專利名稱：液滴噴頭的擦拭單元以及具備該單元的裝置及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種利用噴墨頭為代表的液滴噴頭的液滴噴出裝置(描繪裝置)中的液滴噴頭的擦拭單元、具備此單元的液滴噴出裝置、電光學(xué)裝置、電光學(xué)裝置的制造方法以及電子器械。
背景技術(shù)：
因?yàn)閲娔蛴C(jī)的噴墨頭(液滴噴頭)可以以點(diǎn)狀、高精度噴出微小的墨水滴(液滴)，作為噴出液，通過利用特殊的墨水或感光性樹脂等的功能液，可以期待應(yīng)用于各種產(chǎn)品的制造領(lǐng)域。
例如，可以考慮利用安裝液滴噴頭而組成的噴頭單元，噴頭單元一邊相對于叫做濾色器基板的工件移動一邊讓在液滴噴頭的朝下的噴嘴面上開設(shè)的噴嘴向工件噴出液滴，以此制造液晶顯示裝置或有機(jī)EL顯示裝置等的濾色器。
這里，如果比較長時(shí)間停止裝置，則由于液滴噴頭上殘留功能液的粘度增加而有可能產(chǎn)生堵塞噴嘴。因此，在描繪裝置上配置具有與液滴噴頭噴嘴面密接的帽的吸引單元，在描繪作業(yè)停止時(shí)，有必要由吸引單元從噴嘴吸引清除殘留液。另外，如果進(jìn)行吸引，則由于被吸出的功能液污染噴嘴面，因此，最好是在吸引后，擦拭吸引后的噴嘴面來清除污垢。
因此，現(xiàn)有技術(shù)已知的擦拭單元，包括在噴嘴面搭載從下方相對壓住擦拭片的按壓部件的抹拭單元、經(jīng)由按壓部件輸送擦拭片的拭片供給單元，在將擦拭片按壓在噴嘴面的狀態(tài)下，在輸送擦拭片的同時(shí)讓抹拭單元與拭片供給單元一體在與噴嘴面平行的給定擦拭方向上移動，用擦拭片擦拭噴嘴面。
另外，在該單元中，擦拭片幾乎水平送入到按壓部件，并從形成在按壓部件中央的洗滌液噴嘴向送入到按壓部件的擦拭片噴出由功能液溶劑組成的洗滌液，使洗滌液滲入擦拭片，可以有效擦拭附著在噴嘴面的功能液。
在這樣的現(xiàn)有技術(shù)的擦拭單元中，如果輸送架上多個(gè)液滴噴頭寬范圍平面分布，則會出現(xiàn)輸送架與擦拭單元主體部分之間產(chǎn)生干擾的問題。另外，因?yàn)橛蒟軸工作臺移動擦拭單元，并且，讓液滴噴頭(輸送架)上、下移動，存在其結(jié)構(gòu)復(fù)雜的問題。
有關(guān)的情形下，可以考慮在機(jī)架上設(shè)置擦拭單元，讓液滴噴頭靠近該單元的結(jié)構(gòu)、并且從下面引入擦拭片的結(jié)構(gòu)。另外，如果考慮多個(gè)液滴噴頭和擦拭方向重疊或復(fù)雜配置的結(jié)構(gòu)，則洗滌液的供給有必要設(shè)在擦拭方向胸前側(cè)的一處。
可是，在這樣的結(jié)構(gòu)中，面對洗滌液噴出部件的擦拭片的面就成為里面而不是表面(接觸于噴嘴面的面)，洗滌液噴出部件在這個(gè)里面涂抹洗滌液。因此，為了確保擦拭片對清除物的吸收性，作為擦拭片有必要具有一定程度的厚度，涂抹在擦拭片里面的洗滌液滲入擦拭片表面，需要一定時(shí)間。因此，為了使洗滌液遍布在擦拭片表面而提高擦拭性，有必要加大按壓部件與洗滌液噴出部件之間的距離，但是如果這樣，會增加高價(jià)的擦拭片的消費(fèi)量而增加運(yùn)行成本。即，擦拭噴嘴面時(shí)，由洗滌液噴出部件涂抹了洗滌液的擦拭片部分，在到達(dá)按壓部件之前，必要空行程輸送擦拭片之后，開始擦拭作業(yè)，但是，如果按壓部件與洗滌液噴出部件之間的距離加大，則，由于空行程輸送而無益消費(fèi)的擦拭片長度變長。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種提高擦拭性、且盡可能降低擦拭片消費(fèi)量的液滴噴頭的擦拭單元、具備此單元的液滴噴出裝置和電光學(xué)裝置、電光學(xué)裝置的制造方法以及電子器械。
本發(fā)明的液滴噴頭的擦拭單元，包括裝有從下面向壓液滴噴頭向下的噴嘴面壓住擦拭片的壓力滾輪的抹拭單元、和經(jīng)由壓力滾輪輸送擦拭片的拭片供給單元，在將擦拭片壓在噴嘴面上的狀態(tài)下，一邊輸送擦拭片一邊讓抹拭單元與拭片供給單元在與噴嘴面平行的給定抹拭方向上一體移動而進(jìn)行抹拭動作，其特征在于在抹拭單元上，在將擦拭片壓在噴嘴面上的狀態(tài)下在低于與噴嘴面一致的水平面的下方、且相對于壓力滾輪位于擦拭片的送入一側(cè)的位置上，搭載洗滌液噴出部件；擦拭片從下面通過壓力滾輪與洗滌液噴出部件之間的間隙而送入到壓力滾輪；從洗滌液噴出部件向通過間隙的擦拭片噴出洗滌液。
依據(jù)上述構(gòu)成，擦拭片的表面面向洗滌液噴出部件，洗滌液噴出部件噴出的洗滌液涂抹在擦拭片表面。因此，即使把洗滌液噴出部件盡可能配置在壓力滾輪的附近，洗滌液也可以遍布在擦拭片表面，可以有效抹拭噴嘴面的污垢。其結(jié)果，可以謀求縮短擦拭片的空行程輸送距離(由洗滌液噴出部件涂抹洗滌液的擦拭片部分到達(dá)壓力滾輪為止的輸送長度)，可以削減擦拭片的消費(fèi)量。另外，因?yàn)橄礈煲簢姵霾考渲迷谏鲜鏊矫娴南路?，不會干涉噴嘴面?br> 然而，有時(shí)會按給定方向隔一定間隙并設(shè)多列由多個(gè)液滴噴頭組成的噴頭列，這時(shí)，使抹拭方向和給定方向相同，使抹拭單元按順序移動到這些多列噴頭列，抹拭屬于各噴頭列的液滴噴頭的噴嘴面。在此，在位于每一個(gè)噴頭列間的抹拭單元的移動區(qū)間中，優(yōu)選停止擦拭片的輸送和洗滌液的噴出。
另外，噴嘴面的抹拭后，使抹拭單元向抹拭方向的反方向后退移動而復(fù)歸到起始位置，但是，如果此時(shí)，擦拭片還是壓在噴嘴面的狀態(tài)，則有擦去的污垢重新附著在噴嘴面的可能。這時(shí)，如果抹拭單元可自由升降，在讓抹拭單元下降的狀態(tài)下進(jìn)行復(fù)歸，擦除片離開噴嘴面，復(fù)歸時(shí)可以防止在噴嘴面上重新粘附污垢。
另一方面，擦拭片優(yōu)選由100％的聚酯的布材料和100％的聚丙烯的布材料中的任一個(gè)所構(gòu)成。并且擦拭片的厚度優(yōu)選為0.4mm至0.6mm。
在該構(gòu)成中，沒有擦拭片纖維的起毛或溶解出纖維中合成物的現(xiàn)象。另外，通過讓其具有一定厚度，洗滌液可以適當(dāng)滲透并保持抹拭動作所必要的量。
本發(fā)明的液滴噴出裝置，其特征在于具備上述液滴噴頭的擦拭單元、液滴噴頭、和移動液滴噴頭的移動工作臺。
依據(jù)該構(gòu)成，利用擦拭單元可以管理液滴噴頭噴嘴面的無污垢狀態(tài)，因此，可以維持穩(wěn)定的功能液噴出和高描繪精度。
這時(shí)，優(yōu)選還包括與擦拭單元鄰接配置并從液滴噴頭的所有噴嘴吸引功能液的吸引單元、和使吸引單元以及擦拭單元作為一體移動并分別靠近液滴噴頭的移動機(jī)構(gòu)。
依據(jù)該構(gòu)成，由移動機(jī)構(gòu)把吸引單元和擦拭單元作為一體可以移動，因此，使這些保養(yǎng)系的裝置更有效面對移動到保養(yǎng)位置的液滴噴頭。例如，解除液滴噴頭的不良噴出時(shí)，不移動液滴噴頭，而可以連續(xù)進(jìn)行液滴噴頭的功能液吸引和擦拭。
本發(fā)明的電光學(xué)裝置，其特征在于利用上述液滴噴出裝置，從液滴噴頭向工件噴出功能液滴而形成成膜部。
同樣，本發(fā)明的電光學(xué)裝置的制造方法，其特征在于利用上述液滴噴出裝置，從液滴噴頭向工件噴出功能液滴而形成成膜部。
已經(jīng)該構(gòu)成，因?yàn)槔们鍧嵐芾硪旱螄婎^噴嘴面的液滴噴出裝置來制造，可以制造可靠性高的電光學(xué)裝置。另外，作為電光學(xué)裝置有液晶顯示裝置、有機(jī)EL(電致發(fā)光)裝置、電子放出裝置、PDP(等離子顯示板)裝置和電泳動顯示裝置。另外，電子放出裝置是包含所謂FED(場發(fā)射顯示器)裝置的概念。并且，作為電光學(xué)裝置，可以有金屬布線形成、透鏡形成、抗蝕劑形成和光擴(kuò)散體形成等的裝置。另外，還有液晶顯示裝置等的透明電極(ITO)形成的裝置。
本發(fā)明的電子器械，其特征在于裝載有上述電光學(xué)裝置或者或利用上述電光學(xué)裝置制造方法所制造的電光學(xué)裝置。
此時(shí)，作為電子器械可以考慮裝有所謂平板顯示器的手機(jī)、個(gè)人用電腦以及各種其他電氣產(chǎn)品。


圖1是實(shí)施例的描繪裝置的外形立體圖。
圖2是實(shí)施例的描繪裝置的正視圖。
圖3是從圖2的右側(cè)觀察的實(shí)施例描繪裝置的側(cè)視圖。
圖4是省略實(shí)施例描繪裝置的一部分的俯視圖。
圖5是包含實(shí)施例的擦拭單元的保養(yǎng)機(jī)構(gòu)的立體圖。
圖6是實(shí)施例噴頭單元的俯視圖。
圖7A是實(shí)施例噴頭單元的立體圖，圖7B是液滴噴頭主要單元的剖面圖。
圖8是實(shí)施例的拭片供給單元的立體圖。
圖9是實(shí)施例的拭片供給單元的俯視圖。
圖10是從圖9的左側(cè)看的實(shí)施例的拭片供給單元的正視圖。
圖11是實(shí)施例的抹拭單元的立體圖。
圖12是實(shí)施例的抹拭單元的正視圖。
圖13是實(shí)施例的抹拭單元的XII-XII線剖面圖。
圖14A是實(shí)施例的抹拭單元的示意圖，圖14B是表示壓力滾輪和洗滌液噴頭相對于噴嘴面的位置關(guān)系的圖。
圖15是由實(shí)施例的擦拭單元進(jìn)行的表示擦拭作業(yè)的時(shí)序圖。
圖16是利用實(shí)施例的描繪裝置來制造的液晶顯示裝置的剖面圖。
圖17是利用實(shí)施例的描繪裝置來制造的有機(jī)EL裝置的剖面圖。
圖中1—描繪裝置，21—噴頭單元，31—液滴噴頭，42—噴嘴，44—噴嘴面，92—擦拭單元，130—擦拭片，131—拭片供給單元，132—擦拭單元，163—壓力滾輪，165—洗滌液噴頭(洗滌液噴出部件)。
具體實(shí)施例方式
下面，結(jié)合

本發(fā)明的實(shí)施例。圖1是采用本發(fā)明的描繪裝置的外形立體圖，圖2是采用本發(fā)明的描繪裝置的正視圖，圖3是采用本發(fā)明的描繪裝置的右側(cè)視圖，圖4是采用本發(fā)明的描繪裝置的省略一部分的俯視圖。雖然后面要詳細(xì)敘述，這個(gè)描繪裝置1是特殊的墨水或發(fā)光性樹脂液等的功能液引入到液滴噴頭31，在基板等的工件W上，由液滴來形成成膜部的裝置。
如圖1至圖4所示，描繪裝置1包括使液滴噴頭31一邊相對于工件W相對移動一邊噴出功能液的描繪機(jī)構(gòu)2、進(jìn)行液滴噴頭31保養(yǎng)的保養(yǎng)機(jī)構(gòu)3、向液滴噴頭31供給功能液的同時(shí)回收已成為不要的功能液的功能液供給回收機(jī)構(gòu)4、供給用于驅(qū)動·控制各個(gè)機(jī)構(gòu)的壓縮空氣的空氣供給機(jī)構(gòu)5。并且，這些各個(gè)機(jī)構(gòu)是由圖外面的控制機(jī)構(gòu)來相互有關(guān)聯(lián)控制。雖然省略圖示，除了這些以外，還設(shè)有識別工件W位置的工件識別相機(jī)或確認(rèn)描繪機(jī)構(gòu)2的噴頭單元21(后面要敘述)位置的噴頭識別相機(jī)和各種指示器，通過這些控制機(jī)構(gòu)來控制。
如圖1至圖4所示，描繪機(jī)構(gòu)2配置在石平板12(固定在用角鋼材料組成方形框的底座11的上部)的上面；功能液供給回收機(jī)構(gòu)4和空氣供給機(jī)構(gòu)5的大部分安裝在底座11上增設(shè)的機(jī)架13里。機(jī)架13形成兩個(gè)大小不同的容納室14、15；大的容納室14里容納功能液供給回收機(jī)構(gòu)4的箱子之類，小的容納室15里容納空氣供給機(jī)構(gòu)5的主要部分。另外，如圖5所示，機(jī)架13上設(shè)有由電動機(jī)16通過球形(牙的形狀為球形)螺桿17，在機(jī)架13的長度方向(即X軸方向)移動的移動工作臺18，在移動工作臺18上固定公用機(jī)座19，在公用機(jī)座19上安裝放置相當(dāng)于保養(yǎng)機(jī)構(gòu)3的構(gòu)成單元的吸引單元91、擦拭單元92、檢測漏點(diǎn)單元93和測定功能液噴出量的接收液滴單元94。
這個(gè)描繪裝置1是一邊利用保養(yǎng)機(jī)構(gòu)3來保養(yǎng)描繪機(jī)構(gòu)2的液滴噴頭31一邊從功能液供給回收機(jī)構(gòu)4向液滴噴頭31供給功能液的同時(shí)，液滴噴頭31向工件W噴出功能液的裝置。另外，功能液是容納在容納室14的加壓箱子201通過配置在機(jī)架13的供應(yīng)液箱子202向液滴噴頭31供給的。下面，說明各個(gè)機(jī)構(gòu)。
描繪機(jī)構(gòu)2包括裝有多個(gè)噴出功能液的液滴噴頭31的噴頭單元21、支持噴頭單元21的主輸送架22、和使噴頭單元21相對于工件W在主掃描方向(X軸方向)和垂直主掃描方向的副掃描方向(Y軸方向)的兩個(gè)掃描方向上相對移動的X·Y移動機(jī)構(gòu)23。
如圖6以及圖7A、圖7B所示，噴頭單元21是由多個(gè)(12個(gè))液滴噴頭31、裝載液滴噴頭31的支輸送架51、為了讓每一個(gè)液滴噴頭31的噴嘴面44向下面凸出安裝在支輸送架51上的噴頭保持單元52所組成。十二個(gè)液滴噴頭31分為每列六個(gè)，在主掃描方向(X軸方向)隔一定間隙配置兩列30L、30R安裝在支輸送架51上。另外，為了對工件W確保功能液的充分涂敷密度，液滴噴頭31傾斜給定角度配置。一個(gè)噴頭列30L和另一個(gè)噴頭列30R的每一個(gè)液滴噴頭31是對副掃描方向(Y軸方向)相互錯(cuò)位配置，以便副掃描方向中的每一個(gè)液滴噴頭31的噴嘴42連續(xù)(重復(fù)一部分)。另外，液滴噴頭31作為專用零件構(gòu)成而對工件W確保功能液的充分涂敷密度時(shí)，并沒有必要勉強(qiáng)傾斜安裝液滴噴頭31。
如圖6所示，液滴噴頭31是所謂雙聯(lián)噴頭，包括具有雙聯(lián)接合針33的功能液引入部32、連接在功能液引入部32的雙聯(lián)噴頭基板34、連接在功能液引入部32的下方并內(nèi)部充滿功能液的形成噴頭內(nèi)部流路的噴頭主體35。各個(gè)接合針33通過管路適配接頭36連接在功能液供給回收機(jī)構(gòu)4的供液箱子202；功能液引入部32從各個(gè)接合針33接收功能液的供給。噴頭主體35具有雙聯(lián)泵41和形成多個(gè)噴嘴42的有噴嘴面44的噴頭板43；液滴噴頭31中，由于泵41的作用，從噴嘴42噴出液滴。另外，噴嘴面44上形成由多個(gè)噴嘴42組成的兩列噴嘴列。
如圖5所示，支輸送架51包括一部分缺口的主體板53、左右對稱設(shè)在主體板53的長度方向中間位置的一對基準(zhǔn)銷54和安裝在主體板53的兩個(gè)長邊部分的左右一對的支持部件55。一對基準(zhǔn)銷54是圖像識別為前提，成為在X軸、Y軸和θ軸方向上定位支輸送架51(噴頭單元21)的基準(zhǔn)。支持部件55成為把噴頭單元21固定在主輸送架22時(shí)的固定部位。另外，在支輸送架51設(shè)有連接每一個(gè)液滴噴頭31和供應(yīng)液箱子202的管道接頭56。管道接頭56在一端連接管道適配接頭36(與每一個(gè)液滴噴頭31(的接合針33)連接)的噴頭側(cè)管道部件，另一端具有為了連接供應(yīng)液箱子202的裝置一側(cè)管道部件的十二個(gè)管座。
如圖3所示，主輸送架22由從下面固定在橋路板82的外形為[I]形的吊掛單元61、安裝在吊掛單元61下面的θ工作臺62、吊掛安裝在θ工作臺62下面的輸送架主體63所構(gòu)成。輸送架主體63上有間隙配合噴頭單元21的方形孔，定位固定噴頭單元21。
如圖1至圖3所示，X·Y移動機(jī)構(gòu)23是固定在上述的石平板12，主掃描(X軸方向)工件W的同時(shí)，通過主輸送架22使噴頭單元21進(jìn)行副掃描(Y軸方向)的機(jī)構(gòu)。X·Y移動機(jī)構(gòu)23包括軸線和石平板12長度方向中心線一致而固定的X軸工作臺71、橫跨X軸工作臺71軸線和石平板12短邊方向中心線一致而固定的Y軸工作臺81。
X軸工作臺71由空氣吸引來吸附安裝工件W的吸附工作臺72、支持吸附工作臺72的θ工作臺73、使θ工作臺73在X軸方向滑動自由地支承的X軸氣動滑塊74、通過θ工作臺73使吸附工作臺72上的工件W向X軸方向移動的X軸線性電動機(jī)(省略圖示)、并設(shè)在X軸氣動滑塊74的線性刻度尺75所構(gòu)成。液滴噴頭31的主掃描是由于線性電動機(jī)的驅(qū)動，吸附工件W的吸附工作臺72和θ工作臺73以X軸氣動滑塊74為向?qū)?，在X軸方向的往復(fù)移動來進(jìn)行。
Y軸工作臺81包括吊掛主輸送架22的橋路板82、兩邊支承橋路板82并在Y軸方向滑動自由的一對Y軸滑塊83、設(shè)在Y軸滑塊83的Y軸線性刻度尺84、一對Y軸滑塊83為向?qū)箻蚵钒?2向Y軸方向移動的Y軸球形螺桿85和正反向轉(zhuǎn)動Y軸球形螺桿85的Y軸電動機(jī)(省略圖示)。Y軸電動機(jī)由伺服電動機(jī)來構(gòu)成，如果Y軸電動機(jī)正、反向轉(zhuǎn)動，則通過Y軸球形螺桿85、螺紋聯(lián)接在此的橋路板82以一對Y軸滑塊83為向?qū)?，在Y軸方向移動。即，伴隨橋路板82的移動，主輸送架22(噴頭單元21)進(jìn)行Y軸方向的往復(fù)移動而進(jìn)行液滴噴頭31的副掃描。另外，圖4中省略了Y軸工作臺81和θ工作臺73。
這里，簡單說明描繪機(jī)構(gòu)2的一系列動作。首先，作為向工件W噴出功能液的描繪作業(yè)前的準(zhǔn)備，依靠噴頭識別相機(jī)來進(jìn)行噴頭單元21位置矯正之后，利用工件識別相機(jī)來進(jìn)行安裝在吸附工作臺72的工件W的位置矯正。其次，利用X軸工作臺71使工件W在主掃描(X軸)方向上往復(fù)移動的同時(shí)，驅(qū)動多個(gè)液滴噴頭31，對工件W進(jìn)行液滴的選擇性的噴出動作。然后，后退移動工件W后，利用Y軸工作臺81使噴頭單元21向副掃描方向(Y軸)移動，再度進(jìn)行工件W的主掃描方向的往復(fù)移動和驅(qū)動液滴噴頭31。另外，本實(shí)施例中雖然是相對于噴頭單元21工件W做主掃描方向的移動，也可以構(gòu)成為使噴頭單元21做主掃描方向的移動。另外，也可以構(gòu)成為固定工件W，使噴頭單元21做主掃描方向和副掃描方向的移動。
下面，說明保養(yǎng)機(jī)構(gòu)3的各構(gòu)成單元。保養(yǎng)機(jī)構(gòu)3大體上由上述的公用機(jī)座19上的吸引單元91、擦拭單元92、檢測漏點(diǎn)單元93和接收液滴單元94所構(gòu)成。在停止描繪作業(yè)時(shí)，噴頭單元21移動到機(jī)架13上方的保養(yǎng)位置，在這個(gè)狀態(tài)，通過移動工作臺18移動公用機(jī)座19的方法，把吸引單元91、擦拭單元92和接收液滴單元94選擇性地接近噴頭單元21的正下方。
吸引單元91強(qiáng)制性從液滴噴頭31吸引功能液的同時(shí)，具有接收液滴噴頭31所噴出的功能液的沖洗槽的功能。吸引單元91具有當(dāng)公用機(jī)座19(移動工作臺18)位于起始位置(圖4、圖5所示位置)時(shí)，面對位于保養(yǎng)位置的噴頭單元21正下方的升降自由的帽單元101。
帽單元101是與裝在噴頭單元21的十二個(gè)液滴噴頭31的配置相對應(yīng)，把十二個(gè)帽102配置在帽座103的單元；是每一個(gè)帽102可以密接在對應(yīng)的液滴噴頭31的結(jié)構(gòu)。
向噴頭單元21的液滴噴頭31充填功能液時(shí)或清除液滴噴頭31內(nèi)部的增大粘度后的功能液時(shí)，使每一個(gè)帽102密接在液滴噴頭31的噴嘴面44，進(jìn)行泵吸引，把吸引的功能液回收在容納室14的再利用箱子203。另外，裝置的非運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，使每一個(gè)帽102密接在液滴噴頭31的噴嘴面44，進(jìn)行液滴噴頭31的維護(hù)(防止功能液的干燥)。并且，由于更換工件，停止描繪作業(yè)時(shí)，使每一個(gè)帽102稍微離開液滴噴頭31的噴嘴面44，進(jìn)行沖洗(預(yù)備噴出)。
這里，液滴噴頭31的沖洗動作(預(yù)備噴出)是在描繪作業(yè)中也進(jìn)行的。因此，在X軸工作臺71的θ工作臺73上設(shè)有帶有一對沖洗槽95aa的、夾住吸附工作臺71而固定的沖洗單元95(參照圖4)。主掃描時(shí)，因?yàn)闆_洗槽95a和θ工作臺73一起移動，沒有必要為了沖洗動作而專門移動噴頭單元21。即，因?yàn)闆_洗槽95a和工件W一起向噴頭單元21移動，可以從靠近沖洗槽95a的液滴噴頭31的噴嘴42按順序進(jìn)行沖洗動作。另外，沖洗槽95a所接收的功能液積存在容納室14里配置的廢液箱子204。另外，在石平板12的機(jī)架13的另一側(cè)的側(cè)面，配置具有與噴頭單元21的兩個(gè)噴頭列30L、30R對應(yīng)的帶有一對沖洗槽96a的預(yù)備沖洗單元96。
檢測漏點(diǎn)單元93是檢測液滴噴頭31的所有噴嘴42是否確實(shí)噴出液滴，即檢測液滴噴頭31是否發(fā)生堵塞的單元。檢測漏點(diǎn)單元93由與噴頭單元21的兩個(gè)噴頭列30L、30R對應(yīng)設(shè)置的一對光學(xué)式檢測器111L、111R所構(gòu)成。每一個(gè)檢測器111L、111R是使激光二極管等的發(fā)光元件112和受光元件113互相面向，噴出的液滴是否遮斷兩個(gè)元件112與113之間的光路來檢測漏點(diǎn)(不良噴出)的。并且，為了每一個(gè)噴頭列30L、30R的液滴噴頭31通過每一個(gè)檢測器111L、111R的正上方，使噴頭單元21一邊向Y軸方向移動一邊讓每一個(gè)噴嘴42按順序噴出液滴，進(jìn)行漏點(diǎn)的檢查。
接收液滴單元94是使用于噴頭單元21為單位測定液滴噴出量(重量)的單元，包括當(dāng)公用機(jī)座19從起始位置移動到圖4、圖5左側(cè)時(shí)，按照到達(dá)位于保養(yǎng)位置的噴頭單元21正下方那樣配置的裝載放置臺121；和裝載放置臺121上并與噴頭單元21的十二個(gè)液滴噴頭31相適應(yīng)裝載放置的十二個(gè)接收容器122。測定液滴噴出量時(shí)，從每一個(gè)液滴噴頭31向每一個(gè)接收容器122噴出給定次數(shù)的液滴之后，把每一個(gè)接收容器122轉(zhuǎn)放在圖外的電子天平來測定每一個(gè)接收容器122內(nèi)的液滴重量。
擦拭單元92是利用擦拭片130(參照圖14)來擦拭由于液滴噴頭31的吸引(清洗)而引起的功能液附著來弄臟的液滴噴頭31的噴嘴面44的單元，包括各自獨(dú)立構(gòu)成的拭片供給單元131和抹拭單元132。這些拭片供給單元131和抹拭單元132是在公用機(jī)座19上使抹拭單元132位于吸引單元91側(cè)的位置狀態(tài)，在X軸方向上排列配置；由于移動工作臺18的面向位于保養(yǎng)位置的噴頭單元21的運(yùn)動，抹拭單元132和拭片供給單元131作為一體，向作為擦拭方向的X軸方向(圖4、圖5的右方)移動，對噴頭單元21的十二個(gè)所有液滴噴頭31的噴嘴面44進(jìn)行擦拭。
如圖8、圖9和圖10所示，拭片供給單元131包括在Y軸方向一個(gè)側(cè)邊豎立安裝的架141上可拆裝地安裝在懸臂軸上的上面輸送輪142和下面的卷繞輪143；以及卷繞轉(zhuǎn)動卷繞輪143的卷繞電動機(jī)144。另外，支架145固定在架141的上面，在這個(gè)支架145上面，兩側(cè)支承速度檢測滾筒146和導(dǎo)向滾筒147，以便位于輸送輪142的前方位置。這些構(gòu)成零件的下面，配置接收洗滌液的洗滌液盆148。
輸送輪142里插入滾筒狀的擦拭片130，輸送輪142所輸送的擦拭片130通過速度檢測滾筒146和導(dǎo)向滾筒147送入到抹拭單元132。卷繞輪143與卷繞電動機(jī)144之間，套裝齒形皮帶149，由卷繞電動機(jī)144轉(zhuǎn)動卷繞輪143來卷繞擦拭片130。
雖然后面要敘述，在抹拭單元132上裝有輸送擦拭片130的電動機(jī)(送入電動機(jī)164)；輸送輪142利用安裝在這里的扭矩限制器150來抵抗送入電動機(jī)164而制動轉(zhuǎn)動。速度檢測滾筒146是自由轉(zhuǎn)動的上、下兩個(gè)滾筒146a、146b所構(gòu)成的夾式滾筒，設(shè)在這里的速度檢測器151來控制卷繞電動機(jī)144。即，輸送輪142是在拉擦拭片130的狀態(tài)來送出，卷繞輪143是卷繞擦拭片130，以免發(fā)生松弛。
另外，在輸送輪142與速度檢測滾筒146之間的拭片輸送路部分的下面，配置光學(xué)式拭片檢測器152，由拭片檢測器152檢測出輸送輪142所輸送的擦拭片130末端通過時(shí)，提出交換輸送輪142和卷繞輪143的指令。
如圖11、圖12和圖13所示，抹拭單元132包括Y軸方向兩側(cè)豎立設(shè)置的一對立柱161、161之間可以自由升降支承的升降框162、升降框162的兩邊可以自由轉(zhuǎn)動支承的壓力滾輪163、轉(zhuǎn)動驅(qū)動壓力滾輪163的送入電動機(jī)164和向送入到壓力滾輪163的擦拭片130供給功能液溶劑組成的洗滌液的洗滌液噴頭(洗滌液噴出部件)165。
升降框162的Y軸方向兩側(cè)，垂直設(shè)有一對支腳166，使每一個(gè)支腳166在安裝在每一個(gè)立柱161的內(nèi)側(cè)面的導(dǎo)向桿167上自由上、下運(yùn)動配合。然后，每一個(gè)立柱161的底座部位里豎立設(shè)置氣缸168，將其活塞桿168a聯(lián)接在每一個(gè)支腳166，依靠氣缸168的動作，可以使升降框162和支承在這些的壓力滾輪163或洗滌液噴頭165升降。
壓力滾輪163是由送入電動機(jī)164通過齒形皮帶169來轉(zhuǎn)動驅(qū)動的。另外，在升降框162上，沿著壓力滾輪163的下面，利用軸來支承壓送輪170，如圖14A所示，從壓力滾輪163向卷繞輪143輸送的擦拭片130的部分被夾在壓送輪170之間，不發(fā)生擦拭片130對壓力滾輪163的打滑，用壓力滾輪163的轉(zhuǎn)動，把擦拭片130可靠地送入到壓力滾輪163。
壓力滾輪163是軸部163a的外周套裝橡膠等彈性體163b的彈性滾輪。并且，將抹拭單元132(升降框162)提升到上升端位置狀態(tài)，圍繞壓力滾輪163轉(zhuǎn)的擦拭片130的最上部位置稍微高于安裝在噴頭單元21的液滴噴頭31的噴嘴面44，由于擦拭單元132的X軸方向一個(gè)方向的前進(jìn)移動，壓力滾輪163橫穿過噴嘴形成面44的正下方時(shí)，擦拭片130和壓力滾輪163被壓縮向下，依靠其彈性恢復(fù)力擦拭片130壓在噴嘴面44(參照圖14B)。
洗滌液噴頭165配置在相對于壓力滾輪163位于擦拭片130的送入一側(cè)，并近距離面向壓力滾輪163。并且，如圖14A所示，使經(jīng)由上述的導(dǎo)向滾筒147輸送過來的擦拭片130，從下面通過壓力滾輪163與洗滌液噴頭165之間的間隙，送入到壓力滾輪163。這里，面向洗滌液噴頭165的壓力滾輪163側(cè)的前面部分里，多個(gè)噴嘴孔(圖中未示)適應(yīng)擦拭片130的寬度橫向排列，另一方面，在洗滌液噴頭165的后面，設(shè)有多個(gè)管路用接頭171。
另外，容納室14里容納洗滌液箱子205的同時(shí)，在公用機(jī)座19上配置位于拭片供給單元131的前面?zhèn)确轿恢玫呐渲霉艿烙梅峙浔P172(參照圖5)。并且，從洗滌液箱子205經(jīng)過分配盤172和接頭171向洗滌液噴頭165供給洗滌液，洗滌液噴頭165的噴嘴孔對通過壓力滾輪163與洗滌液噴頭165之間間隙的擦拭片130噴出洗滌液。
這里，擦拭片130由受洗滌液溶劑的溶出影響比較少的100％的聚酯或100％的聚丙烯的擦拭材料(布材料)，為了確保擦拭污垢的吸收性，其厚度最好是0.4mm以上(優(yōu)選0.4mm～0.6mm)。此時(shí)，如果從擦拭片130的里面涂抹洗滌液，則，洗滌液滲入到擦拭片130的表面(與噴嘴面44接觸的面)需要時(shí)間。
因此，為了洗滌液遍布擦拭片130的表面而有效擦拭噴嘴面44的污垢，有必要加長壓力滾輪163與洗滌液噴頭165之間距離。因此，擦拭噴嘴面44時(shí)，洗滌液噴頭165來涂抹洗滌液的擦拭片130部分到達(dá)壓力滾輪163為止，使擦拭片130空行程輸送，之后，開始擦拭作業(yè)的必要，如果加長壓力滾輪163與洗滌液噴頭165之間距離，則，由于空行程輸送而浪費(fèi)的擦拭片的長度變長。
與此相反，使擦拭片130從下面通過壓力滾輪163與洗滌液噴頭165之間間隙的本實(shí)施例中，擦拭片130的表面面向洗滌液噴頭165，洗滌液噴頭165噴出的洗滌液直接涂抹在擦拭片130的表面。因此，即使是洗滌液噴頭165盡可能靠近配置在壓力滾輪163的附近，使洗滌液遍布在擦拭片130的表面，可以有效擦拭噴嘴面44的污垢。其結(jié)果，可以盡可能縮短擦拭片130的空行程輸送長度(利用洗滌液噴頭165涂抹洗滌液的擦拭片130的部分到達(dá)壓力滾輪163最上部為止的輸送長度)，可以減少擦拭片130的消費(fèi)量。
另外，為了不干涉噴嘴面44，洗滌液噴頭165，在擦拭片130被壓在噴嘴面44狀態(tài)，配置在噴嘴面44所在水平面H(參照圖14B)的下方。另外，位于壓力滾輪163的下方位置，在升降框162上也設(shè)置洗滌液盆173，和拭片供給單元131的洗滌液盆148一起可以接收擦拭片130滴出的洗滌液。
下面，結(jié)合圖15說明利用擦拭單元92的噴嘴面44的擦拭作業(yè)順序。如果結(jié)束了吸引單元91對噴頭單元21的液滴噴頭3 1的吸引，則由于移動工作臺18用電動機(jī)16的動作，使抹拭單元132和拭片供給單元131作為一體，從起始位置向位于保養(yǎng)位置的噴頭單元21，向X軸方向做前進(jìn)移動。如果壓力滾輪163移動到噴頭單元21的一個(gè)噴頭列30L的液滴噴頭31正前(圖15的t1時(shí)刻)，則，暫停抹拭單元132前進(jìn)移動，由氣缸168的動作來使抹拭單元132提升到上升端位置。
提升之后，重新開始抹拭單元132的前進(jìn)移動，同時(shí)，驅(qū)動卷繞電動機(jī)144和輸送電動機(jī)164，開始擦拭片130的輸送，同時(shí)開始洗滌液噴頭165的洗滌液噴出。根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，壓力滾輪163到達(dá)噴頭列30L的液滴噴頭31噴嘴面44時(shí)刻為止(圖15的t2時(shí)刻)，結(jié)束空行程輸送，在表面上遍布洗滌液的狀態(tài)，擦拭片130壓在噴嘴面44，開始噴嘴面44的擦拭。以后，壓力滾輪163沿著噴嘴面44橫穿過噴嘴面前進(jìn)的同時(shí)，由于擦拭片130的輸送，向噴嘴面44接觸部分總是供給新的拭片，可以有效擦拭噴嘴面44的污垢。
如果壓力滾輪163結(jié)束橫穿過噴頭列30L的所有液滴噴頭31的噴嘴面44(圖15的t3時(shí)刻)，則在繼續(xù)抹拭單元132的前進(jìn)移動的狀態(tài)，暫停擦拭片130的輸送和洗滌液噴出，然后，壓力滾輪163移動到噴頭單元21的另一個(gè)噴頭列30R的液滴噴頭31的正前時(shí)(圖15的t4時(shí)刻)，重新開始擦拭片130的輸送和洗滌液的噴出，壓力滾輪163到達(dá)噴頭列30R的液滴噴頭31噴嘴面44時(shí)刻(圖15的t5時(shí)刻)為止，結(jié)束空行程輸送，和上述同樣，進(jìn)行噴頭列30R的液滴噴頭31噴嘴面44的擦拭。這樣，位于一個(gè)噴頭列30L和另一個(gè)噴頭列30R之間的抹拭單元132的移動區(qū)間中，停止擦拭片130的輸送和洗滌液的噴出，從而可以防止擦拭片130和洗滌液的浪費(fèi)。
如果壓力滾輪163結(jié)束橫穿過噴頭列30R的所有液滴噴頭3 1的噴嘴面44(圖15的t6時(shí)刻)，在繼續(xù)抹拭單元132的前進(jìn)移動的狀態(tài)，暫停擦拭片130的輸送和洗滌液的噴出，與此同時(shí)，停止抹拭單元132的前進(jìn)移動，下降抹拭單元132。然后，下降后，使抹拭單元132向X軸方向的另一方做后退移動，回到起始位置。這樣，因?yàn)橄陆的ㄊ脝卧?32的狀態(tài)進(jìn)行后退移動，移動時(shí)，擦拭片130不接觸噴嘴面44，可以防止被擦拭的污垢重新附著在噴嘴面44。
另外，上述的本實(shí)施例中，拭片供給單元131和抹拭單元132是個(gè)別獨(dú)立構(gòu)成，但是，也可以將拭片供給單元131和抹拭單元132組成一體，讓拭片供給單元131和抹拭單元132作為一體升降。
下面，對上述的描繪裝置1適用于液晶顯示裝置的情形，進(jìn)行說明。圖16是表示液晶顯示裝置301的斷面結(jié)構(gòu)。如圖16所示，液晶顯示裝置301由以玻璃基板321為主體，面對形成了透明導(dǎo)電膜(ITO膜)322和取向膜323的上基板311和下基板312、在這個(gè)上基板311與下基板312之間安裝的多個(gè)隔片331、密封上基板311和下基板312的密封件332、充填在上基板311和下基板312之間的液晶333所構(gòu)成，與此同時(shí)，在上基板311的背面，層疊相位基板341和偏振片342，并且，在下基板312的背面，層疊偏振片342b和背光裝置343。
在平常的制造工藝中，各自進(jìn)行透明導(dǎo)電膜322的圖案形成和取向膜323的涂敷而分別制作上基板311和下基板312之后，下基板312里制作裝入隔片331和密封件332，在這個(gè)狀態(tài)，粘合上基板311。然后，從密封件332的注入口注入液晶333并封閉注入口。再后，層疊相位基板341、兩個(gè)偏振片342a、342b和背光裝置343。
實(shí)施例的描繪裝置1可以在隔片331的形成和液晶333的注入中利用。具體講，作為功能液，引入構(gòu)成單元間隙的隔片材料(例如，紫外線硬化樹脂或熱硬化樹脂)或液晶，把這些均勻噴出(涂敷)在給定的位置。首先，環(huán)狀印刷有密封件332的下基板312設(shè)置在吸附工作臺上，在這個(gè)下基板312上，以粗糙的間隔噴出隔片材料，照射紫外線而凝固隔片材料。接著，下基板312的密封件332的內(nèi)側(cè)均勻噴出注入給定量的液晶333。然后，將別的途徑準(zhǔn)備的上基板311和涂敷給定量液晶的下基板312引入到真空中，進(jìn)行粘合。
這樣，因?yàn)檎澈仙匣?11和下基板312之前，把液晶333均勻涂敷(充填)在單元中，可以解除液晶333不遍布到單元的角落等細(xì)部的不良現(xiàn)象。
另外，作為功能液(密封件材料)通過采用紫外線硬化樹脂或熱硬化樹脂，可以利用描繪裝置1來進(jìn)行上述密封件332的印刷。同樣，作為功能液(取向膜材料)引入聚酰亞胺，可以利用描繪裝置1來可以制作取向膜323。利用本實(shí)施例的描繪裝置1來還可以形成透明導(dǎo)電膜322。
這樣，液晶顯示裝置301的制造上利用描繪裝置1時(shí)，因?yàn)榭梢钥煽坎潦靡旱螄婎^31的噴嘴形成面44的污垢，可以防止噴嘴形成面44的污垢落到工件上而產(chǎn)生不良產(chǎn)品的情況。
然而，上述描繪裝置1除了搭載在手機(jī)、個(gè)人用電腦等的電子器械上的上述液晶顯示裝置301以外，還可以在各種電光學(xué)裝置(器件)的制造中使用。即，可以在有機(jī)EL裝置、FED裝置、PDP裝置和電泳動顯示裝置的制造中適用。
簡單說明在有機(jī)EL裝置制造上應(yīng)用上述描繪裝置1的例子。
如圖17所示，有機(jī)EL裝置401是在由基板421、電路元件部422、像素電極423、儲存格(bank)部424、發(fā)光元件425、陰極426(對置電極)和封閉用基板427所構(gòu)成的有機(jī)EL元件411上連接可撓性基板(圖中未示)的布線和驅(qū)動集成電路(圖中未示)的裝置。電路元件部422形成在基板421上，多個(gè)像素電極423定位排列在電路元件部422上。并且，每一個(gè)像素電極423之間以格子狀形成儲存格部424，由儲存格部424形成的凹部開口431上形成發(fā)光元件425。陰極426形成在儲存格部424和發(fā)光元件425的上部全面上，在陰極426上層疊密封用基板427。
有機(jī)EL裝置401制造工藝中，預(yù)先形成有電路元件部422和像素電極423的基板421(工件W)上的給定位置上形成儲存格部424之后，為了適當(dāng)形成發(fā)光元件425進(jìn)行等離子處理，其后，形成發(fā)光元件425和陰極426(對置電極)。然后，陰極426上層疊密封用基板427而封閉，獲得有機(jī)EL元件411之后，把這個(gè)有機(jī)EL元件411的陰極426與可撓性基板的布線連接，同時(shí)電路元件部422的布線與驅(qū)動集成電路連接，這樣制造有機(jī)EL裝置401。
描繪裝置1還利用于發(fā)光元件425的形成。具體講，在液滴噴頭31里引入發(fā)光元件材料(功能液)，已形成儲存格部424的基板421的對應(yīng)于像素電極423的位置上噴出發(fā)光元件材料并進(jìn)行干燥，由此形成發(fā)光元件425。另外，在上述的像素電極423或陰極426的形成中，也可以通過分別利用對應(yīng)的液體材料，利用描繪裝置1來制作。
另外，例如，在電子放出裝置的制造方法中，在多個(gè)液滴噴頭31里引入R、G、B顏色的熒光材料，使多個(gè)液滴噴頭31進(jìn)行主掃描和副掃描，選擇性地噴出熒光材料，電極上形成多個(gè)熒光體。
在PDP裝置的制造方法中，在多個(gè)液滴噴頭31里引入R、G、B顏色的熒光材料，使多個(gè)液滴噴頭31進(jìn)行主掃描和副掃描，選擇性地噴出熒光材料，在背面基板上的多個(gè)凹部中分別形成熒光體。
在電泳動顯示裝置的制造方法中，在多個(gè)液滴噴頭31里引入R、G、B顏色的熒光材料，使多個(gè)液滴噴頭31進(jìn)行主掃描和副掃描，選擇性地噴出泳動體材料，在電極上的多個(gè)凹部上分別形成多個(gè)熒光體。另外，由帶電粒子和染料組成的泳動體最好是封入在微膠囊里。
另外，作為其他的電光學(xué)裝置，可以考慮金屬布線形成、透鏡形成、抗蝕劑形成和光擴(kuò)散體形成等的裝置，本實(shí)施例的液滴噴出裝置1也可以適用于這些裝置的各種制造方法。
例如，金屬布線形成方法中，在多個(gè)液滴噴頭31里引入液狀金屬材料，使多個(gè)液滴噴頭31進(jìn)行主掃描和副掃描，選擇性地噴出液狀金屬材料，基板上形成金屬布線。例如，適用于上述液晶顯示裝置中的連接驅(qū)動器和各個(gè)電極的金屬布線或上述有機(jī)EL裝置中的連接TFT(ThinFilm Transisor薄膜晶體管)等和各個(gè)電極的金屬布線，可以制造這些設(shè)備。另外，除了平板顯示器以外，當(dāng)然可以適用于一般的半導(dǎo)體制造技術(shù)。
在透鏡的形成方法中，在多個(gè)液滴噴頭31里引入透鏡材料，使多個(gè)液滴噴頭31進(jìn)行主掃描和副掃描，選擇性地噴出透鏡材料，在透明基板上形成多個(gè)微小透鏡。例如，可以適用于上述FED裝置的射線聚束用設(shè)備的制造場合。另外，也可以適用于各種光學(xué)器件的制造技術(shù)。
在透鏡的制造方法中，在多個(gè)液滴噴頭31里引入透光性涂覆材料，使多個(gè)液滴噴頭31進(jìn)行主掃描和副掃描，選擇性地噴出涂覆材料，在透鏡表面形成涂覆膜。
在抗蝕劑的形成方法中，在多個(gè)液滴噴頭31里引入抗蝕劑材料，使多個(gè)液滴噴頭31進(jìn)行主掃描和副掃描，選擇性地噴出抗蝕劑材料，在基板上形成任意形狀的光致抗蝕劑。例如，上述各種顯示裝置的儲存格的形成，原來就是成為半導(dǎo)體制造技術(shù)主體的光刻法中廣泛適用于光致抗蝕劑的涂敷。
在光擴(kuò)散體形成方法中，在多個(gè)液滴噴頭31里引入光擴(kuò)散材料，使多個(gè)液滴噴頭31進(jìn)行主掃描和副掃描，選擇性地噴出光擴(kuò)散材料，在基板上形成多個(gè)光擴(kuò)散體。此時(shí)，當(dāng)然可以適用于各種光學(xué)器件。
這樣，在液滴噴出裝置1里引入多種功能液的可能性，但是，把上述的液滴噴出裝置1利用于各種電光學(xué)裝置(器件)的制造，可以高精度、且穩(wěn)定制造出電光學(xué)裝置。
如上所述，根據(jù)本發(fā)明的擦拭單元和具備此單元的液滴噴出裝置，不損失對液滴噴頭的擦拭性且可以盡可能縮短擦拭片的空行程輸送長度，可以削減運(yùn)行成本。
根據(jù)本發(fā)明的電光學(xué)裝置及其制造方法和電子器械，因?yàn)槔们鍧嵐芾硪旱螄婎^的液滴噴出裝置來制造，可以提供可信度高的高質(zhì)量的電光學(xué)裝置和電子器械。
權(quán)利要求
1.一種液滴噴頭的擦拭單元，包括裝有從下面向壓液滴噴頭向下的噴嘴面壓住擦拭片的壓力滾輪的抹拭單元、和經(jīng)由所述壓力滾輪輸送所述擦拭片的拭片供給單元，在將所述擦拭片壓在所述噴嘴面上的狀態(tài)下，一邊輸送所述擦拭片一邊讓所述抹拭單元與所述拭片供給單元在與所述噴嘴面平行的給定抹拭方向上一體移動而進(jìn)行抹拭動作，其特征在于在所述抹拭單元上，在將所述擦拭片壓在所述噴嘴面上的狀態(tài)下在低于與所述噴嘴面一致的水平面的下方、且相對于所述壓力滾輪位于所述擦拭片的送入一側(cè)的位置上，搭載洗滌液噴出部件；所述擦拭片從下面通過所述壓力滾輪與所述洗滌液噴出部件之間的間隙送入到所述壓力滾輪；從所述洗滌液噴出部件向通過所述間隙的所述擦拭片噴出洗滌液。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液滴噴頭的擦拭單元，其特征在于按給定方向隔一定間隙并設(shè)多列由多個(gè)所述液滴噴頭組成的噴頭列，使所述抹拭方向和所述給定方向相同，使所述抹拭單元按順序移動到這些多列噴頭列，抹拭屬于各噴頭列的液滴噴頭的噴嘴面；位于所述每一個(gè)噴頭列間的所述抹拭單元的移動區(qū)間中，停止所述擦拭片的輸送和所述洗滌液的噴出。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液滴噴頭的擦拭單元，其特征在于所述抹拭單元可自由升降，抹拭所述噴嘴面之后，讓所述抹拭單元下降的狀態(tài)，向所述抹拭方向的反方向后退移動。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液滴噴頭的擦拭單元，其特征在于所述擦拭片由100％的聚酯片材料和100％的聚丙烯片材料中的任一個(gè)所構(gòu)成。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的液滴噴頭的擦拭單元，其特征在于所述擦拭片的厚度為0.4mm至0.6mm。
6.一種液滴噴出裝置，其特征在于具備權(quán)利要求1所述的液滴噴頭的擦拭單元、所述液滴噴頭、和移動所述液滴噴頭的移動工作臺。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的液滴噴出裝置，其特征在于還包括與所述擦拭單元鄰接配置并從所述液滴噴頭的所有噴嘴吸引功能液的吸引單元、和使所述吸引單元以及所述擦拭單元作為一體移動并分別靠近所述液滴噴頭的移動機(jī)構(gòu)。
8.一種電光學(xué)裝置，其特征在于利用權(quán)利要求6所述的液滴噴出裝置，從所述液滴噴頭向工件噴出功能液滴而形成成膜部。
9.一種電光學(xué)裝置的制造方法，其特征在于利用權(quán)利要求6所述的液滴噴出裝置，從所述液滴噴頭向工件噴出功能液滴而形成成膜部。
10.一種電子器械，其特征在于裝載權(quán)利要求8所述的電光學(xué)裝置。
11.一種電子器械，其特征在于裝載由權(quán)利要求9所述的電光學(xué)裝置的制造方法所制造的電光學(xué)裝置。
全文摘要
本發(fā)明提供一種擦拭液滴噴頭的噴嘴形成面的擦拭單元，可以提高擦拭性，同時(shí)可以削減拭片消耗量。在抹拭單元(132)上，在低于與噴嘴面(44)一致的水平面(H)的下方，并且位于向壓力滾輪(163)送入拭片一側(cè)，配置洗滌液噴出部件(165)。讓擦拭片(130)從下面通過壓力滾輪(163)與洗滌液噴出部件(165)之間間隙，送入到壓力滾輪(163)在擦拭片(130)的表面上涂敷洗滌液。
文檔編號H05B33/10GK1509878SQ20031012312
公開日2004年7月7日 申請日期2003年12月19日 優(yōu)先權(quán)日2002年12月20日
發(fā)明者中村真一 申請人:精工愛普生株式會社