一種六自由度線纜拖動(dòng)裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及光刻設(shè)備領(lǐng)域，尤其涉及一種六自由度線纜拖動(dòng)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002] 在光刻裝置中，利用磁浮平面電機(jī)作為運(yùn)動(dòng)臺(tái)的結(jié)構(gòu)，目前主要分為兩種類型；動(dòng) 磁鐵式和動(dòng)線圈式。不論對(duì)于哪種形式的磁浮平面電機(jī)，都有連接動(dòng)子結(jié)構(gòu)的線纜，具體 地，所述磁浮平面電機(jī)包括磁浮平面電機(jī)動(dòng)子、磁浮平面電機(jī)定子W及線纜，所述線纜的一 端通過(guò)連接件與所述磁浮平面電機(jī)動(dòng)子固接，當(dāng)磁浮平面電機(jī)運(yùn)動(dòng)時(shí)，送些線纜會(huì)給磁浮 平面電機(jī)動(dòng)子的控制帶來(lái)一定的推力干擾，為了減小送一部分干擾，需要配合磁浮平面電 機(jī)，加入一個(gè)線纜拖動(dòng)裝置，使線纜與磁浮平面電機(jī)動(dòng)子做同步跟隨運(yùn)動(dòng)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003] 本發(fā)明提供一種六自由度線纜拖動(dòng)裝置，W實(shí)現(xiàn)線纜與磁浮或者氣浮平面電機(jī)動(dòng) 子做同步跟隨運(yùn)動(dòng)。
[0004] 為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明提供一種六自由度線纜拖動(dòng)裝置，與磁浮或者氣浮 平面電機(jī)同步運(yùn)動(dòng)，包括X向電機(jī)、Y向電機(jī)W及用于連接所述X向電機(jī)和所述Y向電機(jī)的 連接機(jī)構(gòu)，
[0005] 所述連接機(jī)構(gòu)的一端延伸至磁浮或者氣浮平面電機(jī)定子的底部，另一端延伸至所 述磁浮或者氣浮平面電機(jī)定子的上方。
[0006] 較佳地，所述X向電機(jī)包括X向電機(jī)定子線圈、X向電機(jī)動(dòng)子磁鐵W及X向電機(jī)動(dòng) 子導(dǎo)軌，所述X向電機(jī)定子線圈與所述X向電機(jī)動(dòng)子導(dǎo)軌均沿X方向固定于所述連接機(jī)構(gòu) 上，所述X向電機(jī)動(dòng)子磁鐵限位于所述X向電機(jī)動(dòng)子導(dǎo)軌內(nèi)，并與所述線纜一頭和磁浮或者 氣浮平面電機(jī)動(dòng)子的連接端固接。
[0007] 較佳地，所述Y向電機(jī)包括Y向電機(jī)動(dòng)子線圈和Y向電機(jī)定子磁鋼，所述Y向電機(jī) 定子磁鋼固定于所述磁浮或者氣浮平面電機(jī)定子的底部，所述Y向電機(jī)動(dòng)子線圈與所述連 接機(jī)構(gòu)固接，并能夠在所述Y向電機(jī)定子磁鋼上沿Y方向運(yùn)動(dòng)，所述線纜另一頭與所述Y向 電機(jī)動(dòng)子線圈連接端固接。
[0008] 較佳地，所述X向電機(jī)動(dòng)子磁鐵包括第一連接件、兩組第一磁鋼陣列W及兩組第 一背鐵，所述兩組第一磁鋼陣列分設(shè)于所述X向電機(jī)定子線圈的兩側(cè)，每個(gè)第一磁鋼陣列 遠(yuǎn)離X向電機(jī)定子線圈的一側(cè)固定有一個(gè)第一背鐵，所述第一連接件將所述的兩組第一磁 鋼陣列W及兩組第一背鐵固定形成一個(gè)U型塊，所述U型塊的開(kāi)口處固定連接有向外翻折 的導(dǎo)軌滑塊，所述導(dǎo)軌滑塊限位于所述X向電機(jī)動(dòng)子導(dǎo)軌相對(duì)應(yīng)的凹槽內(nèi)。
[0009] 較佳地，所述X向電機(jī)定子線圈和Y向電機(jī)動(dòng)子線圈均采用PCB板式線圈。
[0010] 較佳地，所述PCB板式線圈包括外部線圈板，所述外部線圈板內(nèi)設(shè)有依次排列的 方形線圈。
[0011] 較佳地，所述外部線圈板上設(shè)有若干層間連接孔，每個(gè)層間連接孔對(duì)應(yīng)所述方形 線圈的一層導(dǎo)線；所述外部線圈板上還設(shè)有若干H相線圈引接線孔，引入H相電流。
[0012] 較佳地，所述X向電機(jī)動(dòng)子磁鐵的陣列排列方式為主磁極磁鐵N、主磁極磁鐵Hl、 主磁極磁鐵S、主磁極磁鐵肥，依次循環(huán)。
[0013] 較佳地，所述X向電機(jī)動(dòng)子磁鐵組成的陣列的總寬度Ws> 3XWi，所述Wi為相鄰的 兩個(gè)方形線圈中必線的間距。
[0014] 較佳地，所述Y向電機(jī)定子磁鋼包括第二背鐵、設(shè)于所述第二背鐵上的X向磁鋼陣 列和兩組YZ向磁鋼陣列，所述兩組YZ向磁鋼陣列分設(shè)于所述X向磁鋼陣列的兩側(cè)。
[0015] 較佳地，所述YZ向磁鋼陣列的排列方式為磁鐵N、磁鐵H1、磁鐵S、磁鐵肥，依次循 環(huán)；所述X向磁鋼陣列的排列方式為磁鐵N、磁鐵H、磁鐵S。
[0016] 較佳地，所述Y向電機(jī)動(dòng)子線圈包括四個(gè)YZ向發(fā)力體和一個(gè)X向發(fā)力體，兩個(gè)所 述YZ向發(fā)力體與一個(gè)所述YZ向磁鋼陣列的位置相對(duì)應(yīng)，另外兩個(gè)所述YZ向發(fā)力體與另一 個(gè)所述YZ向磁鋼陣列的位置相對(duì)應(yīng)，所述X向發(fā)力體與所述X向磁鋼陣列的位置相對(duì)應(yīng)。
[0017] 較佳地，每個(gè)所述YZ向發(fā)力體包括H個(gè)方形線圈，每個(gè)所述方形線圈有兩個(gè)出線 端，所述出線端一端通過(guò)所述層間連接孔與另外兩個(gè)所述方形線圈短接，所述出線端另一 端接至H相線圈引接線孔，接H相電流中的一相。
[001引較佳地，所述四個(gè)YZ向發(fā)力體滿足如下關(guān)系式；Wi=St/3,Wz= (n+1/2)T，其 中，Wi為每個(gè)YZ向發(fā)力體中相鄰兩個(gè)方形線圈中必線的間距；Wz為處于同一YZ向磁鋼陣 列上的兩個(gè)YZ向發(fā)力體中必線之間的間距；T為YZ向磁鋼陣列中磁鐵N和磁鐵S之間的 間距，n為大于等于5的正整數(shù)。（實(shí)施例一）
[0019] 較佳地，所述X向發(fā)力體接直流電，四個(gè)所述YZ向發(fā)力體均接U、V、WH相交流電， 且U、WH相交流電正接，V相交流電反接。
[0020]較佳地，所述四個(gè)YZ向發(fā)力體滿足如下關(guān)系式；Wi= 4t/3,Wz= (n+1/2)T，其 中，Wi為每個(gè)YZ向發(fā)力體中相鄰兩個(gè)方形線圈中必線的間距；Wz為處于同一YZ向磁鋼陣 列上的兩個(gè)YZ向發(fā)力體中必線之間的間距；T為YZ向磁鋼陣列中磁鐵N和磁鐵S之間的 間距，n為大于等于4的正整數(shù)。（實(shí)施例二）
[0021] 較佳地，所述X向發(fā)力體接直流電，四個(gè)所述YZ向發(fā)力體均接U、V、WH相交流電， 且H相交流電均正接。
[0022] 與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明提供的六自由度線纜拖動(dòng)裝置，與磁浮或者氣浮平面電 機(jī)同步運(yùn)動(dòng)，包括X向電機(jī)、Y向電機(jī)W及用于連接X(jué)向電機(jī)和Y向電機(jī)的連接機(jī)構(gòu)，其中， 所述連接機(jī)構(gòu)的一端延伸至磁浮或者氣浮平面電機(jī)定子的底部，另一端延伸至所述磁浮或 者氣浮平面電機(jī)定子的上方；所述X向電機(jī)包括X向電機(jī)定子線圈、X向電機(jī)動(dòng)子磁鐵W及 X向電機(jī)動(dòng)子導(dǎo)軌，所述X向電機(jī)定子線圈與X向電機(jī)動(dòng)子導(dǎo)軌均沿X方向固定于所述連接 機(jī)構(gòu)上，所述X向電機(jī)動(dòng)子磁鐵限位于所述X向電機(jī)動(dòng)子導(dǎo)軌內(nèi)，并與線纜和磁浮或者氣浮 平面電機(jī)動(dòng)子的連接端固接；所述Y向電機(jī)包括Y向電機(jī)動(dòng)子線圈和Y向電機(jī)定子磁鋼，所 述Y向電機(jī)定子磁鋼固定于所述磁浮或者氣浮平面電機(jī)定子的底部，所述Y向電機(jī)動(dòng)子線 圈與所述連接機(jī)構(gòu)固接，并能夠在所述Y向電機(jī)定子磁鋼上沿Y方向運(yùn)動(dòng)，所述線纜與所述 Y向電機(jī)動(dòng)子線圈連接端固接。本發(fā)明利用X向電機(jī)拖動(dòng)線纜沿X向同步跟隨；Y向電機(jī)通 過(guò)連接機(jī)構(gòu)拖動(dòng)線纜沿Y向同步跟隨，從而實(shí)現(xiàn)線纜與磁浮或者氣浮平面電機(jī)動(dòng)子的同步 運(yùn)動(dòng)。
【附圖說(shuō)明】
[0023] 圖1為本發(fā)明一【具體實(shí)施方式】的六自由度線纜拖動(dòng)裝置與磁浮或者氣浮平面電 機(jī)安裝后的H維結(jié)構(gòu)圖（由上向下看）；
[0024] 圖2為本發(fā)明一【具體實(shí)施方式】的六自由度線纜拖動(dòng)裝置與磁浮或者氣浮平面電 機(jī)安裝后的H維結(jié)構(gòu)圖（由下向上看）；
[0025] 圖3為本發(fā)明一【具體實(shí)施方式】的六自由度線纜拖動(dòng)裝置的H維結(jié)構(gòu)圖；
[0026] 圖4為本發(fā)明一【具體實(shí)施方式】的六自由度線纜拖動(dòng)裝置中X向電機(jī)的H維結(jié)構(gòu) 圖；
[0027] 圖5為本發(fā)明一【具體實(shí)施方式】的六自由度線纜拖動(dòng)裝置中X向電機(jī)的局部外觀 圖；
[0028] 圖6為本發(fā)明一【具體實(shí)施方式】的六自由度線纜拖動(dòng)裝置中X向電機(jī)的電磁結(jié)構(gòu) 圖；
[0029] 圖7為本發(fā)明一【具體實(shí)施方式】的六自由度線纜拖動(dòng)裝置中X向電機(jī)的動(dòng)子磁鐵陣 列充磁方向示意圖；
[0030] 圖8為本發(fā)明一【具體實(shí)施方式】的六自由度線纜拖動(dòng)裝置中X向電機(jī)的控制方式說(shuō) 明示意圖；
[0031] 圖9為本發(fā)明一【具體實(shí)施方式】的六自由度線纜拖動(dòng)裝置中Y向電機(jī)的整體外觀 圖；