本公開(kāi)涉及激光裝置、激光裝置的波長(zhǎng)控制方法和電子器件的制造方法。

背景技術(shù)：

1、近年來(lái)，在半導(dǎo)體曝光裝置中，隨著半導(dǎo)體集成電路的微細(xì)化和高集成化，要求分辨率的提高。因此，從曝光用光源發(fā)射的光的短波長(zhǎng)化得以發(fā)展。例如，作為曝光用的氣體激光裝置，使用輸出波長(zhǎng)大約為248nm的激光的krf準(zhǔn)分子激光裝置、以及輸出波長(zhǎng)大約為193nm的激光的arf準(zhǔn)分子激光裝置。

2、krf準(zhǔn)分子激光裝置和arf準(zhǔn)分子激光裝置的自然振蕩光的譜線寬度較寬，為350～400pm。因此，在利用使krf和arf激光這種紫外線透過(guò)的材料構(gòu)成投影透鏡時(shí)，有時(shí)產(chǎn)生色差。其結(jié)果，分辨率可能降低。因此，需要將從氣體激光裝置輸出的激光的譜線寬度窄帶化到能夠無(wú)視色差的程度。因此，在氣體激光裝置的激光諧振器內(nèi)，為了使譜線寬度窄帶化，有時(shí)具有包含窄帶化元件(標(biāo)準(zhǔn)具、光柵等)的窄帶化模塊(line?narrowing?module：lnm)。下面，將譜線寬度被窄帶化的氣體激光裝置稱(chēng)為窄帶化氣體激光裝置。

3、現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

4、專(zhuān)利文獻(xiàn)

5、專(zhuān)利文獻(xiàn)1：美國(guó)專(zhuān)利申請(qǐng)公開(kāi)第2021/0226414號(hào)

6、專(zhuān)利文獻(xiàn)2：國(guó)際公開(kāi)第2021/015919號(hào)

7、專(zhuān)利文獻(xiàn)3：國(guó)際公開(kāi)第2020/231946號(hào)

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本公開(kāi)的1個(gè)觀點(diǎn)的激光裝置具有：波長(zhǎng)可變的第1半導(dǎo)體激光器，其輸出連續(xù)振蕩的第1激光；第1放大器，其進(jìn)行第1激光的脈沖化和放大，而輸出第1脈沖激光；波長(zhǎng)轉(zhuǎn)換系統(tǒng)，其通過(guò)使用第1脈沖激光的波長(zhǎng)轉(zhuǎn)換，而輸出第2脈沖激光；準(zhǔn)分子放大器，其對(duì)第2脈沖激光進(jìn)行放大，而輸出第3脈沖激光；監(jiān)視器模塊，其計(jì)測(cè)第3脈沖激光的波長(zhǎng)；以及處理器，其周期性地變更第3脈沖激光的目標(biāo)波長(zhǎng)，根據(jù)以相同的目標(biāo)波長(zhǎng)輸出的第3脈沖激光的波長(zhǎng)的計(jì)測(cè)值，控制用于對(duì)第1半導(dǎo)體激光器的波長(zhǎng)進(jìn)行變更的電流，以使第3脈沖激光的波長(zhǎng)成為目標(biāo)波長(zhǎng)。

2、本公開(kāi)的1個(gè)觀點(diǎn)的激光裝置的波長(zhǎng)控制方法包含以下步驟：通過(guò)第1半導(dǎo)體激光器輸出連續(xù)振蕩的第1激光；進(jìn)行第1激光的脈沖化和放大，而輸出第1脈沖激光；通過(guò)使用第1脈沖激光的波長(zhǎng)轉(zhuǎn)換，而輸出第2脈沖激光；對(duì)第2脈沖激光進(jìn)行放大，而輸出第3脈沖激光；計(jì)測(cè)第3脈沖激光的波長(zhǎng)；周期性地變更第3脈沖激光的目標(biāo)波長(zhǎng)；以及根據(jù)以相同的目標(biāo)波長(zhǎng)輸出的第3脈沖激光的波長(zhǎng)的計(jì)測(cè)值，控制用于對(duì)第1半導(dǎo)體激光器的波長(zhǎng)進(jìn)行變更的電流，以使第3脈沖激光的波長(zhǎng)成為目標(biāo)波長(zhǎng)。

3、本公開(kāi)的1個(gè)觀點(diǎn)的電子器件的制造方法包含以下步驟：通過(guò)激光裝置生成第3脈沖激光，將第3脈沖激光輸出到曝光裝置，在曝光裝置內(nèi)在感光基板上曝光第3脈沖激光，以制造電子器件，激光裝置具有：波長(zhǎng)可變的第1半導(dǎo)體激光器，其輸出連續(xù)振蕩的第1激光；第1放大器，其進(jìn)行第1激光的脈沖化和放大，而輸出第1脈沖激光；波長(zhǎng)轉(zhuǎn)換系統(tǒng)，其通過(guò)使用第1脈沖激光的波長(zhǎng)轉(zhuǎn)換，而輸出第2脈沖激光；準(zhǔn)分子放大器，其對(duì)第2脈沖激光進(jìn)行放大，而輸出第3脈沖激光；監(jiān)視器模塊，其計(jì)測(cè)第3脈沖激光的波長(zhǎng)；以及處理器，其周期性地變更第3脈沖激光的目標(biāo)波長(zhǎng)，根據(jù)以相同的目標(biāo)波長(zhǎng)輸出的第3脈沖激光的波長(zhǎng)的計(jì)測(cè)值，控制用于對(duì)第1半導(dǎo)體激光器的波長(zhǎng)進(jìn)行變更的電流，以使第3脈沖激光的波長(zhǎng)成為目標(biāo)波長(zhǎng)。

技術(shù)特征：

1.一種激光裝置，其具有：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光裝置，其中，

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的激光裝置，其中，

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光裝置，其中，

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光裝置，其中，

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光裝置，其中，

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的激光裝置，其中，

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的激光裝置，其中，

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光裝置，其中，

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的激光裝置，其中，

11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的激光裝置，其中，

12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光裝置，其中，

13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光裝置，其中，

14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光裝置，其中，

15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的激光裝置，其中，

16.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光裝置，其中，

17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的激光裝置，其中，

18.根據(jù)權(quán)利要求16所述的激光裝置，其中，

19.一種激光裝置的波長(zhǎng)控制方法，其包含以下步驟：

20.一種電子器件的制造方法，其包含以下步驟：

技術(shù)總結(jié)
激光裝置具有：波長(zhǎng)可變的第1半導(dǎo)體激光器，其輸出連續(xù)振蕩的第1激光；第1放大器，其進(jìn)行第1激光的脈沖化和放大，而輸出第1脈沖激光；波長(zhǎng)轉(zhuǎn)換系統(tǒng)，其通過(guò)使用第1脈沖激光的波長(zhǎng)轉(zhuǎn)換，而輸出第2脈沖激光；準(zhǔn)分子放大器，其對(duì)第2脈沖激光進(jìn)行放大，而輸出第3脈沖激光；監(jiān)視器模塊，其計(jì)測(cè)第3脈沖激光的波長(zhǎng)；以及處理器，其周期性地變更第3脈沖激光的目標(biāo)波長(zhǎng)，根據(jù)以相同的目標(biāo)波長(zhǎng)輸出的第3脈沖激光的波長(zhǎng)的計(jì)測(cè)值，控制用于對(duì)第1半導(dǎo)體激光器的波長(zhǎng)進(jìn)行變更的電流，以使第3脈沖激光的波長(zhǎng)成為目標(biāo)波長(zhǎng)。

技術(shù)研發(fā)人員：野極誠(chéng)二,若林理
受保護(hù)的技術(shù)使用者：極光先進(jìn)雷射株式會(huì)社
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/10/21