專利名稱：快速熱處理裝置的加熱器單元的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種快速熱處理裝置的加熱器單元，更具體地，涉及一種分離型加熱 器單元。
背景技術(shù)：
快速熱處理裝置(RTP)的關(guān)鍵是在短時(shí)間內(nèi)快速地將基板加熱到所需的溫度。快 速加熱是在基板被均勻地加熱的條件下執(zhí)行的。已提出了用以均勻地加熱基板的各種布置 加熱燈的方式。然而，由于加熱器單元是一體形成的，因此，實(shí)際上不能根據(jù)處理中的變化 來重新布置加熱燈。此外，加熱器單元消耗大量能量，并因此成為快速熱處理裝置的主要部件。然而， 由于加熱器單元是一體形成的，如果加熱器單元的部件由于熱量或因其它原因所產(chǎn)生的故 障而被損壞，則不能簡(jiǎn)單地用新的部件來替換所述部件，由此導(dǎo)致許多維護(hù)和修理方面的 問題。使從加熱燈射出的光轉(zhuǎn)向基板以提高快速加熱效率的擋板(barrier)被安裝在 加熱燈之間。這些擋板被用作次級(jí)間接熱源，并因此導(dǎo)致基板加熱不均勻。傳統(tǒng)的快速熱處理裝置會(huì)導(dǎo)致下述問題，諸如，因加熱器單元是一體形成的而導(dǎo) 致的難以維護(hù)和修理加熱器單元，難以重新布置加熱燈，以及因難以冷卻而導(dǎo)致基板加熱 不均勻。

發(fā)明內(nèi)容
技術(shù)問題因此，考慮到上述問題而提出本發(fā)明，并且本發(fā)明的目的是提供一種快速熱處理 裝置的分離型加熱器單元，所述分離型加熱器單元易于維護(hù)和修理，便于重新布置加熱燈， 并且被部分地冷卻以避免基板加熱不均勻。技術(shù)方案根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，上述和其它目的可以通過提供一種快速熱處理裝置的加 熱器單元來實(shí)現(xiàn)，所述快速熱處理裝置的加熱器單元包括燈罩，所述燈罩形成為平板形狀 并且設(shè)置有多個(gè)插燈孔，加熱燈分別插入所述插燈孔中；插座罩，加熱燈的插座插入所述插 座罩中，所述插座罩可分離地覆蓋在燈罩上；以及反射器罩，所述反射器罩在與插燈孔相對(duì) 應(yīng)的位置設(shè)置有出光孔，所述反射器罩可分離地安裝在所述燈罩的下面，從而使得加熱燈 下端分別插入出光孔中，出光孔的側(cè)壁用作擋板，其中，冷卻水流過的冷卻水槽穿過反射器 罩的出光孔的側(cè)壁形成。冷卻水流過的冷卻水槽可穿過燈罩的插燈孔的側(cè)壁形成。冷卻水入口和冷卻水出口可穿過插座罩形成，從而使得冷卻水流入插座罩。在0形環(huán)插置在插座罩和燈罩之間，以及0形環(huán)插置在燈罩和插座罩之間的情況 下，插座罩和燈罩可通過夾具彼此固定，以及燈罩和插座罩可通過夾具彼此固定。
有益效果本發(fā)明的加熱器單元是分離的，并因此易于維護(hù)和修理，并且燈罩和反射器罩注 入有冷卻水，正如一個(gè)墨盒，并且因此，可以防止加熱器單元的部件被熱量損壞，并且防止 基板因次級(jí)熱源的產(chǎn)生而被不均勻地加熱。


從下面的結(jié)合附圖的詳細(xì)描述中，將更加清楚地理解本發(fā)明的上述和其它目的、 特征和其它優(yōu)點(diǎn)，在附圖中圖1是圖示根據(jù)本發(fā)明的快速熱處理裝置的加熱器單元的示意圖。
具體實(shí)施例方式現(xiàn)在，將參照附圖詳細(xì)描述本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例。下面的實(shí)施例僅是為了更好地 理解本發(fā)明而進(jìn)行描述的，本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)該理解，在不脫離在所附的權(quán)利要求中所公 開的本發(fā)明的范圍和精神的情況下，可以對(duì)實(shí)施例進(jìn)行各種改進(jìn)。圖1是圖示根據(jù)本發(fā)明的快速熱處理裝置的加熱器單元的示意圖。參照?qǐng)D1，本發(fā) 明的加熱器單元包括可分離地連接的燈罩50、插座罩30和反射器罩60。燈罩50形成為平板形狀，多個(gè)插燈孔穿過燈罩50垂直地形成。插座罩30覆蓋在 燈罩50的上表面上。在0形環(huán)38插置在燈罩50和插座罩30之間的情況下，燈罩50和插座罩30通過 夾具37彼此固定。通過電源10被供應(yīng)以能量的加熱燈40被插入燈罩50中，從而使得加 熱燈40的燈座56被插入插座罩30中，并且加熱燈40的下端55面向下方。反射器罩60形成為平板形狀，出光孔66穿過反射器罩60形成在與插燈孔相對(duì)應(yīng) 的位置，并且加熱燈40的下端55被插入出光孔66中。反射器罩60和燈罩50通過夾具57 彼此固定，0形環(huán)58插置在反射器罩60和燈罩50之間。出光孔66形成為倒圓錐形狀，出光孔66的側(cè)壁用作擋板65。為了用作擋板65， 出光孔66的側(cè)壁由可以反射光的材料制成，或者涂覆有這種材料。冷卻水入口 69a和冷卻水出口 69b形成為穿過反射器罩60，有冷卻水流過的冷卻 水槽(channel)形成在反射器罩60中。此外，冷卻水入口 59a和冷卻水出口 59b形成為穿 過燈罩50，并且冷卻水流過的冷卻水槽形成在燈罩50的插燈孔的側(cè)壁中。這里，附圖標(biāo)記 59和69分別表示注入燈罩50和擋板65的冷卻水。使得諸如N2的冷卻氣體流入燈罩50和插座罩30之間的空間的冷卻氣體入口 39a 和冷卻氣體出口 39b穿過插座罩30形成。因此，燈座56被諸如N2的冷卻氣體冷卻。使得諸如N2的環(huán)境氣體流入位于加熱器單元下面的熱處理空間的環(huán)境氣體入口 79a和環(huán)境氣體出口 79b穿過反射器罩60形成。工業(yè)應(yīng)用性如從上述描述所顯而易見的，根據(jù)本發(fā)明的加熱器單元被分為三個(gè)部件，S卩，插座 罩30、燈罩50和反射器罩60。因此，即使加熱器單元的具體部件由于熱量或其它原因而被 損壞，也可以拆卸加熱器單元的各個(gè)部件，然后容易地修理被損壞的部件。此外，對(duì)擋板65 進(jìn)行冷卻，由此可以防止擋板65用作不希望的次級(jí)熱源。
盡管本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例是為了說明目的而公開的，但是本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)該理 解，在不脫離在所附的權(quán)利要求中所公開的本發(fā)明的范圍和精神的情況下，可以對(duì)本發(fā)明 進(jìn)行各種改進(jìn)、增補(bǔ)和替換。
權(quán)利要求
一種快速熱處理裝置的加熱器單元，包括燈罩，所述燈罩形成為平板形狀，并且所述燈罩設(shè)置有多個(gè)插燈孔，加熱燈分別插入所述插燈孔中；插座罩，所述加熱燈的插座插入所述插座罩中，所述插座罩可分離地覆蓋在所述燈罩上；以及反射器罩，所述反射器罩在與所述插燈孔相對(duì)應(yīng)的位置設(shè)置有出光孔，所述反射器罩可分離地安裝在所述燈罩的下面，從而使得所述加熱燈的下端分別插入所述出光孔中，所述出光孔的側(cè)壁用作擋板，其中，冷卻水流過的冷卻水槽穿過所述反射器罩的所述出光孔的側(cè)壁形成。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加熱器單元，其中，所述冷卻水流過的所述冷卻水槽穿過所 述燈罩的所述插燈孔的側(cè)壁形成。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加熱器單元，其中，冷卻水入口和冷卻水出口穿過所述插座 罩形成，從而使得所述冷卻水流入所述插座罩。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加熱器單元，其中，在0形環(huán)插置在所述插座罩和所述燈罩之 間，以及0形環(huán)插置在所述燈罩和所述插座罩之間的情況下，所述插座罩和所述燈罩通過 夾具彼此固定，以及所述燈罩和所述插座罩通過夾具彼此固定。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種快速熱處理裝置的分離型加熱器單元，包括燈罩，所述燈罩形成為平板形狀，并且所述燈罩設(shè)置有多個(gè)插燈孔，加熱燈分別插入所述插燈孔中；插座罩，所述加熱燈的插座插入所述插座罩中，所述插座罩可分離地覆蓋在所述燈罩上；以及反射器罩，所述反射器罩在與所述插燈孔相對(duì)應(yīng)的位置設(shè)置有出光孔，所述反射器罩可分離地安裝在所述燈罩的下面，從而使得所述加熱燈的下端分別插入所述出光孔中，所述出光孔的側(cè)壁用作擋板，其中，冷卻水流過的冷卻水槽穿過所述反射器罩的所述出光孔的側(cè)壁形成。
文檔編號(hào)H05B3/06GK101919304SQ200880118079
公開日2010年12月15日 申請(qǐng)日期2008年12月1日 優(yōu)先權(quán)日2007年12月3日
發(fā)明者沈長(zhǎng)禹, 許俊, 金昇龍, 黃大天 申請(qǐng)人:Ap系統(tǒng)股份有限公司