一種場發(fā)射電子槍高壓電纜的引入裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種場發(fā)射電子槍高壓電纜的引入裝置，屬于高壓電源引入設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]掃描電鏡是一種電子光學(xué)儀器，是利用聚焦電子束在樣品表面進(jìn)行逐行掃描，使得電子束轟擊樣品表面產(chǎn)生二次電子，利用上述二次電子呈現(xiàn)樣品表面形貌的裝置。掃描電鏡圖像的分辨率可達(dá)到納米級(jí)甚至優(yōu)于1.0納米，在新材料、新能源、國防、科學(xué)研究等領(lǐng)域有廣泛應(yīng)用。
[0003]上述的聚焦電子束由掃描電鏡上的場發(fā)射電子槍提供，而場發(fā)射電子槍需要通過一個(gè)引入裝置引入電壓源，上述電壓源需要滿足相對(duì)于大地電壓為30kV、極間電壓最高達(dá)到6000V，這樣才能保證聚焦電子束比較穩(wěn)定，然而，由于引入裝置的空間較小，在電子槍室內(nèi)引入了多股高壓電纜時(shí)，相鄰高壓電纜之間的距離勢必縮小，從而導(dǎo)致相鄰高壓電纜之間的耐壓值不足，使得極間電壓容易超越上述耐壓值，造成設(shè)備不能穩(wěn)定的運(yùn)行。
[0004]同時(shí)，高壓電纜的引入容易破壞電子槍室的真空度，因而造成電子束不穩(wěn)定，影響掃描電鏡的成像質(zhì)量。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]因此，本發(fā)明要解決的技術(shù)問題在于克服現(xiàn)有的場發(fā)射電子槍高壓電纜的引入裝置容易造成相對(duì)于大地耐壓值不足、高壓電纜極間耐壓值不足進(jìn)而造成設(shè)備不能穩(wěn)定運(yùn)行且高壓電纜的引入容易破壞電子槍室的真空度進(jìn)行影響掃描電鏡成像質(zhì)量的技術(shù)缺陷；從而提供一種能夠滿足相對(duì)于大地耐壓值、高壓電纜極間耐壓值，使得設(shè)備穩(wěn)定運(yùn)行且高壓電纜的引入不會(huì)破壞電子槍室的真空度進(jìn)行提高掃描電鏡成像質(zhì)量的引入裝置。
[0006]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種場發(fā)射電子槍高壓電纜的引入裝置，包括:一種場發(fā)射電子槍高壓電纜的引入裝置，包括:
[0007]絕緣密封件，安裝在電子槍室的內(nèi)部，具有安裝腔和引入口 ；
[0008]高壓電纜，為若干股，通過所述引入口伸入到所述絕緣密封件的安裝腔內(nèi)，用于將電子槍室外部的高壓電源引入到電子槍室內(nèi)部；
[0009]高壓電源接收端，兩端分別耦接所述高壓電纜和場發(fā)射電子槍；以及
[0010]絕緣填充物，填充于各股高壓電纜之間、高壓電纜與絕緣密封件的內(nèi)壁之間，以及所述引入口處。
[0011 ] 上述場發(fā)射電子槍高壓電纜的引入裝置中，所述高壓電源接收端和所述高壓電纜之間采用銀銅焊接相連。
[0012]上述場發(fā)射電子槍高壓電纜的引入裝置中，所述絕緣密封件為高壓瓷瓶。
[0013]上述場發(fā)射電子槍高壓電纜的引入裝置中，所述絕緣密封件穿過設(shè)置在電子槍室外部的法蘭而伸入到電子槍室內(nèi)部。
[0014]上述場發(fā)射電子槍高壓電纜的弓I入裝置中，所述高壓電纜為五股。
[0015]上述場發(fā)射電子槍高壓電纜的引入裝置中，所述高壓電源接收端為分別與每股高壓電纜一一對(duì)應(yīng)耦接的五個(gè)高壓封接電極，所述高壓封接電極設(shè)置在所述安裝腔的外部上。
[0016]上述場發(fā)射電子槍高壓電纜的弓I入裝置中，所述絕緣填充物為絕緣環(huán)氧膠。
[0017]上述場發(fā)射電子槍高壓電纜的引入裝置中，所述連接孔設(shè)置在電子槍室中的法蘭上。
[0018]本發(fā)明的上述技術(shù)方案相比現(xiàn)有技術(shù)具有以下優(yōu)點(diǎn):
[0019]1、本發(fā)明的場發(fā)射電子槍高壓電纜的引入裝置中，為了提升相對(duì)于大地、各股高壓電纜之間的耐壓值，在絕緣密封件和各股高壓電纜之間填充有絕緣填充物，絕緣填充物兩方面作用:1、在引入裝置設(shè)置多股高壓電纜的情況下，雖然相鄰高壓電纜之間的間距變小，但是，通過在相鄰高壓電纜之間填充絕緣填充物，可以保證各股導(dǎo)線之間耐壓達(dá)到6000V以上，從而在不增大引入裝置體積的情況下，使設(shè)備安全、可靠運(yùn)行；2、密封了絕緣密封件的引入口，以及絕緣密封件與高壓電纜之間的間隙，從而防止氣體從引入裝置進(jìn)入到電子槍室中，不會(huì)破壞電子槍室的真空度，進(jìn)行提高掃描電鏡成像質(zhì)量。
[0020]2、本發(fā)明的場發(fā)射電子槍高壓電纜的引入裝置中，絕緣密封件穿過設(shè)置電子槍室外部的法蘭伸入到電子槍室內(nèi)部，高壓電纜穿過絕緣密封件和高壓封接電極耦接，該絕緣密封件的設(shè)置使向電子槍室內(nèi)引入高壓電纜時(shí)，電子槍室內(nèi)的超高真空度不受到破壞，從而保證了掃描電鏡成像的質(zhì)量穩(wěn)定。
[0021]3、本發(fā)明的場發(fā)射電子槍高壓電纜的引入裝置中，高壓瓷瓶和高壓封接電極之間采用銀銅材料焊接，銀銅焊和其他材料焊接相比具有以下優(yōu)點(diǎn):1、銀銅焊的強(qiáng)度更高，能夠保證高壓電纜和高壓封接電極之間穩(wěn)定連接；2、銀銅焊的導(dǎo)電性能強(qiáng)；3、銀銅焊的密封效果好，能夠有效防止氣體從焊接位置進(jìn)入到電子槍室中，從而保證電子槍室的真空度不被破壞。
【附圖說明】
[0022]為了使本發(fā)明的內(nèi)容更容易被清楚的理解，下面結(jié)合附圖，對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)的說明，其中，
[0023]圖1是本發(fā)明場發(fā)射電子槍高壓電纜的引入裝置的剖視示意圖；
[0024]圖2是圖1的左視圖。
[0025]附圖標(biāo)記說明
[0026]10-法蘭；11_連接孔；20_高壓瓷瓶；30_高壓封接電極。
【具體實(shí)施方式】
[0027]以下將結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的場發(fā)射電子槍高壓電纜的引入裝置進(jìn)行進(jìn)一步介紹，在此需要說明的是，對(duì)于以下實(shí)施方式的說明用于幫助理解本發(fā)明，但并不構(gòu)成對(duì)本發(fā)明的限定。此外，下面所描述的本發(fā)明各個(gè)實(shí)施方式中所涉及的技術(shù)特征只要彼此之間未構(gòu)成沖突就可以相互結(jié)合。
[0028]實(shí)施例1
[0029]本實(shí)施例提供一種場發(fā)射電子槍高壓電纜的引入裝置，用于為場發(fā)射電子槍提供工作電源，其中，場發(fā)射