一種金屬陰極結(jié)構(gòu)的考夫曼離子源的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種離子源，特別涉及一種金屬陰極結(jié)構(gòu)的考夫曼離子源。
【背景技術(shù)】
[0002]離子束薄膜沉積和離子束材料改性技術(shù)是材料科學(xué)的一個(gè)重要分支，離子束技術(shù)的研宄和推廣取得了巨大的成就。目前，離子源的種類很多，Kaufman(考夫曼)離子源是使用較為廣泛的對(duì)薄膜進(jìn)行離子束轟擊的裝置，該裝置的基本工作原理為:首先由陰極在離子源內(nèi)腔產(chǎn)生等離子體，然后由兩層或三層陽(yáng)極柵格將離子從等離子腔體中抽取出來(lái)，這種離子源產(chǎn)生的離子方向性強(qiáng)，離子能量帶寬集中，可廣泛應(yīng)用于真空鍍膜中。
[0003]常規(guī)的考夫曼離子源的電子由陰極燈絲發(fā)射，發(fā)射的電子由桶裝陽(yáng)極板面吸引，發(fā)射的電子與惰性氣體混合形成離子流。此結(jié)構(gòu)的缺陷是燈絲易斷，需要經(jīng)常更換燈絲陰極。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]本實(shí)用新型解決上述技術(shù)缺陷，設(shè)計(jì)一種金屬陰極結(jié)構(gòu)的考夫曼離子源。
[0005]一種金屬陰極結(jié)構(gòu)的考夫曼離子源，包括進(jìn)氣孔、陽(yáng)極和陰極，其特征在于:所述陰極呈空心桶結(jié)構(gòu)，裝置的陽(yáng)極位于桶裝結(jié)構(gòu)的中心位置。
[0006]所述裝置的陰極為金屬網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)。
[0007]本實(shí)用新型有益效果:經(jīng)過(guò)改進(jìn)結(jié)構(gòu)的新型離子源，易斷的燈絲陰極，替換為金屬網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，提高了陰極的使用壽命。
【附圖說(shuō)明】
[0008]圖1為考夫曼離子源改進(jìn)結(jié)構(gòu)
【具體實(shí)施方式】
[0009]如圖1所示，惰性氣體由考夫曼離子源的進(jìn)氣孔I進(jìn)入，與陰極3陽(yáng)極2的電子束混合反應(yīng)，所述陰極3呈空心桶結(jié)構(gòu)，裝置的陽(yáng)極2位于桶裝結(jié)構(gòu)的中心位置，電子從陰極3桶裝結(jié)構(gòu)發(fā)出，在沖擊陽(yáng)極2的過(guò)程中與惰性氣體形成離子流。本實(shí)用新型有益效果:經(jīng)過(guò)改進(jìn)結(jié)構(gòu)的新型離子源，易斷的燈絲陰極，替換為金屬網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，提高了陰極的使用壽命。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種金屬陰極結(jié)構(gòu)的考夫曼離子源，包括進(jìn)氣孔(I)、陽(yáng)極(2)和陰極(3)，其特征在于:所述陰極(3)呈空心桶結(jié)構(gòu)，裝置的陽(yáng)極(2)位于桶裝結(jié)構(gòu)的中心位置。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種金屬陰極結(jié)構(gòu)的考夫曼離子源，其特征在于:所述裝置的陰極(3)為金屬網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)。
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種離子源，特別涉及一種金屬陰極結(jié)構(gòu)的考夫曼離子源。所述陰極呈空心桶結(jié)構(gòu)，裝置的陽(yáng)極位于桶裝結(jié)構(gòu)的中心位置。本實(shí)用新型有益效果：經(jīng)過(guò)改進(jìn)結(jié)構(gòu)的新型離子源，易斷的燈絲陰極，替換為金屬網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)，提高了陰極的使用壽命。
【IPC分類】H01J37/08
【公開(kāi)號(hào)】CN204706536
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520397788
【發(fā)明人】喬憲武
【申請(qǐng)人】中國(guó)計(jì)量學(xué)院
【公開(kāi)日】2015年10月14日
【申請(qǐng)日】2015年6月8日