本實(shí)用新型涉及到單晶硅片生產(chǎn)領(lǐng)域用到的倒片器，具體的說是一種單晶硅片倒片器用石英舟工裝。

背景技術(shù)：

背封工藝是硅拋光片加工工序中非常重要的一個(gè)環(huán)節(jié)。主要是采用低壓化學(xué)氣相淀積(LPCVD)設(shè)備在硅基片上淀積SiO₂薄膜、Poly-Si 多晶硅、Si₃N₄薄膜的一種重要工藝。我們?cè)谥負(fù)焦杵趁嫔L(zhǎng)一層SiO₂薄膜是和背損傷工藝同時(shí)作用，主要是起到封閉雜質(zhì)的作用。

在整個(gè)工藝過程中需要把由四氟片盒裝載的潔凈硅基片搬運(yùn)到石英舟內(nèi)，然后再進(jìn)爐進(jìn)行背面長(zhǎng)膜。在這個(gè)過程中為了避免人為的操作出現(xiàn)硅基片的沾污、擦傷和邊緣崩邊等缺陷，需要使用到倒片器。

我公司主要使用的是MACTRONIX公司的倒片器，該倒片器全氣動(dòng)控制，使用穩(wěn)定。但是，我公司使用的倒片器石英舟工位與現(xiàn)有工藝新設(shè)計(jì)使用的石英舟不匹配，需要對(duì)該倒片器設(shè)備的石英舟工位進(jìn)行重新設(shè)計(jì)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

為解決本公司現(xiàn)有石英舟與倒片器石英舟工位不匹配的問題，本實(shí)用新型提供了一種單晶硅片倒片器用石英舟工裝，該石英舟工裝能夠與現(xiàn)有的倒片器完全匹配，從而實(shí)現(xiàn)了倒片器全自動(dòng)上下料的功能。

本實(shí)用新型為解決上述技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案為：一種單晶硅片倒片器用石英舟工裝，包括底座及設(shè)置在底座上的石英舟，所述的石英舟包括兩塊矩形板和與兩塊矩形板的三個(gè)角垂直連接的三根連接柱，且三根連接柱和兩塊矩形板圍成V形的儲(chǔ)片空間，三根連接柱朝向儲(chǔ)片空間的側(cè)面上對(duì)稱設(shè)置有若干刻槽，以使單晶硅片的邊緣卡設(shè)在三根連接柱上的刻槽內(nèi)；所述兩塊矩形板的其中一塊上設(shè)置有與叉取石英舟的叉子配合的通槽；

所述底座包括底板以及分別設(shè)置在底板兩側(cè)的矩形擋板和V形擋板，其中，底板上開設(shè)有卡槽和凸起，以使底座通過卡槽卡設(shè)在倒片器石英舟工位上時(shí)，凸起關(guān)閉倒片器石英舟工位的氣動(dòng)開關(guān)；所述矩形擋板和V形擋板上分別設(shè)置有V型槽Ⅰ和V型槽Ⅱ，以使石英舟的兩塊矩形板分別卡設(shè)在V型槽Ⅰ和V型槽Ⅱ內(nèi)時(shí)，儲(chǔ)片空間的開口朝上。

所述兩塊矩形板的四個(gè)角均為弧形倒角，每根連接柱為半圓柱狀結(jié)構(gòu)，且連接柱的半圓柱弧形輪廓線與矩形板的弧形倒角輪廓線重合。

所述矩形擋板上V型槽Ⅰ頂部的兩端與矩形擋板頂部平面的兩端之間具有承載面。

所述V形擋板上V型槽Ⅱ頂部的兩端與V形擋板頂部平面的兩端重合，且在V型槽Ⅱ內(nèi)設(shè)置有厚度小于V形擋板厚度的三角形擋板，三角形擋板卡設(shè)在V型槽Ⅱ的V形尖端位置，且其外側(cè)面與V形擋板的外側(cè)面重合。

有益效果：本實(shí)用新型通過在倒片器的石英舟工位上設(shè)置一個(gè)與其配合的底座，然后利用該底座與新設(shè)計(jì)的石英舟配合，從而實(shí)現(xiàn)了現(xiàn)有倒片器設(shè)備與石英舟的完美匹配，最終實(shí)現(xiàn)了倒片器全自動(dòng)上下料的功能。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型石英舟的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型底座的結(jié)構(gòu)示意圖；

附圖標(biāo)記：1、矩形板，101、通槽，2、連接柱，201、刻槽，3、儲(chǔ)片空間，4、底板，401、卡槽，402、凸起，5、矩形擋板，501、V型槽Ⅰ，502、承載面，6、V形擋板，601、V型槽Ⅱ，7、三角形擋板。

具體實(shí)施方式

如圖所示，一種單晶硅片倒片器用石英舟工裝，包括底座及設(shè)置在底座上的石英舟，所述的石英舟包括兩塊矩形板1和與兩塊矩形板1的三個(gè)角垂直連接的三根連接柱2，且三根連接柱2和兩塊矩形板1圍成V形的儲(chǔ)片空間3，三根連接柱2朝向儲(chǔ)片空間3的側(cè)面上對(duì)稱設(shè)置有若干刻槽201，以使單晶硅片的邊緣卡設(shè)在三根連接柱2上的刻槽201內(nèi)；所述兩塊矩形板1的其中一塊上設(shè)置有與叉取石英舟的叉子配合的通槽101；

所述底座包括底板4以及分別設(shè)置在底板4兩側(cè)的矩形擋板5和V形擋板6，其中，底板4上開設(shè)有卡槽401和凸起402，以使底座通過卡槽401卡設(shè)在倒片器石英舟工位上時(shí)，凸起402關(guān)閉倒片器石英舟工位的氣動(dòng)開關(guān)；所述矩形擋板5和V形擋板6上分別設(shè)置有V型槽Ⅰ501和V型槽Ⅱ601，以使石英舟的兩塊矩形板1分別卡設(shè)在V型槽Ⅰ501和V型槽Ⅱ601內(nèi)時(shí)，儲(chǔ)片空間3的開口朝上。

以上為本實(shí)用新型的基本實(shí)施方式，可在以上基礎(chǔ)上做進(jìn)一步的改進(jìn)、優(yōu)化和限定：

如，所述兩塊矩形板1的四個(gè)角均為弧形倒角，每根連接柱2為半圓柱狀結(jié)構(gòu)，且連接柱2的半圓柱弧形輪廓線與矩形板1的弧形倒角輪廓線重合；

進(jìn)一步的，每根連接柱2上的刻槽201的數(shù)量為25條；

又如，所述矩形擋板5上V型槽Ⅰ501頂部的兩端與矩形擋板5頂部平面的兩端之間具有承載面502；

再如，所述V形擋板6上V型槽Ⅱ601頂部的兩端與V形擋板6頂部平面的兩端重合，且在V型槽Ⅱ601內(nèi)設(shè)置有厚度小于V形擋板6厚度的三角形擋板7，三角形擋板7卡設(shè)在V型槽Ⅱ601的V形尖端位置，且其外側(cè)面與V形擋板6的外側(cè)面重合。

本實(shí)用新型在使用時(shí)，首先將附圖2中的底座放置到倒片器上的石英舟工位處，使構(gòu)成底座的底板4上的卡槽401卡設(shè)在倒片器石英舟工位上，此時(shí)，凸起402關(guān)閉倒片器石英舟工位的氣動(dòng)開關(guān)；然后將附圖1中的石英舟放置到V型槽Ⅰ501和V型槽Ⅱ601內(nèi)，放置時(shí)，構(gòu)成石英舟的兩塊矩形板1的一個(gè)角分別放置在V型槽Ⅰ501和V型槽Ⅱ601內(nèi)，從而使三根連接柱2和兩塊矩形板1圍成得V形儲(chǔ)片空間3的開口向上。