一種清洗液供給裝置及清洗液供給方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及基板的制作領(lǐng)域，特別是一種清洗液供給裝置及清洗液供給方法。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，為提高顯示面板的良品率，在制造過程中，經(jīng)常需要對(duì)基板進(jìn)行清洗，以去除基板表面附著的異物。對(duì)于大型生產(chǎn)線，清洗基板需要使用大量的清洗液，為節(jié)約能源、降低成本，需要對(duì)使用完的清洗液進(jìn)行循環(huán)利用。
[0003]但是，清洗液在長(zhǎng)時(shí)間循環(huán)利用后，質(zhì)量會(huì)變得越來越差，不僅在清洗過程中可能會(huì)對(duì)基板產(chǎn)生損傷，甚至還會(huì)使整個(gè)清洗裝置的水箱殘留異物，導(dǎo)致后續(xù)即便更換新的清洗液也會(huì)受到影響。
[0004]為此，當(dāng)前亟需一種合理循環(huán)利用清洗液的機(jī)制。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明要目的是提供一種在不影響基板清洗效果的前提下，能夠循環(huán)使用清洗液的技術(shù)方案。
[0006]為解決上述目的，一方面，本發(fā)明的實(shí)施例提供一種清洗液供給裝置，包括:
[0007]用于存放清洗液的水箱、輸送管路、回收管路、質(zhì)量檢測(cè)器、水箱清潔器以及控制器;
[0008]所述水箱的輸出端通過所述輸送管路與用于清洗基板的清洗室的輸入端連接，從而通過該輸送管路向清洗室輸送清洗液；所述水箱的輸入端通過所述回收管路與所述清洗室的輸出端連接，從而通過該回收管路回收清洗室使用后的清洗液；
[0009]所述質(zhì)量檢測(cè)器用于對(duì)所述水箱的清洗液進(jìn)行質(zhì)量檢測(cè)，并生成一檢測(cè)結(jié)果；
[0010]其中，若所述檢測(cè)結(jié)果不符合預(yù)設(shè)要求，則所述控制器用于關(guān)閉所述輸送管路以及回收管路，并控制所述水箱清潔器對(duì)所述水箱進(jìn)行清潔。
[0011]其中，所述水箱由透明材料制成；
[0012]所述水箱清潔器包括:
[0013]分解液添加單元，用于向所述水箱添加堿性溶液；
[0014]紫外光照射單元，用于對(duì)所述水箱進(jìn)行紫外光照射，使水箱中的堿性溶液能夠分解水箱中的有機(jī)殘留物。
[0015]其中，所述清洗液供給裝置還包括:
[0016]與所述水箱連接的排水管路；
[0017]在所述水箱清潔器對(duì)所述水箱進(jìn)行清潔后，所述水箱中剩余的清洗液從所述排水管路排出。
[0018]其中，所述清洗液供給裝置還包括:
[0019]清洗液添加器；
[0020]所述控制器還用于在所述水箱中剩余的清洗液從所述排水管路排出后，控制所述清洗液添加器向水箱添加新的清洗液。
[0021]其中，所述輸送管路、回收管路和排水管路均設(shè)置有由所述控制器控制的開關(guān)閥。
[0022]其中，所述水箱包括:第一缸體、第二缸體、第一活塞、第二活塞、活塞桿以及電機(jī)；
[0023]所述第一活塞設(shè)置在所述第一缸體內(nèi)部，形成一存放清洗液的第一腔室，所述第二活塞設(shè)置在所述第二缸體內(nèi)部，形成一存放清洗液的第二腔室；所述第一活塞和所述第二活塞固定在所述活塞桿的兩端，所述活塞桿由所述電機(jī)驅(qū)動(dòng)，從而能夠沿第一腔室和第二腔室的軸向進(jìn)行滑動(dòng)；
[0024]其中，所述第一腔室和第二腔室均設(shè)置有與所述輸送管路連接的輸送口，以及與所述回收管路連接的回收口。
[0025]其中，所述清洗液供給裝置還包括:
[0026]循環(huán)管路；
[0027]所述第一腔室和第二腔室通過所述循環(huán)管路連通，所述循環(huán)管路上設(shè)置有開關(guān)閥，所述控制器在控制所述水箱清潔器對(duì)所述水箱進(jìn)行清潔時(shí)，開啟所述循環(huán)管路上的開關(guān)閥，并在所述水箱清潔器對(duì)所述水箱清潔完成后，關(guān)閉所述循環(huán)管路上的開關(guān)閥。
[0028]其中，所述電機(jī)為脈沖式步進(jìn)電機(jī)，由所述控制器控制工作。
[0029]其中，所述清洗液供給裝置還包括:
[0030]設(shè)置在所述輸送管路上的自由基產(chǎn)生器，用于使所述水箱向所述清洗室輸送的清洗液產(chǎn)生自由基。
[0031]另一方面，本發(fā)明還提供一種清洗液供給方法，包括:
[0032]控制存放有清洗液的水箱向用于清洗基板的清洗室輸送清洗液，以及控制所述水箱回收所述清洗室使用后的清洗液；
[0033]對(duì)水箱向清洗室輸送的清洗液進(jìn)行質(zhì)量檢測(cè)，得到一檢測(cè)結(jié)果；
[0034]若所述檢測(cè)結(jié)果不符合預(yù)設(shè)要求，則控制水箱停止向所述清洗室輸送清洗液，以及回收所述清洗室使用后的清洗液，并控制水箱清潔器對(duì)所述水箱進(jìn)行清潔。
[0035]本發(fā)明的上述技術(shù)方案的有益效果如下:
[0036]本發(fā)明的方案能夠?qū)λ渲醒h(huán)使用的清洗液進(jìn)行質(zhì)量檢測(cè)，若質(zhì)量不達(dá)標(biāo)，則及時(shí)停止清洗液輸送到清洗室，從而避免影響基板的清洗效果。此外，在清洗液質(zhì)量下降后，還能及時(shí)清理存放清洗液的水箱，從而保證后續(xù)更換新的清洗液時(shí)，不會(huì)因水箱而影響質(zhì)量。
【附圖說明】
[0037]圖1為本發(fā)明的清洗液供給裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0038]圖2為本發(fā)明的清洗液供給裝置的詳細(xì)結(jié)構(gòu)示意圖；
[0039]圖3為本發(fā)明的清洗供給方法的步驟示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0040]現(xiàn)有的基板清洗裝置需要消耗大量的清洗液，因此會(huì)存在資源浪費(fèi)的問題。有鑒于此，本發(fā)明提供了一種清洗液供給裝置，可循環(huán)為基板的清洗室提供清洗液，并保證清洗液的質(zhì)量，確保在清洗過程中清洗液不會(huì)對(duì)基板產(chǎn)生損傷。
[0041]為使本發(fā)明要解決的技術(shù)問題、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合附圖及具體實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)描述。
[0042]參考圖1，本發(fā)明實(shí)施例的清洗液供給裝置包括:
[0043]用于存放清洗液的水箱1、輸送管路(水箱I至清洗基板的清洗室5的管路)、回收管路(清洗室5至水箱的管路)、質(zhì)量檢測(cè)器2、水箱清潔器3以及控制器4 ;
[0044]水箱I的輸出端12通過所述輸送管路與清洗室5的輸入端51連接，從而通過該輸送管路向清洗室5輸送清洗液；水箱I的輸入端11通過回收管路與清洗室5的輸出端52連接，從而通過該回收管路回收清洗室5使用后的清洗液；
[0045]質(zhì)量檢測(cè)器2用于對(duì)水箱I的清洗液進(jìn)行質(zhì)量檢測(cè)，并生成一檢測(cè)結(jié)果；該檢測(cè)結(jié)果發(fā)送至控制器4 ;
[0046]其中，若檢測(cè)結(jié)果不符合預(yù)設(shè)要求，則控制器4用于關(guān)閉輸送管路以及回收管路，并控制水箱清潔器3對(duì)水箱I進(jìn)行清潔。
[0047]本發(fā)明的實(shí)施例能夠?qū)λ渲醒h(huán)使用的清洗液進(jìn)行質(zhì)量檢測(cè)，若質(zhì)量不達(dá)標(biāo)，則及時(shí)停止清洗液輸送到清洗室，從而避免影響基板的清洗效果。此外，在清洗液無法使用后，還能及時(shí)清理存放清洗液的水箱，從而保證后續(xù)更換新的清洗液時(shí)，不會(huì)因水箱而影響質(zhì)量。
[0048]具體地，基板上的殘留物一般為有機(jī)物殘留物，因此，當(dāng)不斷循環(huán)使用清洗后，水箱內(nèi)部自然會(huì)附著有大量的機(jī)物殘留物。為此，本發(fā)明進(jìn)一步提供一種去除水箱中有機(jī)殘留物的方案。
[0049]即，本實(shí)施例的水箱由透明材料制成；
[0050]上述水箱清潔器具體包括:分解液添加單元和紫外光照射單元。
[0051]分解液添加單元用于向所述水箱添加堿性溶液，如氫氧化鉀溶液，使水箱中的清洗液呈堿性。紫外光照射單元用于對(duì)所述水箱進(jìn)行紫外光照射。當(dāng)堿性溶液在紫外光照射下，能夠分解水箱中的有機(jī)殘留物。
[0052]下面結(jié)合一個(gè)實(shí)現(xiàn)方式，對(duì)本實(shí)施例的清洗液供給裝置進(jìn)行詳細(xì)介紹。
[0053]如圖2所示，本發(fā)明的清洗液供給裝置中，水箱I為雙活塞結(jié)構(gòu)，具體包括:
[0054]透明的第一缸體1A、透明的第二缸體1B、第一活塞P1、第二活塞P2、活塞桿R以及電機(jī)M ;
[0055]第一活塞Pl設(shè)置在所述第一缸體IA內(nèi)部，形成一存放清洗液的第一腔室IAl。第二活塞P2設(shè)置在第二缸體IB內(nèi)部，形成同樣可以存放清洗液的第二腔室IBl ;第一活塞Pl和第二活塞P2固定在活塞桿R的兩端，活塞桿R由電機(jī)M驅(qū)動(dòng)，從而能夠沿第一腔室IAl和第二腔室IBl的軸向進(jìn)行滑動(dòng)。
[0056]其中，第一腔室IAl和第二腔IBl室均設(shè)置有與輸送管路8連接的輸送口。在實(shí)際應(yīng)用中，上述電機(jī)M可以是脈沖式步進(jìn)電機(jī)。當(dāng)?shù)谝磺皇襂Al和第二腔IBl向清洗室5輸送清洗液前，控制器4先向設(shè)置在輸送管路8上的質(zhì)量檢測(cè)器2獲取清洗液的檢測(cè)結(jié)果。若檢測(cè)結(jié)果符合預(yù)設(shè)要求，則控制器4開啟在輸送管路8上的開關(guān)閥A，之后根據(jù)清洗需求控制脈沖式步進(jìn)電機(jī)工作，從而精確驅(qū)動(dòng)活