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一種發(fā)光效率高的LED芯片及其制作方法與流程

文檔序號(hào):12479085閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種發(fā)光效率高的LED芯片,包括:襯底,所述襯底上自下而上依次形成的外延層、電流阻擋層、透明導(dǎo)電膜以及P電極,所述外延層包括緩沖層、N型半導(dǎo)體層、發(fā)光層、P型半導(dǎo)體層,所述P型半導(dǎo)體層邊緣刻蝕至露出所述N型半導(dǎo)體層,N電極形成在露出的N型半導(dǎo)體層上,其特征在于:所述電流阻擋層中有通孔,所述通孔中填充電導(dǎo)率低于透明導(dǎo)電膜的導(dǎo)電介質(zhì)夾層,所述電流阻擋層與P型半導(dǎo)體層之間形成電導(dǎo)率大于P型半導(dǎo)體層的電流擴(kuò)散薄層,所述電流擴(kuò)散薄層被所述電流阻擋層以及所述導(dǎo)電介質(zhì)夾層覆蓋。

2.如權(quán)利要求1所述的發(fā)光效率高的LED芯片,其特征在于:所述通孔形成在電流阻擋層的中央。

3.如權(quán)利要求1所述的發(fā)光效率高的LED芯片,其特征在于:所述電流擴(kuò)散薄層材料具有高的反射率。

4.如權(quán)利要求3所述的發(fā)光效率高的LED芯片,其特征在于:所述電流擴(kuò)散薄層材料為鋁或銀。

5.如權(quán)利要求1所述的發(fā)光效率高的LED芯片,其特征在于:所述電流擴(kuò)散薄層與所述P電極投影重合。

6.如權(quán)利要求1所述的發(fā)光效率高的LED芯片,其特征在于:所述N型半導(dǎo)體層為N型GaN,所述發(fā)光層為In摻雜的GaN,所述P型半導(dǎo)體層為P型GaN。

7.一種發(fā)光效率高的LED芯片的制作方法,其特征在于,包括以下步驟:

(1)在襯底上自下而上依次外延生長(zhǎng)緩沖層、N型半導(dǎo)體層、發(fā)光層和P型半導(dǎo)體層以獲得外延片;

(2)蝕刻所述P型半導(dǎo)體層邊緣至露出所述N型半導(dǎo)體層;

(3)在所述P型半導(dǎo)體層表面形成電流擴(kuò)散薄層以及電流阻擋層,所述電流阻擋層中有通孔,所述通孔中填充電導(dǎo)率低于透明導(dǎo)電膜的導(dǎo)電介質(zhì)夾層;

(4)在所述電流阻擋層以及未被電流阻擋層覆蓋的P型半導(dǎo)體層表面形成透明導(dǎo)電膜;

(5)在最透明導(dǎo)電膜上形成P電極,在露出的N型半導(dǎo)體層上形成N電極。

8.如權(quán)利要求7所述的LED芯片制作方法,其特征在于:步驟(3)具體過(guò)程為首先沉積一層電流擴(kuò)散薄層,然后沉積一層電流阻擋層,刻蝕所述電流阻擋層形成通孔,在所述通孔中沉積導(dǎo)電介質(zhì)夾層。

9.如權(quán)利要求7所述的發(fā)光效率高的LED芯片的制作方法,其特征在于:步驟(3)具體過(guò)程為首先沉積一層電流擴(kuò)散薄層,然后沉積一層導(dǎo)電介質(zhì)夾層,刻蝕所述導(dǎo)電介質(zhì)夾層,沉積電流阻擋層覆蓋電流擴(kuò)散薄層,并且包圍導(dǎo)電介質(zhì)夾層。

10.如權(quán)利要求7所述的發(fā)光效率高的LED芯片的制作方法,其特征在于:所述電流擴(kuò)展薄層與所述導(dǎo)電介質(zhì)夾層材料相同,步驟(3)電流擴(kuò)散薄層與導(dǎo)電介質(zhì)夾層同一步沉積,然后刻蝕并沉積電流阻擋層。

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