專利名稱：集成電路的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及集成電路，特別是，涉及利用非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)(Nonradiative Dielectric Waveguide)、在微波頻段或毫米波頻段工作的集成電路。
迄今為止，有如下的一種非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)在該波導(dǎo)中，平行地配置一對(duì)導(dǎo)電板，使該對(duì)導(dǎo)電板的相互間隔為預(yù)定的間隔，使LSM01模式或LSE01模式的電磁波沿在二導(dǎo)體板間配置的電介質(zhì)窄條進(jìn)行傳輸。當(dāng)設(shè)計(jì)在60GHz頻段進(jìn)行傳輸時(shí)，用例如聚四氟乙烯等的電介質(zhì)材料(比介電常數(shù)εr＝2)形成寬度b(例如，2.5mm)、高度a(例如，2.25mm)的電介質(zhì)窄條。如用導(dǎo)體板來夾住該電介質(zhì)窄條的話，則在沒有電介質(zhì)窄條的部分內(nèi)，波長(zhǎng)為高度a的2倍以上的電磁波大體上被截止。另一方面，在有電介質(zhì)窄條的部分內(nèi)，截止效果則被解除。因此，LSM01模式、LSE01模式的電磁波可在不產(chǎn)生輻射和低損耗的情況下沿電介質(zhì)窄條進(jìn)行傳播。因而非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)適合于微波、毫米波的傳送線路。
通過在上述非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)的一對(duì)導(dǎo)體板間配置多個(gè)電介質(zhì)窄條、磁性體、半導(dǎo)體等，可形成環(huán)行器、振蕩器等，因此該非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)適合于微波頻段、毫米波頻段的集成電路。
在形成這種集成電路、例如FM-CW方式的雷達(dá)的高頻部分時(shí)，以往，首先通過在一對(duì)可連接到測(cè)試端的、用于測(cè)試的導(dǎo)體板間配置電介質(zhì)窄條、磁性體、半導(dǎo)體等，分別制成分擔(dān)集成電路的一部分功能的環(huán)行器、振蕩器等。其次對(duì)該環(huán)行器、振蕩器等的特性進(jìn)行測(cè)試。再其次在形成集成電路時(shí)，把構(gòu)成環(huán)行器、振蕩器等的電介質(zhì)窄條、磁性體、半導(dǎo)體等重新配置在有別于測(cè)試用的另一對(duì)用于集成電路的導(dǎo)體板間，組成各自的電路結(jié)構(gòu)。
但是在用這種方法形成集成電路時(shí)，作為該集成電路的各個(gè)部分的環(huán)行器、振蕩器等的特性的再現(xiàn)是困難的，此外，對(duì)作為集成電路的一部分的環(huán)行器、振蕩器等單獨(dú)地進(jìn)行特性測(cè)試是不可能的，再者單獨(dú)地對(duì)其進(jìn)行調(diào)整也是不可能的，因此使其作為電路來工作是困難的。其結(jié)果是在缺乏集成電路的批量生產(chǎn)能力方面存在問題。此外，在集成電路發(fā)生故障的情況下，當(dāng)需要更換例如環(huán)行器、振蕩器等一部分部件時(shí)，存在著在更換了一部分部件的對(duì)其它部分產(chǎn)生影響的問題。
本發(fā)明的目的是解決上述的技術(shù)課題并提供提高了部分的和整體的批量生產(chǎn)能力的集成電路。
本發(fā)明是一種利用非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)、在微波頻段或毫米波頻段工作的集成電路。
上述集成電路具備分擔(dān)該集成電路的一部分功能的非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)部件；以及通過安裝非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)部件，與非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)一起形成該集成電路的非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)部件安裝部，上述非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)部件具有以相互的間隔為預(yù)定間隔而平行地配置的、該部件固有的第1對(duì)導(dǎo)體；在上述第1對(duì)導(dǎo)體的二導(dǎo)體間配置的、以預(yù)定的模式傳輸高頻電磁波的、該部件固有的第1電介質(zhì)窄條；在上述第1對(duì)導(dǎo)體的兩導(dǎo)體的至少一個(gè)上形成的、可與上述非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)部件安裝部連接的平面狀的安裝面；以及在上述兩導(dǎo)體的端部形成的、與從上述電介質(zhì)窄條的端部輸入或輸出的電磁波的行進(jìn)方向垂直的、并包含第1電介質(zhì)窄條的端部附近的垂直端面，上述非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)部件安裝部具有以相互的間隔為預(yù)定間隔而平行地配置的、該安裝部固有的、并可在內(nèi)部放置非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)部件的第2對(duì)導(dǎo)體；以及在第2對(duì)導(dǎo)體的二導(dǎo)體間配置的、以預(yù)定的模式傳輸高頻電磁波的、與第1電介質(zhì)窄條連接而設(shè)置的該安裝部固有的第2電介質(zhì)窄條。
在所述的集成電路中，第2對(duì)導(dǎo)體的一個(gè)在與第2對(duì)導(dǎo)體的另一個(gè)和第2電介質(zhì)窄條固定的狀態(tài)下具備可在內(nèi)部放置非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)部件的窗口。
在本發(fā)明中，非放射性電介質(zhì)波導(dǎo)部件是這樣來形成的平行地配置該部件固有的一對(duì)導(dǎo)體，使其相互的間隔為預(yù)定的間隔；在上述兩個(gè)導(dǎo)體間配置以預(yù)定的模式傳輸高頻電磁波的該部件固有的電介質(zhì)窄條；在上述二個(gè)導(dǎo)體的至少一個(gè)上形成平面狀的安裝面；在上述兩個(gè)導(dǎo)體的端部形成與以電介質(zhì)窄條的端部輸入或輸出的電磁波的行進(jìn)方向垂直的、并包含電介質(zhì)窄條的端部附近的垂直端面；可把各個(gè)非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)部件安裝到剩下的非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)部件安裝部上。其結(jié)果是可以把非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)部件和剩下的非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)部件安裝部分開來單獨(dú)地制成，從而可提高非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)部件和非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)部件安裝部的批量生產(chǎn)能力。此外，可使用測(cè)試夾具在制造出的部件的原有狀態(tài)下單獨(dú)地進(jìn)行測(cè)試，可以把部件在原有的測(cè)試狀態(tài)下簡(jiǎn)單地安裝到安裝部上，而且可以單個(gè)地取出來，因此可提高集成電路的批量生產(chǎn)能力。
在發(fā)明的第二方面中，第2對(duì)導(dǎo)體的一側(cè)在與第2對(duì)導(dǎo)體的另一側(cè)和第2電介質(zhì)窄條固定的狀態(tài)下具備可在內(nèi)部放置非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)部件的洞孔。因此，就可提高非輻射性介電體波導(dǎo)部件的部件安裝部的批量生產(chǎn)能力和可靠性，進(jìn)而提高集成電路的批量生產(chǎn)能力和可靠性。


圖1示出在把天線裝到集成電路上的狀態(tài)下本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的構(gòu)成的分解斜視圖。
圖2是示出圖1的振蕩器1與夾具的一個(gè)實(shí)例的整體構(gòu)成的圖。
圖3是示出在去掉導(dǎo)體10的狀態(tài)下圖1的振蕩器1的電介質(zhì)窄條12的端部12a附近的結(jié)構(gòu)實(shí)例的平面圖。
圖4是示出圖1的振蕩器1的特性的圖。
圖5是示出經(jīng)過波導(dǎo)管傳輸?shù)腡E10模式的電磁波的圖。
圖6是示出經(jīng)過非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)傳輸?shù)腖SM01模式的電磁波的圖。
圖7是示出導(dǎo)體和電介質(zhì)窄條間的間隙d為“0”時(shí)的特性的圖。
圖8是示出導(dǎo)體和電介質(zhì)窄條間存在0.1mm的間隙d時(shí)的特性的圖。
圖9是示出導(dǎo)體和電介質(zhì)窄條間的間隙d為“0”時(shí)的特性的圖。
圖10是示出只在導(dǎo)體間存在0.1mm的間隙d時(shí)的特性的圖。
圖11是示出只在導(dǎo)體間存在0.2mm的間隙d時(shí)的特性的圖。
圖12是示出圖1的環(huán)行器2和夾具的一個(gè)實(shí)例的整體構(gòu)成的斜視圖。
圖13是示出圖1的環(huán)行器2的特性的圖。
圖14是示出在把天線裝到集成電路上的狀態(tài)下本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施例的整體構(gòu)成的斜視圖。
以下根據(jù)附圖來說明本發(fā)明的實(shí)施例。圖1是示出在把天線裝到集成電路上的狀態(tài)下本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的構(gòu)成的分解斜視圖。這種集成電路例如是在毫米波頻段工作的FM-CW方式的雷達(dá)的高頻部分。通過把天線8裝到該高頻部分上就形成一個(gè)雷達(dá)頭。在圖1中具備作為分別承擔(dān)集成電路的一部分功能的非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)部件的振蕩器1、環(huán)行器2等以及通過安裝振蕩器1、環(huán)行器2等一起形成集成電路的非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)部件的部件安裝部7。
在圖1中，振蕩器1具備一對(duì)平板狀的導(dǎo)體10、11；在導(dǎo)體10、11間放置的電介質(zhì)窄條12等；電源端16和調(diào)制端17。導(dǎo)體10、11由鋁、銅等導(dǎo)電性材料形成。此外，在導(dǎo)體11上形成與其成為一體的襯墊11b，用于使導(dǎo)體10、11的相互間隔保持在一定的高度a。用例如聚四氟乙烯等的電介質(zhì)材料(比介電常數(shù)εr＝2)形成高度a(例如，2.25mm)、寬度b(例如，2.5mm)的電介質(zhì)窄條12。此外，在導(dǎo)體10、11的四個(gè)角上形成螺釘孔18a。通過把帶有十字孔的平頭螺釘18b分別擰入該螺釘孔18a中，可使電介質(zhì)窄條12等與導(dǎo)體10、11連成一體使之不能移動(dòng)。
在導(dǎo)體11的底面形成平面狀的安裝面19a。此外，在導(dǎo)體10、11的一端形成與從電介質(zhì)窄條12的端部12a輸出的高頻電磁波的行進(jìn)方向垂直的、并包含端部12a附近的垂直端面19b。該振蕩器1把產(chǎn)生振蕩的電磁波從端部12a輸出到環(huán)行器2。
環(huán)行器2具備一對(duì)平板狀的導(dǎo)體20、21以及在導(dǎo)體20、21間放置的三個(gè)電介質(zhì)窄條22(圖中示出一個(gè))等。導(dǎo)體20、21由鋁、銅等導(dǎo)電性材料形成。在導(dǎo)體20、21間的三個(gè)角上設(shè)置襯墊26，用于使導(dǎo)體20、21間相互的間隔保持在一定的高度a。此外，在導(dǎo)體20、21的三個(gè)角上形成貫穿襯墊26的螺釘孔(圖中未示出)。通過把帶有十字孔的平頭螺釘27分別擰入到該螺釘孔中，可使電介質(zhì)窄條22等與導(dǎo)體20、21連成一體使之不能移動(dòng)。此外，可將其固定到導(dǎo)體71上。
與振蕩器1的情況相同，在導(dǎo)體20的底面形成平面狀的安裝面29b(參照?qǐng)D12)。此外，在導(dǎo)體20、21的三個(gè)端部處分別形成與輸入或輸出到各個(gè)電介質(zhì)窄條22的各自的端部22a(參照?qǐng)D12)的高頻電磁波的行進(jìn)方向垂直的、并包含端部附近的垂直端面29b。
非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)部件的部件安裝部7具備上、下的導(dǎo)體70、71；以及配置在導(dǎo)體70、71間的電介質(zhì)窄條72、73、74、75、76。通過粘合等方法把各個(gè)電介質(zhì)窄條72、73、74、75、76和無(wú)反射終端器75 a固定在導(dǎo)體71上。在導(dǎo)體71的側(cè)邊周圍設(shè)置襯墊71a，用于使導(dǎo)體70、71間的相互間隔保持一定。在導(dǎo)體70、71的四個(gè)角上分別設(shè)置用于相互固定的螺釘孔701、711。電介質(zhì)窄條73具有作為無(wú)反射終端器的功能。此外，在電介質(zhì)窄條75的兩端設(shè)置無(wú)反射終端器75 a。在導(dǎo)體71上以形狀重合的方式設(shè)置用于對(duì)振蕩器1、環(huán)行器2和混頻器(圖中未示出)進(jìn)行定位的凹部710。在導(dǎo)體70上也以同樣方式設(shè)置凹部(圖中未示出)。
使用板狀的導(dǎo)體、以及在其表面進(jìn)行了金屬化處理的板狀的絕緣體等作為導(dǎo)體70、71。在凹部710處分別設(shè)置螺釘孔710a，用帶有十字孔的平頭螺釘18b、27等把各個(gè)振蕩器1、環(huán)行器2、混頻器等固定到導(dǎo)體71上。再者，可以通過用導(dǎo)體70、71夾住的方法來固定振蕩器1、環(huán)行器2、混頻器等，也可以用焊料、導(dǎo)電糊劑進(jìn)行固定。
還有，電介質(zhì)窄條72的兩端與振蕩器1的電介質(zhì)窄條12的端部12a和環(huán)行器2的電介質(zhì)窄條22的端部進(jìn)行對(duì)接。電介質(zhì)窄條73的一個(gè)端部與環(huán)行器2的電介質(zhì)窄條22的端部進(jìn)行對(duì)接。電介質(zhì)窄條74的兩端與環(huán)行器2的電介質(zhì)窄條22的端部和天線8的信號(hào)發(fā)送桿81的端部進(jìn)行對(duì)接。電介質(zhì)窄條76的兩端與混頻器的電介質(zhì)窄條的端部和天線8的信號(hào)接收桿82的端部進(jìn)行對(duì)接。
再者，通過導(dǎo)體70、71，電介質(zhì)窄條74、75、76和無(wú)反射終端器75a形成耦合器。
圖2是示出測(cè)定圖1的振蕩器1的夾具的整體構(gòu)成的圖。圖2(a)是振蕩器1在安裝前的斜上方的視圖，圖2(b)是在振蕩器1已安裝好的狀態(tài)下的斜視圖，圖2(c)是沿圖2(b)的A-A′線切開的截面圖。
夾具6大體上具備安裝部60和變換部分61。由鋁、銅等的具有導(dǎo)電性的平板狀的下板601的一部分形成安裝部60。在安裝部60中，在下板601上形成用于對(duì)振蕩器1進(jìn)行準(zhǔn)確定位的一對(duì)側(cè)壁601a。此外，在下板601的與螺釘孔18a對(duì)應(yīng)的位置上形成螺釘孔601b，用于在下板601與振蕩器1的安裝面19b已連接好的狀態(tài)下把振蕩器1固定在預(yù)定的位置上。
變換部分61用于使振蕩器1與其它種類的電路(例如波導(dǎo)管)相連接，它大體上具備相互形成一體的壓緊部分610、喇叭形部分611和波導(dǎo)管612。在壓緊部分610中，用下板601的剩下部分和鋁、銅等的具有導(dǎo)電性的壓緊板610a夾住電介質(zhì)窄條12和對(duì)應(yīng)的電介質(zhì)窄條62的一部分，通過擰緊壓緊螺釘610b來固定電介質(zhì)窄條62。通過用螺釘611b擰緊設(shè)置在喇叭形部分611的端部的法蘭盤611a把喇叭形部分611與壓緊部分610固定在一起。在波導(dǎo)管612的端部形成法蘭盤612a。
與振蕩器1的垂直端面19b相對(duì)應(yīng)，在變換部分61的端部、即壓緊部分610的端部形成與電介質(zhì)窄條62中的電磁波傳輸方向垂直的、并且包含電介質(zhì)62的端部62a附近的垂直端面61a。此外，在電介質(zhì)窄條62的另一端62b處，在寬度方向上形成尖錐形，以使其它電路的特性阻抗與電介質(zhì)窄條62的特性阻抗相匹配。
圖3是示出圖1的振蕩器1和圖2的夾具6的電介質(zhì)窄條12、62的端部12a、62a附近的結(jié)構(gòu)實(shí)例的平面圖。再者，在圖3(a)～(c)中，分別示出使電介質(zhì)窄條12、62的端部12a、62a之間進(jìn)行對(duì)接的狀態(tài)的實(shí)例。在圖3(a)中，讓電介質(zhì)窄條12、62的端部12a、62a與電磁波的行進(jìn)方向垂直并且與垂直端面19b、61a形成一個(gè)平面，使端部12a、62a彼此間進(jìn)行對(duì)接。
另一方面，在圖3(b)中，端部12a、62a彼此間分別形成可進(jìn)行對(duì)接的楔狀。因此，端部12a以垂直端面19b處稍微突出一些。在圖3(c)中，端部12a、62a彼此間分別形成可進(jìn)行對(duì)接的球狀。因此，在該圖3(c)中，端部12a也從垂直端面19b處稍微突出一些。如在圖3(b)、(c)中所示，如電介質(zhì)窄條12、62的端部12a、62a之間可進(jìn)行對(duì)接，則可以不一定形成要與電磁波的行進(jìn)方向垂直的端部1 2a、62a。此外，即使在形成了與電磁波的行進(jìn)方向垂直的端部12a、62a時(shí)，也可以分別使端部12a、62a從垂直端面19b、61a處稍微突出一些，使端部12a、62a之間進(jìn)行對(duì)接。
其次說明上述部件的工作情況。如把直流電供給振蕩器1的電源端16的話，開始振蕩產(chǎn)生高頻電磁波并輸入到電介質(zhì)窄條12?？墒?，如把導(dǎo)體10、11間的間隔設(shè)為a，應(yīng)傳送的毫米波的電磁波波長(zhǎng)設(shè)為λ的話，如間隔a符合a＜λ/2，則在沒有電介質(zhì)窄條12的部分內(nèi)，與導(dǎo)體10、11平行的電磁波的傳輸被截止。另一方面，在插入了電介質(zhì)窄條12的部分內(nèi)，上述截止?fàn)顟B(tài)被解除，沿電介質(zhì)窄條12傳輸該電磁波，以端部12a輸出該電磁波。即使在變換部分61的壓緊部分610中，情況也是同樣的。再者，傳送模式大致分為L(zhǎng)SE模式與LSM模式。在最低階模式的LSE01模式與LSM01模式中，從低損耗性方面來考慮，通常使用LSM01模式。
本發(fā)明的發(fā)明人使用夾具6和頻譜分析儀對(duì)該振蕩器1進(jìn)行了測(cè)試。圖4是示出圖2的振蕩器1的特性的圖。從圖4可看出，從電介質(zhì)窄條12的端部12a輸出以60GHz為中心的、具有良好特性的振蕩信號(hào)。
在這里研究經(jīng)過波導(dǎo)管傳輸?shù)碾姶挪ㄅc經(jīng)過非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)傳輸?shù)碾姶挪ǖ牟煌c(diǎn)。圖5是示出經(jīng)過波導(dǎo)管傳輸?shù)腡E10模式的電磁波的圖，圖6是示出經(jīng)過非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)傳輸?shù)腖SM10模式的電磁波的圖。再者，分別在圖5(a)中示出電場(chǎng)分量E、磁場(chǎng)分量H，在圖5(b)中示出表面電流I。此外，分別在圖6(a)示出電場(chǎng)分量E、磁場(chǎng)分量H，在圖6(b)中示出表面電流I，在圖6(c)中示出沿B-B′線切斷后的狀態(tài)。
在波導(dǎo)管中，如圖5(b)所示表面電流I具有與電磁波的傳輸方向相同的方向的分量。因此，為了使波導(dǎo)管彼此連接起來，為了消除波導(dǎo)管間的間隙、使表面電流I在兩波導(dǎo)管間流動(dòng)，用法蘭盤來牢固地固定是必要的。
另一方面，在非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)中，如圖6(b)所示，LSM01模式的表面電流I只具有與電磁波的傳輸方向垂直的分量。因此，可認(rèn)為，即使分別對(duì)導(dǎo)體10、11在與電磁波傳輸方向垂直的方向上進(jìn)行切斷以及在各導(dǎo)體10、11間存在間隙的情況下，對(duì)電磁波的傳送也沒有影響。
為了確認(rèn)以上所述，本發(fā)明的發(fā)明人對(duì)將導(dǎo)體10、11與電介質(zhì)窄條12在垂直于電磁波的傳送方向上進(jìn)行切斷后的特性進(jìn)行了測(cè)試。圖7是示出導(dǎo)體10、11和電介質(zhì)窄條12間的間隙d為“0”時(shí)的特性的圖。也就是說，圖7是示出在圖3(a)中垂直端面19b和端部12a與對(duì)應(yīng)的垂直端面19b和端部12a分別對(duì)接時(shí)的特性的圖。圖8是示出導(dǎo)體10、11和電介質(zhì)窄條12間存在0.1mm的間隙d時(shí)的特性的圖。也就是說，圖8是示出在圖3(a)中垂直端面19b和端部12a與對(duì)應(yīng)的垂直端面19b和端部12a間的距離為0.1mm時(shí)的特性的圖。由圖7、圖8的結(jié)果可確認(rèn)，即使導(dǎo)體10、11和電介質(zhì)窄條12間、振蕩器1與夾具6間存在間隙d，反射損耗、插入損耗只是稍微增加一些。
因此，在振蕩器1與夾具6之間的連接方面，就不需要如波導(dǎo)管那樣地用法蘭盤來牢固地固定，也不需要端部12a、62a的對(duì)接連接等。因而，在安裝部60與安裝面19a已連接好的狀態(tài)下以及在固定了振蕩器1的狀態(tài)下進(jìn)行安裝的話，可以在無(wú)失配和低損耗的情況下在電介質(zhì)窄條12、62間傳輸LSM01模式的電磁波。因此可以測(cè)試振蕩器1的特性使其結(jié)果不會(huì)離散。此外，安裝是簡(jiǎn)單的。
再者，為了對(duì)分別讓端部12a、62a從垂直端面19b、61a處稍微突出一些并讓端部12a、62a彼此進(jìn)行對(duì)接后的特性進(jìn)行測(cè)試。本發(fā)明的發(fā)明人對(duì)把導(dǎo)體10、11和電介質(zhì)窄條12在與電磁波的傳送方向垂直的方向上切斷后和分別讓端部12a、62a從垂直端面19b、61 a處稍微突出一些后的特性進(jìn)行了測(cè)試。
圖9是示出導(dǎo)體10、11和電介質(zhì)窄條12間的間隙d為“0”時(shí)的特性的圖。也就是說，圖9是示出在圖3(a)中垂直端面19b和端部12a分別與對(duì)應(yīng)的垂直端面19b和端部12a對(duì)接后的特性的圖。圖10是示出只在導(dǎo)體10、11間存在0.1mm的間隙d時(shí)的特性的圖。也就是說，圖10是示出讓端部12a從垂直端面19b處各突出0.05mm、讓端部12a彼此對(duì)接、垂直端面19b與對(duì)應(yīng)的垂直端面19b間的距離為0.1mm時(shí)的特性的圖。圖11是示出只在導(dǎo)體10、11間存在0.2mm的間隙d時(shí)的特性的圖。也就是說，圖11是示出讓端部12a從垂直端面19b處各突出0.1mm后的特性的圖。
從圖9、圖10、圖11可確認(rèn)，即使在導(dǎo)體10、11間存在間隙d，只要端部12a間進(jìn)行對(duì)接，就幾乎不產(chǎn)生反射損耗、插入損耗方面的性能變壞。這種關(guān)系同樣可適用于振蕩器1與夾具6之間的情況。即使讓端部12a、62a分別從垂直端面19b、61a處稍微突出一些以及讓端部12a、62a彼此對(duì)接后，幾乎不產(chǎn)生反射損耗、插入損耗方面的性能變壞。
圖12是示出測(cè)試圖1的環(huán)行器2的特性的夾具的整體構(gòu)成的斜視圖。凡與夾具6對(duì)應(yīng)的部分均附以相同的編號(hào)并省略有關(guān)的說明。為了使環(huán)行器2具有3個(gè)端部22a，即3個(gè)端口，夾具6c由3個(gè)圖1所示的夾具6組合而成，以便能用3個(gè)垂直端面61a和安裝部60對(duì)環(huán)行器2進(jìn)行定位。再者，即使拿掉一個(gè)帶有十字孔的平頭螺釘27，恐怕也可能會(huì)產(chǎn)生電介質(zhì)窄條22等的位置偏移。因此，通過用蓋67來壓住環(huán)行器2以及擰緊帶有十字孔的平頭螺釘68，使環(huán)行器2得以固定。在進(jìn)行上述步驟之后，對(duì)環(huán)行器2的特性進(jìn)行測(cè)試。
再者，在環(huán)行器2中把一個(gè)電介質(zhì)窄條22的端部22a作為高頻電磁波的輸入端口時(shí)，電磁波向一個(gè)方向旋轉(zhuǎn)，并只向另一個(gè)電介質(zhì)窄條22的端部22a傳輸電磁波。本發(fā)明的發(fā)明人使用夾具6c和網(wǎng)絡(luò)分析儀，讓一個(gè)端部22a成為無(wú)反射終端的狀態(tài)，讓環(huán)行器2以隔離器的方式來工作，在此情況下對(duì)環(huán)行器2進(jìn)行了測(cè)試。
圖13是示出圖12的環(huán)行器2的特性的圖。再者，圖13(a)示出隔離性能和插入損耗，圖13(b)示出反射損耗。因此從圖13可看出，環(huán)行器2具有良好的隔離性能及插入損耗、反射損耗的特性。
因此，在環(huán)行器2與夾具6c的連接方面，不需要如波導(dǎo)管那樣地由法蘭盤來牢固地固定，而且不需要端部22a、62a的對(duì)接連接等。因而，在安裝部60與安裝面29a已連接好的狀態(tài)以及在固定了環(huán)行器2的狀態(tài)下進(jìn)行安裝的話，可以在無(wú)失配和低損耗的情況下經(jīng)過電介質(zhì)窄條22、62間傳輸LSM01模式的電磁波。因此可更精確地測(cè)試環(huán)行器2的特性。此外，安裝是簡(jiǎn)單的。
再者，在測(cè)試四個(gè)端口的非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)部件的特性時(shí)，與圖12的夾具的情況相同，可以把4個(gè)在圖2中示出的夾具組合起來構(gòu)成。此外，關(guān)于一個(gè)端口的非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)部件，可以用圖2中示出的夾具6來進(jìn)行特性的測(cè)試。如得到良好的測(cè)試結(jié)果的話，就把振蕩器1、環(huán)行器2、混頻器等以表面安裝的方式裝在導(dǎo)體71的凹部710上。
如圖1所示，把振蕩器1、環(huán)行器2、混頻器等與電介質(zhì)窄條72、73、74、76相互連接，進(jìn)行表面安裝。因而，與夾具6、6c間的關(guān)系相同，不會(huì)因安裝而產(chǎn)生特性的變化，振蕩器1、環(huán)行器2、混頻器可發(fā)揮出如測(cè)試所得到的特性。因此，可構(gòu)成具有高的批量生產(chǎn)能力的集成電路。
再者，在圖1中用螺釘固定法把振蕩器1、環(huán)行器2混頻器以表面安裝的方式裝到導(dǎo)體71上，但也可以用焊接、導(dǎo)電糊劑等進(jìn)行表面安裝。
圖14是示出在把天線裝到集成電路上后的狀態(tài)下本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施例的構(gòu)成的一個(gè)斜視圖。其中凡與圖1的實(shí)施例對(duì)應(yīng)的部分均附以相同的編號(hào)以省略有關(guān)的說明。在該實(shí)施例中應(yīng)引起注意的是，在導(dǎo)體70上形成3個(gè)可在內(nèi)部放置振蕩器1、環(huán)行器2、混頻器的窗口702。該窗口位于圖1的凹部710的上部。
在該集成電路中，在拿掉了振蕩器1、環(huán)行器2、混頻器的狀態(tài)下把導(dǎo)體70放在導(dǎo)體71上并用螺釘固定。因此，即使電介質(zhì)窄條72、73、7 4、75、76、無(wú)反射終端75a沒有被固定，也可以事先把這些部件準(zhǔn)確地固定在導(dǎo)體70、71上。其結(jié)果是可以提高非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)部件的部件安裝部7的批量生產(chǎn)能力。此外，用螺釘對(duì)導(dǎo)體70進(jìn)行固定后，通過從窗口702處放入振蕩器1、環(huán)行器2、混頻器并進(jìn)行安裝，可以使各個(gè)部件的電介質(zhì)窄條與安裝部7的電介質(zhì)窄條準(zhǔn)確地對(duì)接。因而可容易地構(gòu)成集成電路，可提高批量生產(chǎn)能力。此外，由于可在不打開導(dǎo)體70的情況下更換振蕩器1、環(huán)行器2、混頻器，故可以改善維修保養(yǎng)性能。
還有，以上是把非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)部件作為振蕩器1、環(huán)行器2、混頻器等來進(jìn)行說明的，不過對(duì)于其它的非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)部件也是可以實(shí)施的。此外，以上是對(duì)于毫米波來進(jìn)行說明的，但對(duì)于微波也可適用。再者，對(duì)于其他類型的集成電路也可適用。
按照本發(fā)明的第一方面，可以單個(gè)地制成非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)部件和非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)部件的部件安裝部，這樣就可提高部件和安裝部的批量生產(chǎn)能力。此外，可使用測(cè)定夾具在制造好的部件的原有狀態(tài)下單獨(dú)地對(duì)部件進(jìn)行特性測(cè)試，可在原有測(cè)試狀態(tài)下簡(jiǎn)單地把部件安裝到安裝部上，而且可單獨(dú)地取出來，因此可提高集成電路的批量生產(chǎn)能力。
按照本發(fā)明的第二方面，使第2對(duì)導(dǎo)體的一個(gè)在第2對(duì)導(dǎo)體的另一個(gè)與第2電介質(zhì)窄條固定的狀態(tài)下具備可在內(nèi)部放置非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)部件的窗口，因此可提高非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)部件的部件安裝部的批量生產(chǎn)能力，進(jìn)而可提高集成電路的批量生產(chǎn)能力。
權(quán)利要求
1.一種利用非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)、在微波頻段或毫米波頻段工作的集成電路，上述集成電路的特征是具備分擔(dān)該集成電路的一部分功能的非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)部件，以及通過安裝上述非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)部件，與上述非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)一起形成該集成電路的非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)部件的安裝部，上述非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)部件具有以相互的間隔為預(yù)定的間隔而平行地配置的、該部件固有的第1對(duì)導(dǎo)體；在上述第1對(duì)導(dǎo)體的二導(dǎo)體間配置的、以預(yù)定模式傳輸高頻電磁波的、該部件固有的第1電介質(zhì)窄條；在上述第1對(duì)導(dǎo)體的兩導(dǎo)體的至少一個(gè)上形成的、可與上述非輻射性電介質(zhì)部件安裝部連接的平面狀的安裝面；以及在上述兩導(dǎo)體的端部形成的、與從上述電介質(zhì)窄條的端部輸入或輸出的電磁波的行進(jìn)方向垂直的、并且包含上述第1電介質(zhì)窄條的端部附近的垂直端面；上述非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)部件安裝部具有以相互的間隔為預(yù)定的間隔而平行地配置的該安裝部固有的、并可在內(nèi)部放置上述非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)部件的第2對(duì)導(dǎo)體；以及在上述第2對(duì)導(dǎo)體的兩導(dǎo)體間配置的、以預(yù)定模式傳輸高頻電磁波的、與上述第1電介質(zhì)窄條連接而設(shè)置的該安裝部固有的第2電介質(zhì)窄條。
2.權(quán)利要求1中所述的集成電路，其特征是，其中上述第2對(duì)導(dǎo)體的一個(gè)在上述第2對(duì)導(dǎo)體的另一個(gè)與上述第2電介質(zhì)窄條固定的狀態(tài)下具備可在內(nèi)部放置上述非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)部件的窗口。
全文摘要
本發(fā)明的集成電路具備分擔(dān)該集成電路的一部分功能的振蕩器1、環(huán)行器2等以及通過安裝上述部件與上述部件一起形成該集成電路的非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)部件的部件安裝部7。振蕩器1具有導(dǎo)體10、11；電介質(zhì)窄條12；安裝面19a；以及包含電介質(zhì)窄條12的端部12a附近的垂直端面19b。環(huán)行器2等也以同樣的方式構(gòu)成。在對(duì)振蕩器1、環(huán)行器2等進(jìn)行測(cè)試后，將其放置在非輻射性電介質(zhì)波導(dǎo)部件的部件安裝部7固有的導(dǎo)體70、71間的內(nèi)部。
文檔編號(hào)H01P1/32GK1127434SQ9511691
公開日1996年7月24日 申請(qǐng)日期1995年8月30日 優(yōu)先權(quán)日1994年8月30日
發(fā)明者石川容平, 谷崎透, 西田浩 申請(qǐng)人:株式會(huì)社村田制作所