一種掩膜盛放盒的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種掩膜盛放盒。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體晶片制作工藝過(guò)程中，固定晶片鍍膜需要用到掩膜，因此掩膜是必不可少的工具，并且需要的數(shù)量很大，一般是將掩膜放置在盛放盒中收納、存放?，F(xiàn)有的盛放盒為頂部開(kāi)口設(shè)置的塑料盒體，使用時(shí)直接將若干個(gè)掩膜并排放置在塑料盒體內(nèi)，現(xiàn)有的盛放盒雖然能起到歸集、收納掩膜的作用，但是具有以下缺點(diǎn):一、在盛放掩膜時(shí)，掩膜易刮下盒體的塑料顆粒，刮下的塑料顆粒掉到盒體內(nèi)，會(huì)污染放置在盒體內(nèi)的其它掩膜，從而間接對(duì)晶片造成污染，造成晶片電性不良，影響晶片整體良率以及產(chǎn)品品質(zhì)；二、在使用過(guò)程中，掩膜很容易沾上銀肩等的污染物，粘附于掩膜上的污染物很難自動(dòng)掉落，即使掉落到盒體內(nèi)也會(huì)對(duì)其它掩膜造成污染，從而間接對(duì)晶片造成污染。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型提供了一種掩膜盛放盒，它結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理，使用方便，能夠清理粘附于掩膜上的污染物，并且使污染物與掩膜分開(kāi)，不會(huì)使污染物再次影響其它掩膜，解決了現(xiàn)有技術(shù)中存在的問(wèn)題。
[0004]本實(shí)用新型為解決上述技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是:它包括盒體，盒體的左右兩端開(kāi)口設(shè)置，在盒體內(nèi)設(shè)有板體，在板體上設(shè)有一組第一網(wǎng)孔，在板體上設(shè)有存放盒，在存放盒底部設(shè)有一組第二網(wǎng)孔，板體的第一網(wǎng)孔與存放盒的第二網(wǎng)孔相對(duì)應(yīng)設(shè)置，在板體下方的盒體內(nèi)設(shè)有集灰盒，集灰盒的頂部開(kāi)口設(shè)置，在盒體側(cè)壁內(nèi)設(shè)有第一進(jìn)氣通道，在盒體頂部設(shè)有與第一進(jìn)氣通道相連通的進(jìn)氣腔，在盒體內(nèi)頂部設(shè)有一組與進(jìn)氣腔相連通的出氣口，在盒體底部設(shè)有與第一進(jìn)氣通道相連通的第一進(jìn)氣口。
[0005]所述存放盒的底部間隔設(shè)有一組卡槽，在每個(gè)卡槽的槽底設(shè)有第二網(wǎng)孔。
[0006]在每個(gè)卡槽的側(cè)壁設(shè)有一組第三網(wǎng)孔。
[0007]在盒體側(cè)壁內(nèi)設(shè)有與進(jìn)氣腔相連通的第二進(jìn)氣通道，在盒體底部設(shè)有與第二進(jìn)氣通道相連通的第二進(jìn)氣口。
[0008]第一進(jìn)氣通道與第二進(jìn)氣通道分別位于盒體相對(duì)應(yīng)兩側(cè)壁的外端。
[0009]在盒體底部設(shè)有壓縮空氣存儲(chǔ)裝置，在壓縮空氣存儲(chǔ)裝置頂部設(shè)有與第一進(jìn)氣口相配合的出氣連接口，出氣連接口與第一進(jìn)氣口的位置相對(duì)應(yīng)。
[0010]在存放盒相對(duì)應(yīng)的兩端部分別設(shè)有第一把手。
[0011]在集灰盒相對(duì)應(yīng)的兩端部分別設(shè)有第二把手。
[0012]本實(shí)用新型采用上述方案，具有以下優(yōu)點(diǎn):
[0013]1、使用時(shí)，將一定數(shù)量的掩膜放置在存放盒內(nèi)，掩膜上的污染物能夠通過(guò)存放盒底部的第二網(wǎng)孔、板體的第一網(wǎng)孔篩濾，最后通過(guò)集灰盒收集起來(lái)，從而保證了產(chǎn)品的質(zhì)量。
[0014]2、使用時(shí)，將盒體底部的第一進(jìn)氣口與壓縮空氣氣源相連，壓縮空氣通過(guò)第一進(jìn)氣口、第一進(jìn)氣通道、進(jìn)氣腔、出氣口排出，不斷沖入盒體內(nèi)，把粘附于掩膜上的污染物吹掉，掉落的污染物通過(guò)存放盒底部的第二網(wǎng)孔、板體的第一網(wǎng)孔篩濾，最后通過(guò)集灰盒收集起來(lái)，使污染物與掩膜分開(kāi)，不會(huì)使污染物再次影響其它掩膜。另外，由于盒體并非密封設(shè)置，壓縮空氣不斷通過(guò)出氣口進(jìn)入到盒體內(nèi)，再?gòu)暮畜w排出，避免了盒體外部的污染物進(jìn)入到盒體內(nèi)將掩膜污染的情況發(fā)生。
[0015]3、存放盒的底部間隔設(shè)有一組卡槽，在每個(gè)卡槽的槽底設(shè)有第二網(wǎng)孔。使用時(shí)，將每個(gè)掩膜放置在一個(gè)卡槽內(nèi)，避免了掩膜之間的相互碰撞、摩擦而造成掩膜的損壞，并且盡量減少了粘附于掩膜上的污染物影響其它掩膜。另外，這種結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)還有利于掩膜的拿取。
[0016]4、在每個(gè)卡槽的側(cè)壁設(shè)有一組第三網(wǎng)孔。這種結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)能夠盡量減少掉落的污染物藏匿于存放盒的死角處，從而使污染物盡快通過(guò)第三網(wǎng)孔、存放盒底部的第二網(wǎng)孔、板體的第一網(wǎng)孔篩濾，最后通過(guò)集灰盒收集起來(lái)。
[0017]5、在盒體側(cè)壁內(nèi)設(shè)有與進(jìn)氣腔相連通的第二進(jìn)氣通道，在盒體底部設(shè)有與第二進(jìn)氣通道相連通的第二進(jìn)氣口，這種結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)能夠使壓縮空氣盡快的通過(guò)出氣口排出。
[0018]6、為了使每個(gè)出氣口能夠均勻的排出壓縮空氣，第一進(jìn)氣通道與第二進(jìn)氣通道分別位于盒體相對(duì)應(yīng)兩側(cè)壁的外端。
[0019]7、在盒體底部設(shè)有壓縮空氣存儲(chǔ)裝置，在壓縮空氣存儲(chǔ)裝置頂部設(shè)有與第一進(jìn)氣口相配合的出氣連接口，出氣連接口與第一進(jìn)氣口的位置相對(duì)應(yīng)。這種結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)將盒體底部的第一進(jìn)氣口與壓縮空氣存儲(chǔ)裝置的出氣連接口相連，使壓縮空氣通過(guò)出氣連接口、第一進(jìn)氣口、第一進(jìn)氣通道、進(jìn)氣腔、出氣口進(jìn)入到盒體內(nèi)。
[0020]8、在存放盒相對(duì)應(yīng)的兩端部分別設(shè)有第一把手，便于將存放盒從盒體的左端或右端拉進(jìn)或拉出，從而有利于掩膜的存取。
[0021]9、在集灰盒相對(duì)應(yīng)的兩端部分別設(shè)有第二把手，便于將集灰盒從盒體的左端或右端拉進(jìn)或拉出，從而有利于集灰盒的清理。
【附圖說(shuō)明】
[0022]圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例1的剖視結(jié)構(gòu)示意圖。
[0023]圖2為圖1中A—A向剖視結(jié)構(gòu)示意圖。
[0024]圖3為圖1的仰視結(jié)構(gòu)示意圖。
[0025]圖4為圖1中存放盒的俯視結(jié)構(gòu)示意圖。
[0026]圖5為本實(shí)用新型實(shí)施例2的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0027]圖6為壓縮空氣存儲(chǔ)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0028]圖中，1、盒體，2、板體，3、第一網(wǎng)孔，4、存放盒，5、第二網(wǎng)孔，6、集灰盒，7、第一進(jìn)氣通道，8、進(jìn)氣腔，9、出氣口，10、第一進(jìn)氣口，11、卡槽，12、第三網(wǎng)孔，13、第二進(jìn)氣口，14、壓縮空氣存儲(chǔ)裝置，15、出氣連接口，16、第一把手，17、第二把手。
【具體實(shí)施方式】
[0029]為能清楚說(shuō)明本方案的技術(shù)特點(diǎn)，下面通過(guò)【具體實(shí)施方式】，并結(jié)合其附圖，對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)闡述。
[0030]實(shí)施例1
[0031]如圖1?圖4所示，本實(shí)用新型包括盒體1，盒體I的左右兩端開(kāi)口設(shè)置，在盒體I內(nèi)設(shè)有板體2，在板體2上設(shè)有一組第一網(wǎng)孔3。在板體2上設(shè)有存放盒4，存放盒4的底部間隔設(shè)有一組卡槽11，在每個(gè)卡槽11的槽底設(shè)有第二網(wǎng)孔5，板體2的第一網(wǎng)孔3與存放盒4的第二網(wǎng)孔5相對(duì)應(yīng)設(shè)置，在每個(gè)卡槽11的側(cè)壁設(shè)有一組第三網(wǎng)孔12。在板體2下方