一種單晶爐的爐體的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種單晶爐的爐體，包括爐體外殼，底座和爐筒，所述的爐筒是由內(nèi)爐筒和外爐筒所組成，所述的內(nèi)爐筒位于外爐筒內(nèi)并不與外爐筒相接觸，所述的內(nèi)爐筒外側(cè)設(shè)置有保溫襯筒，所述的保溫襯筒與外爐筒之間存有間隙，所述的內(nèi)爐筒內(nèi)開設(shè)有倒圓臺(tái)型存料腔體，所述的外爐筒內(nèi)安裝有加熱裝置，所述的外爐筒與第一升降機(jī)構(gòu)相連，所述的內(nèi)爐筒與第二升降機(jī)構(gòu)相連，所述爐體外殼的底部設(shè)置有進(jìn)料口，所述的進(jìn)料口位于存料腔體的正上方。本設(shè)計(jì)通過給位于外爐筒內(nèi)的感應(yīng)線圈通電，利用感應(yīng)線圈產(chǎn)生的感應(yīng)渦流進(jìn)行加熱，大大提高了單機(jī)爐的加熱效率。
【專利說明】
一種單晶爐的爐體
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新涉及型單晶硅的生產(chǎn)制造設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別是一種單晶爐的爐體。
【背景技術(shù)】
[0002]單晶硅是具有完整的點(diǎn)陣結(jié)構(gòu)的晶體，是一種良好的半導(dǎo)體材料，目前被廣泛用于半導(dǎo)體器件以及太陽能電池的制造?，F(xiàn)有的單晶硅制造設(shè)備為單晶爐，其主要包括爐底、下爐體、上爐體、上爐蓋、隔離閥和副爐六大部分組成。
[0003]以往的上爐體和下爐體之間連接時(shí)，是將下爐體頂部設(shè)置成凸臺(tái)狀，再將上爐體直接蓋在下爐體頂部，這樣便完成了固定。但是此類的單晶爐爐體存在著很大的局限性，無法滿足現(xiàn)代化工業(yè)生產(chǎn)需要。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本實(shí)用新型需要解決的技術(shù)問題是通過給位于外爐筒內(nèi)的感應(yīng)線圈通電，利用感應(yīng)線圈產(chǎn)生的感應(yīng)渦流進(jìn)行加熱，大大提高了單機(jī)爐的加熱效率;提供一種單晶爐的爐體。
[0005]為解決上述的技術(shù)問題，本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)包括爐體外殼，底座和爐筒，所述的爐筒是由內(nèi)爐筒和外爐筒所組成，所述的內(nèi)爐筒位于外爐筒內(nèi)并不與外爐筒相接觸，所述的內(nèi)爐筒外側(cè)設(shè)置有保溫襯筒，所述的保溫襯筒與外爐筒之間存有間隙，所述的內(nèi)爐筒內(nèi)開設(shè)有倒圓臺(tái)型存料腔體，所述的外爐筒內(nèi)安裝有加熱裝置，所述的外爐筒與第一升降機(jī)構(gòu)相連，所述的內(nèi)爐筒與第二升降機(jī)構(gòu)相連，所述爐體外殼的底部設(shè)置有進(jìn)料口，所述的進(jìn)料口位于存料腔體的正上方。
[0006]進(jìn)一步:所述的第一升降機(jī)構(gòu)包括氣缸、升降板和開設(shè)在底座上環(huán)形導(dǎo)向槽，所述的環(huán)形導(dǎo)向槽與外爐筒的形狀相匹配，所述的氣缸固定安裝在底座上，所述的氣缸通過升降板連接在外爐筒的外側(cè)。
[0007]又進(jìn)一步:所述的第二升降機(jī)構(gòu)包括電機(jī)、滾珠絲杠、聯(lián)軸器和滾珠絲杠螺母，所述的電機(jī)安裝在底內(nèi)，所述的電機(jī)通過聯(lián)軸器與滾珠絲杠相連，所述的滾珠絲杠穿過內(nèi)爐筒連接在爐體外殼的頂部，所述的滾珠絲杠通過軸承與爐體外殼的頂部相連，所述的滾珠絲杠上套裝有滾珠絲杠螺母，所述的滾珠絲杠螺母連接在內(nèi)爐筒的底部。
[0008]再進(jìn)一步:所述的加熱裝置為感應(yīng)線圈。
[0009]采用上述結(jié)構(gòu)后，本實(shí)用新型通過給位于外爐筒內(nèi)的感應(yīng)線圈通電，利用感應(yīng)線圈產(chǎn)生的感應(yīng)渦流進(jìn)行加熱，大大提高了單機(jī)爐的加熱效率;而且本設(shè)計(jì)還具有結(jié)構(gòu)簡單、易于制造和實(shí)用尚效的優(yōu)點(diǎn)。
【附圖說明】
[0010]下面結(jié)合附圖和【具體實(shí)施方式】對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。
[0011]圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0012]如圖1所示的一種單晶爐的爐體，其特征在于:包括爐體外殼I，底座2和爐筒，所述的爐筒是由內(nèi)爐筒4和外爐筒5所組成，所述的內(nèi)爐筒4位于外爐筒5內(nèi)并不與外爐筒5相接觸，所述的內(nèi)爐筒4外側(cè)設(shè)置有保溫襯筒5，所述的保溫襯筒5與外爐筒5之間存有間隙，所述的內(nèi)爐筒4內(nèi)開設(shè)有倒圓臺(tái)型存料腔體，所述的外爐筒5內(nèi)安裝有加熱裝置，所述的外爐筒5與第一升降機(jī)構(gòu)相連，所述的內(nèi)爐筒4與第二升降機(jī)構(gòu)相連，所述爐體外殼I的底部設(shè)置有進(jìn)料口 9，所述的進(jìn)料口 9位于存料腔體的正上方。工作時(shí)先啟動(dòng)第二升降機(jī)構(gòu)使其帶著內(nèi)爐筒4向上升，使內(nèi)爐筒4靠近進(jìn)料口9，起到便于進(jìn)料的作用，然后反向啟動(dòng)第二升降機(jī)構(gòu)把內(nèi)爐筒4輸送到原位，然后啟動(dòng)第一升降機(jī)構(gòu)使其帶著外爐筒5向上升，從而使內(nèi)爐筒4位于外爐筒5內(nèi)，啟動(dòng)加熱裝置對(duì)內(nèi)爐筒4內(nèi)的原料進(jìn)行加熱，本設(shè)計(jì)具有結(jié)構(gòu)簡單、易于制造和實(shí)用高效的優(yōu)點(diǎn)。
[0013]如圖1所示的第一升降機(jī)構(gòu)包括氣缸7、升降板8和開設(shè)在底座2上環(huán)形導(dǎo)向槽8，所述的環(huán)形導(dǎo)向槽8與外爐筒5的形狀相匹配，所述的氣缸7固定安裝在底座2上，所述的氣缸通過升降板8連接在外爐筒5的外側(cè)。當(dāng)需要對(duì)外爐筒5向上升時(shí)，啟動(dòng)氣缸7使其帶著升降板8向上運(yùn)動(dòng)，由于升降板8固定連接在外爐筒5的外側(cè)，所以外爐筒5在升降板8的作用下會(huì)沿著環(huán)形導(dǎo)向槽8向上升，從而使內(nèi)爐筒4位于外爐筒5內(nèi)。
[0014]如圖1所示的第二升降機(jī)構(gòu)包括電機(jī)10、滾珠絲杠12、聯(lián)軸器11和滾珠絲杠螺母14，所述的電機(jī)10安裝在底座2內(nèi)，所述的電機(jī)10通過聯(lián)軸器11與滾珠絲杠12相連，所述的滾珠絲杠12穿過內(nèi)爐筒4連接在爐體外殼I的頂部，所述的滾珠絲杠12通過軸承與爐體外殼I的頂部相連，所述的滾珠絲杠12上套裝有滾珠絲杠螺母14，所述的滾珠絲杠螺母14連接在內(nèi)爐筒4的底部。當(dāng)需要對(duì)內(nèi)爐筒4的高度進(jìn)行調(diào)節(jié)時(shí)，啟動(dòng)電機(jī)1使其通過聯(lián)軸器11帶著滾珠絲杠12進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，滾珠絲杠螺母14在滾珠絲杠12轉(zhuǎn)動(dòng)的過程中會(huì)沿著滾珠絲杠12進(jìn)行豎直方向上的移動(dòng)，內(nèi)爐筒4在滾珠絲杠螺母14的帶動(dòng)下也會(huì)沿著滾珠絲杠12進(jìn)行豎直方向上的運(yùn)動(dòng)。本設(shè)計(jì)具有結(jié)構(gòu)簡單、易于制造和實(shí)用高效的優(yōu)點(diǎn)。
[0015]如圖1所示的加熱裝置為感應(yīng)線圈15。本設(shè)計(jì)通過給位于外爐筒內(nèi)的感應(yīng)線圈通電，利用感應(yīng)線圈產(chǎn)生的感應(yīng)渦流進(jìn)行加熱，大大提高了單機(jī)爐的加熱效率。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種單晶爐的爐體，其特征在于:包括爐體外殼(I)，底座(2)和爐筒，所述的爐筒是由內(nèi)爐筒(4)和外爐筒(5)所組成，所述的內(nèi)爐筒(4)位于外爐筒(5)內(nèi)并不與外爐筒(5)相接觸，所述的內(nèi)爐筒(4)外側(cè)設(shè)置有保溫襯筒(5)，所述的保溫襯筒(5)與外爐筒(5)之間存有間隙，所述的內(nèi)爐筒(4)內(nèi)開設(shè)有倒圓臺(tái)型存料腔體，所述的外爐筒(5)內(nèi)安裝有加熱裝置，所述的外爐筒(5)與第一升降機(jī)構(gòu)相連，所述的內(nèi)爐筒(4)與第二升降機(jī)構(gòu)相連，所述爐體外殼(I)的底部設(shè)置有進(jìn)料口(9)，所述的進(jìn)料口(9)位于存料腔體的正上方。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶爐的爐體，其特征在于:所述的第一升降機(jī)構(gòu)包括氣缸(7)、升降板(8)和開設(shè)在底座(2)上環(huán)形導(dǎo)向槽(8)，所述的環(huán)形導(dǎo)向槽(8)與外爐筒(5)的形狀相匹配，所述的氣缸(7)固定安裝在底座(2)上，所述的氣缸通過升降板(8)連接在外爐筒(5)的外側(cè)。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶爐的爐體，其特征在于:所述的第二升降機(jī)構(gòu)包括電機(jī)(10)、滾珠絲杠(12)、聯(lián)軸器(11)和滾珠絲杠螺母(14)，所述的電機(jī)(10)安裝在底座(2)內(nèi)，所述的電機(jī)(10)通過聯(lián)軸器(11)與滾珠絲杠(12)相連，所述的滾珠絲杠(12)穿過內(nèi)爐筒(4)連接在爐體外殼(I)的頂部，所述的滾珠絲杠(12)通過軸承與爐體外殼(I)的頂部相連，所述的滾珠絲杠(12)上套裝有滾珠絲杠螺母(14)，所述的滾珠絲杠螺母(14)連接在內(nèi)爐筒(4)的底部。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶爐的爐體，其特征在于:所述的加熱裝置為感應(yīng)線圈(15)。
【文檔編號(hào)】C30B15/00GK205556844SQ201520789123
【公開日】2016年9月7日
【申請(qǐng)日】2015年10月13日
【發(fā)明人】潘清躍, 王平
【申請(qǐng)人】江蘇華盛天龍光電設(shè)備股份有限公司