為30mm。
[0119]而且，在輸送方向的孔部4a的列配置間距為p2時，在安裝板4上與第I列平行地沿著輸送方向E以規(guī)定的列配置間距p2形成多個其他列(η = 2?7)。列配置間距ρ2例如設定為25mm。
[0120]另外，在安裝板4的寬度方向上，將第I列(η= I)的第I孔部4a (HI I)與第2孔部4a(H12)之間的配置間隔三等分的間距為寬度方向間隔pll、pl2、pl3時，各個其他列(η=2、3)的第I孔部4a(H21、H31、H41等)與各個該其他列(η = 2、3)的第I孔部4a以規(guī)定的寬度方向間隔pll、pl2、pl3配置。
[0121]在該例子中，兩個吸入口 4c、4c和135個孔部4a例如是利用沖壓設備的穿孔加工等穿設(開口)而成的?？撞?a為了對位于吹出噴嘴2的后端的凸部21a進行防脫落固定，而穿設為比凸部21a的外周小，而且，帶有供吹出噴嘴2能夠相對于孔部4a以壓入式插入的間隙。
[0122]在組裝噴嘴裝置100時，能夠?qū)⒋党鰢娮?臨時固定于安裝板4，因此，容易執(zhí)行將后述的固定板5安裝于安裝板4時的作業(yè)。另外，在安裝板4的四周的鏡框狀的部分上形成有加熱器部安裝用的孔部4d?？撞?d利用鉆頭等貫穿設置。
[0123]準備好吹出噴嘴2和安裝板4后，可以將135個吹出噴嘴2嵌合于135個孔部4a而臨時組裝在一起。將吹出噴嘴2的十字狀的吹出口 22的上部側(cè)從安裝板4的一面?zhèn)认蚱淇撞?a嵌入，并以插入有主體部21的狀態(tài)相嵌合。此時，吹出噴嘴2的凸部21a與孔部4a的一面?zhèn)鹊纸?。對于其他的吹出噴?也同樣地進行嵌合。由此，能夠?qū)?35個吹出噴嘴2與從安裝板4的另一面?zhèn)蓉Q立設置的帶噴嘴的安裝板4臨時組裝在一起。
[0124]準備好帶噴嘴的安裝板4后，接著準備固定板5。使用對具有規(guī)定的厚度的金屬板進行切削孔加工后的金屬板作為固定板5。金屬板在本例中使用了鋁板，但也可以是銅板或者黃銅板等。在固定板5上劃定有孔部形成區(qū)域。該孔部形成區(qū)域為對噴嘴罩3的噴嘴配置區(qū)域Ia進行投影而成的區(qū)域。劃定好孔部形成區(qū)域后，貫穿設置氣體流入用的孔部5a。
[0125]孔部5a與噴嘴安裝用的孔部4a同步(同期)地在固定板5上形成圖案，并且利用鉆頭貫穿設置為佳。此時，從孔部5a的外側(cè)朝向內(nèi)側(cè)形成為圓錐狀的錐形為佳(鉸孔)。氣體被錐形部位引導而容易進入吹出噴嘴2。當然，孔部5a可以通過鉆頭的貫穿設置而形成，也可以在金屬板上利用沖壓模具進行穿孔而貫穿設置地形成。
[0126]準備好固定板5后，對臨時組裝在一起的帶噴嘴的安裝板4進行正式組裝。此時，使固定板5的孔部5a與吹出噴嘴2的氣體流動通路24對位(對齊)。另外，安裝板4和固定板5以支承吹出噴嘴2的狀態(tài)將螺絲與該固定板5的未圖示的螺絲孔螺紋結(jié)合來進行固定。由此，將吹出噴嘴2、安裝板4以及固定板5—體化，獲得圖5所示那樣的帶噴嘴的安裝板4。
[0127]接著，將帶噴嘴的安裝板4正式組裝好后，準備如圖9A?圖9C所示那樣的噴嘴罩
3。噴嘴罩3使用在開放面、底板面以及四周具有側(cè)板面的形狀的平箱體為佳。平箱體例如從I張金屬板在底板和四周裁切出側(cè)板并且以底板為基準對四周的側(cè)板進行彎折加工而形成。噴嘴罩3以將平箱體的底板面作為上側(cè)并且以開放面作為下側(cè)的方式來使用。
[0128]噴嘴罩3是通過在平箱體上貫穿設置135個孔部3a和52個吸入口 3b、3c、3d、3e而形成的?？撞?a為了以包圍吹出口 22的方式進行嵌合，而貫穿設置為直徑比主體部21的外徑小且比吹出口 22大一圈。
[0129]吸入口 3b、3c、3d形成為大、中、小的長圓形形狀(狹縫)，并且吸入口 3e形成為長孔狀。吸入口 3b、3c、3d、3e為了位于吹出噴嘴2的附近，而貫穿設置于孔部3a的附近。吸入口 3b、3c、3d、3e例如在平箱體上利用沖壓模具穿孔出大、中、小的長圓形形狀和長孔狀并貫穿設置地形成，并且孔部3a利用鉆頭等進行貫穿設置來形成為佳。
[0130]在該例子中，位于第I列(η = I)的吹出噴嘴2和第2、第3列(η = 2)的吹出噴嘴2之間、且以跨第I列和相位不同的多個其他列(η = 2、3)，的方式配置有用于使從吹出噴嘴2吹出的氣體進行循環(huán)的、具有規(guī)定的開口寬度wl、w2、w3的吸入口 3b、3c、3d、3e，吸入口 3b、3c、3d的開口寬度w3、w2、wl形成為以中央部位為基準逐漸變窄。
[0131]吸入口 3b、3c、3d在下方的吸入口 3e的左右的分割區(qū)域1、III配置為“V”字狀，并且在上方的吸入口 3e的左右的分割區(qū)域I1、IV配置為“日文/、”字狀。上述噴嘴罩3、安裝板4以及固定板5的制作方法能夠進行適當?shù)馗淖儭?br>[0132]準備好噴嘴罩3后，在與固定板5 —體化的帶有噴嘴的安裝板4的上部蓋上噴嘴罩3。在該例子中，利用具有135個孔部3a和52個吸入口 3b、3c、3d、3e的I個噴嘴罩3覆蓋135個吹出噴嘴2。
[0133]此時，通過將噴嘴罩3的外周部與形成于安裝板4的嵌合槽4b相嵌合，能夠使噴嘴罩3不錯位地與安裝板4卡合。噴嘴罩3和安裝板4利用螺絲固定等周知的方法進行固定。由此，將吹出噴嘴2、噴嘴罩3以及安裝板4 一體化，從而能夠簡單地組裝出噴嘴裝置100。
[0134]順便說下，可以通過焊接將與固定板5 —體化的帶噴嘴的安裝板4和噴嘴罩3接合在一起。另外，也可以將吹出噴嘴2直接螺絲固定于噴嘴罩3而將吹出噴嘴2固定于噴嘴罩3。采用該固定方法，能夠省略安裝板4。噴嘴裝置100的組裝方法并不限于本例，能夠進行適當?shù)母淖儭?br>[0135]這樣一來，采用作為實施方式的噴嘴罩3的排列結(jié)構(gòu)，包括用于使從吹出噴嘴2吹出來的氣體進行循環(huán)的具有規(guī)定的開口寬度wl、w2、w3的吸入口 3b、3c、3d、3e，該吸入口3b、3c、3d位于第I列的吹出噴嘴2和其他列的吹出噴嘴2之間，且以跨第I列和相位不同的多個其他列的方式配置，吸入口 3b、3c、3d的開口寬度w3、w2、wl形成為以中央部位為基準逐漸變窄。
[0136]采用該結(jié)構(gòu)，能夠與吹出量相對應地設定這樣的吸入量的梯度:中央部位的吸入量最多，隨著向周邊離去而吸入量逐漸變少(大一中一小)。因此，利用吹出噴嘴2的線對稱的排列和吸入口 3b、3c、3d、3e的疊加效果，能夠使印刷電路基板200的輸送中的溫度變動減小，能夠更進一步對印刷電路基板200、半導體晶圓等進行均勻的加熱。
[0137](回流焊爐300)
[0138]接著，參照圖11，說明回流焊爐300的結(jié)構(gòu)例。圖11所示的回流焊爐300構(gòu)成軟釬焊裝置的一例，并且通過一邊輸送要被軟釬焊的印刷電路基板，一邊使加熱氣體從設置于噴嘴罩3的多個吹出噴嘴2噴出并向涂敷于基板的膏狀的軟釬料吹送熱風，從而使軟釬料熔化并執(zhí)行電子零件的軟釬焊和電子零件軟釬焊用的軟釬料電極形成中的至少一項作業(yè)。
[0139]回流焊爐300由主體部101和用于輸送印刷電路基板200的傳送帶102構(gòu)成。在主體部101內(nèi)具有預備加熱區(qū)域A、正式加熱區(qū)域B以及冷卻區(qū)域C這3個區(qū)域。對于回流焊爐300而言，要被軟釬焊的印刷電路基板200利用傳送帶102依次輸送到預備加熱區(qū)域A、正式加熱區(qū)域B以及冷卻區(qū)域C。另外，印刷電路基板200被傳送帶102保持在圖2A所示的輸送導件L1、L2之間并沿著箭頭所示的輸送方向E進行輸送。
[0140]預備加熱區(qū)域A是對印刷電路基板200、安裝于該印刷電路基板200的電子零件等進行緩慢加熱而使其適應熱度的區(qū)域，是使焊膏中的溶劑揮發(fā)的區(qū)域。雖然預備加熱區(qū)域A會因軟釬料組成、印刷電路基板200的種類等有所不同，但是預備加熱區(qū)域A在為無鉛焊膏的情況下而大概被設定為150°C?180°C。焊膏使用高純度材料或者低α線材(LAS)。
[0141]正式加熱區(qū)域B是將溫度設定得比預備加熱區(qū)域A的溫度高(在為無鉛焊膏的情況下大概為240度)、并使焊膏中的軟釬料粉末熔融來進行軟釬焊的區(qū)域。冷卻區(qū)域C是對軟釬焊過的印刷電路基板200進行冷卻的區(qū)域。
[0142]在預備加熱區(qū)域A中，加熱器部103配置在傳送帶102的上下各5個區(qū)域，同時在各加熱器部103設置有本發(fā)明的噴嘴裝置100。在正式加熱區(qū)域B中，加熱器部104配置在傳送帶102的上下各3個區(qū)域，同時在各加熱器部104設置有本發(fā)明的噴嘴裝置100。
[0143]加熱器部103、104由未圖示的電熱絲加熱器、風扇以及使風扇旋轉(zhuǎn)的風扇馬達等構(gòu)成。加熱器部103、104例如利用電熱絲加熱器對氣體(例如，空氣、氮氣等非活性氣體)進行加熱，通過驅(qū)動風扇馬達使風扇旋轉(zhuǎn)，從而將被加熱后的氣體作為熱風吹出到回流焊爐300內(nèi)。從加熱器部103、104吹出的熱風的流量由風扇馬達的旋轉(zhuǎn)速度控制。通常，加熱器部104的溫度設定得比加熱器部103的溫度高。
[0144]在冷卻區(qū)域C中，冷卻部105配置在傳送帶102的上下各I個區(qū)域，同時在各冷卻部105設置有本發(fā)明的噴嘴裝置100。冷卻部105由冷卻機構(gòu)、風扇以及使風扇旋轉(zhuǎn)的風扇馬達等構(gòu)成，該冷卻機構(gòu)由未圖示的水冷管等構(gòu)成。
[0145]冷卻部105例如使水在水冷管的管內(nèi)流動以冷卻管，并使氣體與該管接觸以冷卻該氣體。而且，冷卻部105驅(qū)動風扇馬達而使風扇旋轉(zhuǎn)，并將由管冷卻的氣體作為冷風從噴嘴裝置100吹出到噴嘴裝置100內(nèi)，從而對軟釬焊過的印刷電路基板200進行冷卻。
[0146]另外，冷卻機構(gòu)可以構(gòu)成為省略水冷管而只利用風扇進行空冷的結(jié)構(gòu)。另外，預備加熱區(qū)域A和正式加熱區(qū)域B各自的區(qū)域數(shù)量、加熱器部103、104的加熱器數(shù)量、加熱器的上下配置并不限于本例，能夠適當?shù)馗淖儭?br>[0147]加熱器部103具有圖12所示那樣的箱體，在上下方向上被分為四室。該四室從上依次為鼓風室51、熱交換室52、熱風室53以及吸入室54。在鼓風室51的兩側(cè)具有隔壁511 ( —側(cè)未圖示)，該隔壁511的一端作為熱風送出用的開口部512。各個隔壁的開口部512位于分開的端部而不是位于相對的位置。在鼓風室51的中央放置有鼓風機55。在本例的情況下，該鼓風機55使用渦輪風扇，利用配置在外部的馬達56驅(qū)動而旋轉(zhuǎn)。
[0148]在熱交換室52的兩側(cè)形成有流路504、504，另外，在熱交換室52的內(nèi)部配置有加熱源57。在加熱源57中配置有未圖示的多個電加熱器。對于加熱源57而言，向電加熱器供給電源來加熱該電加熱器，并且通過使氣體經(jīng)過該電加熱器而對該氣體進行加熱。
[0149]在將熱交換室52和鼓風室51隔開的分隔板501上貫穿設置有吸入孔502。吸入孔502位于鼓風機55的正下方，并且開口為其直徑比鼓風機55的渦輪風扇的直徑稍小。
[0150]熱風室53借助上述的流路504、504與鼓風室51的開口部512相連通，熱風從鼓風室51被送入熱風室53。在熱風室53和吸入室54之間配設有兼用于分隔的噴嘴裝置100，吸入室54利用流路503與熱交換室52相連通。另外，吸入室54的下方成為噴嘴罩3的加熱面。
[0151]如圖2A所示，噴嘴裝置100豎立設置有多個鋸齒狀的吹出噴嘴2，因此，熱風室53的熱風如同一附圖的虛線箭頭所示那樣朝向下方吹出。即、噴嘴裝置100與鼓風機55的吹出側(cè)相連通。噴嘴裝置100安裝于上部的熱風室53。
[0152]在多個噴嘴裝置100沿著輸送方向縱向連續(xù)地排列時，出現(xiàn)噴嘴圖案Pl和噴嘴圖案P2交替地交錯而成的鋸齒狀的配置圖案。而且，在各個噴嘴裝置100中具有噴嘴罩3 (參照圖