技術(shù)編號(hào)：8944464
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。掃描電鏡是一種電子光學(xué)儀器，是利用聚焦電子束在樣品表面進(jìn)行逐行掃描，使得電子束轟擊樣品表面產(chǎn)生二次電子，利用上述二次電子呈現(xiàn)樣品表面形貌的裝置。掃描電鏡圖像的分辨率可達(dá)到納米級(jí)甚至優(yōu)于1.0納米，在新材料、新能源、國(guó)防、科學(xué)研究等領(lǐng)域有廣泛應(yīng)用。上述的聚焦電子束由掃描電鏡上的場(chǎng)發(fā)射電子槍提供，而場(chǎng)發(fā)射電子槍需要通過(guò)一個(gè)引入裝置引入電壓源，上述電壓源需要滿足相對(duì)于大地電壓為30kV、極間電壓最高達(dá)到6000V，這樣才能保證聚焦電子束比較穩(wěn)定，然而，由于引入裝...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。