專利名稱：液滴噴出方法及裝置、噴頭單元、電光學(xué)裝置、電子設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及液滴噴出方法、噴頭單元、液滴噴出裝置、電光學(xué)裝置以及電子設(shè)備。
背景技術(shù)：
噴墨打印機(jī)的液滴噴出頭能夠以點(diǎn)狀噴出微小的墨滴，在墨滴的大小和間距的均勻性方面具有極其高的精度。該技術(shù)應(yīng)用在各種產(chǎn)品的制造領(lǐng)域。例如，也可以在形成液晶裝置的濾色器(color filter)和有機(jī)EL顯示裝置的發(fā)光部等時(shí)使用。具體而言，使液滴噴出頭中含有特殊的墨水或感光性的樹脂液等(功能液)，對(duì)電光學(xué)裝置用的基板噴出該功能液的液滴(例如，參照專利文獻(xiàn)1)。由于在通過(guò)該方法而形成的濾色器或發(fā)光部上，大多形成有多種顏色，所以通過(guò)每種不同的裝置將多種功能液噴出到基板上。
但是，在專利文獻(xiàn)1所記載的方法中，由于通過(guò)每種不同的裝置噴出多種功能液，所以噴出所需要的總時(shí)間變長(zhǎng)。另一方面，如果以1個(gè)裝置來(lái)噴出多種功能液，則由于各種功能液的干燥時(shí)間不同，所以被噴出的功能液會(huì)形成干燥不均，使得在所形成的膜上產(chǎn)生不均勻。
專利文獻(xiàn)1特開(kāi)2004-267927號(hào)公報(bào)發(fā)明內(nèi)容鑒于上述情況，本發(fā)明的目的在于，提供一種能夠縮短整體的描畫時(shí)間，并且能夠防止在所形成的膜上產(chǎn)生不均勻的液滴噴出方法、噴頭單元、液滴噴出裝置、電光學(xué)裝置以及電子設(shè)備。
為了達(dá)成上述目的，本發(fā)明的液滴噴出方法，一邊使基板和噴頭相對(duì)掃描，一邊向該基板上噴出功能液的液滴，其特征在于，在同一掃描中，將干燥速度不同的多種功能液噴到各自掃描方向中的不同位置，并且所述多種功能液的至少一部分種類的各掃描區(qū)域重合。
根據(jù)本發(fā)明，由于一邊使基板和噴頭相對(duì)掃描，一邊以干燥速度不同的多種功能液的至少一部分種類的掃描區(qū)域重合的方式噴出，所以在掃描區(qū)域重合的部分中，多種功能液蒸發(fā)，形成難以干燥的氣氛，從而作為整體來(lái)說(shuō)，功能液的干燥速度變得均勻。因此，即使在同一掃描中噴出多種功能液，也不會(huì)在各功能液之間產(chǎn)生干燥不均。由此，在縮短了整體的描畫時(shí)間的同時(shí)，還可以防止在所形成的膜上產(chǎn)生不均。
另外，優(yōu)選所述多種功能液中、干燥速度快的功能液的掃描區(qū)域與其他種類的功能液的掃描區(qū)域重合。
根據(jù)本發(fā)明，由于通過(guò)使干燥速度快的功能液的掃描區(qū)域與其他種類的功能液的掃描區(qū)域重合，可以在掃描區(qū)域整體中，使從功能液蒸發(fā)的溶劑蒸發(fā)量平均化，所以可以形成均勻的溶劑氣氛。由此，可以提高干燥速度的均一性，并能夠在各功能液之間使干燥不均難以產(chǎn)生。
另外，優(yōu)選以所述多種功能液的全部種類的掃描區(qū)域重合的方式噴出所述功能液。
根據(jù)本發(fā)明，通過(guò)以各種功能液的全部種類的掃描區(qū)域重合的方式噴出功能液，從而在掃描區(qū)域的所有部分中多種的功能液蒸發(fā)，產(chǎn)生難以干燥的氣氛。由此，對(duì)整體來(lái)說(shuō)，功能液的干燥速度能夠容易地被均一化。
本發(fā)明其它觀點(diǎn)的噴噴頭單元，一邊相對(duì)地掃描基板，一邊向該基板上噴出功能液的液滴，其特征在于，具有噴嘴，其同時(shí)噴出干燥速度不同的多種功能液，并且排列為使所述多種功能液的至少一部分種類的各掃描區(qū)域重合而進(jìn)行噴出。
根據(jù)本發(fā)明，一邊相對(duì)地掃描基板，一邊從設(shè)置在噴頭中的噴嘴，以干燥速度不同的多種功能液的至少一部分種類的掃描區(qū)域重合的方式進(jìn)行噴出。因此，在掃描區(qū)域重合的部分，由于從多種功能液蒸發(fā)的溶劑氣氛，形成難以干燥的狀態(tài)，從而對(duì)整體來(lái)說(shuō)，功能液的干燥速度變得均一。由此，可以同時(shí)噴出多種功能液，并且，即使同時(shí)噴出該多種功能液，也能夠防止在各功能液之間產(chǎn)生干燥不均。
本發(fā)明其它觀點(diǎn)的液滴噴出裝置，其特征在于，搭載有上述的噴噴頭單元。
根據(jù)本發(fā)明，由于搭載了可以同時(shí)噴出多種功能液，并且即使同時(shí)噴出該多種功能液，也能夠防止在各功能液之間產(chǎn)生干燥不均的噴噴頭單元，所以，在縮短了整體的描畫時(shí)間的同時(shí)，還可以防止在所形成的膜上產(chǎn)生不均。
本發(fā)明其它觀點(diǎn)的電光學(xué)裝置，其特征在于，包括通過(guò)上述的液滴噴出方法而被噴出功能液的基板。
根據(jù)本發(fā)明，由于通過(guò)在縮短了整體的描畫時(shí)間的同時(shí)，還可以防止在所形成的膜上產(chǎn)生不均的液滴噴出方法，來(lái)噴出功能液的液滴，所以，在提高制造速度，能夠在短時(shí)間內(nèi)得到多個(gè)電光學(xué)裝置的同時(shí)，還能夠得到顯示均勻、品質(zhì)優(yōu)良的電光學(xué)裝置。
本發(fā)明其它觀點(diǎn)的電子設(shè)備，其特征在于，搭載了上述的電光學(xué)裝置。
根據(jù)本發(fā)明，由于搭載了顯示均勻、品質(zhì)優(yōu)良的電光學(xué)裝置，所以能夠得到顯示性能優(yōu)越的電子設(shè)備。
圖1是表示本發(fā)明實(shí)施方式的液晶裝置的結(jié)構(gòu)的立體圖。
圖2是表示本實(shí)施方式的濾色器基板的結(jié)構(gòu)的俯視圖。
圖3是表示本實(shí)施方式的液滴噴出裝置的整體結(jié)構(gòu)的立體圖。
圖4是表示本實(shí)施方式的液體噴出裝置的臺(tái)架的結(jié)構(gòu)的俯視圖。
圖5是表示本實(shí)施方式液滴噴出裝置的噴頭的外部結(jié)構(gòu)的俯視圖。
圖6是表示本實(shí)施方式的液滴噴出裝置的噴頭的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的圖。
圖7是表示本實(shí)施方式的液滴噴出裝置的控制部的結(jié)構(gòu)的框圖。
圖8是表示本實(shí)施方式的液滴噴出裝置的頭驅(qū)動(dòng)部的結(jié)構(gòu)的圖。
圖9是表示本實(shí)施方式的液滴噴出裝置的噴頭的配置的圖。
圖10是表示本實(shí)施方式的液滴噴出裝置的動(dòng)作的圖(其1)。
圖11是表示本實(shí)施方式的液滴噴出裝置的動(dòng)作的圖(其2)。
圖12是表示本實(shí)施方式的液滴噴出裝置的動(dòng)作的圖(其3)。
圖13是表示本實(shí)施方式的液滴噴出裝置的動(dòng)作的圖(其4)。
圖14是表示本發(fā)明的電子設(shè)備的結(jié)構(gòu)的立體圖。
圖中1-液晶裝置，2-有源矩陣基板，3-濾色器基板，10A-基體，16-濾色器，18(18R、18G、18B)-被噴出部，100-液滴噴出裝置(噴出裝置)，103-臺(tái)架，106-載物臺(tái)，111(111R、111G、111B)-液體材料，114(114R、114G、114B)-噴頭，114P-噴頭組，114G-噴頭，118-噴嘴，300-移動(dòng)電話。
具體實(shí)施例方式
(電光學(xué)裝置)下面，根據(jù)附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。在下面的圖中，為了將各部件形成為可以識(shí)別的大小，適當(dāng)?shù)刈兏吮壤摺?br>
圖1是表示本實(shí)施方式的液晶裝置1的結(jié)構(gòu)的立體圖。
如該圖所示，液晶裝置1以液晶面板40、背光燈41為主體而構(gòu)成。液晶面板40的構(gòu)成如下，有源矩陣基板2與濾色器基板3通過(guò)密封材料26被粘在一起，在該有源矩陣基板2、濾色器基板3和密封材料26之間夾持有液晶6。圖中虛線所表示的顯示區(qū)域2a是顯示圖像或動(dòng)畫等的區(qū)域。
另外，雖然本實(shí)施方式的液晶裝置1，采用使用了作為二端子型非線性元件的薄膜二極管(TFD)元件來(lái)作為開(kāi)關(guān)元件的有源矩陣方式的液晶裝置，但是，也可以采用例如使用了薄膜晶體管(TFT)元件作為開(kāi)關(guān)元件的液晶裝置、或無(wú)源矩陣方式的液晶裝置。而且，液晶面板40是通過(guò)將兩張大開(kāi)本的母基板粘在一起，并進(jìn)行切斷而形成的(形成多個(gè))。兩張母基板是生成濾色器基板3的濾色器側(cè)母基板、和生成有源矩陣基板2的有源矩陣側(cè)母基板。
圖2是表示濾色器基板3的結(jié)構(gòu)的俯視圖。圖2(a)是表示濾色器基板3的整體結(jié)構(gòu)的圖，圖2(b)是放大表示濾色器基板3的一部分的圖。
如圖2(a)所示，濾色器基板3是由例如玻璃或者塑料等透明的材料形成的矩形基板。在濾色器基板3上設(shè)置有遮光層13，與由遮光層13所包圍的區(qū)域(像素)對(duì)應(yīng)，設(shè)置具有紅色層16R、綠色層16G、藍(lán)色層16B的濾色器16。另外，在濾色器基板3上形成有外涂層(未圖示)，以便覆蓋該濾色器16，在該外涂層上形成有取向膜(未圖示)。該取向膜例如由聚酰亞胺等構(gòu)成，表面是被研磨(rubbing)處理的水平取向膜。
而且，如圖2(b)所示，對(duì)于一個(gè)紅色層16R(或者綠色層16G、藍(lán)色層16B)來(lái)說(shuō)，其被設(shè)置成短邊長(zhǎng)度S例如是170μm左右、長(zhǎng)邊長(zhǎng)度L例如是510μm左右的矩形。另外，對(duì)于相鄰的濾色器16之間的間隔來(lái)說(shuō)，行方向的間隔T1大約為20μm，列方向的間隔T2大約為40μm。
(液滴噴出裝置)接著，對(duì)本實(shí)施方式的液滴噴出裝置(下面稱作“噴出裝置”)100進(jìn)行說(shuō)明。
如圖3所示，噴出裝置100以下述部件為主體而構(gòu)成，即保持液體材料111的容器101；經(jīng)由管道(tube)110而被從容器101供給液體材料111的噴出掃描部102，。
液體材料111有三種，分別是例如構(gòu)成液晶裝置1的濾色器16的紅色層16R的材料(下面稱作“紅色材料”)111R、構(gòu)成綠色層16G的材料(下面稱作“綠色材料”)111G、和構(gòu)成藍(lán)色層16B的材料(下面稱作“藍(lán)色材料”)111B。
容器101具有保持紅色材料111R的紅色材料容器101R、保持綠色材料111G的綠色材料容器101G、和保持藍(lán)色材料111B的藍(lán)色材料容器101B，將上述3種液體材料111單獨(dú)保持。在各容器101中，例如安裝有未圖示的壓力泵。通過(guò)驅(qū)動(dòng)該壓力泵，向容器101內(nèi)部施加壓力，從而液體材料111從容器101內(nèi)向噴出掃描部102供給。
在這里，作為紅色材料111R使用下述溶液，即，例如在聚氨酯低聚物中分散紅色的無(wú)機(jī)顏料(例如紅色氧化鐵(III)或鎘紅等)之后，加入二甘醇-丁醚乙酸酯作為溶劑，進(jìn)而添加非離子系表面活性劑作為分散劑，并將粘度調(diào)整到規(guī)定的范圍。
而且，作為綠色材料111G使用下述溶液，即，例如在聚氨酯低聚物中分散綠色的無(wú)機(jī)顏料(例如氧化鉻綠或鈷綠等)之后，加入環(huán)己酮和乙酸丁酯作為溶劑，添加非離子系表面活性劑作為分散劑，并將粘度調(diào)整到規(guī)定的范圍。
并且，作為藍(lán)色材料111B使用下述溶液，即，例如在聚氨酯低聚物中分散藍(lán)色的無(wú)機(jī)顏料(例如群青或普魯士藍(lán)等)之后，加入二甘醇-丁醚乙酸酯作為溶劑，添加非離子系表面活性劑作為分散劑，并將粘度調(diào)整到規(guī)定的范圍。
其中，在綠色材料111G中所使用的環(huán)己酮和乙酸丁酯，與在紅色材料111R和藍(lán)色材料111B中所使用的二甘醇-丁醚乙酸酯相比容易蒸發(fā)。由于液體材料111的干燥速度依靠于溶劑的蒸發(fā)容易程度，所以綠色材料111G的干燥速度比其他的液體材料111大，即綠色材料111G容易干燥。另外，液體材料111的干燥速度除了依靠于溶劑的蒸發(fā)容易程度之外，還與固體成分濃度有關(guān)。
噴出掃描部102具有保持多個(gè)噴頭114(參照?qǐng)D4)的臺(tái)架103、控制臺(tái)架103的位置的臺(tái)架位置控制裝置104、保持構(gòu)成濾色器側(cè)母基板的基體10A的載物臺(tái)106、控制載物臺(tái)106的位置的載物臺(tái)位置控制裝置108、控制部112。另外，實(shí)際在噴出裝置100上設(shè)置有多個(gè)(例如10個(gè))臺(tái)架103。在圖3中，為了簡(jiǎn)化說(shuō)明，圖示一個(gè)臺(tái)架103進(jìn)行了說(shuō)明。
臺(tái)架位置控制裝置104根據(jù)來(lái)自控制部112的信號(hào)，使臺(tái)架103沿著X軸方向或Z軸方向移動(dòng)的同時(shí)，還具有使臺(tái)架103在以Z軸為軸的旋轉(zhuǎn)方向上旋轉(zhuǎn)的功能。載物臺(tái)位置控制裝置108根據(jù)來(lái)自控制部112的信號(hào)，使載物臺(tái)106沿著Y軸方向移動(dòng)的同時(shí)，還具有使載物臺(tái)106在以Z軸為軸的旋轉(zhuǎn)方向上旋轉(zhuǎn)的功能。
如上所述，臺(tái)架103根據(jù)臺(tái)架位置控制裝置104的控制，在X軸方向上移動(dòng)。另一方面，載物臺(tái)106根據(jù)載物臺(tái)位置控制裝置108的控制，在Y軸方向上移動(dòng)。即，通過(guò)臺(tái)架位置控制裝置104和載物臺(tái)位置控制裝置108，噴頭114相對(duì)于載物臺(tái)106的相對(duì)位置發(fā)生變化。
即，通過(guò)使臺(tái)架103和載物臺(tái)106中的雙方或任意一方移動(dòng)，臺(tái)架103可以掃描載物臺(tái)106(或者保持在載物臺(tái)106上的基體10A)。下面，在本實(shí)施方式中，對(duì)通過(guò)使臺(tái)架103靜止而使載物臺(tái)106移動(dòng)來(lái)進(jìn)行掃描的情況進(jìn)行說(shuō)明。
圖4是從載物臺(tái)106側(cè)觀察一個(gè)臺(tái)架103的圖，與圖4的紙面方向垂直的方向是Z軸方向。另外，圖4的紙面的左右方向?yàn)閄軸方向，紙面的上下方向?yàn)閅軸方向。
如該圖所示，臺(tái)架103保持分別具有大致相同結(jié)構(gòu)的多個(gè)噴頭114。在噴頭114中有三種噴頭，分別是噴出液體材料111中的紅色材料111R的噴頭114R、噴出綠色材料111G的噴頭114G、和噴出藍(lán)色材料111B的噴頭114B。
在本實(shí)施方式中，在一個(gè)臺(tái)架103上分別設(shè)置四個(gè)噴頭114R、噴頭114G、和噴頭114B，噴頭114的個(gè)數(shù)總計(jì)12個(gè)。另外，關(guān)于噴頭114之間的位置關(guān)系將在后面敘述。另外，在本說(shuō)明書中，將在Y軸方向上鄰接的6個(gè)噴頭114表示為“噴頭組114P”。
圖5是表示噴頭114的底面114a的圖。底面114a的形狀為具有對(duì)置的兩條長(zhǎng)邊和對(duì)置的兩條短邊的矩形。該底面114a朝向載物臺(tái)106側(cè)(圖中Z軸方向)。噴頭114的長(zhǎng)邊方向與圖中X軸方向平行，另外，噴頭114的短邊方向與圖中Y軸方向平行。
而且，在該底面114a上，沿著X軸方向配置有例如2列(列116A和列116B)、每列90個(gè)的噴嘴118。而且，各噴嘴118的噴嘴直徑r大約為30μm。列116A側(cè)的噴嘴118和列116B側(cè)的噴嘴118，分別以規(guī)定的間距LNP(LNP大約140μm)配置在各列中。并且，噴嘴列116B的各噴嘴118的位置被配置成，相對(duì)噴嘴列116A的各噴嘴118的位置，向X軸方向的負(fù)方向僅偏移噴嘴間距LNP的一半的長(zhǎng)度(大約70μm)。另外，設(shè)置在噴頭114中的噴嘴列也可以不是2列。例如，可以將列數(shù)增加為3列、4列、…M列(M為自然數(shù))，或者還可以是1列。
由于噴嘴列116A和噴嘴列116B分別由90個(gè)噴嘴構(gòu)成，所以在一個(gè)噴頭114中設(shè)置有180個(gè)噴嘴。但是，從噴嘴列116A的兩端開(kāi)始到第5個(gè)為止的噴嘴，處于不能噴出材料液體111的狀態(tài)(間歇噴嘴圖5中由虛線包圍的部分)。同樣地，從噴嘴列116B的兩端開(kāi)始到第5個(gè)為止的噴嘴，也是不能噴出材料液體111的間歇噴嘴(圖5中由虛線包圍的部分)。因此，在噴頭114的180個(gè)噴嘴118中，除去兩端的20個(gè)噴嘴所剩余的160個(gè)噴嘴118會(huì)噴出液體材料111(噴出噴嘴)。
在本說(shuō)明書中，以說(shuō)明噴頭114的位置關(guān)系為目的，將包含在噴嘴列116A內(nèi)的90個(gè)噴嘴118中、從圖中上端排列為第6個(gè)的噴嘴118標(biāo)記為噴頭114的“基準(zhǔn)噴嘴118R”。即，噴嘴列116A的80個(gè)噴出噴嘴中、位于圖中最上部的噴出噴嘴是噴頭114的“基準(zhǔn)噴嘴118R”。另外，對(duì)所有的噴頭114來(lái)說(shuō)，由于只要是“基準(zhǔn)噴嘴118R”的指定方法相同即可，所以，“基準(zhǔn)噴嘴118R”的位置也可以不是上述位置。
接著，對(duì)噴頭114的內(nèi)部結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明。如圖6(a)和圖6(b)所示，每個(gè)噴頭114是噴墨頭。更為具體而言，各噴頭114具有振動(dòng)板126、和噴嘴板128。在振動(dòng)板126和噴嘴板128之間設(shè)置有液體存積單元129，從容器101經(jīng)由孔131而被供給的液體材料111總是填充于此。
另外，在振動(dòng)板126與噴嘴板128之間設(shè)置有多個(gè)隔壁122。而且，由振動(dòng)板126、噴嘴板128和1對(duì)隔壁122所包圍的部分是內(nèi)腔室(cavity)120。內(nèi)腔室120按每個(gè)噴嘴118設(shè)置，所以內(nèi)腔120的個(gè)數(shù)與噴嘴118的數(shù)量相同。經(jīng)由設(shè)置在1對(duì)隔壁122之間的供給口130，液體材料111從液體存積單元129而被供給到內(nèi)腔室120中。
振子124與各個(gè)內(nèi)腔室120對(duì)應(yīng)地位于振動(dòng)板126上。振子124具有壓電元件124C、和夾持壓電元件124C的1對(duì)電極124A、124B。通過(guò)在該1對(duì)電極124A、124B之間施加驅(qū)動(dòng)電壓，從而液體材料111自對(duì)應(yīng)的噴嘴118噴出。另外，調(diào)整噴嘴118的形狀，使得從噴嘴118向Z軸方向噴出液體狀材料。此外，也可以替代壓電元件而具有電熱轉(zhuǎn)換元件。即，也可以具有利用基于電熱轉(zhuǎn)換元件的材料的熱膨脹來(lái)噴出液體材料111的結(jié)構(gòu)。
接著，對(duì)控制部112的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明。
控制部112是對(duì)噴出液滴材料111的定時(shí)、臺(tái)架103的固定位置、載物臺(tái)106的移動(dòng)(移動(dòng)速度、移動(dòng)距離等)等、噴出裝置1的動(dòng)作進(jìn)行統(tǒng)一控制的部位。
如圖7所示，控制部112包括輸入緩沖存儲(chǔ)器200、存儲(chǔ)機(jī)構(gòu)202、處理部204、掃描驅(qū)動(dòng)部206和頭驅(qū)動(dòng)部208，并且各部分之間可通信地連接。
輸入緩沖存儲(chǔ)器200從與外部連接的例如信息處理裝置等，接受用于進(jìn)行液體材料111的液滴噴出的噴出數(shù)據(jù)。輸入緩沖存儲(chǔ)器200將噴出數(shù)據(jù)供給到處理部204，處理部204將噴出數(shù)據(jù)存儲(chǔ)在存儲(chǔ)機(jī)構(gòu)202中。作為存儲(chǔ)機(jī)構(gòu)202可以使用例如RAM等。
處理部204對(duì)在存儲(chǔ)機(jī)構(gòu)202內(nèi)存儲(chǔ)的噴出數(shù)據(jù)進(jìn)行訪問(wèn)，以該噴出數(shù)據(jù)為基礎(chǔ)，向掃描驅(qū)動(dòng)部206和頭驅(qū)動(dòng)部208供給必要的驅(qū)動(dòng)信號(hào)。
掃描驅(qū)動(dòng)部206基于驅(qū)動(dòng)信號(hào)，向臺(tái)架位置控制裝置104和載物臺(tái)位置控制裝置108供給規(guī)定的位置控制信號(hào)。另外，頭驅(qū)動(dòng)部208基于驅(qū)動(dòng)信號(hào)，向各噴頭114供給噴出液體材料111的噴出信號(hào)。
頭驅(qū)動(dòng)部208如圖8(a)所示，具有1個(gè)驅(qū)動(dòng)信號(hào)生成部203、和多個(gè)模擬開(kāi)關(guān)AS。模擬開(kāi)關(guān)AS與噴頭114內(nèi)的振子124連接(具體而言，與電極124A連接，但是電極124A在圖8(a)中沒(méi)有圖示)。該模擬開(kāi)關(guān)AS被設(shè)置成與各個(gè)噴嘴118分別對(duì)應(yīng)，即設(shè)置與噴嘴118的個(gè)數(shù)相同的數(shù)量。
驅(qū)動(dòng)信號(hào)生成部203生成圖8(b)所示的驅(qū)動(dòng)信號(hào)DS。驅(qū)動(dòng)信號(hào)DS獨(dú)立地向模擬開(kāi)關(guān)AS的各個(gè)輸入端子供給。驅(qū)動(dòng)信號(hào)DS的電位相對(duì)于標(biāo)準(zhǔn)電位L在時(shí)間上發(fā)生變化。即，驅(qū)動(dòng)信號(hào)DS是在噴出周期EP內(nèi)重復(fù)多個(gè)噴出波形P的信號(hào)。噴出周期EP可以通過(guò)例如處理部204而被調(diào)節(jié)成所期望的值。通過(guò)適當(dāng)?shù)卣{(diào)節(jié)該噴出周期EP，能夠生成從多個(gè)噴嘴118同時(shí)噴出液體材料111的噴出信號(hào)。另外，也可以生成噴出信號(hào)，以便從多個(gè)噴嘴118以不同定時(shí)噴出液體材料111。這樣，可以控制噴出的定時(shí)。
而且，控制部112不僅能夠控制噴出的定時(shí)，還可以控制從噴嘴118噴出的液體材料111的體積。該液體材料111體積的控制，可以對(duì)各個(gè)噴嘴118分別進(jìn)行控制。對(duì)于從各噴嘴118噴出的液體材料111的體積來(lái)說(shuō)，可以在0pl～42pl(微升)之間變動(dòng)。
另外，控制部112也可以是包含CPU、ROM、RAM的計(jì)算機(jī)。在該情況下，控制部112的上述功能可以通過(guò)計(jì)算機(jī)所執(zhí)行的軟件程序來(lái)實(shí)現(xiàn)。當(dāng)然，控制部112也可以通過(guò)專用的電路(硬件)來(lái)實(shí)現(xiàn)。
接著，對(duì)噴頭組114P中的6個(gè)噴頭114的位置關(guān)系進(jìn)行說(shuō)明。
圖9是表示噴頭114的相對(duì)位置關(guān)系的圖。另外，在本圖中，對(duì)圖4所示的2組噴頭114R、114G、114B分別標(biāo)記為114R1、114G1、114B1和114R2、114G2、114B2來(lái)進(jìn)行區(qū)分。
如圖9所示，噴頭組114P配置成相鄰的噴頭114彼此之間在X方向錯(cuò)開(kāi)。例如，與噴頭114R1相鄰的噴頭114G1的有效噴嘴列設(shè)置為相對(duì)于噴頭114R1的有效噴嘴列，向X方向僅錯(cuò)開(kāi)其有效噴嘴列長(zhǎng)度t的三分之一的長(zhǎng)度。
在這里，所謂有效噴嘴列長(zhǎng)度是指噴頭114中、排列有噴出液體材料111的噴出噴嘴118的部分(有效噴嘴列這里是基準(zhǔn)噴嘴118R之間的部分)的長(zhǎng)度。該有效噴嘴列長(zhǎng)度例如可以設(shè)定為1厘米左右。另外，在圖9中，為了使說(shuō)明簡(jiǎn)單，對(duì)跨過(guò)噴頭寬度整體形成噴出噴嘴118的情況進(jìn)行說(shuō)明。
對(duì)于和噴頭G1相鄰的噴頭114B1的有效噴嘴列來(lái)說(shuō)，也同樣地設(shè)置為相對(duì)于相鄰的噴頭114G1的有效噴嘴列，向X方向僅錯(cuò)開(kāi)其有效噴嘴列長(zhǎng)度的三分之一的長(zhǎng)度。對(duì)于和噴頭114B1相鄰的噴頭114R2、和該噴頭114R2相鄰的噴頭114G2、和該噴頭114G2相鄰的噴頭114B2的各有效噴嘴列來(lái)說(shuō)，也同樣地設(shè)置為各個(gè)噴頭114的有效噴嘴列相對(duì)于相鄰的各噴頭114的有效噴嘴列，向X方向僅錯(cuò)開(kāi)其有效噴嘴列長(zhǎng)度的三分之一的長(zhǎng)度。
結(jié)果，設(shè)置于噴頭114R2的有效噴嘴列的X軸方向中的圖中上側(cè)端部的位置，與設(shè)置于噴頭114R1的有效噴嘴列的圖中下側(cè)端部的X軸方向的位置一致(圖中，以虛線(4)表示的位置)。而且，設(shè)置于噴頭114G2的有效噴嘴列的圖中上側(cè)端部的X軸方向的位置，與設(shè)置于噴頭114G1的有效噴嘴列的圖中下側(cè)端部的X軸方向的位置一致(圖中，以虛線(5)表示的位置)。另外，設(shè)置于噴頭114B2的有效噴嘴列的圖中上側(cè)端部的X軸方向的位置，與設(shè)置于噴頭114B1的有效噴嘴列的圖中下側(cè)端部的X軸方向的位置一致(圖中，以虛線(6)表示的位置)。
即，噴出紅色材料111R的X方向范圍，是在噴頭114R1和114R2中各自的有效噴嘴列的X方向的范圍，即，從虛線(1)到虛線(7)之間的范圍。而且，噴出綠色材料111G的X方向范圍，是在噴頭114G1和114G2中各自的有效噴嘴列的X方向的范圍，即，從虛線(2)到虛線(8)之間的范圍。另外，噴出藍(lán)色材料111B的X方向范圍，是在噴頭114B1和114B2中各自的有效噴嘴列的X方向的范圍，即，從虛線(3)到虛線(9)之間的范圍。
因此，在臺(tái)架103進(jìn)行掃描(scan)之際，虛線(1)和虛線(2)之間的范圍僅是紅色材料111R的掃描區(qū)域，虛線(2)和虛線(3)之間的范圍是紅色材料111R的掃描區(qū)域和綠色材料111G的掃描區(qū)域重合的區(qū)域，虛線(3)和虛線(7)之間的范圍是紅色材料111R的掃描區(qū)域、綠色材料111G的掃描區(qū)域和藍(lán)色材料111B的掃描區(qū)域全部重合的區(qū)域，虛線(7)和虛線(8)之間的范圍是綠色材料111G的掃描區(qū)域和藍(lán)色材料111B的掃描區(qū)域重合的區(qū)域，虛線(8)和虛線(9)之間的區(qū)域僅是藍(lán)色材料111B的掃描區(qū)域。這樣，除了虛線(1)和虛線(2)之間的區(qū)域、虛線(8)和虛線(9)之間的區(qū)域之外的區(qū)域，是各液體材料111的掃描區(qū)域的重合區(qū)域。
(液晶裝置的制造方法(液滴噴出方法))接著，對(duì)如此構(gòu)成的液晶裝置1的制造工序進(jìn)行說(shuō)明。
在本實(shí)施方式中，以使用大面積的母基板一次形成多個(gè)液晶裝置，并通過(guò)切斷而分離成每個(gè)液晶裝置1的方法為例進(jìn)行說(shuō)明。
首先，對(duì)濾色器側(cè)母基板的形成工序進(jìn)行簡(jiǎn)單的說(shuō)明。
使基體10A保持在噴出裝置100的載物臺(tái)106上。在該基體10A上形成有保持濾色器16的被噴出部18(18R、18G、18B參照?qǐng)D10等)。紅色層16R保持在被噴出部18R上，綠色層16G保持在被噴出部18G上，藍(lán)色層16B保持在被噴出部18B上。另外，在將基體10A保持在載物臺(tái)106上時(shí)，以基體10A的短邊方向與X軸方向一致、長(zhǎng)邊方向與Y軸方向一致的方式來(lái)調(diào)節(jié)位置。
在該狀態(tài)下，如圖10所示，使載物臺(tái)106從圖中左側(cè)向右側(cè)移動(dòng)。臺(tái)架103例如從圖中右側(cè)向左側(cè)掃描基體10A中的區(qū)域W(被點(diǎn)劃線夾持的區(qū)域)。此時(shí)，臺(tái)架103掃描基體10A的區(qū)域W，同時(shí)從各噴頭114噴出液體材料111。
從各噴頭114同時(shí)噴出液體材料111。所謂的“同時(shí)噴出”不是每一次掃描(在圖10中，例如從右側(cè)向左側(cè))噴出1種顏色，而是指在一次掃描中，從噴頭114R噴出紅色材料111R，從噴頭114G噴出綠色材料111G，從噴頭114B噴出藍(lán)色材料111G。
例如，通過(guò)一次的掃描，如圖10所示，紅色材料111R、綠色材料111G、藍(lán)色材料111B噴到例如圖中最上行的各被噴出部18和圖中最下行的各被噴出部18上。此時(shí)，向跨過(guò)多行而設(shè)置的被噴出部18中的哪一行噴出液體材料111，是能夠適當(dāng)?shù)卦O(shè)定的。
接著，進(jìn)行第2次掃描。在第1次掃描結(jié)束的狀態(tài)下，載物臺(tái)106向圖中右側(cè)移動(dòng)。在第2次掃描中，如圖11所示，使載物臺(tái)106從圖中右側(cè)向左側(cè)移動(dòng)。載物臺(tái)103從和第1次掃描相反的方向，即從圖中左側(cè)向右側(cè)對(duì)基體10A的區(qū)域W進(jìn)行掃描。此時(shí)，載物臺(tái)103掃描基體10A，同時(shí)從各噴頭114噴出液體材料111。
在第2次掃描中，向第1次掃描時(shí)噴出了液體材料111的被噴出部18之外的被噴出部18噴出液體材料111。例如，如圖11所示，向在第1次掃描時(shí)沒(méi)有被噴出液體材料111的從圖中上數(shù)第2行的各被噴出部18以及從圖中下數(shù)第2行的各被噴出部18，噴出紅色材料111R、綠色材料111G和藍(lán)色材料111B。
這樣，在第2次之后的掃描中，一邊從跨過(guò)多行而設(shè)置的被噴出部18中選擇沒(méi)有被噴出液體材料111的被噴出部18的行，一邊噴出液體材料111，反復(fù)進(jìn)行掃描，直至向各被噴出部18分別噴出1次液體材料111。
如果在各被噴出部18上分別噴出1次液體材料111，則反復(fù)進(jìn)行圖10和圖11的掃描，直至如圖12所示，此次向各被噴出部18噴出液體材料111共計(jì)2次。然后，反復(fù)進(jìn)行該掃描，通過(guò)向各被噴出部18噴出液體材料111共計(jì)3次、共計(jì)4次，即漸漸地增加噴出次數(shù)，如圖13所示，向各被噴出部18的整體噴出液體材料111。
對(duì)此之后的工序進(jìn)行簡(jiǎn)單的說(shuō)明。在形成有濾色器16的基體10A上，形成未圖示的電極和布線等，并形成平坦化膜。另外，在基體10A的表面上形成間隙控制用的未圖示的隔板(spacer)和隔壁。以覆蓋形成于該基體10A上的布線和濾色器的方式形成取向膜，并對(duì)該取向膜實(shí)施研磨處理。取向膜可以通過(guò)涂覆或印刷例如聚酰亞胺而形成。另外，將由環(huán)氧樹脂等構(gòu)成的密封材料形成為矩形環(huán)狀，并在由密封材料包圍的區(qū)域上涂覆液晶。
接著，對(duì)有源矩陣側(cè)母基板的形成進(jìn)行說(shuō)明，在由玻璃或塑料等透光性材料構(gòu)成的大開(kāi)本的基材上形成布線、電極等，并在形成有該布線、電極等的區(qū)域上形成平坦化膜。形成平坦化膜之后，形成由聚酰亞胺構(gòu)成的取向膜，并對(duì)該取向膜進(jìn)行研磨處理。
接著，將濾色器側(cè)母基板和有源矩陣側(cè)母基板粘貼成面板狀。使兩極板接近，并使有源矩陣側(cè)母基板與濾色器側(cè)母基板上的密封材料粘接。然后，在粘接的兩母基板上形成劃線，沿著該劃線將面板切斷，并對(duì)切斷后的各面板進(jìn)行清洗，之后，在各面板上安裝驅(qū)動(dòng)器等。在各液晶面板的外側(cè)表面上粘貼偏振片，并安裝背光燈41，則液晶裝置1完成。
這樣，根據(jù)本實(shí)施方式，由于在臺(tái)架103掃描基體10A的同時(shí)噴出液體材料111，以使紅色材料111R、綠色材料111G、藍(lán)色材料111B各液體材料111的掃描區(qū)域中的至少一部分重合，所以在掃描區(qū)域重合的部分中，各液體材料111的溶劑蒸發(fā)，形成難以干燥的氣氛，從而作為整體來(lái)說(shuō)，液體材料111的干燥速度變得均勻。因此，即使在同一掃描中噴出紅色材料111R、綠色材料111G、藍(lán)色材料111B各液體材料111，也不會(huì)在各液體材料111之間產(chǎn)生干燥不均。由此，在縮短了整體的描畫時(shí)間的同時(shí)，還可以防止在所形成的濾色器層16上產(chǎn)生不均。
另外，如本實(shí)施方式所述，通過(guò)使干燥速度最快的綠色材料111G的掃描區(qū)域與紅色材料111R的掃描區(qū)域和藍(lán)色材料111B的掃描區(qū)域重合，從而可以避免從各液體材料111蒸發(fā)的溶劑蒸發(fā)量因場(chǎng)所不同而產(chǎn)生偏差，從而能夠形成均勻的溶劑氣氛。由此，可以提高干燥速度的均一性，并能夠在各液體材料111之間使干燥不均難以產(chǎn)生。
而且，在本實(shí)施方式中，例如如圖10～圖12所示，在區(qū)域W中，以紅色材料111R的掃描區(qū)域、綠色材料111G的掃描區(qū)域以及藍(lán)色材料111B的掃描區(qū)域全部重合的方式，噴出各液體材料111。由此，可以在掃描區(qū)域整體中形成均勻的溶劑氣氛。由此，可以提高各液體材料111干燥速度的均一性，并能夠在各液體材料111之間使干燥不均難以產(chǎn)生。
(電子設(shè)備)接著，以移動(dòng)電話為例，對(duì)本發(fā)明的電子設(shè)備進(jìn)行說(shuō)明。
圖14是表示移動(dòng)電話300的整體結(jié)構(gòu)的立體圖。
移動(dòng)電話300具有框體301；設(shè)置有多個(gè)操作按鈕的操作部302；顯示圖像、動(dòng)畫或文字等的顯示部303。在顯示部303上搭載有本發(fā)明的液晶裝置1。
這樣，因?yàn)榇钶d了顯示均勻、質(zhì)量?jī)?yōu)良的液晶裝置1，所以可以得到顯示性能優(yōu)越的電子設(shè)備(移動(dòng)電話300)。
本發(fā)明的技術(shù)范圍不限定于上述實(shí)施方式，在不脫離本發(fā)明主旨的范圍內(nèi)，可以施加適宜的改變。
例如，在上述實(shí)施方式中，如圖10～圖12所示，以紅色材料111R的掃描區(qū)域、綠色材料111G的掃描區(qū)域以及藍(lán)色材料111B的掃描區(qū)域全部重合的方式，噴出各液體材料111，但是并不限定于此。
舉一個(gè)例子來(lái)說(shuō)明，也可以在第1次掃描中，向紅色材料111R的掃描區(qū)域和綠色材料111G的掃描區(qū)域重合的區(qū)域噴出紅色材料111R和綠色材料111G；在第2次掃描中，向綠色材料111G的掃描區(qū)域和藍(lán)色材料111B的掃描區(qū)域重合的區(qū)域噴出綠色材料111G和藍(lán)色材料111B。即，不僅在各液體材料111的掃描區(qū)域全部重合的情況下，在2種液體材料111的掃描區(qū)域重合的情況下也可以采用本發(fā)明。
另外，上述實(shí)施方式的說(shuō)明，是以在液晶裝置1的濾色器基板3上形成濾色器層16的情況為例，對(duì)本發(fā)明進(jìn)行說(shuō)明，但是不限定于該實(shí)例，例如，也可以在有機(jī)EL裝置用基板上形成有機(jī)層(發(fā)光層等)的情況下采用本發(fā)明。
權(quán)利要求
1.一種液滴噴出方法，一邊使基板和噴頭相對(duì)掃描，一邊向該基板噴出功能液的液滴，在同一掃描中，將干燥速度不同的多種功能液分別噴到掃描方向中的不同位置，并且，所述多種功能液的至少一部分種類的各掃描區(qū)域重合。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液滴噴出方法，其特征在于，所述多種功能液中、干燥速度快的功能液的掃描區(qū)域與其他種類的功能液的掃描區(qū)域重合。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的液滴噴出方法，其特征在于，所述多種功能液的全部種類的各掃描區(qū)域重合。
4.一種噴頭單元，一邊相對(duì)地掃描基板，一邊向該基板噴出功能液的液滴，該噴頭單元具有噴嘴，其同時(shí)噴出干燥速度不同的多種功能液，并且排列為使所述多種功能液的至少一部分種類的各掃描區(qū)域重合而進(jìn)行噴出。
5.一種液滴噴出裝置，搭載有權(quán)利要求4所述的噴頭單元。
6.一種電光學(xué)裝置，包括通過(guò)權(quán)利要求1～3所述的液滴噴出方法噴出了功能液的基板。
7.一種電子設(shè)備，搭載有權(quán)利要求6所述的電光學(xué)裝置。
全文摘要
本發(fā)明提供一種液滴噴出方法、噴頭單元、液滴噴出裝置、電光學(xué)裝置以及電子設(shè)備。由于臺(tái)架(103)在基體(10A)上進(jìn)行掃描，同時(shí)以紅色材料(111R)、綠色材料(111G)、藍(lán)色材料(111B)各液體材料(111)的掃描區(qū)域中的至少一部分重合的方式噴出液體材料(111)，所以在掃描區(qū)域重合的部分，各液體材料(111)的溶劑蒸發(fā)，形成難以干燥的氣氛，從而作為整體來(lái)說(shuō)，液體材料(111)的干燥速度變得均勻。因此，即使同時(shí)噴出紅色材料(111R)、綠色材料(111G)、藍(lán)色材料(111B)各液體材料(111)，也不會(huì)在各液體材料(111)之間產(chǎn)生干燥不均。由此，在縮短了整體的描畫時(shí)間的同時(shí)，還可以防止在所形成的濾色器層(16)上產(chǎn)生不均。
文檔編號(hào)H05B33/14GK1872429SQ20061008994
公開(kāi)日2006年12月6日 申請(qǐng)日期2006年5月29日 優(yōu)先權(quán)日2005年5月30日
發(fā)明者加藤剛, 有賀和巳 申請(qǐng)人:精工愛(ài)普生株式會(huì)社