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一種高效單晶爐石墨坩堝的制作方法

文檔序號:8077415閱讀:611來源:國知局
一種高效單晶爐石墨坩堝的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型提供了一種高效單晶爐石墨坩堝,包括坩堝主體、坩堝座和坩堝塞,坩堝主體放置在坩堝座上,坩堝主體由四塊相同的且內(nèi)壁上設(shè)有一層碳化硅涂層的坩堝板通過石墨紙封帶相互拼接圍成,坩堝主體呈錐臺形,坩堝主體底部設(shè)有一個(gè)開口,開口截面呈弧形,坩堝塞設(shè)置在開口內(nèi),坩堝塞形狀與開口的形狀相適配,坩堝塞底部設(shè)有一球面定位凸頭,坩堝座上設(shè)有一與定位凸頭形狀相匹配的定位凹腔,定位凸頭可嵌入定位凹腔內(nèi),每個(gè)坩堝板與坩堝座連接處均設(shè)置有一個(gè)排渣通孔,排渣通孔與水平方向形成的夾角為30°。本實(shí)用新型克服了傳統(tǒng)石墨坩堝原料浪費(fèi)和生產(chǎn)效率底下、以及不易定位和坩堝固定不牢的缺陷。
【專利說明】一種高效單晶爐石墨坩堝【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種單晶爐石墨坩堝,具體來說是一種高效的單晶爐石墨坩堝?!颈尘凹夹g(shù)】
[0002]現(xiàn)有單晶爐石墨坩堝由于活塞外形構(gòu)造和結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)過于簡單,如圖3,在熔煉過程中,由于四周的坩堝壁10均為豎直,導(dǎo)致了原料浪費(fèi)和生產(chǎn)效率低下的缺陷,另外單晶爐石墨坩堝的安裝過程中,常常出現(xiàn)堝塞11不易定位和坩堝固定不牢的情況;同時(shí)石英坩堝與石墨坩堝之間存在縫隙,生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的雜質(zhì)顆粒如不能及時(shí)排出會導(dǎo)致單晶硅的純度降低,造成產(chǎn)品不符合生產(chǎn)要求。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是如何克服現(xiàn)有技術(shù)的上述缺陷,提供一種高效的單晶爐石墨坩堝。
[0004]本實(shí)用新型通過以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn):
[0005]高效單晶爐石墨坩堝,包括坩堝主體、坩堝座和坩堝塞,其特征是:所述坩堝主體放置在所述坩堝座上,所述坩堝主體由四塊相同的且內(nèi)壁上設(shè)有一層碳化硅涂層的坩堝板通過石墨紙封帶相互拼接圍成,所述坩堝主體呈錐臺形,所述坩堝主體底部設(shè)有一個(gè)開口,所述開口截面呈弧形,所述坩堝塞設(shè)置在所述開口內(nèi),所述坩堝塞形狀與所述開口的形狀相適配,所述坩堝塞底部設(shè)有一球面定位凸頭,所述坩堝座上設(shè)有一與所述定位凸頭形狀相匹配的定位凹腔,所述定位凸頭可嵌入所述定位凹腔內(nèi),每個(gè)所述坩堝板與所述坩堝座連接處均設(shè)置有一個(gè)排渣通孔,所述排渣通孔與水平方向形成的夾角為30°。
[0006]如此設(shè)計(jì),斜面設(shè)計(jì)使得原料利用更加充分,生產(chǎn)效率有所提高,堝塞定位更加容易且坩堝固定更加牢固?!?br> [0007]作為優(yōu)化,所述定位凸頭呈正方形,所述定位凹腔為正方形凹腔。
[0008]本實(shí)用新型一種高效單晶爐石墨坩堝結(jié)構(gòu)簡單、成本低廉、設(shè)計(jì)巧妙、效果明顯,克服了傳統(tǒng)石墨坩堝原料浪費(fèi)和生產(chǎn)效率底下、雜質(zhì)顆粒不能有效排出,以及不易定位和坩堝固定不牢的缺陷,廣泛適用于石墨坩堝的生產(chǎn)制造。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0009]下面結(jié)合附圖對本實(shí)用新型一種高效單晶爐石墨坩堝作進(jìn)一步說明:
[0010]圖1是本高效單晶爐石墨坩堝的平面結(jié)構(gòu)示意圖;
[0011]圖2是本高效單晶爐石墨坩堝的剖面結(jié)構(gòu)示意圖;
[0012]圖3為現(xiàn)有技術(shù)中石墨?甘禍的結(jié)構(gòu)不意圖。
[0013]圖中:1_樹禍王體、2-?甘禍座、3-?甘禍塞、4-?甘禍板、5-石墨紙封帶、6-碳化娃涂層、7-定位凸頭、8-排氣通孔、9-排渣通孔、10-為坩堝壁、11-為堝塞。【具體實(shí)施方式】
[0014]結(jié)合圖1與圖2,石墨坩堝包括坩堝主體1、坩堝座2和坩堝塞3,坩堝主體I放置在坩堝座2上,坩堝主體I由四塊相同的且內(nèi)壁上設(shè)有一層碳化硅涂層6的坩堝板通過石墨紙封帶5相互拼接圍成,坩堝主體I呈錐臺形,坩堝主體I底部設(shè)有一個(gè)開口,開口截面呈弧形,坩堝塞3設(shè)置在開口內(nèi),坩堝塞3形狀與開口的形狀相適配,坩堝塞3底部設(shè)有一定位凸頭7,坩堝座2上設(shè)有與定位凸頭7形狀相匹配的定位凹腔,定位凸頭7可嵌入定位凹腔內(nèi),每個(gè)坩堝板4與坩堝座2連接處均設(shè)置有一個(gè)排渣通孔9,排渣通孔9與水平方向形成的夾角為30° ;定位凸頭7呈正方形,定位凹腔為正方形凹腔。
[0015]本實(shí)用新型包括但不限于上述實(shí)施方式,任何符合本權(quán)利要求書描述的產(chǎn)品,均落入本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種高效單晶爐石墨坩堝,包括坩堝主體、坩堝座和坩堝塞,其特征是:所述坩堝主體放置在所述坩堝座上,所述坩堝主體由四塊相同的且內(nèi)壁上設(shè)有一層碳化硅涂層的坩堝板通過石墨紙封帶相互拼接圍成,所述坩堝主體呈錐臺形,所述坩堝主體底部設(shè)有一個(gè)開口,所述開口截面呈弧形,所述坩堝塞設(shè)置在所述開口內(nèi),所述坩堝塞形狀與所述開口的形狀相適配,所述坩堝塞底部設(shè)有一球面定位凸頭,所述坩堝座上設(shè)有一與所述定位凸頭形狀相匹配的定位凹腔,所述定位凸頭可嵌入所述定位凹腔內(nèi),每個(gè)所述坩堝板與所述坩堝座連接處均設(shè)置有一個(gè)排渣通孔,所述排渣通孔與水平方向形成的夾角為30°。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高效單晶爐石墨坩堝,其特征是:所述定位凸頭呈正方形,所述定位凹腔為一正方形凹腔。
【文檔編號】C30B35/00GK203411659SQ201320310050
【公開日】2014年1月29日 申請日期:2013年5月31日 優(yōu)先權(quán)日:2013年5月31日
【發(fā)明者】張賢虎 申請人:西格里特種石墨(上海)有限公司
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