硅片加工裝置制造方法
【專利摘要】硅片加工裝置，包括機臺以及依次設置于機臺的一個或多個加工部；加工部包括硅片安裝機構和加工機構；硅片安裝機構設置于機臺上部，用于安裝硅片并帶動安裝于其上的硅片沿第一方向轉(zhuǎn)動；加工機構設置于機臺下部，且具有與硅片安裝機構相對設置的加工盤；加工盤可移動至靠近硅片安裝機構處或遠離硅片安裝機構處；加工盤在靠近硅片安裝機構處沿與第一方向相反的第二方向轉(zhuǎn)動，對硅片進行加工。本發(fā)明實現(xiàn)了單晶硅硅片加工的自動化操作，不僅避免了現(xiàn)有技術對人體的傷害和對環(huán)境的污染，而且提高了產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率。
【專利說明】硅片加工裝置
【技術領域】
[0001]本發(fā)明屬于硅片表面加工設備【技術領域】，涉及一種硅片加工裝置。
【背景技術】
[0002]隨著世界經(jīng)濟的不斷發(fā)展，現(xiàn)代化建設對高效能源需求不斷增長。光伏發(fā)電作為綠色能源以及人類可持續(xù)發(fā)展的主要能源的一種，日益受到世界各國的重視并得到大力發(fā)展。作為光伏發(fā)電的基礎材料，單晶硅片需要進行各項測試以確保其質(zhì)量。在進行某些測試，如，氧/碳含量測試之前，需要對硅片進行打磨和/或拋光等加工，制成測試樣片。目前對硅片進行加工的方式多為手工打磨，或采用強酸進行拋光。手工打磨不僅生產(chǎn)效率低，且產(chǎn)生的粉塵會危害人體健康；采用強酸進行拋光會造成環(huán)境污染。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的是提供一種硅片加工裝置，解決現(xiàn)有采用手工打磨存在的生產(chǎn)效率低及采用強酸拋光存在的環(huán)境污染問題。
[0004]本發(fā)明所采用的技術方案是，硅片加工裝置，包括機臺以及依次設置于機臺的一個或多個加工部，加工部包括硅片安裝機構和加工機構，硅片安裝機構設置于機臺上部，用于安裝硅片并帶動安裝于其上的硅片沿第一方向轉(zhuǎn)動，加工機構設置于機臺下部，且具有與硅片安裝機構相對設置的加工盤，加工盤可移動至靠近硅片安裝機構處或遠離硅片安裝機構處，加工盤在靠近硅片安裝機構處沿與第一方向相反的第二方向轉(zhuǎn)動，對硅片進行加工。
[0005]本發(fā)明的特點還在于:
[0006]硅片安裝機構包括多個安裝結(jié)構，每個安裝結(jié)構均包括連接軸、吸附安裝件和伸縮連接件，硅片安裝于安裝結(jié)構的吸附安裝件，連接軸帶動吸附安裝件及硅片沿第一方向轉(zhuǎn)動，伸縮連接件連接于連接軸與吸附安裝件之間，使吸附安裝件可相對于連接軸伸縮。
[0007]每個安裝結(jié)構均包括擺動連接件，擺動連接件連接于連接軸與吸附安裝件之間，使吸附安裝件可相對于連接軸擺動。
[0008]擺動連接件包括固定部件及套設于固定部件外的可動部件，固定部件固定于連接軸，且具有外凸弧形面，可動部件固定連接于吸附安裝件，且具有與外凸弧形面相接觸的內(nèi)凹弧形面。
[0009]安裝結(jié)構還包括外封裝件和固定件，外封裝件套設于連接軸外圍，并與連接軸之間存在活動空間，連接軸開設有組裝孔，外封裝件開設有配合組裝孔，固定件與配合組裝孔及組裝孔相配合，將外封裝件連接于連接軸。
[0010]外封裝件固定連接于吸附安裝件或可動部件；吸附安裝件包括固定于一起的連接體和吸附體，連接體與吸附體之間形成一個抽氣間隙。
[0011]每個安裝結(jié)構均包括多個連通管，連接軸具有一個通氣孔和多個安裝孔，通氣孔連接于一個抽氣裝置，多個安裝孔均與通氣孔相連通，吸附安裝件具有多個裝配孔及多個抽氣孔，每個裝配孔均與多個抽氣孔相連通，多個連通管與多個安裝孔及多個裝配孔一一對應，每個連通管均安裝于一個安裝孔及一個對應的裝配孔之間，硅片表面的空氣經(jīng)多個抽氣孔、連通管及通氣孔被抽氣裝置抽走。
[0012]硅片安裝機構包括依次機械連接的一個驅(qū)動器、一個傳動結(jié)構和多個安裝結(jié)構，娃片安裝于多個安裝結(jié)構，驅(qū)動器通過傳動結(jié)構帶動多個安裝結(jié)構沿第一方向同步轉(zhuǎn)動。
[0013]傳動結(jié)構包括一個主動齒輪及與主動齒輪相嚙合的多個從動齒輪，主動齒輪機械連接于驅(qū)動器，多個安裝結(jié)構與多個從動齒輪一一對應機械連接。
[0014]加工機構還包括升降制動器和轉(zhuǎn)動制動器，加工盤在升降制動器的帶動下向靠近或遠離硅片安裝機構的方向移動，加工盤在轉(zhuǎn)動制動器的帶動下轉(zhuǎn)動；加工部還包括加工液供給機構，加工液供給機構包括多個供液管和與多個供液管一一連通的多個噴頭。
[0015]本發(fā)明具有如下有益效果:
[0016]1、本發(fā)明實現(xiàn)了單晶硅片加工的自動化操作，不僅避免了現(xiàn)有技術對人體的傷害和對環(huán)境的污染，而且提高了產(chǎn)品質(zhì)量。
[0017]2、本發(fā)明結(jié)構緊湊，不僅可同時進行多個硅片的加工，而且還可以同時對不同硅片分別進行打磨、拋光，大幅度提高了生產(chǎn)效率。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0018]圖1是本發(fā)明硅片加工裝置的結(jié)構示意圖；
[0019]圖2是圖1俯視剖面圖；
[0020]圖3是本發(fā)明硅片加工裝置安裝結(jié)構示意圖；
[0021]圖4是本發(fā)明硅片加工裝置安裝結(jié)構分解示意圖；
[0022]圖5是圖3沿V-V線的剖視圖；
[0023]圖6是使用本發(fā)明的硅片加工裝置加工硅片的示意圖。
[0024]圖中，10.硅片加工裝置，11.機臺，12.第一加工部，13.第二加工部，14.硅片安裝機構，15.第一加工機構，16.第一加工液供給機構，17.第二加工機構，18.第二加工液供給機構，100.硅片，110.底座，111.支桿，112.上板，113.移動板，140.驅(qū)動器，141.傳動結(jié)構，142.安裝結(jié)構，143.連接軸，144.吸附安裝件，145.伸縮連接件，146.擺動連接件，147.外封裝件，148.內(nèi)封裝件，149.緩沖墊，1410.主動齒輪，1411.從動齒輪，1430.主體部，1431.細徑部，1432.通氣孔，1433.安裝孔，1434.組裝孔，1440.連接體，1441.吸附體，1442.密封環(huán)，1443.凸起結(jié)構，1444.第一連接部，1445.第二連接部，1446.凹槽結(jié)構，1447.密封槽，1448.抽氣孔，1449.抽氣間隙，1450.第一端部，1451.第二端部，1460.固定部件，1461.可動部件，1462.外凸弧形面，1463.內(nèi)凹弧形面，1470.活動空間，1471.容置槽，1472.配合組裝孔，1473.固定件，1480.上封裝體，1481.下封裝體，1482.收容槽，1490.安裝槽，1491.吸附孔，1492.連通管，1493.裝配孔，1494.鎖緊件，150.第一加工底座，151.第一加工盤,152.第一升降制動器,153.第一轉(zhuǎn)動制動器,154.第一齒輪組,160.第一供液管，161.第一噴頭，170.第二加工底座，171.第二加工盤，172.第二升降制動器，173.第二轉(zhuǎn)動制動器，180.第二供液管，181.第二噴頭。
【具體實施方式】[0025]下面結(jié)合【具體實施方式】和多個附圖對本發(fā)明進行詳細說明。
[0026]參照圖1和圖2，硅片加工裝置10，包括機臺11、第一加工部12和第二加工部13。第一加工部12和第二加工部13依次設置于機臺11。
[0027]機臺11包括底座110、支桿111、上板112和兩個移動板113。上板112通過支桿111設置于底座Iio的上方，每個移動板113均位于底座110與上板112之間，且可向靠近或遠離上板112處移動。
[0028]第一加工部12包括硅片安裝機構14、第一加工機構15和第一加工液供給機構16。
[0029]硅片安裝機構14設置于機臺11上部，用于安裝硅片并帶動安裝于其上的硅片沿第一方向轉(zhuǎn)動。具體地，硅片安裝機構14設置于機臺11的上板112，安裝于硅片安裝機構14的娃片與底座110相對。娃片安裝機構14包括依次機械連接的一個驅(qū)動器140、一個傳動結(jié)構141和多個安裝結(jié)構142。驅(qū)動器140和傳動結(jié)構141位于上板112上遠離底座110的一側(cè)。多個安裝結(jié)構142均位于靠近底座110的一側(cè)。驅(qū)動器140通過傳動結(jié)構141帶動多個安裝結(jié)構142沿第一方向同步轉(zhuǎn)動。本實施例中，傳動結(jié)構141包括一個主動齒輪1410及多個從動齒輪1411，多個安裝結(jié)構142與多個從動齒輪1411 一一對應機械連接，每個安裝結(jié)構142均通過一個從動齒輪1411機械連接于主動齒輪1410及驅(qū)動器140。主動齒輪1410機械連接于驅(qū)動器140的輸出軸(圖未不),并隨驅(qū)動器140的輸出軸沿第一方向轉(zhuǎn)動。多個從動齒輪1411均與主動齒輪141相嚙合。一一機械連接于多個從動齒輪1411的多個安裝結(jié)構142在驅(qū)動器140的驅(qū)動及主動齒輪1410的帶動下沿第一方向同步轉(zhuǎn)動。當然，傳動結(jié)構141并不限于為齒輪傳動，還可以為皮帶等其他結(jié)構。本實施例中，安裝結(jié)構142與從動齒輪1411的數(shù)量均為四個。
[0030]參照圖3、圖4和圖5，安裝結(jié)構142包括連接軸143、吸附安裝件144、伸縮連接件145、擺動連接件146、外封裝件147和內(nèi)封裝件148。吸附安裝件144用于吸附安裝待加工的硅片。連接軸143機械連接于傳動機構141，在傳動機構141的驅(qū)動下帶動吸附安裝件144及待加工的硅片沿第一方向轉(zhuǎn)動。伸縮連接件145及擺動連接件146均連接于連接軸143與吸附安裝件144之間，使吸附安裝件144可相對于連接軸143多向運動。
[0031]連接軸143大致為桿狀，包括相連接的主體部1430及細徑部1431。主體部1430靠近傳動機構141，細徑部1431遠離傳動機構141。細徑部1431的外徑小于主體部1430的外徑。連接軸143的主體部1430具有一個通氣孔1432、與通氣孔1432相連通的多個安裝孔1433、以及一個組裝孔1434。通氣孔1432及多個安裝孔1433遠離細徑部1431，組裝孔1434靠近細徑部1431。通氣孔1431自連接軸143靠近傳動機構141的端部向內(nèi)開設，且沿連接軸143的中心軸向設置。通氣孔1431連通于一個抽氣裝置(圖未示)。多個安裝孔1433均沿垂直于連接軸143的中心軸向開設。優(yōu)選地，多個安裝孔1433相對于連接軸143的中心軸線等角度分布。本實施例中，安裝孔1433的數(shù)量為兩個。組裝孔1434沿垂直于連接軸143的中心軸向開設。
[0032]吸附安裝件144包括連接體1440、吸附體1441及密封環(huán)1442。連接體1440連接于吸附體1441、伸縮連接件145及擺動連接件146之間。吸附體1441用于吸附待加工的硅片。密封環(huán)1442位于連接體1440與吸附體1441之間。
[0033]連接體1440大致為圓盤狀，其遠離連接軸143的表面具有用于與吸附體1441配合的凸起結(jié)構1443，其靠近連接軸143的表面延伸出第一連接部1444及第二連接部1445。第一連接部1444與伸縮連接件145配合連接，使吸附安裝件144可伸縮地連接于連接軸143。第一連接部1444為柱狀結(jié)構，其自第一連接部1444的中心處向靠近連接軸143方向延伸，并與細徑部1431相對設置。第二連接部1445與擺動連接件146配合連接，使吸附安裝件144連接于連接軸143且可相對于連接軸143擺動。第二連接部1445為筒狀結(jié)構，其同軸設置于第一連接部1444的外圍。吸附體1441大致為圓盤狀，其固定于連接體1440遠離連接軸143的一側(cè)。吸附體1441具有一個凹槽結(jié)構1446、一個密封槽1447和多個抽氣孔1448。凹槽結(jié)構1446及密封槽1447均靠近連接體1440。凹槽結(jié)構1446與凸起結(jié)構1443的形狀相配合，使得凸起結(jié)構1443容置于凹槽結(jié)構1446，并在連接體1440與吸附體1441之間形成一個抽氣間隙1449。密封槽1447為環(huán)形，位于凹槽結(jié)構1446的外圍。密封環(huán)1442容置于密封槽1447中，確保抽氣間隙1449的氣密性。多個抽氣孔1448均開設于密封槽1447圍合形成的區(qū)域內(nèi)，每個抽氣孔1448均貫穿吸附體1441相對的兩個表面。每個抽氣孔1448均與抽氣間隙1449相連通。
[0034]優(yōu)選地，安裝結(jié)構142還可包括設置于吸附安裝件144與待加工的硅片之間的緩沖墊149。具體地，可在吸附體1441遠離連接體1440的表面開設與緩沖墊149形狀匹配的安裝槽1490，將緩沖墊149嵌設于安裝槽1490內(nèi)。緩沖墊149具有與多個抽氣孔1448一一對應連通的吸附孔1491。緩沖墊149為硅膠材質(zhì)，其與待加工的硅片充分貼合，可實現(xiàn)對待加工的硅片更穩(wěn)定地吸附安裝。
[0035]安裝結(jié)構142還包括與多個安裝孔1433——對應的多個連通管1492。連接體1440對應吸附體1441的密封槽1447圍合形成的區(qū)域內(nèi)開設有多個裝配孔1493。多個裝配孔1493與多個安裝孔1433——對應。每個連通管1492均安裝于一個安裝孔1433及一個對應的裝配孔1493之間。具體地，每個連通管1492均通過兩個鎖緊件1494結(jié)合于安裝孔1433及裝配孔1493。在抽氣裝置的作用下，待加工的硅片附近的空氣依次經(jīng)由緩沖墊149的多個吸附孔1491、吸附體1441的多個抽氣孔1448、吸附體1441的抽氣間隙1449、連通管1492、連接軸143的安裝孔1433以及連接軸143的通氣孔1432被抽走，在緩沖墊149附近形成負壓，從而將待加工的硅片吸附安裝于安裝結(jié)構142。
[0036]伸縮連接件145使吸附安裝件144連接于連接軸143且可相對于連接軸143伸縮。伸縮連接件145為彈性件，其具有相對的第一端部1450與第二端部1451。具體地，伸縮連接件145為彈簧，其套設于吸附安裝件144的第一連接部1444，第一端部1450與吸附安裝件144相抵靠，第二端部1451與連接軸143的細徑部1431相抵靠。當吸附安裝件144受到沿連接軸143中心軸向且靠近連接軸143方向的力的作用時，伸縮連接件145受到壓縮，吸附安裝件144可向靠近連接軸143方向移動。
[0037]擺動連接件146使吸附安裝件144連接于連接軸143且可相對于連接軸143擺動。擺動連接件146包括固定部件1460及套設于固定部件1460外的可動部件1461。固定部件1460通過內(nèi)封裝件148安裝于連接軸143的細徑部1431的外圍。可動部件1461固定連接于吸附安裝件144，并通過外封裝件147可移動地連接于連接軸143。固定部件1460為筒狀結(jié)構，且具有與可動部件1461相配合的外凸弧形面1462。外凸弧形面1462向遠離固定部件1460中心軸處延伸。也就是說，固定部件1460的外徑自一個端部向另一個端部逐漸增大，增大至一定值后逐漸減小?？蓜硬考?461也為筒狀結(jié)構，其具有與外凸弧形面1462相貼合接觸的內(nèi)凹弧形面1463?？蓜硬考?461的內(nèi)徑自一個端部向另一個端部逐漸增大，增大至一定值后逐漸減小?？蓜硬考?461的端部處的口徑小于固定部件1460的最大外徑，可動部件1461與固定部件1460結(jié)合一體。
[0038]外封裝件147大致為筒狀，其連接于吸附安裝件144遠離待加工的硅片的一側(cè)。外封裝件147套設于連接軸143外圍，并與連接軸143之間存在活動空間1470，從而外封裝件147可相對于連接軸143運動。外封裝件147固定連接于吸附安裝件144及擺動連接件146的可動部件1461，并可移動地連接于連接軸143。具體地，外封裝件147通過螺釘?shù)冉Y(jié)構固定于吸附安裝件144。外封裝件147與吸附安裝件144共同形成一個與可動部件1461外輪廓相匹配的容置槽1471，從而將可動部件1461固定于外封裝件147與吸附安裝件144之間。外封裝件147沿垂直于其中心軸向開設有一個配合組裝孔1472。通過固定件1473與配合組裝孔1472及組裝孔1434相配合，將外封裝件147連接于連接軸143。具體地，固定件1473的外徑等于組裝孔1434的孔徑，從而固定件1473恰可插入組裝孔1434內(nèi)。配合組裝孔1472的孔徑大于固定件1473的外徑及組裝孔1434的孔徑，從而外封裝件147可相對于連接軸143上下移動。
[0039]內(nèi)封裝件148包括固定于一起的上封裝體1480及下封裝體1481。上封裝體1480與連接軸143的細徑部1431間隙配合。下封裝體1481與上封裝體1480共同構成一個與固定部件1460外輪廓相匹配的收容槽1482，從而將固定部件1460收容于內(nèi)封裝件148。
[0040]第一加工機構15設置于機臺11的下部。第一加工機構15可視加工需要執(zhí)行粗磨、精磨或拋光等加工。第一加工機構15包括第一加工底座150、第一加工盤151、第一升降制動器152和第一轉(zhuǎn)動制動器153。具體地，第一加工底座150設置于機臺11的一個移動板113,第一加工盤151可拆卸地安裝于第一加工底座150。第一升降制動器152設置于機臺11的底座110。第一轉(zhuǎn)動制動器153設置于移動板113，并隨移動板113升降。第一加工盤151與安裝于硅片安裝機構14的硅片相對設置。本實施例中，第一加工盤151為打磨盤。第一加工盤151可在第一升降制動器152的驅(qū)動下移動至靠近硅片安裝機構14的加工位置或遠離硅片安裝機構14的裝卸位置。第一升降制動器152可為氣缸，當其伸縮桿為伸長狀態(tài)時，安裝于第一加工底座150的第一加工盤151位于靠近娃片安裝機構14的加工位置，此時，使第一轉(zhuǎn)動制動器153驅(qū)動第一加工底座150及第一加工盤151沿與第一方向相反的第二方向轉(zhuǎn)動，即可對硅片進行加工。加工之前或完畢時，可將第一升降制動器152縮回至原始狀態(tài)，使安裝于第一加工底座150的第一加工盤151位于遠離硅片安裝機構14的裝卸位置，便于安裝或取出娃片。本實施例中，通過第一齒輪組154將第一轉(zhuǎn)動制動器153產(chǎn)生的轉(zhuǎn)動傳遞給第一加工底座150。
[0041]第一加工液供給機構16向第一加工盤151與娃片之間噴出加工液。根據(jù)第一加工機構15執(zhí)行的加工類型的不同，第一加工液供給機構16可噴出砂漿、拋光液等，或者在不需要加工液時處于關閉狀態(tài)。第一加工液供給機構16包括多個第一供液管160和與多個第一供液管160 —一連通的多個第一噴頭161。多個第一噴頭161安裝于上板112或移動板113。本實施例中，多個第一噴頭161均安裝于移動板113，第一噴頭161的數(shù)量為三個，環(huán)繞第一加工底座150的周緣設置，其噴液口正對第一加工盤151的加工表面。
[0042]第二加工部13包括硅片安裝機構14、第二加工機構17和第二加工液供給機構18。[0043]硅片安裝機構14與第一加工部12的硅片安裝機構14構造相同，且二者相鄰設置于機臺11的上板112。
[0044]第二加工機構17可執(zhí)行與第一加工機構15相同或不同的加工。第二加工機構17設置于機臺11的另一個移動板113，其構造與第一加工機構15基本相同。第二加工機構17包括第二加工底座170、第二加工盤171、第二升降制動器172和第二轉(zhuǎn)動制動器173。本實施例中，第二加工盤171為拋光盤。
[0045]第二加工液供給機構18向第二加工盤171與硅片之間噴出加工液。第二加工液供給機構18可噴出與第一加工液供給機構16相同或不同的砂漿、拋光液等，或者在不需要加工液時處于關閉狀態(tài)。第二加工液供給機構18與第一加工液供給機構16的構造基本相同，包括多個第二供液管180和與多個第二供液管180 —一連通的多個第二噴頭181。本實施例中，多個第二噴頭181均安裝于另一移動板113，第二噴頭181的數(shù)量也為三個，環(huán)繞第二加工底座170的周緣設置，其噴液口正對第二加工盤171的加工表面。
[0046]參照圖1、圖2和圖6，下面將以第一加工部12對待加工的硅片100進行打磨，同時，第二加工部13對待加工的硅片100進行拋光為例，說明本發(fā)明提供的硅片加工裝置10的加工過程。
[0047]首先，往第一加工部12和第二加工部13的硅片安裝機構14上安裝硅片100。圖1的硅片加工裝置10中，第一加工盤151與第二加工盤171均處于遠離硅片安裝機構14的裝卸位置。此時，開啟抽氣裝置，將硅片100放置于安裝結(jié)構142的吸附安裝件144處，硅片100即被吸附安裝。本實施例中，第一加工部12和第二加工部13分別安裝四個硅片100。
[0048]其次，使第一加工機構15和第二加工機構17分別對硅片100進行加工。具體地，使第一加工機構15對硅片100進行打磨加工:啟動第一升降制動器152，使第一加工機構15的第一加工盤151從遠離硅片安裝機構14的裝卸位置移動至靠近硅片安裝機構14的加工位置。啟動第一加工液供給機構16，往硅片100與第一加工盤151之間噴出砂漿。啟動驅(qū)動器140，使多個安裝結(jié)構142在傳動結(jié)構141的作用下沿第一方向同步轉(zhuǎn)動。啟動第一轉(zhuǎn)動制動器153，第一加工盤151在第一齒輪組154及第一加工底座150的作用下沿與第一方向相反的第二方向轉(zhuǎn)動。使第二加工機構17對硅片100進行拋光加工:啟動第二升降制動器172，使第二加工機構17的第二加工盤171從遠離硅片安裝機構14的裝卸位置移動至靠近硅片安裝機構14的加工位置。啟動第二加工液供給機構18，往硅片100與第二加工盤171之間噴出拋光液。啟動驅(qū)動器140，使多個安裝結(jié)構142在傳動結(jié)構141的作用下沿第一方向同步轉(zhuǎn)動。啟動第二轉(zhuǎn)動制動器173，第二加工盤171沿與第一方向相反的第二方向轉(zhuǎn)動。
[0049]在前述的加工過程中，硅片100接受第一加工盤151或第二加工盤171的加工時，受到多方向的力的作用。由于伸縮連接件145及擺動連接件146的作用，安裝于吸附安裝件144的硅片100可相對于連接軸143發(fā)生相應的伸縮或擺動，如此，一方面，無需任何調(diào)整即可適應不同厚度的硅片的加工；另一方面，硅片100與第一加工盤151或第二加工盤171充分接觸，可大大提高第一加工盤151或第二加工盤171對硅片100表面的加工質(zhì)量。
[0050]當然，前述的加工過程是硅片量較大的情況。此時，不僅可將加工效率提高一倍，還可省去更換加工盤的步驟，節(jié)省人力與時間。當硅片量少，第一加工部12和第二加工部13也可以不同時工作。對于同一批次的硅片，可先在第一加工部12進行打磨加工，此時第二加工部13停止工作，打磨完成后，硅片100從第一加工部12取出清洗，再移至第二加工部13進行拋光加工。如此，也可節(jié)省完成一種加工后更換加工盤的人力與時間，提高加工效率。
[0051]當然，根據(jù)加工需要，第一加工部12和第二加工部13進行的加工也可以分別為粗磨或精磨，或者第一加工部12和第二加工部13進行的加工均為打磨或拋光。
[0052]本發(fā)明提供一種可節(jié)省人力與時間、有利于提高加工效率及環(huán)境與健康友好的硅片加工裝置，不僅解決了現(xiàn)有的硅片加工效率低下、危害健康或污染環(huán)境的問題，還可獲得良好的表面加工質(zhì)量。
【權利要求】
1.硅片加工裝置，其特征在于:包括機臺(11)以及依次設置于所述機臺(11)的一個或多個加工部，所述加工部包括硅片安裝機構(14)和加工機構，所述硅片安裝機構(14)設置于所述機臺(11)上部，用于安裝硅片(100)并帶動安裝于其上的硅片(100)沿第一方向轉(zhuǎn)動，所述加工機構設置于所述機臺(11)下部，且具有與所述硅片安裝機構(14)相對設置的加工盤，所述加工盤可移動至靠近所述硅片安裝機構(14)處或遠離所述硅片安裝機構(14)處，所述加工盤在靠近所述硅片安裝機構(14)處沿與第一方向相反的第二方向轉(zhuǎn)動，對硅片(100)進行加工。
2.根據(jù)權利要求1所述的硅片加工裝置，其特征在于，所述硅片安裝機構(14)包括多個安裝結(jié)構(142)，每個安裝結(jié)構(142)均包括連接軸(143)、吸附安裝件(144)和伸縮連接件(145)，所述硅片(100)安裝于所述安裝結(jié)構(142)的吸附安裝件(144)，所述連接軸(143)帶動所述吸附安裝件(144)及硅片(100)沿第一方向轉(zhuǎn)動，所述伸縮連接件(145)連接于所述連接軸(143)與吸附安裝件(144)之間，使所述吸附安裝件(144)相對于所述連接軸(143)伸縮。
3.根據(jù)權利要求2所述的硅片加工裝置，其特征在于，每個安裝結(jié)構(142)均包括擺動連接件(146)，所述擺動連接件(146)連接于所述連接軸(143)與吸附安裝件(144)之間，使所述吸附安裝件(144)可相對于所述連接軸(143)擺動。
4.根據(jù)權利要求3所述的硅片加工裝置，其特征在于，所述擺動連接件(146)包括固定部件(1460)及套設于所述固定部件(1460)外的可動部件(1461)，所述固定部件(1460)固定于所述連接軸(143)，且具有外凸弧形面(1462)，所述可動部件(1461)固定連接于所述吸附安裝件(144)，且具有與所述外凸弧形面(1462)相接觸的內(nèi)凹弧形面(1463)。
5.根據(jù)權利要求2-4任一項所述的硅片加工裝置，其特征在于，所述安裝結(jié)構(142)還包括外封裝件(147)和固定件(1473)，所述外封裝件(147)套設于所述連接軸(143)外圍，并與所述連接軸(143)之間.存在活動空間，所述連接軸(143)開設有組裝孔(1434)，所述外封裝件(147)開設有配合組裝孔(1472)，所述固定件(1473)與所述配合組裝孔(1472)及組裝孔(1434)相配合，將所述外封裝件(147)連接于所述連接軸(143)。
6.根據(jù)權利要求5所述的硅片加工裝置，其特征在于，所述外封裝件(147)固定連接于所述吸附安裝件(144)或所述可動部件(1461);所述吸附安裝件(144)包括固定于一起的連接體(1440)和吸附體(1441 )，連接體(1440)與吸附體(1441)之間形成一個抽氣間隙(1449)。
7.根據(jù)權利要求2-4任一項所述的硅片加工裝置，其特征在于，每個安裝結(jié)構(142)均包括多個連通管(1492)，所述連接軸(143)具有一個通氣孔(1432)和多個安裝孔(1433)，所述通氣孔(1432)連接于一個抽氣裝置，所述多個安裝孔(1433)均與所述通氣孔(1432)相連通，所述吸附安裝件(144)具有多個裝配孔(1493)及多個抽氣孔(1448)，每個裝配孔(1493)均與所述多個抽氣孔(1448)相連通，所述多個連通管(1492)與所述多個安裝孔(1433)及多個裝配孔(1493)——對應，每個連通管(1492)均安裝于一個安裝孔(1433)及一個對應的裝配孔(1493)之間，所述硅片(100)表面的空氣經(jīng)所述多個抽氣孔(1448)、連通管(1492)及通氣孔(1432)被抽氣裝置抽走。
8.根據(jù)權利要求1-4任一項所述的硅片加工裝置，其特征在于，所述硅片安裝機構(14)包括依次機械連接的一個驅(qū)動器(140)、一個傳動結(jié)構(141)和多個安裝結(jié)構(142)，所述硅片(100)安裝于所述多個安裝結(jié)構(142)，所述驅(qū)動器(140)通過所述傳動結(jié)構(141)帶動所述多個安裝結(jié)構(142)沿第一方向同步轉(zhuǎn)動。
9.根據(jù)權利要求8所述的硅片加工裝置，其特征在于，所述傳動結(jié)構(141)包括一個主動齒輪(1410)及與所述主動齒輪(1410)相嚙合的多個從動齒輪(1411)，所述主動齒輪(1410)機械連接于所述驅(qū)動器(140)，所述多個安裝結(jié)構(142)與所述多個從動齒輪(1411)——對應機械連接。
10.根據(jù)權利要求1-4任一項所述的硅片加工裝置，其特征在于，所述加工機構還包括升降制動器和轉(zhuǎn)動制動器，所述加工盤在所述升降制動器的帶動下向靠近或遠離所述硅片安裝機構(14)的方向移 動，所述加工盤在所述轉(zhuǎn)動制動器的帶動下轉(zhuǎn)動；所述加工部還包括加工液供給機構，所述加工液供給機構包括多個供液管和與所述多個供液管一一連通的多個噴頭。
【文檔編號】H01L21/02GK103471899SQ201310383210
【公開日】2013年12月25日 申請日期:2013年8月28日 優(yōu)先權日:2013年8月28日
【發(fā)明者】邢建龍, 張治國, 王真 申請人:西安隆基硅材料股份有限公司, 無錫隆基硅材料有限公司, 寧夏隆基硅材料有限公司, 銀川隆基硅材料有限公司