一種可觀察半導(dǎo)體薄膜設(shè)備傳片腔室結(jié)構(gòu)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種可觀察半導(dǎo)體薄膜設(shè)備傳片腔室結(jié)構(gòu)，此結(jié)構(gòu)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體鍍膜設(shè)備傳片腔室中基板的有無及狀態(tài)的觀察，屬于半導(dǎo)體薄膜沉積的應(yīng)用與制備技術(shù)領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)有半導(dǎo)體鍍膜設(shè)備為提高產(chǎn)能，在傳片腔室內(nèi)采用雙層機械手臂傳片，在機械手傳片的過程中，可能會發(fā)生滑片、撞片、碎片等現(xiàn)象。為了能夠觀察到雙層機械手臂的傳片狀態(tài)，一般采用了比較厚的大透明塑料板，此透明蓋板的材料成本及加工費用極高，表面易受到刮傷。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明以解決上述問題為目的，設(shè)計了一種新型的可觀察半導(dǎo)體薄膜設(shè)備傳片腔室結(jié)構(gòu)。該結(jié)構(gòu)將大透明蓋板變換為多個小的透明蓋板，并為一體化結(jié)構(gòu)，實現(xiàn)了對雙層機械手臂傳片時基板有無及狀態(tài)的觀察，而且降低了成本。
[0004]為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用下述技術(shù)方案:一種可觀察半導(dǎo)體薄膜設(shè)備傳片腔室結(jié)構(gòu)，主要包括升降機構(gòu)連接板(I)、傳片腔室蓋板(2)及密封圈(3)。所述傳片腔室蓋板⑵上設(shè)有多個圓形透明單元(5)。所述圓形透明單元(5)通過密封圈(3)及螺釘A(4)與傳片腔室蓋板(2)密封連接，整個結(jié)構(gòu)呈一體，可通過升降機構(gòu)連接板(I)后端的氣缸進行開關(guān)操作。
[0005]上述升降機構(gòu)連接板⑴通過螺釘B (6)與傳片腔室蓋板(2)固定連接。
[0006]依據(jù)機械手左右手之間的間距及傳片通道位置，參考機械手上基板位置跡線(7)在X和Y方向的交點位置，選取外側(cè)交叉點位置，設(shè)計的圓形透明單元(5)所在觀察位置結(jié)構(gòu)對稱位，機械手在X或Y任意方向傳取片時，都可觀察到晶圓的有無及狀態(tài)。
[0007]本發(fā)明的有益效果及特點在于:
[0008]1、本發(fā)明實現(xiàn)了一種可觀察半導(dǎo)體薄膜設(shè)備傳片腔室結(jié)構(gòu)，四處觀察位置結(jié)構(gòu)對稱，機械手在X或Y任意方向傳取片時，都可觀察到晶圓的有無及狀態(tài)；
[0009]2、依附于I的基礎(chǔ)上，多處小透明蓋板的分布替代了比較厚的大透明蓋板，大大的降低了設(shè)備的總成本并提高了設(shè)備的整體美觀性。
【附圖說明】
[0010]圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0011]實施例
[0012]參照圖1，一種可觀察半導(dǎo)體薄膜設(shè)備傳片腔室結(jié)構(gòu)，主要包括升降機構(gòu)連接板1、傳片腔室蓋板2及密封圈3。所述傳片腔室蓋板2上設(shè)有多個圓形透明單元5，圓形透明單元5分布在傳片腔室蓋板2的四個角或中間的位置。所述圓形透明單元5通過密封圈3及螺釘A4與傳片腔室蓋板2密封連接，整個結(jié)構(gòu)呈一體，可通過升降機構(gòu)連接板I后端的氣缸進行開關(guān)操作。
[0013]上述升降機構(gòu)連接板I通過螺釘B6與傳片腔室蓋板2固定連接。
[0014]上述螺釘A4采用M6內(nèi)六角螺釘；
[0015]上述螺釘6采用M8內(nèi)六角螺釘。
[0016]依據(jù)機械手左右手之間的間距及傳片通道位置，參考機械手上基板位置跡線7在X和Y方向的交點位置，選取外側(cè)交叉點位置，設(shè)計的圓形透明單元5所在觀察位置結(jié)構(gòu)對稱位，機械手在X或Y任意方向傳取片時，都可觀察到晶圓的有無及狀態(tài)。
【主權(quán)項】
1.一種可觀察半導(dǎo)體薄膜設(shè)備傳片腔室結(jié)構(gòu)，其特征在于:它包括升降機構(gòu)連接板、傳片腔室蓋板及密封圈，所述傳片腔室蓋板上設(shè)有多個圓形透明單元；所述圓形透明單元通過密封圈及螺釘A與傳片腔室蓋板密封連接，整個結(jié)構(gòu)呈一體。2.如權(quán)利要求1所述的可觀察半導(dǎo)體薄膜設(shè)備傳片腔室結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述升降機構(gòu)連接板通過螺釘B與傳片腔室蓋板固定連接。3.如權(quán)利要求1所述的可觀察半導(dǎo)體薄膜設(shè)備傳片腔室結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述的圓形透明單元所在觀察位置結(jié)構(gòu)對稱位。
【專利摘要】一種可觀察半導(dǎo)體薄膜設(shè)備傳片腔室結(jié)構(gòu)，包括升降機構(gòu)連接板、傳片腔室蓋板及密封圈。所述傳片腔室蓋板上設(shè)有多個圓形透明單元；所述圓形透明單元通過密封圈及螺釘A與傳片腔室蓋板密封連接，整個結(jié)構(gòu)呈一體；所述升降機構(gòu)連接板通過螺釘B與傳片腔室蓋板固定連接；所述的圓形透明單元所在觀察位置結(jié)構(gòu)對稱位。本發(fā)明構(gòu)思合理，四處觀察位置結(jié)構(gòu)對稱，機械手在X或Y任意方向傳取片時，都可觀察到晶圓的有無及狀態(tài)。由于采用了多處小透明蓋板的分布替代了比較厚的大透明蓋板，大大的降低了設(shè)備的總成本并提高了設(shè)備的整體美觀性。
【IPC分類】H01L21/677
【公開號】CN104952777
【申請?zhí)枴緾N201510212088
【發(fā)明人】方仕彩, 吳鳳麗, 姜崴, 廉杰
【申請人】沈陽拓荊科技有限公司
【公開日】2015年9月30日
【申請日】2015年4月29日