1.一種提高清洗均勻度的圖形晶圓無損傷清洗裝置，其特征在于，包括：
上、下殼體，其連接形成密封腔，所述密封腔在下殼體的下端面形成開口；
超聲波/兆聲波發(fā)生機(jī)構(gòu)，設(shè)于密封腔內(nèi)，其上部和側(cè)部與密封腔內(nèi)壁之間具有間隙；
底部石英部件，包括一形成向下開口凹槽的環(huán)狀石英微共振腔保護(hù)圈，以及一個(gè)上端連接設(shè)于凹槽底部、下端為自由端的由多個(gè)垂直棒狀石英結(jié)構(gòu)組成的石英微共振腔陣列，所述環(huán)狀石英微共振腔保護(hù)圈上部緊貼超聲波/兆聲波發(fā)生機(jī)構(gòu)下部，其側(cè)部與密封腔位于下殼體部分的內(nèi)壁之間密封連接，其凹槽下端由下殼體下端面的開口伸出，所述石英微共振腔陣列的下端面不高于凹槽的下端面，其各棒狀石英結(jié)構(gòu)的下端面之間具有不同的高度；
其中，所述裝置連接控制其移動(dòng)的噴淋臂，所述超聲波/兆聲波發(fā)生機(jī)構(gòu)產(chǎn)生的超聲波能量，依次經(jīng)過環(huán)狀石英微共振腔保護(hù)圈、石英微共振腔陣列向下傳導(dǎo)，并經(jīng)所述石英微共振腔陣列的選擇性去除后，通過沒入圖形晶圓上清洗藥液中的所述棒狀石英結(jié)構(gòu)的下端面垂直傳導(dǎo)至圖形晶圓表面，帶動(dòng)清洗藥液振蕩，以進(jìn)行超聲波/兆聲波移動(dòng)清洗，同時(shí)，在圖形晶圓旋轉(zhuǎn)過程中，通過具有不同高度下端面的各棒狀石英結(jié)構(gòu)，使圖形晶圓表面任意位置的區(qū)域都經(jīng)過不同高度石英微共振腔陣列的清洗，以使圖形晶圓表面的超聲波/兆聲波能量均勻分布，實(shí)現(xiàn)在一定的清洗時(shí)間內(nèi)，使整個(gè)圖形晶圓范圍內(nèi)的任意區(qū)域都得到均勻的清洗。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的提高清洗均勻度的圖形晶圓無損傷清洗裝置，其特征在于，還包括一個(gè)連接噴淋臂的旋轉(zhuǎn)電機(jī)，所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)的轉(zhuǎn)軸連接所述裝置，用于控制所述裝置水平旋轉(zhuǎn)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的提高清洗均勻度的圖形晶圓無損傷清洗裝置，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)的轉(zhuǎn)軸偏心連接所述裝置上殼體的頂部。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的提高清洗均勻度的圖形晶圓無損傷清洗裝置，其特征在于，所述上殼體設(shè)有氣體入口和出口，其連通由密封腔內(nèi)壁和超聲波/兆聲波發(fā)生機(jī)構(gòu)外壁組成的冷卻腔，用于通過氣體入口通入冷卻氣體，對超聲波/兆聲波發(fā)生機(jī)構(gòu)進(jìn)行冷卻，并由氣體出口排出。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的提高清洗均勻度的圖形晶圓無損傷清洗裝置，其特征在于，所述下殼體側(cè)部連通設(shè)有保護(hù)氣體入口和出口，所述保護(hù)氣體出口為一圈下傾的氣孔或狹縫，用作通過保護(hù)氣體入口通入保護(hù)氣體，并由保護(hù)氣體出口噴出，以在圖形晶圓表面形成一個(gè)氣體保護(hù)層。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的提高清洗均勻度的圖形晶圓無損傷清洗裝置，其特征在于，所述上殼體設(shè)有氣體入口，所述下殼體側(cè)部設(shè)有氣體出口，所述氣體出口為一圈下傾的氣孔或狹縫，所述氣體入口和出口連通由密封腔內(nèi)壁和超聲波/兆聲波發(fā)生機(jī)構(gòu)外壁組成的冷卻腔，用于通過氣體入口通入冷卻氣體，對超聲波/兆聲波發(fā)生機(jī)構(gòu)進(jìn)行冷卻，并在通過氣體出口傾斜向下排出的同時(shí)，在圖形晶圓表面形成一個(gè)氣體保護(hù)層。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的提高清洗均勻度的圖形晶圓無損傷清洗裝置，其特征在于，所述環(huán)狀石英微共振腔保護(hù)圈的凹槽側(cè)壁設(shè)有一至若干開孔，用于使清洗藥液自由進(jìn)出石英微共振腔陣列與圖形晶圓表面之間的間隙。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的提高清洗均勻度的圖形晶圓無損傷清洗裝置，其特征在于，所述石英微共振腔陣列棒狀石英結(jié)構(gòu)的形狀包括圓形、三角形、五邊形或長方形，各棒狀石英結(jié)構(gòu)按照一定的規(guī)則分布，或者按照隨機(jī)方式分布。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的提高清洗均勻度的圖形晶圓無損傷清洗裝置，其特征在于，所述石英微共振腔陣列的下端面輪廓形成扇形、三角形、五邊形或者是長條形。
10.根據(jù)權(quán)利要求1-9任意一項(xiàng)所述的提高清洗均勻度的圖形晶圓無損傷清洗裝置，其特征在于，所述超聲波/兆聲波發(fā)生機(jī)構(gòu)包括上下緊貼設(shè)置的壓電材料和耦合層，所述耦合層下部緊貼環(huán)狀石英微共振腔保護(hù)圈上部，所述壓電材料、耦合層和環(huán)狀石英微共振腔保護(hù)圈通過在上殼體頂部與壓電材料之間依次所設(shè)的壓緊彈簧和壓緊彈簧導(dǎo)向柱進(jìn)行壓緊；所述上殼體裝有壓電材料接線柱，用于將外部電信號導(dǎo)入至壓電材料，并通過連接耦合層接線柱形成回路，以產(chǎn)生超聲波/兆聲波振蕩能量。