專利名稱：密封線性電機(jī)電樞及密封線性電機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及在半導(dǎo)體制造裝置、工作機(jī)的作業(yè)臺傳送中所用的， 并且要求使線性電機(jī)本體的溫度上升減小和長期絕緣可靠性的密封線 性電機(jī)電樞及密封線性電機(jī)。
背景技術(shù)：
圖7是本發(fā)明和現(xiàn)有技術(shù)共同的一般密封線性電機(jī)的整體透視 圖。在圖7中，1是動子，2是磁軛，3是永久磁鐵，4是磁軛支承部 件，5是定子，6是外殼，7是電樞繞組，8是制冷劑供給口， 9是制冷 劑排出口， IO是框體，20是外殼固定用的螺栓，12是收納導(dǎo)線的罩， 15是連接器。一方的動子1由平板狀的二個磁軛2、在各磁軛2的表面上安裝 的永久磁鐵3和在二個磁軛2間插入且全部共計4個的磁軛支承部件4 構(gòu)成，具有兩端開口的中空空間部。并且，上述永久磁鐵3是在磁軛2 上面以極性交替不同的方式挨著排列配置多個磁鐵而成的東西。另外， 動子1由采用了未圖示的滑塊和導(dǎo)軌所組成的滾珠件(求一/K)的線性引 導(dǎo)件或靜壓軸承引導(dǎo)件等來支承。還有，構(gòu)成另一方的定子5的密封線性電機(jī)電樞由內(nèi)部為中空的 具有框緣狀的金屬制的框體10、為封閉該框體10的兩開口部而取框體 10的外形的外殼6、用于把該外殼6固定于框體10的螺栓20、和在框 體10的中空內(nèi)配置的3相電樞繞組7構(gòu)成。另外，電樞繞組7是對多 個成形線圈的線圈群施以鑄型而單元化了的東西，以下具體敘述現(xiàn)有 例。還有，電樞繞組7在現(xiàn)有例中用符號72而在本發(fā)明中用符號71 區(qū)別表示。其次，用圖4 圖6來說明密封線性電機(jī)電樞的具體構(gòu)造。圖4 是沿著圖7的A — A線的現(xiàn)有密封線性電機(jī)電樞的側(cè)剖視圖，圖5是圖 4所示的現(xiàn)有電樞繞組部的側(cè)剖視圖。圖6是圖4所示的現(xiàn)有連接器部 的側(cè)剖視圖。首先，在圖5中說明現(xiàn)有電樞繞組部72。在用于與電樞外部作為電源線或信號線進(jìn)行連接的接線基板72a 上面，焊接并固定配置按平板狀成形的多個成形線圈72c，用樹脂制的 框架72b及樹脂制的罩72d覆蓋其周圍。在由它們圍著的成形線圈72c 周邊的空隙部，為了提高成形線圈72c對制冷劑的絕緣可靠性，用鑄型 21或嵌鑄樹脂(未圖示)進(jìn)行澆鑄。其次，在圖6中說明現(xiàn)有連接器。在用于從接線基板72a向電樞外部連接電源線或信號線的不透氣 密封件15a上，焊接了從接線基板72a引出的導(dǎo)線15c，為了提高成形 線圈72c對制冷劑的絕緣可靠性，用高粘度樹脂15b澆鑄其接線部位 15d。在圖4中說明采用了上述電樞繞組部72和連接器15的電樞的組裝。在主框架11上，用未圖示的螺釘?shù)裙潭姌欣@組部72，并且通過 激光熔接來固定連接器15。在電樞繞組部72的接線部位72e和連接器 15的接線部位15d周邊的空隙部，為了提高成形線圈72c對制冷劑的 絕緣可靠性，填充高粘度樹脂19。并且，在電樞繞組部72的接線部位 72e用粘接劑等固定第1罩13，并在連接器15的接線部位15d通過激 光熔接來固定第2罩12。夾裝用于防止制冷劑泄漏到外部的O環(huán)16， 在能確保用于使制冷劑在電樞繞組部72的表面和背面流動的制冷劑通路17的位置，固定外殼6。在這樣構(gòu)成的密封線性電機(jī)電樞中，使與電相對位置相應(yīng)的3相 交流電流在成形線圈72c中流動，從而與未圖示的永久磁鐵所形成的磁 場發(fā)生作用而對未圖示的動子產(chǎn)生推力。此時由于銅損而發(fā)熱的成形 線圈72c由在制冷劑通路17中流動的制冷劑來冷卻，因而能抑制外殼 6表面的溫度上升(例如，參照專利文獻(xiàn)1 3)。專利文獻(xiàn)l:專利第3592292號 專利文獻(xiàn)2:特開2003—224961 專利文獻(xiàn)3:特開2004 — 312877發(fā)明內(nèi)容發(fā)明打算解決的課題 現(xiàn)有密封線性電機(jī)電樞存在以下問題。(1) 在電樞繞組部72中，是用粘接劑等把樹脂制框架72b及樹脂制 罩72d固定于接線基板72a，在成形線圈72c的周邊確?？障恫?，用鑄 型或嵌鑄樹脂澆鑄該空隙部，但樹脂制框架72b和樹脂制罩72d的粘 接固定時的定位作業(yè)很困難，還有，樹脂制框架72b和樹脂制罩72d 的構(gòu)成零件間的界面會導(dǎo)致絕緣劣化、絕緣破壞。(2) 在連接器15中，是用高粘度樹脂15b澆鑄不透氣密封件15a 的接線部位15d，但因為使用的樹脂是高粘度的，所以澆鑄時的作業(yè)性 差，多會帶入氣泡等，因此會導(dǎo)致絕緣劣化、絕緣破壞。(3) 用高粘度樹脂19填充了電樞繞組部72的接線部位72e和連接 器15的接線部位15d周邊的空隙部，但因為使用的樹脂是高粘度的， 所以填充時的作業(yè)性差，多會帶入氣泡等，因此會導(dǎo)致絕緣劣化、絕
緣破壞。本發(fā)明是鑒于這樣的問題點而提出的，目的是提供能減少電樞繞 組部的構(gòu)成部件的零件數(shù)量，從而減少界面，并且提高澆鑄及填充的 作業(yè)性，不會帶入氣泡等，能確實進(jìn)行澆鑄及填充，并且電樞繞組對 制冷劑的長期絕緣可靠性的高的密封線性電機(jī)電樞及密封線性電機(jī)。用于解決課題的方案為了解決上述問題，本發(fā)明構(gòu)成如下。權(quán)利要求1的發(fā)明是一種密封線性電機(jī)電樞，具備由按平板狀 成形的多個成形線圈所組成的線圈群構(gòu)成的電樞繞組；以框緣狀地圍 著上述電樞繞組的方式設(shè)置的金屬制的框體；以及封閉上述框體的兩 開口部的外殼，由接線基板和樹脂制的浴盆形狀的框架夾入上述線圈 群并且用鑄型或嵌鑄樹脂澆鑄而成。還有，權(quán)利要求2的發(fā)明是權(quán)利要求1所述的密封線性電機(jī)電樞， 用作業(yè)溫度時的粘度二30Pa's以下，可使用時間=0.1 24小時，彈性率 =3，000MPa以下的鑄型或嵌鑄樹脂對用于從上述密封線性電機(jī)電樞向 該電樞外部連接電源線或信號線的連接器的接線部位進(jìn)行澆鑄而成。還有，權(quán)利要求3的發(fā)明是權(quán)利要求1所述的密封線性電機(jī)電樞， 用作業(yè)溫度時的粘度30Pa's以下，可使用時間=0.1 24小時，彈性率 =3，000MPa以下的鑄型或嵌鑄樹脂對用于從上述接線基板向該接線基 板外部連接電源線或信號線的接線部位進(jìn)行填充而成。還有，權(quán)利要求4的發(fā)明涉及密封線性電機(jī)，具備權(quán)利要求1 權(quán)利要求3中任意一項所述的密封線性電機(jī)電樞；以及與上述電樞夾 介磁隙而對著配置并且挨著排列配置極性交替不同的多個永久磁鐵而 成的磁軛，把上述電樞和上述磁軛中的任意一方作為定子，把另一方
作為動子，使上述磁軛和上述電樞相對運(yùn)動。 發(fā)明效果根據(jù)權(quán)利要求1所述的發(fā)明，由接線基板和樹脂制的浴盆形狀的 框架夾入線圈群，用鑄型或嵌鑄樹脂進(jìn)行澆鑄，所以能減少構(gòu)成部件 的零件數(shù)量，從而減少界面，并且提高澆鑄的作業(yè)性，所以能提高電 樞繞組對制冷劑的絕緣可靠性。根據(jù)權(quán)利要求2所述的發(fā)明，用作業(yè)溫度時的粘度二30Pa.s以下， 可使用時間=0.1 24小時，彈性率-3,000MPa以下的鑄型或嵌鑄樹脂 對用于從密封線性電機(jī)電樞向電樞外部連接電源線或信號線的連接器 的接線部位進(jìn)行澆鑄，所以能采用低粘度的樹脂來提高澆鑄的作業(yè)性， 不會帶入氣泡等，能確實進(jìn)行澆鑄，能提高電樞繞組對制冷劑的絕緣 可靠性。根據(jù)權(quán)利要求3所述的發(fā)明，用作業(yè)溫度時的粘度二30Pa.s以下， 可使用時間=0.1 24小時，彈性率4，000MPa以下的鑄型或嵌鑄樹脂 對用于從接線基板向接線基板外部連接電源線或信號線的接線部位進(jìn) 行填充，所以能采用低粘度的樹脂來提高填充的作業(yè)性，不會帶入氣 泡等，能確實進(jìn)行填充，能提高電樞繞組對制冷劑的絕緣可靠性。根據(jù)權(quán)利要求4所述的發(fā)明，電樞繞組對制冷劑的耐絕緣性高， 能使用冷卻能力高的水作為制冷劑，并且能通過對著配置電樞和勵磁 來獲得可靠性的高的密封線性電機(jī)。


圖1是表示本發(fā)明的實施例的密封線性電機(jī)電樞，是相當(dāng)于沿著 圖7的A — A線的側(cè)剖視圖的圖。圖2是圖1所示的本發(fā)明的電樞繞組部的側(cè)剖視圖。 圖3是圖1所示的本發(fā)明的連接器部的側(cè)剖視圖。
圖4是沿著圖7的A — A線的密封線性電機(jī)電樞的側(cè)剖視圖。圖5是圖4所示的現(xiàn)有電樞繞組部的側(cè)剖視圖。圖6是圖4所示的現(xiàn)有連接器部的側(cè)剖視圖。圖7是本發(fā)明和現(xiàn)有技術(shù)共同的一般密封線性電機(jī)的整體透視符號說明 1動子2 磁軛3 永久磁鐵4 磁軛支承部件 5定子6 外殼7 電樞繞組71電樞繞組(本發(fā)明)71a接線基板71b 框架71c 成形線圈71e接線部位72電樞繞組(現(xiàn)有例)72a接線基板72b 框架72c成形線圈72d 罩72e接線部位8制冷劑供給口9制冷劑排出口10 框體11主框架12 第2罩 13第1罩14連接器14a不透氣密封件14b低粘度樹脂14c導(dǎo)線14d接線部位15連接器15a不透氣密封件15b高粘度樹脂15c導(dǎo)線15d接線部位16O環(huán)17制冷劑通路18低粘度樹脂19高粘度樹脂20螺栓具體實施方式
以下參照附圖來說明本發(fā)明的實施方式。實施例1圖1是表示本發(fā)明的實施例的密封線性電機(jī)電樞，相當(dāng)于沿著圖7的A—A線的側(cè)剖視圖。圖2是圖1所示的本發(fā)明的電樞繞組部的側(cè) 剖視圖，圖3是圖1所示的本發(fā)明的連接器部的側(cè)剖視圖，本發(fā)明的 特征如下。首先，說明本發(fā)明的電樞繞組部71。在圖2中，在用于與電樞外部作為電源線或信號線進(jìn)行連接的接 線基板71a上面，焊接并固定配置按平板狀成形的多個成形線圈71c， 用只是接線基板71a面?zhèn)乳_放的浴盆形狀的樹脂制的框架71b覆蓋其周 圍。在由該接線基板71a和浴盆形狀的樹脂制框架71b圍著的成形線圈 71c周邊的空隙部，為了提高成形線圈71c對制冷劑的絕緣可靠性，用 鑄型21或嵌鑄樹脂(未圖示)進(jìn)行澆鑄。例如，用環(huán)氧樹脂進(jìn)行真空澆 鑄，把空隙部完全置換成環(huán)氧樹脂。能通過減少構(gòu)成部件的零件數(shù)量 來減少界面，并且能提高澆鑄的作業(yè)性，所以能提高電樞繞組對制冷 劑的絕緣可靠性。其次，說明本發(fā)明的連接器部。在圖3中，在用于從接線基板71a向電樞外部連接電源線或信號 線的不透氣密封件14a上，焊接了從接線基板71a引出的導(dǎo)線14c，為 了提高成形線圈71c對制冷劑的絕緣可靠性，用鑄型或嵌鑄樹脂，特別 是低粘度樹脂14b澆鑄其接線部位14d。例如，用作業(yè)溫度時的粘度為 30Pa's以下，可使用時間為0.1 24小時，彈性率為3，000MPa以下的 硅酮進(jìn)行澆鑄。采用低粘度的樹脂能提高澆鑄的作業(yè)性，不會帶入氣 泡等，能確實地進(jìn)行澆鑄，能提高電樞繞組對制冷劑的絕緣可靠性。在圖1中，說明采用了上述電樞繞組部71和連接器14的電樞的 組裝。在主框架11上用未圖示的螺釘?shù)裙潭姌欣@組部71，并通過激光 熔接來固定連接器14。在電樞繞組部71的接線部位71e和連接器14 的接線部位14d周邊的空隙部，為了提高成形線圈71c對制冷劑的絕緣 可靠性，填充了低粘度樹脂18。例如，用作業(yè)溫度時的粘度為30Pa-s 以下，可使用時間為0.1 24小時，彈性率為3,000MPa以下的硅酮進(jìn) 行澆鑄。采用低粘度的樹脂能提高澆鑄的作業(yè)性，不會帶入氣泡等， 能確實地進(jìn)行填充，能提高電樞繞組對制冷劑的絕緣可靠性。在電樞 繞組部71的接線部位71e用粘接劑等固定第1罩13，并在連接器14 的接線部位14d通過激光熔接來固定第2罩12。可以從第1罩13上設(shè)
置的單一或多個孔來確認(rèn)低粘度樹脂18確實填充于制冷劑不通過的密 封線性電機(jī)電樞內(nèi)的空隙部，能提高電樞繞組對制冷劑的絕緣可靠性。夾裝用于防止制冷劑泄漏到外部的O環(huán)16，在能確保用于使制冷 劑在電樞繞組部7的表面和背面流動的制冷劑通路17的位置，固定外 殼6。在這樣構(gòu)成的密封線性電機(jī)電樞中，使與電相對位置相應(yīng)的3相 交流電流在成形線圈71c中流動，從而與未圖示的永久磁鐵所形成的磁 場發(fā)生作用而對未圖示的動子產(chǎn)生推力。此時由于銅損而發(fā)熱的成形 線圈71c由在制冷劑通路10中流動的制冷劑來冷卻，因而能抑制外殼 6表面的溫度上升。
權(quán)利要求
1.一種密封線性電機(jī)電樞，具備由按平板狀成形的多個成形線圈所組成的線圈群構(gòu)成的電樞繞組；以框緣狀地圍著上述電樞繞組的方式設(shè)置的金屬制的框體；以及封閉上述框體的兩開口部的外殼，其特征在于，由接線基板和樹脂制的浴盆形狀的框架夾入上述線圈群并且用鑄型或嵌鑄樹脂澆鑄而成。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的密封線性電機(jī)電樞，其特征在于，用作 業(yè)溫度時的粘度二30Pa's以下，可使用時間=0.1 24小時，彈性率 =3,000MPa以下的鑄型或嵌鑄樹脂對用于從上述密封線性電機(jī)電樞向 該電樞外部連接電源線或信號線的連接器的接線部位進(jìn)行澆鑄而成。
3. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的密封線性電機(jī)電樞，其特征在于，用作 業(yè)溫度時的粘度二30Pa's以下，可使用時間=0.1 24小時，彈性率 =3，000MPa以下的鑄型或嵌鑄樹脂對用于從上述接線基板向該接線基 板外部連接電源線或信號線的接線部位進(jìn)行填充而成。
4. 一種密封線性電機(jī)，其特征在于，具備權(quán)利要求1 權(quán)利要 求3中任意一項所述的密封線性電機(jī)電樞；以及與上述電樞夾介磁隙 而對著配置并且挨著排列配置極性交替不同的多個永久磁鐵而成的磁 軛，把上述電樞和上述磁軛中的任意一方作為定子，把另一方作為動 子，使上述磁軛和上述電樞相對運(yùn)動。
全文摘要
本發(fā)明提供一種能減少電樞繞組部的構(gòu)成部件的零件數(shù)量，從而減少界面，采用低粘度樹脂來提高澆鑄及填充的作業(yè)性，不會帶入氣泡等，能確實進(jìn)行澆鑄及填充，并且電樞繞組對制冷劑的長期絕緣可靠性的高的密封線性電機(jī)電樞及密封線性電機(jī)。在密封線性電機(jī)電樞中，由接線基板(71a)和樹脂制的浴盆形狀的框架(71b)夾入由多個成形線圈(71c)組成線圈群，進(jìn)行樹脂澆鑄而成，并且是用作業(yè)溫度時的粘度為30Pa·s以下，可使用時間為0.1～24小時，彈性率為3,000MPa以下的樹脂對接線部位(71e)進(jìn)行澆鑄或填充而成。
文檔編號H02K41/02GK101156302SQ20068001190
公開日2008年4月2日 申請日期2006年3月24日 優(yōu)先權(quán)日2005年4月12日
發(fā)明者松崎光洋, 浜尾聰和, 貞包健一 申請人:株式會社安川電機(jī)