本發(fā)明涉及半導(dǎo)體晶片加工，尤其涉及半導(dǎo)體的磁力噴墨測(cè)試工藝。
背景技術(shù)：
隨著半導(dǎo)體行業(yè)的迅速發(fā)展，急需一種能夠快速剔除不良品晶粒的作業(yè)方式，提高生產(chǎn)效率，降低生產(chǎn)成本，保證產(chǎn)品供應(yīng)的及時(shí)性，提升企業(yè)形象，增強(qiáng)企業(yè)競(jìng)爭(zhēng)力。
半導(dǎo)體晶片采用測(cè)試機(jī)進(jìn)行測(cè)試時(shí)，對(duì)晶片的電性進(jìn)行噴墨分選，區(qū)分出良品和不良品晶粒。在現(xiàn)有微電子行業(yè)半導(dǎo)體制程中，例如：GPP晶片(具有玻璃鈍化保護(hù)P/N結(jié)的類型晶片)在激光切割硅片后，對(duì)呈現(xiàn)半切透狀態(tài)的硅片進(jìn)行分裂，將整個(gè)硅片分割成符合要求的單個(gè)小晶粒，再手工將不良品晶粒一顆顆剔除，人工耗費(fèi)極大，生產(chǎn)效率低下，制造成本極高，同時(shí)需要建立真空系統(tǒng)，增加成本，同時(shí)被吸進(jìn)去的雙面鍍金晶粒無(wú)法回收，再次造成經(jīng)濟(jì)上的損失。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
本發(fā)明針對(duì)以上問(wèn)題，提供了一種操作簡(jiǎn)單，能夠高效快速剔除不合格晶粒的應(yīng)用于半導(dǎo)體的磁力噴墨測(cè)試工藝。
本發(fā)明的技術(shù)方案是：包括以下步驟：
S1、先激光切割晶片呈半切透狀，形成若干待分離的晶粒；
S2、測(cè)試晶粒，區(qū)分不合格晶粒；
S3、磁性墨水配制；
S4、晶片噴墨，對(duì)不合格晶粒進(jìn)行噴墨；
S5、烘干，將噴墨后的晶片放置在烘箱內(nèi)，烘箱溫度為80-100℃，時(shí)間為15-25min；
S6、裂片，將待裂晶片放置在兩張防靜電麥拉紙之間，再通過(guò)硬質(zhì)膠棒滾碾晶片，使其分裂成若干晶粒；
S7、磁鐵吸附帶墨水的不合格晶粒，完成。
步驟S3、磁性墨水配制；
S3.1、原料準(zhǔn)備，包括Fe3O4粉末8-15g、酒精150-220ml和墨水400-600ml；
S3.2、原料混合，將Fe3O4粉末溶于盛放墨水的容器，再將酒精加入容器；
S3.3、原料攪拌，攪拌時(shí)間為3-6h，溫度為15-30℃；
S3.4、靜置、完成。
還包括表面活性劑，將表面活性劑加入步驟S3.2中的容器內(nèi)。
本發(fā)明在工作中，先將晶片切割呈半切透狀；通過(guò)探針臺(tái)測(cè)試區(qū)分不合格晶粒；配制磁性墨水；對(duì)不合格晶粒通過(guò)探針臺(tái)進(jìn)行噴墨；晶片烘干，將磁性墨水烘干，便于后續(xù)操作；裂片，將晶片分裂成若干晶粒；最后，通過(guò)磁鐵吸附不合格晶粒，完成加工過(guò)程，節(jié)省了時(shí)間，提高了工作效率。在磁性墨水配制過(guò)程中，F(xiàn)e3O4粉末具有磁性的作用，墨水起到標(biāo)記不合格晶粒的作用，酒精起到稀釋和溶解的作用，成本低，方便加工。
本發(fā)明降低了生產(chǎn)成本，提高了工作效率，成品率高。
具體實(shí)施方式
本發(fā)明包括以下步驟：
S1、先激光切割晶片呈半切透狀（即切割道深及晶片但未貫穿晶片），形成若干待分離的晶粒；
S2、測(cè)試晶粒，區(qū)分不合格晶粒，采用探針臺(tái)進(jìn)行測(cè)試；
S3、磁性墨水配制；
S4、晶片噴墨，對(duì)不合格晶粒進(jìn)行噴墨，采用探針臺(tái)進(jìn)行自動(dòng)噴墨；配制的磁性墨水通過(guò)溶劑的稀釋和攪拌實(shí)現(xiàn)良好的粘稠狀態(tài)，將墨水噴至在芯片的正中心位置；
S5、烘干，將噴墨后的晶片放置在烘箱內(nèi)，烘箱溫度為80-100℃，時(shí)間為15-25min；
S6、裂片，將待裂晶片放置在兩張防靜電麥拉紙之間，再通過(guò)硬質(zhì)膠棒滾碾晶片，使其分裂成若干晶粒；麥拉紙防止靜電，晶粒由于靜電作用被吸附，從而造成飛料，引起混料等異常。
S7、磁鐵吸附帶墨水的不合格晶粒，完成；通過(guò)帶有磁性的磁鐵吸附，由于磁性墨水中的Fe3O4粉末具有金屬特性，使得吸附可靠，便于分離。
酒精的作用是稀釋和溶解作用；一是將墨水充分溶解于酒精中；二是對(duì)Fe3O4粉末起到稀釋的作用。
步驟S3、磁性墨水配制；
S3.1、原料準(zhǔn)備，包括Fe3O4粉末8-15g、酒精150-220ml和墨水400-600ml；
S3.2、原料混合，將Fe3O4粉末溶于盛放墨水的容器，再將酒精加入容器；
S3.3、原料攪拌，攪拌時(shí)間為3-6h，溫度為15-30℃；
S3.4、靜置、完成。Fe3O4粉末具有磁性的作用，墨水起到標(biāo)記不合格晶粒的作用。使用前需要充分?jǐn)嚢柚辽?0min以上。
應(yīng)用中，包括Fe3O4粉末10g、酒精180ml和墨水500ml；將Fe3O4粉末溶于盛放墨水的容器，再將酒精加入容器；攪拌時(shí)間為4h，溫度為20℃；靜置，完成。
還包括表面活性劑，將表面活性劑加入步驟S3.2中的容器內(nèi)。表面活性劑具有消除晶片表面張力的作用，便于清洗（在晶粒發(fā)生誤操作噴墨時(shí)），還能避免發(fā)生晶片氧化腐蝕的作用。