離，而未曝光部分的光刻膠沒(méi)有這種粘合作用，顯影后去除。

本發(fā)明中，兩次顯影使用的是相同的顯影液，所述顯影液為將1-5質(zhì)量份的na2sio3、8-10質(zhì)量份的苯甲醇、4-8質(zhì)量份的十二烷基硫酸鈉溶解在80-120質(zhì)量份的水中制備的。

顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)本發(fā)明進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本發(fā)明的精神和范圍。這樣，倘若本發(fā)明的這些修改和變型屬于本發(fā)明權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本發(fā)明也意圖包含這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。