專(zhuān)利名稱(chēng)：?jiǎn)尉t內(nèi)的單晶棒稱(chēng)重系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及ー種單晶爐內(nèi)的單晶棒稱(chēng)重系統(tǒng)，尤其涉及ー種具有補(bǔ)償裝置的單晶爐內(nèi)的單晶棒稱(chēng)重系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
單晶爐是多晶硅轉(zhuǎn)化為單晶硅エ藝過(guò)程中的必備設(shè)備，而單晶硅又是光伏發(fā)電和半導(dǎo)體行業(yè)中的基礎(chǔ)原料。單晶硅作為現(xiàn)代信息社會(huì)的關(guān)鍵支撐材料，是目前世界上最重要的單晶材料之一，它不僅是發(fā)展計(jì)算機(jī)與集成電路的主要功能材料，也是光伏發(fā)電利用太陽(yáng)能的主要功能材料。在太陽(yáng)能單晶爐單晶拉制エ藝中，放肩的大小，等徑時(shí)的直徑變化，使得理論計(jì)算出的單晶棒重量和實(shí)際重量有一定差距，而準(zhǔn)確的測(cè)量單晶棒的重量，并通過(guò)投料重量推算出鍋底料的重量，對(duì)保證單晶拉制エ藝有重要的作用?，F(xiàn)有的太陽(yáng)能單晶爐內(nèi)的單晶棒稱(chēng)重系統(tǒng)，一般會(huì)在計(jì)算機(jī)軟件上設(shè)置零點(diǎn)調(diào)節(jié)和比例調(diào)節(jié)以對(duì)稱(chēng)重?cái)?shù)據(jù)進(jìn)行調(diào)節(jié)。但是在稱(chēng)重系統(tǒng)的實(shí)際使用過(guò)程中，經(jīng)常因稱(chēng)重傳感器安裝位置的偏差或其他種種偏差造成稱(chēng)重傳感器的輸出值和實(shí)際重量值的關(guān)系為ー種非線性的關(guān)系，而上述計(jì)算機(jī)內(nèi)設(shè)置的零點(diǎn)調(diào)節(jié)和比例調(diào)節(jié)對(duì)非線性的稱(chēng)重?cái)?shù)據(jù)只能校準(zhǔn)某個(gè)特定的重量，而對(duì)其它重量稱(chēng)重時(shí)就存在著誤差，并且在對(duì)已知重量進(jìn)行校準(zhǔn)時(shí)，要采取試參數(shù)的方法調(diào)整，很不方便。有鑒于此，有必要對(duì)現(xiàn)有的單晶爐內(nèi)的單晶棒稱(chēng)重系統(tǒng)予以改進(jìn)，以解決上述問(wèn)題。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種可對(duì)單晶棒稱(chēng)重進(jìn)行非線性補(bǔ)償以提高稱(chēng)重精確度的單晶爐內(nèi)的單晶棒稱(chēng)重系統(tǒng)。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型的一種單晶爐內(nèi)的單晶棒稱(chēng)重系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括軟軸輪，纏繞于軟軸輪上以進(jìn)行單晶爐內(nèi)的單晶棒提拉的軟軸，稱(chēng)重傳感器，設(shè)置于軟軸與稱(chēng)重傳感器之間以傳遞重量的傳遞機(jī)構(gòu)，顯示單晶爐內(nèi)的單晶棒重量數(shù)據(jù)的顯示裝置，以及連接于稱(chēng)重傳感器與顯示裝置之間、以進(jìn)行稱(chēng)重傳感器的輸出數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、檢測(cè)及校準(zhǔn)補(bǔ)償?shù)难a(bǔ)償裝置。作為本實(shí)用新型的進(jìn)ー步改進(jìn)，所述補(bǔ)償裝置包括模數(shù)轉(zhuǎn)換器、數(shù)模轉(zhuǎn)換器及存儲(chǔ)器。作為本實(shí)用新型的進(jìn)ー步改進(jìn)，所述補(bǔ)償裝置還包括進(jìn)行稱(chēng)重傳感器輸出數(shù)據(jù)進(jìn)行補(bǔ)償點(diǎn)選定的選定機(jī)構(gòu)、及對(duì)該選定機(jī)構(gòu)選定的補(bǔ)償點(diǎn)進(jìn)行補(bǔ)償調(diào)節(jié)的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)。作為本實(shí)用新型的進(jìn)ー步改進(jìn)，所述補(bǔ)償裝置包括存儲(chǔ)器，對(duì)稱(chēng)重傳感器輸出數(shù)據(jù)進(jìn)行補(bǔ)償點(diǎn)選定的選定機(jī)構(gòu)，及對(duì)該選定機(jī)構(gòu)選定的補(bǔ)償點(diǎn)進(jìn)行補(bǔ)償調(diào)節(jié)的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)。作為本實(shí)用新型的進(jìn)ー步改進(jìn)，所述補(bǔ)償裝置還包括在發(fā)生誤操作及軟軸卡死時(shí)發(fā)出報(bào)警的報(bào)警機(jī)構(gòu)。作為本實(shí)用新型的進(jìn)ー步改進(jìn)，所述系統(tǒng)還包括連接于補(bǔ)償裝置與顯示裝置之間、或者稱(chēng)重傳感器與補(bǔ)償裝置之間的導(dǎo)電滑環(huán)。作為本實(shí)用新型的進(jìn)ー步改進(jìn)，通過(guò)所述導(dǎo)電滑環(huán)的電信號(hào)為4mA至20mA的電流環(huán)。作為本實(shí)用新型的進(jìn)ー步改進(jìn)，所述傳遞機(jī)構(gòu)包括與軟軸輪上的軟軸相接觸的滑輪，及活動(dòng)連接于滑輪與稱(chēng)重傳感器之間的滑動(dòng)導(dǎo)軌，所述滑 動(dòng)導(dǎo)軌與軟軸之間的角度小于90度。作為本實(shí)用新型的進(jìn)ー步改進(jìn)，所述系統(tǒng)還包括用以固定軟軸輪、滑輪、稱(chēng)重傳感器的驅(qū)動(dòng)臺(tái)，及固定于驅(qū)動(dòng)臺(tái)上并對(duì)軟軸進(jìn)行導(dǎo)向的壓緊輪。作為本實(shí)用新型的進(jìn)ー步改進(jìn)，所述補(bǔ)償裝置包括有將稱(chēng)重傳感器的重量信號(hào)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)的變送機(jī)構(gòu)。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的優(yōu)勢(shì)在于本實(shí)用新型通過(guò)設(shè)置連接于稱(chēng)重傳感器與顯示裝置之間、以進(jìn)行稱(chēng)重傳感器的輸出數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、檢測(cè)及校準(zhǔn)補(bǔ)償?shù)难a(bǔ)償裝置，從而可實(shí)現(xiàn)單晶棒稱(chēng)重系統(tǒng)稱(chēng)重補(bǔ)償?shù)姆蔷€性化，提高單晶拉制過(guò)程中整個(gè)重量段的測(cè)量精度。

圖I是本實(shí)用新型單晶爐內(nèi)的單晶棒稱(chēng)重系統(tǒng)的第一實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是圖I中單晶棒稱(chēng)重系統(tǒng)中的補(bǔ)償機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。圖3是圖I中單晶棒稱(chēng)重系統(tǒng)中的補(bǔ)償機(jī)構(gòu)的另一結(jié)構(gòu)示意圖。圖4是本實(shí)用新型單晶棒稱(chēng)重系統(tǒng)的第二實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
為了使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，
以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)描述。請(qǐng)參閱圖I所示為本實(shí)用新型單晶爐內(nèi)的單晶棒稱(chēng)重系統(tǒng)100的第一較佳實(shí)施方式。該單晶爐內(nèi)的單晶棒稱(chēng)重系統(tǒng)100包括上爐體12、固定于上爐體12上側(cè)的支撐板11、固定于支撐板11上方的驅(qū)動(dòng)臺(tái)(未標(biāo)號(hào))、連接于支撐板11與驅(qū)動(dòng)臺(tái)之間的旋轉(zhuǎn)密封磁流體13、固定于支撐板11上以驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)密封磁流體13旋轉(zhuǎn)從而帶動(dòng)驅(qū)動(dòng)臺(tái)旋轉(zhuǎn)的晶轉(zhuǎn)電機(jī)14。所述驅(qū)動(dòng)臺(tái)包括與旋轉(zhuǎn)密封磁流體13固定連接的旋轉(zhuǎn)平臺(tái)10及固定于旋轉(zhuǎn)平臺(tái)10上的密閉箱20。本實(shí)用新型單晶棒稱(chēng)重系統(tǒng)100還包括固定于密閉箱20內(nèi)的軟軸輪21、纏繞在軟軸輪21上以對(duì)上爐體12內(nèi)的單晶棒32進(jìn)行提拉的軟軸22、固定在密閉箱20內(nèi)的稱(chēng)重傳感器24、設(shè)置于軟軸22與稱(chēng)重傳感器24之間以傳遞重量的傳遞機(jī)構(gòu)(未標(biāo)號(hào))、以及固定于密閉箱20內(nèi)并沿垂直于軟軸22方向抵壓軟軸22以對(duì)軟軸22進(jìn)行導(dǎo)向的壓緊輪26。所述傳遞機(jī)構(gòu)包括與軟軸輪21上的軟軸22相接觸的滑輪23及活動(dòng)連接于滑輪23與稱(chēng)重傳感器24之間的滑動(dòng)導(dǎo)軌25，所述滑動(dòng)導(dǎo)軌25與軟軸22之間的角度小于90度，從而可將所述軟軸22上的重量由所述滑輪23通過(guò)滑動(dòng)導(dǎo)軌25傳送至所述稱(chēng)重傳感器24上。所述壓緊輪26通過(guò)彈簧27與所述密閉箱20內(nèi)側(cè)壁相固定。本實(shí)施方式中，所述壓緊輪26與所述軟軸輪21相切設(shè)置以導(dǎo)向所述軟軸22，所述壓緊輪26進(jìn)ー步設(shè)置于所述滑輪23和稱(chēng)重傳感器24的上方。所述軟軸22的一端纏繞在所述軟軸輪21上，其另一端伸入上爐體12內(nèi)。所述軟軸22伸入上爐體12的一端連接有仔晶夾頭30。所述仔晶夾頭30下端還連接有仔晶31。所述旋轉(zhuǎn)平臺(tái)10上、密閉箱20的外側(cè)設(shè)置有用以驅(qū)動(dòng)軟軸輪21旋轉(zhuǎn)以帶動(dòng)軟軸22上下移動(dòng)的晶升電機(jī)42。請(qǐng)參閱圖I及圖2所示，本實(shí)用新型單晶棒稱(chēng)重系統(tǒng)100還包括與稱(chēng)重傳感器24通過(guò)導(dǎo)線41電性連接、以對(duì)稱(chēng)重傳感器24的輸出數(shù)據(jù)進(jìn)行存儲(chǔ)、檢測(cè)及校準(zhǔn)補(bǔ)償?shù)难a(bǔ)償裝置40，及通過(guò)導(dǎo)線41電性連接補(bǔ)償裝置 0以顯示單晶爐內(nèi)的單晶棒32重量數(shù)據(jù)的顯示裝置50。所述補(bǔ)償裝置40包括有將稱(chēng)重傳感器24的重量信號(hào)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)的變送機(jī)構(gòu)(未標(biāo)號(hào))及進(jìn)行數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、檢測(cè)及校準(zhǔn)補(bǔ)償?shù)难a(bǔ)償機(jī)構(gòu)(未標(biāo)號(hào))。本實(shí)用新型中該變送機(jī)構(gòu)是將稱(chēng)重傳感器24輸出的重量信號(hào)轉(zhuǎn)換為電壓信號(hào)或OmA至20mA的電流信號(hào)。在本實(shí)施方式中，該補(bǔ)償機(jī)構(gòu)為一外置的單片機(jī)，該單片機(jī)內(nèi)設(shè)置有模數(shù)轉(zhuǎn)換器(A/D)、數(shù)模轉(zhuǎn)換器(D/A)、存儲(chǔ)器(EEPR0M)、對(duì)稱(chēng)重傳感器24輸出數(shù)據(jù)中需要進(jìn)行補(bǔ)償點(diǎn)選定的選定機(jī)構(gòu)、及對(duì)該選定機(jī)構(gòu)選定的補(bǔ)償點(diǎn)進(jìn)行補(bǔ)償調(diào)節(jié)的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)、以及在發(fā)生誤操作及軟軸22卡死時(shí)發(fā)出報(bào)警的報(bào)警機(jī)構(gòu)。其中該存儲(chǔ)器內(nèi)保存有多個(gè)エ藝點(diǎn)的重量數(shù)據(jù)及與之對(duì)應(yīng)的補(bǔ)償參數(shù)。該補(bǔ)償參數(shù)是通過(guò)對(duì)單片機(jī)內(nèi)存儲(chǔ)的多個(gè)エ藝點(diǎn)的歷史數(shù)據(jù)進(jìn)行回放，然后與在エ藝結(jié)束后對(duì)該等エ藝點(diǎn)的重量用其他標(biāo)準(zhǔn)稱(chēng)重設(shè)備(未圖示)進(jìn)行測(cè)量的數(shù)值進(jìn)行比對(duì)校準(zhǔn)而得的，從而可對(duì)后續(xù)實(shí)際操作過(guò)程中的各エ藝點(diǎn)的重量數(shù)據(jù)進(jìn)行補(bǔ)償后再進(jìn)行顯示，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)非線性的多點(diǎn)校準(zhǔn)補(bǔ)償?shù)男Ч?，提高單晶拉制過(guò)程中整個(gè)重量段的多個(gè)エ藝點(diǎn)的測(cè)量精度。該選定機(jī)構(gòu)及調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)即是針對(duì)不同的エ藝點(diǎn)或者說(shuō)是補(bǔ)償點(diǎn)用不同的補(bǔ)償參數(shù)進(jìn)行稱(chēng)重重量數(shù)據(jù)的對(duì)應(yīng)補(bǔ)償，然后將補(bǔ)償后的數(shù)據(jù)傳遞給顯示裝置50進(jìn)行顯示。所述顯示裝置50可以為計(jì)算機(jī)、顯示器或由PLC和計(jì)算機(jī)組成的其他顯示裝置。請(qǐng)參閱圖3所示，所述補(bǔ)償裝置40也可內(nèi)置在控制器(PLC)內(nèi)，該種補(bǔ)償裝置40包括有存儲(chǔ)有多個(gè)エ藝點(diǎn)的重量數(shù)據(jù)及與之對(duì)應(yīng)的補(bǔ)償參數(shù)的存儲(chǔ)器，對(duì)稱(chēng)重傳感器24的輸出數(shù)據(jù)進(jìn)行補(bǔ)償點(diǎn)選定的選定機(jī)構(gòu)、對(duì)該選定機(jī)構(gòu)選定的補(bǔ)償點(diǎn)進(jìn)行補(bǔ)償調(diào)節(jié)的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)、及在發(fā)生誤操作及軟軸卡死時(shí)發(fā)出報(bào)警的報(bào)警機(jī)構(gòu)(未圖示)，同樣也可達(dá)到本實(shí)用新型的目的。請(qǐng)結(jié)合圖I及圖2所示，所述稱(chēng)重系統(tǒng)100還包括有固定在支撐板11上的U型支撐桿44及固定干支撐桿44上的導(dǎo)電滑環(huán)43。所述導(dǎo)電滑環(huán)43的一端通過(guò)導(dǎo)線41與所述補(bǔ)償裝置40相連接，其另一端通過(guò)導(dǎo)線41與顯示裝置50相連接。本實(shí)施方式中，通過(guò)所述導(dǎo)電滑環(huán)43的電信號(hào)為4mA至20mA的電流環(huán),所述4_20mA電流環(huán)是將電壓信號(hào)傳輸轉(zhuǎn)換為使用恒流源傳輸，它對(duì)由于接觸電阻發(fā)生變化造成的輸入阻抗變化有極大的抑制作用，又具有極低的輸入阻抗，能夠減小干擾的影響。誠(chéng)然，結(jié)合圖3所示，當(dāng)圖I中的補(bǔ)償裝置40是如圖3內(nèi)置于控制器(PLC)中時(shí)，該導(dǎo)電滑環(huán)43則是電性連接于稱(chēng)重傳感器24與補(bǔ)償裝置40之間。請(qǐng)參閱圖4所示為本實(shí)用新型單晶爐內(nèi)的單晶棒稱(chēng)重系統(tǒng)100’的第二較佳實(shí)施方式，與第一實(shí)施方式中的單晶爐內(nèi)的單晶棒稱(chēng)重系統(tǒng)100相比，兩者之間的差別僅在于第一實(shí)施方式中的仔晶31安裝在軟軸22下端懸掛的仔晶夾頭30上，單晶棒32生長(zhǎng)在旋轉(zhuǎn)的仔晶31上；而第二實(shí)施方式中的仔晶夾頭30’上還固定有ー掛件33，以及ー個(gè)懸掛在掛件33上的導(dǎo)流桶34。由以上可得，本實(shí)用新型單晶爐內(nèi)的單晶棒稱(chēng)重系統(tǒng)100、100’在工作時(shí)，首先，稱(chēng)重系統(tǒng)100、100’對(duì)單晶拉制過(guò)程中的若干關(guān)鍵エ藝點(diǎn)的重量數(shù)據(jù)進(jìn)行測(cè)量并存儲(chǔ)；接著，在エ藝結(jié)束后，對(duì)這些關(guān)鍵エ藝點(diǎn)的重量利用其它標(biāo)準(zhǔn)稱(chēng)重設(shè)備進(jìn)行測(cè)量記錄后，采取歷史數(shù)據(jù)回放測(cè)量的關(guān)鍵エ藝點(diǎn)的重量數(shù)據(jù)給PLC或計(jì)算機(jī)顯示；然后根據(jù)已知重量對(duì)該數(shù)據(jù)進(jìn)行校準(zhǔn)，并在補(bǔ)償機(jī)構(gòu)中調(diào)整和存儲(chǔ)該エ藝點(diǎn)的補(bǔ)償參數(shù)；最后，在實(shí)時(shí)的稱(chēng)重測(cè)量過(guò)程中，對(duì)采集到的該重量段用存儲(chǔ)的補(bǔ)償參數(shù)進(jìn)行補(bǔ)償計(jì)算。在對(duì)關(guān)鍵エ藝點(diǎn)的重量數(shù)據(jù)進(jìn)行測(cè)量并存儲(chǔ)時(shí)，本實(shí)用新型單晶 爐內(nèi)的單晶棒稱(chēng)重系統(tǒng)100、100’還能對(duì)可能出現(xiàn)的重量異常變化、ー些誤操作和軟軸卡死等意外及時(shí)發(fā)出報(bào)警提示，以防止故障進(jìn)ー步擴(kuò)展。綜上所述，本實(shí)用新型單晶爐內(nèi)的單晶棒稱(chēng)重系統(tǒng)100、100’，通過(guò)對(duì)多個(gè)エ藝點(diǎn)的稱(chēng)重?cái)?shù)據(jù)進(jìn)行采集、存儲(chǔ)和歷史回放，可以方便、快捷的確定補(bǔ)償參數(shù)，進(jìn)而準(zhǔn)確校準(zhǔn)該等エ藝點(diǎn)的重量數(shù)據(jù)；而且，通過(guò)多點(diǎn)校準(zhǔn)，可以補(bǔ)償稱(chēng)重系統(tǒng)的非線性，提高單晶拉制過(guò)程中整個(gè)重量段的測(cè)量精度。以上實(shí)施例僅用以說(shuō)明本實(shí)用新型的技術(shù)方案而非限制，盡管參照較佳實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行了詳細(xì)說(shuō)明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解，可以對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)方案進(jìn)行修改或者等同替換，而不脫離本實(shí)用新型技術(shù)方案的精神和范圍。
權(quán)利要求1.ー種單晶爐內(nèi)的單晶棒稱(chēng)重系統(tǒng)，其特征在干，該系統(tǒng)包括軟軸輪，纏繞于軟軸輪上以進(jìn)行單晶爐內(nèi)的單晶棒提拉的軟軸，稱(chēng)重傳感器，設(shè)置于軟軸與稱(chēng)重傳感器之間以傳遞重量的傳遞機(jī)構(gòu)，顯示單晶爐內(nèi)的單晶棒重量數(shù)據(jù)的顯示裝置，以及連接于稱(chēng)重傳感器與顯示裝置之間、以進(jìn)行稱(chēng)重傳感器的輸出數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、檢測(cè)及校準(zhǔn)補(bǔ)償?shù)难a(bǔ)償裝置。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的單晶爐內(nèi)的單晶棒稱(chēng)重系統(tǒng)，其特征在于，所述補(bǔ)償裝置包括模數(shù)轉(zhuǎn)換器、數(shù)模轉(zhuǎn)換器及存儲(chǔ)器。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的單晶爐內(nèi)的單晶棒稱(chēng)重系統(tǒng)，其特征在干，所述補(bǔ)償裝置還包括進(jìn)行稱(chēng)重傳感器輸出數(shù)據(jù)進(jìn)行補(bǔ)償點(diǎn)選定的選定機(jī)構(gòu)、及對(duì)該選定機(jī)構(gòu)選定的補(bǔ)償點(diǎn)進(jìn)行補(bǔ)償調(diào)節(jié)的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的單晶爐內(nèi)的單晶棒稱(chēng)重系統(tǒng)，其特征在于，所述補(bǔ)償裝置包括存儲(chǔ)器，對(duì)稱(chēng)重傳感器輸出數(shù)據(jù)進(jìn)行補(bǔ)償點(diǎn)選定的選定機(jī)構(gòu)，及對(duì)該選定機(jī)構(gòu)選定的補(bǔ)償點(diǎn)進(jìn)行補(bǔ)償調(diào)節(jié)的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)。
5.根據(jù)權(quán)利要求3或4中任意一項(xiàng)所述的單晶爐內(nèi)的單晶棒稱(chēng)重系統(tǒng)，其特征在于，所述補(bǔ)償裝置還包括在發(fā)生誤操作及軟軸卡死時(shí)發(fā)出報(bào)警的報(bào)警機(jī)構(gòu)。
6.根據(jù)權(quán)利要求I所述的單晶爐內(nèi)的單晶棒稱(chēng)重系統(tǒng)，其特征在于，所述系統(tǒng)還包括連接于補(bǔ)償裝置與顯示裝置之間、或者稱(chēng)重傳感器與補(bǔ)償裝置之間的導(dǎo)電滑環(huán)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的單晶爐內(nèi)的單晶棒稱(chēng)重系統(tǒng)，其特征在干，通過(guò)所述導(dǎo)電滑環(huán)的電信號(hào)為4mA至20mA的電流環(huán)。
8.根據(jù)權(quán)利要求I所述的單晶爐內(nèi)的單晶棒稱(chēng)重系統(tǒng)，其特征在于，所述傳遞機(jī)構(gòu)包括與軟軸輪上的軟軸相接觸的滑輪，及活動(dòng)連接于滑輪與稱(chēng)重傳感器之間的滑動(dòng)導(dǎo)軌，所述滑動(dòng)導(dǎo)軌與軟軸之間的角度小于90度。
9.根據(jù)權(quán)利要求I所述的單晶爐內(nèi)的單晶棒稱(chēng)重系統(tǒng)，其特征在于，所述系統(tǒng)還包括用以固定軟軸輪、滑輪、稱(chēng)重傳感器的驅(qū)動(dòng)臺(tái)，及固定于驅(qū)動(dòng)臺(tái)上并對(duì)軟軸進(jìn)行導(dǎo)向的壓緊輪。
10.根據(jù)權(quán)利要求I所述的單晶爐內(nèi)的單晶棒稱(chēng)重系統(tǒng)，其特征在于，所述補(bǔ)償裝置包括有將稱(chēng)重傳感器的重量信號(hào)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)的變送機(jī)構(gòu)。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型提供了一種單晶爐內(nèi)的單晶棒稱(chēng)重系統(tǒng)，包括軟軸輪，纏繞于軟軸輪上以進(jìn)行單晶爐內(nèi)的單晶棒提拉的軟軸，稱(chēng)重傳感器，設(shè)置于軟軸與稱(chēng)重傳感器之間以傳遞重量的傳遞機(jī)構(gòu)，顯示單晶爐內(nèi)的單晶棒重量數(shù)據(jù)的顯示裝置，以及連接于稱(chēng)重傳感器與顯示裝置之間、以進(jìn)行稱(chēng)重傳感器的輸出數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、檢測(cè)及校準(zhǔn)補(bǔ)償?shù)难a(bǔ)償裝置，從而可提高單晶拉制過(guò)程中整個(gè)重量段的測(cè)量精度。
文檔編號(hào)C30B15/28GK202440566SQ20122003051
公開(kāi)日2012年9月19日 申請(qǐng)日期2012年1月31日 優(yōu)先權(quán)日2012年1月31日
發(fā)明者朱海波, 武泉林 申請(qǐng)人:阿特斯(中國(guó))投資有限公司, 阿特斯光伏電力(洛陽(yáng))有限公司