專利名稱：物品保管設(shè)備及物品保管方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及物品保管設(shè)備以及使用了這樣的物品保管設(shè)備的物品保管方法，所述物品保管設(shè)備包括:多個收納部，收納用于容納基板的搬運容器；搬運裝置，相對于所述多個收納部搬運所述搬運容器；惰性氣體供給部，向收納于所述收納部的所述搬運容器的內(nèi)部供給惰性氣體；以及控制裝置，控制所述搬運裝置的動作和所述惰性氣體供給部的流量調(diào)節(jié)裝置的動作。
背景技術(shù)：
作為上述的物品保管設(shè)備的一例，已知如下所述的帶凈化功能的包括物品保管架的物品保管設(shè)備。該物品保管架具有多個收納部，該多個收納部收納用于容納半導(dǎo)體晶片的FOUP等搬運容器，在各收納部具有供給噴嘴，該供給噴嘴作為向搬運容器的內(nèi)部供給例如氮氣或氬氣等惰性氣體的惰性氣體供給部，以便防止容納在搬運容器內(nèi)部的半導(dǎo)體晶片的污損。
在日本特開2010-16199號公報(專利文獻I)中公開了這樣的物品保管設(shè)備的一例，在該物品保管設(shè)備中，在搬運容器收納于收納部時和沒有收納于收納部時，改變從供給噴嘴排出的惰性氣體的流量，使搬運容器沒有收納于收納部時的惰性氣體的流量比搬運容器收納于收納部時的流量小。
上述專利文獻I的物品保管架具有多個收納搬運容器的收納部，在各收納部設(shè)置有檢測搬運容器的有無的檢測裝置。并且構(gòu)成為，在由檢測裝置檢測到在收納部收納有搬運容器的情況下，向搬運容器內(nèi)供給足以防止容納于其內(nèi)部的半導(dǎo)體晶片的污損的流量(稱為第一流量)的惰性氣體。并且構(gòu)成為，在檢測到搬運容器沒有收納于收納部的情況下，為了防止雜質(zhì)微粒蓄積于上述供給噴嘴，而從供給噴嘴排出設(shè)定成比上述第一流量小的值的流量(稱為第二流量)的惰性氣體。
這樣的流量的切換通過流量調(diào)節(jié)裝置來進行。流量調(diào)節(jié)裝置構(gòu)成為，將惰性氣體的供給流量調(diào)節(jié)為由控制裝置指示的目標(biāo)流量。
在上述專利文獻I中，當(dāng)在物品保管架同時期地收納有多個搬運容器的情況下，為了對所收納的所有搬運容器供給第一流量的惰性氣體，而從控制裝置對各流量調(diào)節(jié)裝置指示目標(biāo)流量。但是，當(dāng)對收納于物品保管架的所有搬運容器供給第一流量的惰性氣體所需的流量超過了能夠從供給源(例如氮氣等的儲氣瓶)供給的惰性氣體的流量時，能夠供給到各個搬運容器的惰性氣體的流量無法滿足作為目標(biāo)流量的第一流量。因此，即使作為目標(biāo)流量而指示了第一流量，流量調(diào)節(jié)裝置也無法將惰性氣體的供給流量調(diào)節(jié)至所述目標(biāo)流量，存在從惰性氣體供給部只能供給低于目標(biāo)流量的流量的惰性氣體的不良情況。
有時在流量調(diào)節(jié)裝置具有在陷入了實際供給的流量低于目標(biāo)流量的狀態(tài)持續(xù)了設(shè)定時間的狀態(tài)時輸出錯誤的功能。在使用具有這樣的功能的流量調(diào)節(jié)裝置的情況下，如上所述，當(dāng)能夠供給到各個搬運容器的惰性氣體的流量不足作為目標(biāo)流量的第一流量的狀態(tài)持續(xù)了設(shè)定時間時，輸出錯誤，因此可能無法使設(shè)備正常地運轉(zhuǎn)。發(fā)明內(nèi)容
鑒于上述背景，期望實現(xiàn)即使在從惰性氣體的供給源向多個搬運容器供給惰性氣體的情況下也能使設(shè)備正常地運轉(zhuǎn)的物品保管設(shè)備。
本發(fā)明的物品保管設(shè)備包括: 多個收納部，收納用于容納基板的搬運容器； 搬運裝置，相對于所述多個收納部搬運所述搬運容器； 惰性氣體供給部，針對所述多個收納部的每一個收納部而設(shè)置，包括:排出惰性氣體的排出口 ；以及能夠調(diào)節(jié)從所述排出口排出的所述惰性氣體的流量的流量調(diào)節(jié)裝置，該惰性氣體供給部用于將所述惰性氣體供給至收納于所述收納部的所述搬運容器的內(nèi)部； 控制裝置，控制所述搬運裝置和所述流量調(diào)節(jié)裝置的動作；以及供給源,該供給源對與所述多個收納部中的一組收納部對應(yīng)的一組所述惰性氣體供給部供給所述惰性氣體， 這里，所述物品保管設(shè)備設(shè)定了從所述供給源對所述一組惰性氣體供給部能夠供給的最大容許流量， 所述控制裝置構(gòu)成為，能夠?qū)⑺鲆唤M惰性氣體供給部各自的控制狀態(tài)在第一供給狀態(tài)和第二供給狀態(tài)之間切換，所述第一供給狀態(tài)是使所述流量調(diào)節(jié)裝置動作以便對收納于所述收納部的所述搬運容器以第一目標(biāo)流量供給所述惰性氣體的狀態(tài)，所述第二供給狀態(tài)是使所述流量調(diào)節(jié)裝置動作以便對收納于所述收納部的所述搬運容器以比所述第一目標(biāo)流量小的第二目標(biāo)流量供給所述惰性氣體的狀態(tài)， 根據(jù)所述最大容許流量、所述第一目標(biāo)流量以及所述第二目標(biāo)流量確定的能夠同時期地控制為所述第一供給狀態(tài)的所述惰性氣體供給部的最大數(shù)為同時供給最大數(shù)， 所述控制裝置構(gòu)成為，在判斷為對象總數(shù)超過了所述同時供給最大數(shù)的情況下，將決定同時期地控制為所述第一供給狀態(tài)的所述惰性氣體供給部中的所述同時供給最大數(shù)以下的所述惰性氣體供給部控制為所述第一供給狀態(tài)，對于剩余的所述惰性氣體供給部執(zhí)行開始延遲處理，所述開始延遲處理是使所述第一供給狀態(tài)的開始延遲設(shè)定延遲時間的處理，其中，所述對象總數(shù)為決定同時期地控制為所述第一供給狀態(tài)的所述惰性氣體供給部的總數(shù)。
根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，通過執(zhí)行開始延遲處理，能夠避免對超過同時供給最大數(shù)的數(shù)量的惰性氣體供給部同時期地指示用于控制為第一供給狀態(tài)的指令的狀態(tài)。其結(jié)果為，避免了變成惰性氣體供給部中的惰性氣體的流量低于作為目標(biāo)流量的第一流量的狀態(tài)，能夠使設(shè)備正常地運轉(zhuǎn)。
對此加以說明，在搬運裝置將搬運容器收納于收納部時，控制裝置控制流量調(diào)節(jié)裝置的動作，以便對收納于收納部的搬運容器開始供給惰性氣體。此時，除了已經(jīng)控制為第一供給狀態(tài)的惰性氣體供給部之外，還追加了被控制為第一供給狀態(tài)的惰性氣體供給部，因此，在已經(jīng)控制為第一供給狀態(tài)或第二供給狀態(tài)的惰性氣體供給部的目標(biāo)流量與新控制為第一供給狀態(tài)的惰性氣體供給部的目標(biāo)流量的合計流量超過了最大容許流量的情況下，它們中的惰性氣體的供給量不再滿足目標(biāo)流量。另外，在臨時停止了對所有惰性氣體供給部的惰性氣體的供給后再次開始供給的情況下，或者從手動運轉(zhuǎn)切換到自動運轉(zhuǎn)等，針對與收納有搬運容器的所有收納部對應(yīng)的惰性氣體供給部使開始第一供給狀態(tài)的時機相同的情況下，為了將搬運容器內(nèi)的氣體用新的惰性氣體迅速置換，而將所有的惰性氣體供給部控制為第一供給狀態(tài)，但是當(dāng)目標(biāo)流量的合計流量超過了最大容許流量的情況下，各惰性氣體供給部中的惰性氣體的供給量不再滿足目標(biāo)流量。
與此相對，根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，將決定同時期地控制為第一控制狀態(tài)的惰性氣體供給部中的同時供給最大數(shù)以下的惰性氣體供給部控制為第一供給狀態(tài)來繼續(xù)惰性氣體的供給，而對于剩余的惰性氣體供給部則使第一供給狀態(tài)的開始延遲設(shè)定時間，因此即使在從惰性氣體的供給源向多個搬運容器供給惰性氣體的情況下，也能夠避免變成惰性氣體的供給量無法滿足目標(biāo)流量的狀態(tài)，能夠使設(shè)備正常地運轉(zhuǎn)。
本發(fā)明的物品保管設(shè)備的技術(shù)特征也能夠應(yīng)用于物品保管方法，本發(fā)明還能夠以這樣的方法為權(quán)利保護對象。在該物品保管方法中，也能夠獲得上述的物品保管設(shè)備的作用效果。
S卩，本發(fā)明的物品保管方法是采用了物品保管設(shè)備的方法， 所述物品保管設(shè)備包括: 多個收納部，收納用于容納基板的搬運容器； 搬運裝置，相對于所述多個收納部搬運所述搬運容器； 惰性氣體供給部，針對所述多個收納部的每一個收納部而設(shè)置，具有:排出惰性氣體的排出口 ；以及能夠調(diào)節(jié)從所述排出口排出的所述惰性氣體的流量的流量調(diào)節(jié)裝置，該惰性氣體供給部用于將所述惰性氣體供給至收納于所述收納部的所述搬運容器的內(nèi)部； 控制裝置，控制所述搬運裝置和所述流量調(diào)節(jié)裝置的動作；以及供給源,對與所述多個收納部中的一組收納部對應(yīng)的一組所述惰性氣體供給部供給所述惰性氣體， 所述物品保管設(shè)備設(shè)定了從所述供給源對所述一組惰性氣體供給部能夠供給的最大容許流量， 所述控制裝置構(gòu)成為，能夠?qū)⑺鲆唤M惰性氣體供給部各自的控制狀態(tài)在第一供給狀態(tài)和第二供給狀態(tài)之間切換，所述第一供給狀態(tài)是使所述流量調(diào)節(jié)裝置動作以便對收納于所述收納部的所述搬運容器以第一目標(biāo)流量供給所述惰性氣體的狀態(tài)，所述第二供給狀態(tài)是使所述流量調(diào)節(jié)裝置動作以便對收納于所述收納部的所述搬運容器以比所述第一目標(biāo)流量小的第二目標(biāo)流量供給所述惰性氣體的狀態(tài)， 根據(jù)所述最大容許流量、所述第一目標(biāo)流量以及所述第二目標(biāo)流量確定的能夠同時期地控制為所述第一供給狀態(tài)的所述惰性氣體供給部的最大數(shù)為同時供給最大數(shù)， 所述物品保管方法包括由所述控制裝置執(zhí)行的以下工序: 供給狀態(tài)控制工序，在所述供給狀態(tài)控制工序中，在判斷為對象總數(shù)超過了所述同時供給最大數(shù)的情況下，將決定同時期地控制為所述第一供給狀態(tài)的所述惰性氣體供給部中的所述同時供給最大數(shù)以下的所述惰性氣體供給部控制為所述第一供給狀態(tài)，對于剩余的所述惰性氣體供給部執(zhí)行開始延遲處理，所述開始延遲處理是使所述第一供給狀態(tài)的開始延遲設(shè)定延遲時間的處理，其中，所述對象總數(shù)為決定同時期地控制為所述第一供給狀態(tài)的所述惰性氣體供給部的總數(shù)。
下面，對本發(fā)明的優(yōu)選實施方式的示例進行說明。
在本發(fā)明的物品保管設(shè)備的實施方式中，優(yōu)選的是，所述控制裝置構(gòu)成為，將延遲處理對象供給部控制為所述第二供給狀態(tài)，所述延遲處理對象供給部是作為所述開始延遲處理的執(zhí)行對象的所述惰性氣體供給部。
根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，在延遲處理對象供給部中，在使第一供給狀態(tài)的開始延遲期間為流量比第一目標(biāo)流量小的第二目標(biāo)流量，但是能夠進行惰性氣體的供給，能夠盡量良好地維持搬運容器內(nèi)部的環(huán)境。
在本發(fā)明的物品保管設(shè)備的實施方式中，優(yōu)選的是，所述控制裝置構(gòu)成為，在判斷為所述對象總數(shù)超過了所述同時供給最大數(shù)的情況下，將決定同時期地控制為所述第一供給狀態(tài)的所述惰性氣體供給部中的與所述同時供給最大數(shù)相同數(shù)量的所述惰性氣體供給部控制為所述第一供給狀態(tài)，而對于剩余的所述惰性氣體供給部則執(zhí)行所述開始延遲處理。
根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，能夠?qū)⒖杀苊獬蔀槎栊詺怏w供給部中的惰性氣體的流量低于作為目標(biāo)流量的第一流量的狀態(tài)的最大數(shù)量的惰性氣體供給部控制為第一供給狀態(tài)，作為設(shè)備整體，能夠盡量良好地維持搬運容器內(nèi)部的環(huán)境。
在本發(fā)明的物品保管設(shè)備的實施方式中，優(yōu)選的是，所述物品保管設(shè)備設(shè)置有用于計算所述同時供給最大數(shù)的同時供給計算部，所述控制裝置構(gòu)成為，除了所述第一供給狀態(tài)和所述第二供給狀態(tài)，還能夠?qū)⑺鲆唤M惰性氣體供給部各自的控制狀態(tài)切換為收納前供給狀態(tài)，所述收納前供給狀態(tài)是這樣的供給狀態(tài):使所述流量調(diào)節(jié)裝置動作，以便在到所述搬運容器收納至所述收納部為止之間的設(shè)定期間內(nèi)，對設(shè)置于所述收納部的所述排出口以比所述第一目標(biāo)流量小的收納前目標(biāo)流量供給所述惰性氣體，所述同時供給計算部構(gòu)成為，根據(jù)所述最大容許流量、所述第一目標(biāo)流量、所述第二目標(biāo)流量以及所述收納前目標(biāo)流量，來計算所述同時供給最大數(shù)。
根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，在將搬運容器收納到收納部時，能夠在搬運容器到達之前利用所述收納前目標(biāo)流量的惰性氣體清掃附著于所述收納部的排出口的雜質(zhì)微粒等。因此，能夠防止附著于排出口的雜質(zhì)微粒等侵入到收納部中所收納的搬運容器的內(nèi)部，能夠良好地防止搬運容器內(nèi)的環(huán)境惡化。
另外，作為開始收納前供給狀態(tài)的時機，例如可以設(shè)定搬運裝置收取搬運容器的時刻、搬運裝置開始了用于收取搬運對象的搬運容器的動作的時刻等各種時機。
另外，根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，同時供給最大數(shù)是除了考慮最大容許流量、第一目標(biāo)流量和第二目標(biāo)流量之外還考慮了收納前目標(biāo)流量而計算的，因此，即使在使流量調(diào)節(jié)裝置動作以在第一供給狀態(tài)之前形成收納前供給狀態(tài)的情況下，也能夠避免針對所有惰性氣體供給部的惰性氣體的目標(biāo)流量的合計流量超過最大容許流量的狀態(tài)。
在本發(fā)明的物品保管設(shè)備的實施方式中，優(yōu)選的是，所述物品保管設(shè)備設(shè)置有用于計算所述同時供給最大數(shù)的同時供給計算部，所述同時供給計算部構(gòu)成為，計算所述同時供給最大數(shù)，以使針對所述一組惰性氣體供給部的所有的所述惰性氣體的目標(biāo)流量的合計流量為所述最大容許流量以下。
根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，只要不對超過同時供給最大數(shù)的數(shù)量的惰性氣體供給部同時期地指示用于控制為第一供給狀態(tài)的指令，針對一組惰性氣體供給部的所有的惰性氣體的目標(biāo)流量的合計流量就不會超過最大容許流量。因此，在不對超過同時供給最大數(shù)的數(shù)量的惰性氣體供給部同時期地指示用于控制為第一供給狀態(tài)的指令的條件下，能夠避免在各惰性氣體供給部中能夠供給的惰性氣體的流量低于目標(biāo)流量的狀態(tài)。其結(jié)果為，能夠避免例如無法對各個搬運容器供給需要流量的惰性氣體而導(dǎo)致搬運容器內(nèi)部的環(huán)境惡化的狀況。
在本發(fā)明的物品保管設(shè)備的實施方式中，優(yōu)選的是，所述控制裝置構(gòu)成為，在所述開始延遲處理執(zhí)行后，在判斷為所述對象總數(shù)低于所述同時供給最大數(shù)的情況下，對于作為所述開始延遲處理的執(zhí)行對象的所述惰性氣體供給部即延遲處理對象供給部中的不超過所述對象總數(shù)與所述同時供給最大數(shù)之差的數(shù)量的所述延遲處理對象供給部，執(zhí)行供給處理，該供給處理是控制為所述第一供給狀態(tài)的處理。
根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，對于不超過對象總數(shù)與同時供給最大數(shù)之差的數(shù)量的延遲處理對象供給部，能夠開始延遲了的第一供給狀態(tài)。因此，能夠適當(dāng)?shù)胤乐故占{在與所述延遲處理對象供給部對應(yīng)的收納部中的搬運容器內(nèi)部的環(huán)境的惡化。
在本發(fā)明的物品保管設(shè)備的實施方式中，優(yōu)選的是，所述控制裝置構(gòu)成為根據(jù)識別信息管理所述多個收納部，并且構(gòu)成為，控制所述搬運裝置的動作，使得在被指示了將所述搬運容器收納到所述收納部的收納指令時，按照根據(jù)所述識別信息設(shè)定的優(yōu)先順序，從所述多個收納部選擇收納所述搬運容器的空閑狀態(tài)的收納部，并將所述搬運容器收納到所選擇的所述空閑狀態(tài)的收納部中，而且，所述控制裝置構(gòu)成為，按照所述收納部的所述優(yōu)先順序選擇作為所述供給處理的執(zhí)行對象的所述延遲處理對象供給部。
根據(jù)上述的結(jié)構(gòu)，能夠按照根據(jù)識別信息設(shè)定的同一優(yōu)先順序，來決定搬運容器向收納部的收納順序以及供給處理的執(zhí)行順序，能夠?qū)崿F(xiàn)決定上述各個順序時的控制結(jié)構(gòu)的簡化。
在本發(fā)明的物品保管設(shè)備的實施方式中，優(yōu)選的是，所述物品保管設(shè)備設(shè)置有針對所述延遲處理對象供給部的每一個的待機時間計測部，該待機時間計測部用于計測自開始所述開始延遲處理起的時間即待機時間，所述控制裝置構(gòu)成為根據(jù)識別信息管理所述多個收納部，并且構(gòu)成為，控制所述搬運裝置的動作，使得在被指示了將所述搬運容器收納到所述收納部的收納指令時，按照根據(jù)所述識別信息設(shè)定的優(yōu)先順序，從所述多個收納部選擇收納所述搬運容器的空閑狀態(tài)的收納部，并將所述搬運容器收納到所選擇的所述空閑狀態(tài)的收納部中，而且，所述控制裝置構(gòu)成為，從所述待機時間計測部計測到的所述待機時間長的所述延遲處理對象供給部起依次執(zhí)行所述供給處理。
根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，能夠避免對自開始延遲處理開始起的經(jīng)過時間長的延遲處理對象供給部進一步延遲第一供給狀態(tài)的開始，能夠適當(dāng)?shù)匾种瓢徇\容器內(nèi)部的環(huán)境成為惡化的狀態(tài)。
在本發(fā)明的物品保管方法的實施方式中，優(yōu)選的是，在所述供給狀態(tài)控制工序中，將延遲處理對象供給部控制為所述第二供給狀態(tài)，所述延遲處理對象供給部為作為所述開始延遲處理的執(zhí)行對象的所述惰性氣體供給部。
在本發(fā)明的物品保管方法的實施方式中，優(yōu)選的是，在所述供給狀態(tài)控制工序中，在判斷為所述對象總數(shù)超過了所述同時供給最大數(shù)的情況下，將決定同時期地控制為所述第一供給狀態(tài)的所述惰性氣體供給部中的與所述同時供給最大數(shù)相同數(shù)量的所述惰性氣體供給部控制為所述第一供給狀態(tài)，而對于剩余的所述惰性氣體供給部則執(zhí)行所述開始延遲處理。
在本發(fā)明的物品保管方法的實施方式中，優(yōu)選的是，所述控制裝置構(gòu)成為，除了所述第一供給狀態(tài)和所述第二供給狀態(tài)，還能夠?qū)⑺鲆唤M惰性氣體供給部各自的控制狀態(tài)切換為收納前供給狀態(tài)，所述收納前供給狀態(tài)是這樣的供給狀態(tài):使所述流量調(diào)節(jié)裝置動作，以便在到所述搬運容器收納至所述收納部為止之間的設(shè)定期間內(nèi)，對設(shè)置于所述收納部的所述排出口以比所述第一目標(biāo)流量小的收納前目標(biāo)流量供給所述惰性氣體，作為由所述控制裝置執(zhí)行的工序，還包括計算所述同時供給最大數(shù)的同時供給計算工序，在所述同時供給計算工序中，根據(jù)所述最大容許流量、所述第一目標(biāo)流量、所述第二目標(biāo)流量以及所述收納前目標(biāo)流量，來計算所述同時供給最大數(shù)。
在本發(fā)明的物品保管方法的實施方式中，優(yōu)選的是，作為由所述控制裝置執(zhí)行的工序，還包括計算所述同時供給最大數(shù)的同時供給計算工序，在所述同時供給計算工序中，計算所述同時供給最大數(shù)，以使針對所述一組惰性氣體供給部的所有的所述惰性氣體的目標(biāo)流量的合計流量為所述最大容許流量以下。
在本發(fā)明的物品保管方法的實施方式中，優(yōu)選的是，在所述供給狀態(tài)控制工序中，在所述開始延遲處理執(zhí)行后，在判斷為所述對象總數(shù)低于所述同時供給最大數(shù)的情況下，對于作為所述開始延遲處理的執(zhí)行對象的所述惰性氣體供給部即延遲處理對象供給部中的不超過所述對象總數(shù)與所述同時供給最大數(shù)之差的數(shù)量的所述延遲處理對象供給部，執(zhí)行供給處理，該供給處理是控制為所述第一供給狀態(tài)的處理。
在本發(fā)明的物品保管方法的實施方式中，優(yōu)選的是，所述控制裝置構(gòu)成為根據(jù)識別信息管理所述多個收納部，并且構(gòu)成為，控制所述搬運裝置的動作，使得在被指示了將所述搬運容器收納到所述收納部的收納指令時，按照根據(jù)所述識別信息設(shè)定的優(yōu)先順序，從所述多個收納部選擇收納所述搬運容器的空閑狀態(tài)的收納部，并將所述搬運容器收納到所選擇的所述空閑狀態(tài)的收納部中，在所述供給狀態(tài)控制工序中，按照所述收納部的所述優(yōu)先順序選擇作為所述供給處理的執(zhí)行對象的所述延遲處理對象供給部。
在本發(fā)明的物品保管方法的實施方式中，優(yōu)選的是，在所述物品保管設(shè)備設(shè)置有針對所述延遲處理對象供給部的每一個的待機時間計測部，該待機時間計測部用于計測自開始所述開始延遲處理起的時間即待機時間，所述控制裝置構(gòu)成為根據(jù)識別信息管理所述多個收納部，并且構(gòu)成為，控制所述搬運裝置的動作，使得在被指示了將所述搬運容器收納到所述收納部的收納指令時，按照根據(jù)所述識別信息設(shè)定的優(yōu)先順序，從所述多個收納部選擇收納所述搬運容器的空閑狀態(tài)的收納部，并將所述搬運容器收納到所選擇的所述空閑狀態(tài)的收納部中，在所述供給狀態(tài)控制工序中，從所述待機時間計測部計測到的所述待機時間長的所述延遲處理對象供給部起依次執(zhí)行所述供給處理。


圖1是物品保管設(shè)備的縱剖側(cè)視圖， 圖2是表示上述設(shè)備的一部分的縱剖正視圖， 圖3是收納部的立體圖， 圖4是表示收納部與搬運容器的關(guān)系的概要結(jié)構(gòu)圖， 圖5是表示向多個收納部供給惰性氣體的方式的圖， 圖6是控制裝置的連接結(jié)構(gòu)圖， 圖7是表示惰性氣體的供給量的控制方式的說明圖， 圖8是對于判別同時開始對應(yīng)處理的執(zhí)行的處理的流程圖， 圖9是表示同時開始對應(yīng)處理處理的流程圖， 圖10是表示開始延遲處理的執(zhí)行結(jié)果的時間圖。
附圖標(biāo)記說明 IOS收納部；IOi排出口 ；20搬運裝置；40流量調(diào)節(jié)裝置；50搬運容器；F惰性氣體供給部；W基板出控制裝置；H11同時供給計算部；N同時供給最大數(shù)；Lmax最大容許流量；LM0收納前目標(biāo)流量；LM1第一目標(biāo)流量；LM2第二目標(biāo)流量。
具體實施方式
根據(jù)附圖對將本發(fā)明應(yīng)用于帶凈化功能的物品保管設(shè)備的情況下的實施方式進行說明。
(整體結(jié)構(gòu)) 如圖1和圖2所示，物品保管設(shè)備包括:保管架10，用于保管以密閉狀態(tài)容納基板的搬運容器50 (以下簡稱為容器50);作為搬運裝置的塔式起重機20 ;以及作為容器50的入庫出庫部的入庫出庫輸送機CV。
保管架10和塔式起重機20配設(shè)在外周部被墻體K覆蓋的設(shè)置空間內(nèi)，入庫出庫輸送機CV以貫穿墻體K的狀態(tài)配設(shè)。
保管架10構(gòu)成為，以沿上下方向和左右方向排列的狀態(tài)具有多個收納部10S，收納部IOS作為支承容器50的支承部，在多個收納部IOS中分別收納容器50，其詳細情況將在后文敘述。
而且，如圖1所示，在本實施方式中構(gòu)成為，在設(shè)置有物品保管設(shè)備的無塵室的天花板部，裝配有沿著鋪設(shè)的導(dǎo)軌G行進的升降機式的搬運車D，利用該升降機式的搬運車D，相對于入庫出庫輸送機CV搬入和搬出容器50。
(容器50的結(jié)構(gòu)) 容器 50 是遵照 SEMI (Semiconductor Equipment and Materials Institute)標(biāo)準(zhǔn)的合成樹脂制的氣密容器，用于收納作為基板的半導(dǎo)體晶片W(參照圖4)，被稱為F0UP(FrontOpening Unified Pod)。并且省略其詳細的說明，但是在容器50的正面形成有通過拆裝自如的蓋體而開閉的基板出入用的開口，在容器50的頂面形成有由升降機式的搬運車D把持的頂部凸緣52。在容器50的底面形成有與定位銷IOb (參照圖3)卡合的三個卡合槽(未圖示)。
S卩，如圖4所示，容器50包括:殼體51，在內(nèi)部沿上下方向具有能夠載置多個半導(dǎo)體晶片W的基板支承體53 ;以及未圖示的蓋體。容器50構(gòu)成為，在蓋體裝配于殼體51的狀態(tài)下，內(nèi)部空間被密閉成氣密狀態(tài)，并且構(gòu)成為，在收納于收納部IOS的狀態(tài)下，利用定位銷IOb進行定位。
此外，如圖4所示，為了如后所述注入作為惰性氣體的氮氣，在容器50的底部設(shè)置有供氣口 50i和排氣口 50o。雖然省略了圖示，但是在供氣口 50i設(shè)置有注入側(cè)開閉閥，在排氣口 50o設(shè)置有排出側(cè)開閉閥。
注入側(cè)開閉閥構(gòu)成為，被彈簧等施力部件向關(guān)閉方向施力，當(dāng)供給到供氣口 50i的氮氣的排出壓力成為比大氣壓高設(shè)定值的設(shè)定開閥壓力以上時，該注入側(cè)開閉閥由于所述壓力而被進行打開操作。
而且，排出側(cè)關(guān)閉閥構(gòu)成為，被彈簧等施力部件向關(guān)閉方向施力，當(dāng)容器50內(nèi)部的壓力成為比大氣壓高設(shè)定值的設(shè)定開閥壓力以上時，該排出側(cè)開閉閥由于所述壓力而被進行打開操作。
(塔式起重機20的結(jié)構(gòu)) 塔式起重機20包括:行進臺車21，能夠沿著設(shè)置于保管架10的正面?zhèn)鹊牡装宀康男羞M軌道E行進移動；桅桿22，立設(shè)于所述行進臺車21 ;以及升降臺24，能夠在由桅桿22引導(dǎo)的狀態(tài)下進行升降移動。
另外，雖然未圖示，但構(gòu)成為，設(shè)置于桅桿22的上端的上部框23與上部導(dǎo)軌卡合著移動，所述上部導(dǎo)軌設(shè)置于外周部被墻體K覆蓋的設(shè)置空間的天花板側(cè)。
在升降臺24裝配有相對于收納部IOS移載容器50的移載裝置25。
移載裝置25具有載置支承容器50的板狀的載置支承體25A，該載置支承體25A能夠在突出到收納部IOS的內(nèi)部的突出位置和退避到升降臺24側(cè)的退避位置之間突出退避。具有移載裝置25的塔式起重機20構(gòu)成為，通過載置支承體25A的突出退避動作以及升降臺24的升降動作，來進行將載置于載置支承體25A的容器50卸下到收納部IOS的卸下處理、以及將收納于收納部IOS的容器50取出的撈取處理。
即，容器50通過搬運車D被載置于入庫出庫輸送機CV上，在利用該入庫出庫輸送機CV從墻體K的外部搬運到內(nèi)部后，利用塔式起重機20搬運到多個收納部IOS中的某一個。
即，作為搬運裝置的塔式起重機20構(gòu)成為相對于多個收納部IOS搬運容器50。
雖未圖示，但是在塔式起重機20裝備有檢測行進路徑上的行進位置的行進位置檢測裝置、以及檢測升降臺24的升降位置的升降位置檢測裝置。作為控制塔式起重機20的動作的控制裝置H的起重機控制器H3構(gòu)成為，根據(jù)行進位置檢測裝置和升降位置檢測裝置的檢測信息來控制塔式起重機20的動作。
S卩，起重機控制器H3構(gòu)成為，控制行進臺車21的行進動作和升降臺24的升降動作以及移載裝置25的載置支承體25A的突出退避動作，以進行將搬入到入庫出庫輸送機CV的容器50收納到收納部IOS的入庫作業(yè)、以及將收納于收納部IOS的容器50取出到入庫出庫輸送機CV的出庫作業(yè)。
(收納部IOS的結(jié)構(gòu)) 如圖3和圖4所示，多個收納部IOS分別具有載置支承容器50的板狀的載置支承部IOa0
該載置支承部IOa形成為俯視形狀為U字狀，以形成供移載裝置25的載置支承體25A上下通過的空間，在載置支承部IOa的頂面以向上方突出的狀態(tài)裝備有上述的定位銷10b。
另外，在載置支承部IOa設(shè)置有兩個存貨傳感器10z，該存貨傳感器IOz用于檢測是否載置有容器50(即，容器50是否收納于收納部10S)，并且構(gòu)成為，所述兩個存貨傳感器IOz的檢測信息被輸入到作為控制裝置H的凈化控制器Hl (參照圖6)，凈化控制器Hl對后述的作為流量調(diào)節(jié)裝置的質(zhì)量流量控制器40的運轉(zhuǎn)進行管理。
在載置支承部IOa設(shè)置有作為將作為惰性氣體的氮氣供給到容器50內(nèi)部的排出口的排出噴嘴IOi ;以及用于使從容器50的內(nèi)部排出的氣體通流的排出用通氣體10o。并且，在排出噴嘴IOi連接有使來自質(zhì)量流量控制器40的氮氣流動的供給配管Li，在排出用通氣體IOo連接有端部開口的排出管Lo。
另外，如圖1和圖2所示，在俯視觀察的各收納部IOS的里側(cè)并且是架左右方向上處于容器50的端部附近的位置，裝備有控制氮氣的供給的質(zhì)量流量控制器40。俯視觀察的各收納部IOS的里側(cè)是與供容器50出入的開口(出入口)對置的端部側(cè)。
收納部IOS以分為沿上下方向排列的多個層的方式配置于保管架10，質(zhì)量流量控制器40設(shè)置于在俯視觀察時與設(shè)置于其它層的某一收納部IOS的質(zhì)量流量控制器40重疊的位置。質(zhì)量流量控制器40的配設(shè)部位是俯視觀察時不存在載置支承部IOa以及支承載置支承部IOa的柱件等的部位，并且即使在容器50的收納時，也是不存在容器50的部位。因此，在質(zhì)量流量控制器40的附近，形成有從保管架10的下端連通到上端從而空氣可沿上下方向通流的空間。
由此，由于質(zhì)量流量控制器40發(fā)出的熱而產(chǎn)生的氣流不被障礙物阻礙地從保管架10的下端流動至上端，能夠抑制從質(zhì)量流量控制器40放出的熱滯留，從而能夠抑制由于質(zhì)量流量控制器40的熱所導(dǎo)致的誤動作等障礙。
另外，在例如保管架10通過惰性氣體或者潔凈空氣的下降流而保持為潔凈的情況下，上述的氣流能夠通流的空間能夠使所述下降流以阻力小的狀態(tài)通流。在該情況下，質(zhì)量流量控制器40也被下降流適當(dāng)?shù)乩鋮s。
構(gòu)成為當(dāng)容器50載置支承于載置支承部IOa時，排出噴嘴IOi與容器50的供氣口 50i以嵌合狀態(tài)連接，而且排出用通氣體IOo與容器50的排氣口 50o以嵌合狀態(tài)連接。
并且構(gòu)成為，在容器50載置支承于載置支承部IOa的狀態(tài)下，通過從排出噴嘴IOi排出比大氣壓高設(shè)定值以上的壓力的氮氣，能夠在使容器內(nèi)的氣體從容器50的排氣口 50o排出到外部的狀態(tài)下，自容器50的供氣口 50i向容器50的內(nèi)部注入氮氣。
在本實施方式中，主要由質(zhì)量流量控制器40、供給配管Li以及排出噴嘴IOi構(gòu)成了惰性氣體供給部F。
即，惰性氣體供給部F構(gòu)成為包括:排出惰性氣體的排出噴嘴IOi;以及能夠調(diào)節(jié)從所述排出噴嘴IOi排出的惰性氣體的流量的質(zhì)量流量控制器40，惰性氣體供給部F向收納于收納部IOS的容器50的內(nèi)部供給惰性氣體。并且，惰性氣體供給部F針對多個收納部IOS的每一個分別設(shè)置。
另外，如圖3所示，在供給配管Li裝備有手動操作式的開閉閥Vi，構(gòu)成為在質(zhì)量流量控制器40發(fā)生故障的緊急時等，能夠切換至停止氮氣的供給的狀態(tài)。
(氮氣的供給結(jié)構(gòu)) 如圖5所示，作為用于向保管架10中的各個惰性氣體供給部F供給氮氣的氮氣的供給源，設(shè)置有原氣體供給配管Lm。以從該原氣體配管Lm分出兩條支路的狀態(tài)設(shè)置有第一分支供給配管Lbl和第二分支供給配管Lb2。在原氣體供給配管Lm設(shè)置有原氣體開閉閥VI，能夠以保管架10為單位來切換氮氣的供給和停止供給。
第一分支供給配管Lbl和第二分支供給配管Lb2分別進一步分支成12根供給配管Ls，這些供給配管Ls分別與質(zhì)量流量控制器40的流入側(cè)端口 40i連接。下文中，將被從第一分支供給配管Lbl供給氮氣的一組惰性氣體供給部F稱為第一通道(CH1)，將被從第二分支供給配管Lb2供給氮氣的一組惰性氣體供給部F稱為第二通道(CH2)。
在第一分支供給配管Lbl上設(shè)置有第一電磁開閉閥V21，在第二分支供給配管Lb2上設(shè)置有第二電磁開閉閥V22。并且，所述第一電磁開閉閥V21和第二電磁開閉閥V22經(jīng)由后述的IO擴展模塊A與后述的凈化控制器Hl電連接，凈化控制器Hl構(gòu)成為控制第一電磁開閉閥V21和第二電磁開閉閥V22的開閉。
此外，第一分支供給配管Lb I和第二分支供給配管Lb2彼此在第一電磁開閉閥V21和第二電磁開閉閥V22的下游側(cè)通過旁路配管Lbp相互連接，在旁路配管Lbp上設(shè)置有可手動進行開閉操作的旁路閥Vb。因此，當(dāng)打開旁路閥Vb時，第一通道CHl和第二通道CH2以能夠相互供給氮氣的方式連接。
在本實施方式中，通道CHl和CH2分別相當(dāng)于與多個收納部中的一組收納部對應(yīng)的一組惰性氣體供給部F，第一分支供給配管Lbl和第二分支供給配管Lb2分別相當(dāng)于對一組惰性氣體供給部F供給氮氣的供給源。
(質(zhì)量流量控制器40的結(jié)構(gòu)) 如圖3和圖4所示，質(zhì)量流量控制器40具有流入側(cè)端口 40i和排出側(cè)端口 40o。在排出側(cè)端口 40o連接有上述的供給配管Li，在流入側(cè)端口 40i連接有供給配管Ls，供給配管Ls引導(dǎo)來自作為氮氣的供給源的第一分支供給配管Lbl或第二分支供給配管Lb2的氮氣。
另外，在氮氣供給源裝備有:將氮氣的供給壓力調(diào)整至比大氣壓高設(shè)定值以上的設(shè)定壓力的調(diào)節(jié)器；以及使氮氣的供給間斷的手動操作式的開閉閥等。
在質(zhì)量流量控制器40裝備有:流量調(diào)節(jié)閥，對在從流入側(cè)端口 40i朝向排出側(cè)端口 40o的內(nèi)部流路中流動的氮氣的流量進行變更調(diào)節(jié)；流量傳感器，對在內(nèi)部流路中流動的氮氣的流量進行計測；以及內(nèi)部控制部，對流量調(diào)節(jié)閥的動作進行控制。
并且，內(nèi)部控制部構(gòu)成為，根據(jù)流量傳感器的檢測信息控制流量調(diào)節(jié)閥，以將對容器50的供給流量調(diào)整為從上述的凈化控制器Hl指示的目標(biāo)流量。即，凈化控制器Hl構(gòu)成為控制質(zhì)量流量控制器40的動作。
(控制裝置H的結(jié)構(gòu)) 如圖6所示，控制裝置H包括:控制質(zhì)量流量控制器40的凈化控制器Hl ;管理保管架10中的容器50的庫存狀態(tài)等的庫存控制器H2 ;以及控制塔式起重機20的動作的起重機控制器H3。凈化控制器H1、庫存控制器H2和起重機控制器H3例如由以存儲程序方式處理信息的計算機構(gòu)成，并且相互由LAN等網(wǎng)絡(luò)Cl連接。另外，可編程邏輯控制器P和IO擴展模塊A以能夠與上述控制裝置H進行通信的方式連接于網(wǎng)絡(luò)Cl。
在可編程邏輯控制器P經(jīng)由控制總線C2連接有12臺質(zhì)量流量控制器40。另外，具有上述12臺質(zhì)量流量控制器40的與收納部IOS對應(yīng)的存貨傳感器IOz分別經(jīng)由信號線C3連接于IO擴展模塊A。
凈化控制器Hl經(jīng)由可編程邏輯控制器P對與多個收納部IOS分別對應(yīng)地設(shè)置的質(zhì)量流量控制器40指示目標(biāo)流量。
此外，在凈化控制器Hl裝備有用于輸入各種信息的控制臺HS。
庫存控制器H2構(gòu)成為，根據(jù)識別號碼等識別信息管理多個收納部10S。當(dāng)對庫存控制器H2發(fā)送了來自上位控制器(管理作業(yè)調(diào)度的調(diào)度器等)的容器50的收納要求時，庫存控制器H2按照根據(jù)識別信息設(shè)定的優(yōu)先順序，來從多個收納部IOS選擇收納容器50的空閑狀態(tài)的收納部10S。并且，庫存控制器H2對起重機控制器H3指示收納指令，以將容器50收納到所選擇的空閑狀態(tài)的收納部IOS中。
起重機控制器H3控制塔式起重機20的動作，以將容器50收納到由來自庫存控制器H2的收納指令所指示的收納部IOS中。
在本實施方式中，按照作為識別信息的設(shè)備號碼順序設(shè)定優(yōu)先順序。
作為凈化控制器Hl指示的目標(biāo)流量，有在容器50收納在收納部IOS中的狀態(tài)下，為了向容器50的內(nèi)部注入氮氣而對質(zhì)量流量控制器40指示的保管用的目標(biāo)流量；還有在容器50即將收納到收納部IOS之前，為了清潔排出噴嘴IOi而指示的噴嘴凈化用的目標(biāo)流量；以及在保管架10的設(shè)置時等，為了清潔排出噴嘴IOi和供給配管Li等而指示的清潔用的目標(biāo)流量。
S卩，如圖7所示，作為確定了目標(biāo)流量和供給時間的多個凈化模型，凈化控制器Hl存儲有噴嘴凈化模型PU清潔模型P2以及四個保管用凈化模型P3 P6。
并且，在保管架10的設(shè)置時等，當(dāng)由控制臺HS指示了清潔開始指令時，凈化控制器Hl按照清潔模型P2對質(zhì)量流量控制器40發(fā)出指令，從而控制質(zhì)量流量控制器40的動作。此時，目標(biāo)流量設(shè)定為清潔用的清掃用流量，并且供給時間設(shè)定為清潔用的清掃用時間。
另外，控制裝置H構(gòu)成為，在容器50被搬入入庫出庫輸送機CV并且塔式起重機20的移載裝置25收取了該容器50時，與噴嘴凈化模型Pl對應(yīng)地指示噴嘴凈化用的目標(biāo)流量。
在本實施方式中，控制裝置H構(gòu)成為，通過從控制升降機式的搬運車D的運轉(zhuǎn)的搬運車控制器(未圖示)通知收納指令，來判別容器50被搬入入庫出庫輸送機CV的時刻。
S卩，搬運車控制器構(gòu)成為，在搬運車D將容器50搬入到了入庫出庫輸送機CV時，對控制裝置H指示收納指令。
另外，控制裝置H構(gòu)成為，在兩個存貨傳感器IOz檢測容器50時，根據(jù)作為節(jié)約供給模型的四個保管用凈化模型P3 P6中的由控制臺HS預(yù)先選擇的一個模型，來指示保管用的目標(biāo)流量(供給流量)。
S卩，使用者針對四個保管用凈化模型P3 P6中的每一個，作為模型特定參數(shù)，可以一邊利用控制臺HS變更設(shè)定從惰性氣體供給部F向容器50供給惰性氣體的目標(biāo)流量以及從惰性氣體供給部F向容器50供給惰性氣體的供給時間，一邊試驗性地使用四個保管用凈化模型P3 P6中的各個模型，從而選擇適當(dāng)?shù)哪Ｐ汀?br> (凈化模型) 下面，根據(jù)圖7分別對噴嘴凈化模型P1、清潔模型P2以及四個保管用凈化模型P3 P6進行說明。
噴嘴凈化模型Pl被確定為這樣的模型:從指示了上述的收納指令的時刻起，在作為收納前供給時間設(shè)定的供給時間tl的期間內(nèi)，以作為噴嘴凈化用的目標(biāo)流量設(shè)定的目標(biāo)流量LI供給氮氣。
供給時間tl例如設(shè)定為5秒，目標(biāo)流量LI例如設(shè)定為30升/分鐘。
清潔模型P2被確定為這樣的模型:從通過控制臺HS指示了清潔開始指令起，在作為設(shè)置初始供給時間設(shè)定的供給時間t2的期間內(nèi)，以作為清潔用的目標(biāo)流量設(shè)定的目標(biāo)流量L2供給氮氣。
供給時間t2例如設(shè)定為1800秒，目標(biāo)流量L2例如設(shè)定為20升/分鐘。
對于四個保管用凈化模型P3 P6中的每一個，作為保管用的目標(biāo)流量，設(shè)定有初始目標(biāo)流量值L a和比該初始目標(biāo)流量值L a小的恒定目標(biāo)流量值L 3。
初始目標(biāo)流量值La例如設(shè)定為50升/分鐘，恒定目標(biāo)流量值LP例如設(shè)定為5升/分鐘。
并且，對于四個保管用凈化模型P3 P6的每一個，在向容器50供給氮氣時，首先將目標(biāo)流量值設(shè)定為初始目標(biāo)流量值L a，然后將目標(biāo)流量值變更設(shè)定為恒定目標(biāo)流量值 ，這一點是共通的，但是四個保管用凈化模型P3 P6分別被確定為互不相同的模型。
下面，將四個保管用凈化模型P3 P6分別記載為第一保管用凈化模型P3、第二保管用凈化模型P4、第三保管用凈化模型P5以及第四保管用凈化模型P6，對各模型加以說明。
第一保管用凈化模型P3被確定為這樣的模型:以完成將容器50收納到收納部IOS的容器收納完成時刻為起點，從容器收納完成時刻起在設(shè)定供給時間t3的期間內(nèi)，以作為初始目標(biāo)流量值L a的供給流量L31供給氮氣，然后，在一對存貨傳感器IOz檢測到容器50的存在期間，以作為恒定目標(biāo)流量值LP的供給流量L32繼續(xù)供給氮氣。
另外，設(shè)定供給時間t3作為初始值例如設(shè)定為5分鐘。如上所述，設(shè)定供給時間t3由使用者變更設(shè)定。
第二保管用凈化模型P4被確定為這樣的模型:從容器收納完成時刻起，在設(shè)定供給時間t4的期間內(nèi)，以作為初始目標(biāo)流量值La的供給流量L41供給氮氣，然后，在一對存貨傳感器IOz檢測到容器50的存在期間，以作為恒定目標(biāo)流量值L ^的供給流量L42繼續(xù)間歇地供給氮氣。
S卩，第二保管用凈化模型·P4被確定為這樣的模型:將目標(biāo)流量從作為初始目標(biāo)流量值La的供給流量L41變更為作為恒定目標(biāo)流量值LP的供給流量L42之后，反復(fù)進行當(dāng)經(jīng)過了設(shè)定供給時間t43時使氮氣的供給在設(shè)定休止時間期間停止的過程。
S卩，在將目標(biāo)流量從作為初始目標(biāo)流量值L a的供給流量L41變更為作為恒定目標(biāo)流量值LP的供給流量L42之后，在反復(fù)周期t42中的設(shè)定供給時間t43期間，以供給流量L42供給氮氣，在設(shè)定休止時間t42-t43期間停止氮氣的供給，該過程在由一對存貨傳感器IOz檢測到容器50期間反復(fù)執(zhí)行。
另外，設(shè)定供給時間t41作為初始值例如設(shè)定為5分鐘，反復(fù)周期t42作為初始值例如設(shè)定為10分鐘，設(shè)定供給時間t43作為初始值例如設(shè)定為5分鐘。如上所述，設(shè)定供給時間t41、反復(fù)周期t42以及設(shè)定供給時間t43由使用者進行變更設(shè)定。
第三保管用凈化模型P5被確定為這樣的模型:在一對存貨傳感器IOz檢測到容器50的存在期間反復(fù)進行基本模型，該基本模型為，從容器收納完成時刻起，在設(shè)定供給時間t51的期間內(nèi)，以作為初始目標(biāo)流量值La的供給流量L51供給氮氣，接著在設(shè)定供給時間t52的期間內(nèi)，以作為恒定目標(biāo)流量值L ^的供給流量L52供給氮氣。
另外，設(shè)定供給時間t51作為初始值例如設(shè)定為5分鐘，設(shè)定供給時間t52作為初始值例如設(shè)定為5分鐘。如上所述，設(shè)定供給時間t51和設(shè)定供給時間t52由使用者進行變更設(shè)定。
第四保管用凈化模型P6被確定為這樣的模型:在一對存貨傳感器IOz檢測到容器50的存在期間持續(xù)進行基本模型，該基本模型為，從容器收納完成時刻起，在設(shè)定供給時間t61的期間內(nèi)，以作為初始目標(biāo)流量值La的供給流量L61供給氮氣，接著在設(shè)定供給時間t64-t61的期間內(nèi)，以作為恒定目標(biāo)流量值LP的供給流量L62間歇地供給氮氣。
S卩，在第四保管用凈化模型P6，設(shè)定了反復(fù)以作為初始目標(biāo)流量值La的供給流量L61供給氮氣的周期即第一反復(fù)周期t64、以及反復(fù)以作為恒定目標(biāo)流量值LP的供給流量L62間隙地供給氮氣的周期即第二反復(fù)周期t62。
并且，在容器收納完成時刻和第一反復(fù)周期t64的開始時刻，交替地反復(fù)執(zhí)行以下兩個動作:在設(shè)定供給時間t61的期間內(nèi)，以作為初始目標(biāo)流量值L a的供給流量L61供給氮氣，在以作為初始目標(biāo)流量值L a的供給流量L61進行的氮氣的供給結(jié)束后，在設(shè)定供給時間t63的期間內(nèi)，以作為恒定目標(biāo)流量值LP的供給流量L62供給氮氣；以及在設(shè)定休止時間t62-t63的期間內(nèi)停止氮氣的供給。
另外，設(shè)定供給時間t61作為初始值例如設(shè)定為5分鐘，第一反復(fù)周期作為初始值例如設(shè)定為30分鐘，第二反復(fù)周期t62作為初始值例如設(shè)定為5分鐘。
在該第四保管用凈化模型P6中，第一反復(fù)周期t64和第二反復(fù)周期t62都由使用者進行變更設(shè)定。
在本實施方式中，第一目標(biāo)流量LMl相當(dāng)于初始目標(biāo)流量值L a，第二目標(biāo)流量LM2相當(dāng)于恒定目標(biāo)流量值LP。另外，目標(biāo)流量LI相當(dāng)于收納前目標(biāo)流量LM0,該收納前目標(biāo)流量LMO為比第一目標(biāo)流量LMl小的流量。
另外，控制裝置H構(gòu)成為，能夠?qū)⒍栊詺怏w供給部F各自的控制狀態(tài)在第一供給狀態(tài)R1、第二供給狀態(tài)R2與收納前供給狀態(tài)Rn之間切換。這里，第一供給狀態(tài)Rl是使質(zhì)量流量控制器40動作以便將對收納于收納部IOS的容器50的惰性氣體的供給流量調(diào)整為第一目標(biāo)流量LMl的供給狀態(tài)。第二供給狀態(tài)R2是使質(zhì)量流量控制器40動作以便將對收納于收納部IOS的容器50的惰性氣體的供給流量調(diào)整成比第一目標(biāo)流量LMl小的第二目標(biāo)流量LM2的供給狀態(tài)。收納前供給狀態(tài)Rn是使質(zhì)量流量控制器40動作，以便在從指示了將容器50收納到收納部IOS的收納指令時起到容器50被收納于該收納部IOS為止的期間的供給時間tl，將對排出噴嘴IOi的惰性氣體的供給流量調(diào)整為比第一目標(biāo)流量LMl小的目標(biāo)流量LI的供給狀態(tài) 。
另外，凈化控制器Hl存儲有從第一分支供給配管Lbl對第一通道CHl能夠供給的最大容許流量、以及從第二分支供給配管Lb2對第二通道CH2能夠供給的最大容許流量，作為凈化控制器Hl所具備的程序模塊的同時供給計算部Hll根據(jù)最大容許流量Lmax、第一目標(biāo)流量LM1、第二目標(biāo)流量LM2以及目標(biāo)流量LI，來計算能夠同時期地控制為第一供給狀態(tài)Rl的惰性氣體供給部F的最大數(shù)即同時供給最大數(shù)N。
同時供給計算部Hl I根據(jù)下面的數(shù)式(I)來計算同時供給最大數(shù)N。Lmax= (NXLMl) +{ (B-N) XLM2}+LMO (I) 這里，Lmax為最大容許流量，B為與一組惰性氣體供給部F對應(yīng)的一組收納部IOS的總數(shù)，LMl為第一目標(biāo)流量，LM2為第二目標(biāo)流量，LMO為收納前目標(biāo)流量。對上述(I)關(guān)于N求解，則成為下面的式子(2)。
N= (Lmax-BXLM2-LM0) / (LM1-LM2) (2) 即，同時供給計算部Hl I構(gòu)成為，計算同時供給最大數(shù)N，使得針對與一組收納部IOS對應(yīng)的一組惰性氣體供給部F的所有的惰性氣體的目標(biāo)流量的合計流量為最大容許流量Lmax以下。
(控制裝置H對凈化模型的選擇) 在本實施方式中，作為控制裝置H的凈化控制器Hl構(gòu)成為，能夠存儲包括作為節(jié)約供給模型的保管用凈化模型P3 P6的多個凈化模型(Pf P6)。
控制臺HS構(gòu)成為，在將容器50收納于收納部IOS的收納狀態(tài)下，顯示與保管用凈化模型P3 P6相關(guān)的信息，并能夠利用未圖示的輸入裝置(鼠標(biāo)、鍵盤等)人為地選擇使用某一個保管用凈化模型。即，作為人為地選擇使用保管用凈化模型P3 P6中的某一個的模型選擇部，設(shè)置有控制臺HS，凈化控制器Hl構(gòu)成為，按照多個保管用凈化模型P3 P6中的由控制臺HS預(yù)先選擇的節(jié)約供給模型控制質(zhì)量流量控制器40的動作，向容器50內(nèi)供給惰性氣體。
(控制裝置H對同時開始對應(yīng)處理的執(zhí)行) 接下來，參照圖8和圖9的流程圖對控制裝置H對同時開始對應(yīng)處理的執(zhí)行進行說明。
如圖8所示，同時供給計算部Hl I根據(jù)上述(2 )計算同時供給最大數(shù)N(步驟#11)。
接著，判別決定同時期地控制為第一供給狀態(tài)Rl的惰性氣體供給部F的總數(shù)即對象總數(shù)M是否大于同時供給最大數(shù)N (步驟#12)。這里，在本實施方式中，在執(zhí)行本次判別的時刻已經(jīng)控制為第一供給狀態(tài)R1，并且從第一供給狀態(tài)Rl的開始時刻起沒有經(jīng)過設(shè)定供給時間的惰性氣體供給部F的數(shù)量、與從上次判別的時刻到本次判別的時刻為止的期間執(zhí)行開始延遲處理的惰性氣體供給部F的數(shù)量、以及從上次判別的時刻到本次判別的時刻為止的期間決定控制為第一供給狀態(tài)Rl的惰性氣體供給部F的數(shù)量之和，為對象總數(shù)M。在第三個數(shù)中包括:在從上次判別的時刻到本次判別的時刻為止的期間在對應(yīng)的收納部I OS中收納有容器50的惰性氣體供給部F的數(shù)量；以及從上次判別的時刻到本次判別的時刻為止的期間規(guī)定為凈化模型的第一供給狀態(tài)Rl的開始時機到來的惰性氣體供給部F的數(shù)量。在判別為對象總數(shù)M大于同時供給最大數(shù)N的情況下(步驟#12:是)，凈化控制器Hl對超過同時供給最大數(shù)N的數(shù)量的惰性氣體供給部F執(zhí)行同時開始對應(yīng)處理(步驟#13)。對于該同時開始對應(yīng)處理的詳細情況將在后文說明。另外，在判別為對象總數(shù)M小于同時供給最大數(shù)N的情況下(步驟#12:否)，凈化控制器Hl對所有的惰性氣體供給部F執(zhí)行通常的凈化處理(步驟#14)。這里，所謂的通常的凈化處理是按照上述保管用凈化模型P3 P6中的所選擇的凈化模型，不改變針對該所選擇的凈化模型而設(shè)定的目標(biāo)流量和排出時間地向容器50內(nèi)供給惰性氣體的處理。控制裝置H構(gòu)成為，在步驟#12中的判斷為“是”的期間內(nèi)，每當(dāng)經(jīng)過設(shè)定延遲時間TD，就反復(fù)執(zhí)行步驟#13的同時開始對應(yīng)處理。即，開始延遲處理以設(shè)定延遲時間TD為單位時間來執(zhí)行，每當(dāng)經(jīng)過設(shè)定延遲時間TD，就判別是否接著執(zhí)行開始延遲處理。
接下來，根據(jù)圖9對同時開始對應(yīng)處理進行說明。
首先，凈化控制器Hl判別對象總數(shù)M是否小于同時供給最大數(shù)N (步驟#21)。這里，在判別為對象總數(shù)M大于同時供給最大數(shù)N的情況下(步驟#21:否)，對于超過同時供給最大數(shù)N的數(shù)量的惰性氣體供給部F無法控制為第一供給狀態(tài)Rl，因此執(zhí)行使第一供給狀態(tài)Rl的開始延遲設(shè)定延遲時間TD的處理即開始延遲處理(步驟#22)。在判別為對象總數(shù)M小于同時供給最大數(shù)N的情況下(步驟#21:是)，能夠?qū)⒀舆t處理對象供給部控制為第一供給狀態(tài)R1，因此執(zhí)行控制為第一供給狀態(tài)Rl的處理即供給開始處理(供給處理)。此時，例如按照根據(jù)庫存控制器H2所管理的識別信息而設(shè)定的優(yōu)先順序，即按照作為識別信息的識別號碼順序，選擇成為供給開始處理的執(zhí)行對象的惰性氣體供給部F，對所選擇的惰性氣體供給部F執(zhí)行供給開始處理(步驟#23)。當(dāng)步驟#22或者步驟#23的執(zhí)行結(jié)束時，凈化控制器Hl結(jié)束同時開始對應(yīng)處理。
S卩，凈化控制器Hl在決定將超過同時供給最大數(shù)N的數(shù)量的惰性氣體供給部F同時期地控制為第一供給狀態(tài)Rl時(步驟#12:是)，執(zhí)行同時開始對應(yīng)處理(步驟#13)。具體來說，將決定同時期地控制為第一供給狀態(tài)Rl的惰性氣體供給部F中的與同時供給最大數(shù)N相同數(shù)量的惰性氣體供給部F控制為第一供給狀態(tài)Rl，對于剩余的惰性氣體供給部F執(zhí)行開始延遲處理(步驟#22)，使第一供給狀態(tài)Rl的開始延遲設(shè)定延遲時間TD。
另外，上述設(shè)定延遲時間TD通過以下的式子(3)計算。
設(shè)定延遲時間TD=第一供給狀態(tài)Rl的持續(xù)時間/ (N+1) (3) 在本實施方式中，凈化控制器Hl構(gòu)成為，在通過開始延遲處理使第一供給狀態(tài)Rl的開始延遲的期間內(nèi)，將作為該開始延遲處理的對象的惰性氣體供給部F即延遲處理對象供給部控制為第二供給狀態(tài)R2。
另外，凈化控制器Hl構(gòu)成為執(zhí)行以下的處理作為同時開始對應(yīng)處理。即，在執(zhí)行了開始延遲處理后，在判斷為對象總數(shù)M低于同時供給最大數(shù)N的情況下(步驟#21:是)，對于正在執(zhí)行開始延遲處理的惰性氣體供給部F即延遲處理對象供給部中的即使將其控制為第一供給狀態(tài)Rl也不會超過同時供給最大數(shù)N的數(shù)量(S卩，不超過對象總數(shù)M與同時供給最大數(shù)N之差的數(shù)量)的延遲處理對象供給部，執(zhí)行控制為第一供給狀態(tài)Rl的處理即供給開始處理(步驟#23)。另外，當(dāng)存在延遲處理對象供給部時執(zhí)行步驟#21的判斷的情況下，與步驟#12的判斷不同，在對象總數(shù)M中不包括從上次判別的時刻到本次判別的時刻為止的期間執(zhí)行開始延遲處理的惰性氣體供給部F的數(shù)量、以及從上次判別的時刻到本次判別的時刻為止的期間決定控制為第一供給狀態(tài)Rl的惰性氣體供給部F的數(shù)量。S卩，該情況下的對象總數(shù)M與在執(zhí)行本 次判別的時刻已經(jīng)控制為第一供給狀態(tài)Rl并且從第一供給狀態(tài)Rl的開始時刻起沒有經(jīng)過設(shè)定供給時間的惰性氣體供給部F的數(shù)量相等。
并且，庫存控制器H2根據(jù)識別信息管理多個收納部10S，凈化控制器Hl按照根據(jù)識別信息所設(shè)定的優(yōu)先順序來選擇供給開始處理的執(zhí)行對象即延遲處理對象供給部。在本實施方式中，識別信息為識別號碼，凈化控制器Hl從識別號碼小的延遲處理對象供給部開始依次執(zhí)行供給處理，或者從識別號碼大的延遲處理對象供給部開始依次執(zhí)行供給處理。
(同時開始對應(yīng)處理的執(zhí)行結(jié)果) 接下來，參照圖10的時間圖說明執(zhí)行同時開始對應(yīng)處理所得的結(jié)果。
圖10是縱軸為賦予收納部IOS的作為識別信息的識別號碼并且橫軸為經(jīng)過時間的時間圖。在圖10的示例中，在多個收納部IOS的所有中，以沒有收納容器50的狀態(tài)為初始狀態(tài)，對應(yīng)于指示收納容器50的收納指令，從識別號碼為“I”的收納部IOS到識別號碼為“12”的收納部IOS為止，自識別號碼小的收納部IOS開始依次收納容器50。另外，在本實施方式中設(shè)置的塔式起重機20為一臺，無法將容器50同時收納到收納部IOS中。即，收納到收納部IOS中的時機按照每個容器50而不同。
圖10的橫軸的下部的表表示在以設(shè)定延遲時間TD為單位時間劃分經(jīng)過時間的情況下，同時期地控制為第一供給狀態(tài)R1、第二供給狀態(tài)R2以及收納前供給狀態(tài)Rn的惰性氣體供給部F的數(shù)量。對于第一供給狀態(tài)R1，在上層記載了執(zhí)行開始延遲處理前(即，不執(zhí)行開始延遲處理的情況下)的控制為第一供給狀態(tài)Rl的惰性氣體供給部F的數(shù)量。該數(shù)量與對象總數(shù)M相等，在存在延遲處理對象供給部的情況下，該數(shù)量與同時供給最大數(shù)N和延遲處理對象供給部的數(shù)量的合計數(shù)量相等。另外，對于第一供給狀態(tài)R1，在下層記載了執(zhí)行開始延遲處理后(即，執(zhí)行開始延遲處理的情況下)的控制為第一供給狀態(tài)Rl的惰性氣體供給部F的數(shù)量。另外，在圖10中表示了應(yīng)用第三保管用凈化模型P5的情況。
在式子(2)中，當(dāng)設(shè)所有收納部數(shù)量B=12，最大容許流量Lmax=315 [升/分鐘]，第一目標(biāo)流浪LM1=50[升/分鐘],第二目標(biāo)流量LM2=5[升/分鐘],收納前目標(biāo)流量LM0=30[升/分鐘]，來計算同時供給最大數(shù)N時，N=5。另外，當(dāng)根據(jù)上述式子(3)計算設(shè)定延遲時間TD時，5[分]/ (5+1) =50[秒]。
因此，在決定控制為第一供給狀態(tài)Rl的惰性氣體供給部F的數(shù)量大于“5”的情況下，將超過“5”的數(shù)量的惰性氣體供給部F作為延遲處理對象供給部，使第一供給狀態(tài)Rl的開始延遲設(shè)定延遲時間TD即50[秒]的時間。
另外，上述的各數(shù)值表示在本發(fā)明中可以設(shè)定的數(shù)值以及根據(jù)該數(shù)值計算的數(shù)值的一例，本發(fā)明的應(yīng)用范圍不限定于上述各數(shù)值。
當(dāng)觀察圖10的時間圖時，在橫軸的第19個單位時間中，決定將六個惰性氣體供給部F控制為第一供給狀態(tài)R1。如上所述，在本實施方式中，同時供給最大數(shù)N為“5”，因此，對于某一個惰性氣體供給部F執(zhí)行使開始第一供給狀態(tài)Rl的時機延遲的處理即開始延遲處理。這里，對于預(yù)定接下來控制為第一供給狀態(tài)Rl的與識別號碼為“4”的收納部IOS對應(yīng)的惰性氣體供給部F，執(zhí)行開始延遲處理。
在后面的第20個單位時間中，決定將六個惰性氣體供給部F控制為第一供給狀態(tài)R1，這里，在第20個單位時間中，已經(jīng)控制為第一供給狀態(tài)Rl并且從第一供給狀態(tài)Rl的開始時刻起沒有經(jīng)過設(shè)定供給時間的惰性氣體供給部F的數(shù)量為小于同時供給最大數(shù)N的“3”。因此，對于正在執(zhí)行開始延遲處理的惰性氣體供給部F (這里為與識別號碼是“4”的收納部IOS對應(yīng)的惰性氣體供給部F)執(zhí)行供給開始處理，將該惰性氣體供給部F控制為第一供給狀態(tài)R1。另外，對于預(yù)定接下來控制為第一供給狀態(tài)Rl的與識別號碼為5的收納部IOS對應(yīng)的惰性氣體供給部F，執(zhí)行開始延遲處理。
在接下來的第21個單位時間中，決定將七個惰性氣體供給部F控制為第一供給狀態(tài)R1。這里，在第21個單位時間中，已經(jīng)控制為第一供給狀態(tài)Rl并且從第一供給狀態(tài)Rl的開始時刻起沒有經(jīng)過設(shè)定供給時間的惰性氣體供給部F的數(shù)量為與同時供給最大數(shù)N相同的“5”。因此，對預(yù)定接下來控制為第一供給狀態(tài)Rl的與識別號碼為“5”的收納部IOS對應(yīng)的惰性氣體供給部F以及與識別號碼為“6”的收納部IOS對應(yīng)的惰性氣體供給部F，分別執(zhí)行開始延遲處理。
這樣，在本實施方式中，通過每經(jīng)過單位時間就判別是否需要進行開始延遲處理這一簡單的結(jié)構(gòu)，能夠提供一種這樣的物品保管設(shè)備，其能夠抑制同時供給最大數(shù)N以上的數(shù)量的惰性氣體供給部F被同時期地控制為第一供給狀態(tài)R1，同時能夠盡早地消除使第一供給狀態(tài)的開始延遲的狀態(tài)。
另外在圖10中，用Re來表示作為執(zhí)行開始延遲處理的狀態(tài)的單位時間。
(其它實施方式) (I)在上述實施方式中例示了這樣的結(jié)構(gòu):使搬運容器50為F0UP，使所容納的基板為半導(dǎo)體晶片W并且作為惰性氣體向搬運容器供給氮氣，但是本發(fā)明的實施方式不限定于這樣的結(jié)構(gòu)。例如，也可以使所容納的基板為中間掩模(reticule)，使搬運容器50為中間掩模容器。另外，作為供給至搬運容器的惰性氣體，除了氮氣以外，可以使用氬氣等相對于所容納的基板反應(yīng)性低的各種氣體。
(2)在上述實施方式中，例示了將流量檢測裝置以內(nèi)置于質(zhì)量流量控制器40的狀態(tài)設(shè)置的結(jié)構(gòu)，但是本發(fā)明的實施方式不限定于這樣的結(jié)構(gòu)。例如，可以構(gòu)成為使流量檢測裝置裝備于供給配管Li。
(3)在上述實施方式中說明了這樣的結(jié)構(gòu):在容器50的收納狀態(tài)下，控制質(zhì)量流量控制器40以將目標(biāo)流量在第一目標(biāo)流量LMl和第二目標(biāo)流量LM2兩個等級之間切換。本發(fā)明的實施方式并不限定于這樣的結(jié)構(gòu)，例如可以構(gòu)成為能夠在三個等級以上的目標(biāo)流量之間切換。
(4)在上述實施方式中例示了這樣的結(jié)構(gòu):在第一供給狀態(tài)Rl與其接下來的第一供給狀態(tài)Rl之間實現(xiàn)的第二供給狀態(tài)R2中，使流量調(diào)節(jié)裝置動作，以便以比第一目標(biāo)流量LMl小的第二目標(biāo)流量LM2連續(xù)或者斷續(xù)地供給惰性氣體。也可以代替這樣的結(jié)構(gòu)而構(gòu)成為，在第一供給狀態(tài)Rl與其接下來的第一供給狀態(tài)Rl之間實現(xiàn)的第二供給狀態(tài)R2中，使第二目標(biāo)流量LM2持續(xù)為0升/分鐘。
(5)在上述實施方式中構(gòu)成為，將同時供給計算部Hl I設(shè)置于凈化控制器Hl，所述同時供給計算部Hll用于計算能夠同時期地控制為第一供給狀態(tài)Rl的惰性氣體供給部F的最大數(shù)即同時供給最大數(shù)N，但是也可以將同時供給計算部Hll設(shè)置于凈化控制器Hl以外的控制器，或者設(shè)置于單獨的計算機(包括微控制器)。另外，作為不設(shè)置同時供給計算部Hll的結(jié)構(gòu)，也可以構(gòu)成為使最大容許流量Lmax、第一目標(biāo)流量LM1、第二目標(biāo)流量LM2、收納前目標(biāo)流量LMO以及同時供給最大數(shù)N為固定的值。
(6)在上述實施方式中構(gòu)成為，作為開始延遲處理使第一供給狀態(tài)Rl的開始延遲設(shè)定延遲時間TD，然后，每經(jīng)過設(shè)定延遲時間TD判別是否繼續(xù)進行開始延遲處理，在判別為控制為第一供給狀態(tài)Rl的惰性氣體供給部F的個數(shù)小于同時供給最大數(shù)N的情況下，以經(jīng)過了進行這樣的判別的設(shè)定延遲時間TD的時刻為起點，對延遲處理對象供給部執(zhí)行供給開始處理。也可以代替這樣的結(jié)構(gòu)構(gòu)成為，在判別控制為第一供給狀態(tài)Rl的惰性氣體供給部F的個數(shù)小于同時供給最大數(shù)N的情況下(例如，在由存貨傳感器IOz檢測到以第一供給狀態(tài)Rl供給了惰性氣體的容器50被從收納部IOS取出的情況下等)，即使設(shè)定延遲時間TD沒有屆滿，也對延遲處理對象供給部執(zhí)行供給開始處理。通過這樣的結(jié)構(gòu)，在控制為第一供給狀態(tài)Rl的惰性氣體供給部F的個數(shù)小于同時供給最大數(shù)N的情況下，能夠迅速地對延遲處理對象供給部執(zhí)行供給開始處理而無需等待經(jīng)過下一設(shè)定延遲時間TD。
另外在上述實施方式中構(gòu)成為，作為開始延遲處理使第一供給狀態(tài)Rl的開始延遲設(shè)定延長時間TD，然后，每經(jīng)過設(shè)定延遲時間TD判別控制為第一供給狀態(tài)Rl的惰性氣體供給部F的個數(shù)是否小于同時供給最大數(shù)N (即能否執(zhí)行供給開始處理)。也可以代替這樣的結(jié)構(gòu)而構(gòu)成為，以開始延遲處理開始后，到控制為第一供給狀態(tài)Rl的惰性氣體供給部F的個數(shù)小于同時供給最大數(shù)N從而能夠?qū)ζ溲舆t處理對象供給部開始第一供給狀態(tài)Rl的時刻為止，作為設(shè)定延遲時間。在該情況下，設(shè)定延遲時間與入庫出庫狀況對應(yīng)地變動。
(7)在上述實施方式中，例示了這樣的結(jié)構(gòu):凈化控制器Hl在通過開始延遲處理使第一供給狀態(tài)Rl的開始延遲期間，控制質(zhì)量流量控制器40的動作，以便對該惰性氣體供給部F以第二供給狀態(tài)R2供給惰性氣體。也可以代替這樣的結(jié)構(gòu)而構(gòu)成為，在使第一供給狀態(tài)Rl的開始延遲期間，控制質(zhì)量流量控制器40的動作，以便以第二目標(biāo)流量以外的流量供給惰性氣體。該情況下的流量優(yōu)選小于第二目標(biāo)流量，但是若在不影響同時供給最大數(shù)N的范圍內(nèi)，也可以大于第二目標(biāo)流量。此外也可以構(gòu)成為，將使第一供給狀態(tài)Rl的開始延遲期間的惰性氣體的供給流量構(gòu)成為可變，而供給當(dāng)時能夠供給的剩余流量的惰性氣體。
(8)在上述實施方式中，構(gòu)成為能夠?qū)⒍栊詺怏w供給部F的控制狀態(tài)切換為收納前供給狀態(tài)Rn，但是本發(fā)明的實施方式不限定于這樣的結(jié)構(gòu)，也可以構(gòu)成為不設(shè)置收納前供給狀態(tài)Rn作為可切換的狀態(tài)。
(9)在上述實施方式中，例示了使庫存控制器H2管理的識別信息為收納部IOS固有的識別號碼的結(jié)構(gòu)，但是也可以代替這樣的結(jié)構(gòu)而構(gòu)成為，例如使識別信息為由字符串等構(gòu)成的收納部ID，并對該收納部ID定義優(yōu)選順序。另外，該情況下的優(yōu)先順序可以設(shè)定成使得距入庫口近的部位的收納部IOS的優(yōu)先順序高，而使距入庫口遠的部位的收納部IOS的優(yōu)選順序低，或者也可以反過來設(shè)定成使得距入庫口近的部位的收納部IOS的優(yōu)先順序低，而使距入庫口遠的部位的收納部IOS的優(yōu)選順序高。另外，如果設(shè)定成使用頻率低的收納部IOS的優(yōu)選順位高而使用頻率高的收納部IOS的優(yōu)先順位低，則還能夠?qū)崿F(xiàn)收納部IOS的使用頻率的均等化。
(10)在上述實施方式中，構(gòu)成為以按照優(yōu)先順序的方式執(zhí)行供給開始處理，所述優(yōu)先順序是根據(jù)庫存控制器H2管理的收納部IOS的識別信息而設(shè)定的。也可以代替這樣的結(jié)構(gòu)而構(gòu)成為，在凈化控制器Hl設(shè)置針對作為開始延遲處理的對象的惰性氣體供給部即延遲處理對象供給部的每一個的待機時間計測部，該待機時間計測部用于計測自開始延遲處理開始起的時間即待機時間，凈化控制器Hl從待機時間計測部計測到的待機時間長的延遲處理對象供給部起依次執(zhí)行供給開始處理。如果這樣構(gòu)成，則對于自開始延遲處理開始起的待機時間長的容器50，能夠抑制開始延遲處理持續(xù)更長的時間，能夠防止容器50內(nèi)的半導(dǎo)體晶片W污損。
(11)在上述實施方式中，作為收納容器50的收納部，例示了保管架10的收納部10S，但是作為收納部，例如也可以是設(shè)置于升降機式的搬運車D的導(dǎo)軌G的橫側(cè)附近的收納部。
(12)在上述實施方式中，控制裝置H構(gòu)成為，當(dāng)容器50被搬入入庫出庫輸送機CV并且塔式起重機20的移載裝置25收取了容器50時，與噴嘴凈化模型Pl對應(yīng)地指示噴嘴凈化用的目標(biāo)流量。本發(fā)明的實施方式不限定于這樣的結(jié)構(gòu)，例如可以構(gòu)成為，在塔式起重機20開始了用于收取容器50的動作的時刻、或者塔式起重機20到達了用于收取容器50的行進路徑中的預(yù)先確定的行進位置的時刻，指示與噴嘴凈化模型Pl對應(yīng)的噴嘴凈化用的目標(biāo)流量。
(13)在上述實施方式中構(gòu)成為，當(dāng)決定將超過由同時供給計算部Hll計算的同時供給最大數(shù)N的數(shù)量的惰性氣體供給部F同時期地控制為第一供給狀態(tài)Rl時，將決定同時期地控制為第一供給狀態(tài)Rl的惰性氣體供給部F中的與同時供給最大數(shù)N相同數(shù)量的惰性氣體供給部F控制為第一供給狀態(tài)R1，而對于剩余的惰性氣體供給部F則執(zhí)行開始延遲處理。本發(fā)明的實施方式不限定于這樣的結(jié)構(gòu)，也可以構(gòu)成為，將決定同時期地控制為第一供給狀態(tài)Rl的惰性氣體供給部F中的不足同時供給最大數(shù)N的惰性氣體供給部F控制為第一供給狀態(tài)Rl，對于剩余的惰性氣體供給部F執(zhí)行使第一供給狀態(tài)Rl的開始延遲設(shè)定延遲時間TD的開始延遲處理。
S卩，例如在臨時停止了對所有惰性氣體供給部F的惰性氣體的供給之后再次開始供給的情況下，或者在從手動運轉(zhuǎn)切換到自動運轉(zhuǎn)等，針對與收納有搬運容器50的所有收納部IOS對應(yīng)的惰性氣體供給部F決定同時期地控制為第一供給狀態(tài)Rl的情況下，有時為了將搬運容器50內(nèi)的氣體用新的惰性氣體迅速地置換，而將與收納有搬運容器50的收納部IOS對應(yīng)的所有惰性氣體供給部F在相同的時機控制為第一供給狀態(tài)Rl。在這樣的情況下,為了抑制惰性氣體供給部F所供給的惰性氣體的流量急劇增加而導(dǎo)致對惰性氣體供給部F中的質(zhì)量流量控制器40或到質(zhì)量流量控制器40的配管(供給配管Ls)等施加沖擊等現(xiàn)象，可以構(gòu)成為，不是使控制為第一供給狀態(tài)Rl的惰性氣體供給部F的數(shù)量一下子增加到同時供給最大數(shù)N，而是首先將不足同時供給最大數(shù)N的設(shè)定數(shù)(開始時數(shù)量)的惰性氣體供給部F控制為第一供給狀態(tài)Rl，然后錯開微小延遲時間(例如I秒 幾秒等)，將一個或者設(shè)定的增加數(shù)量的惰性氣體供給部F控制為第一供給狀態(tài)R1，最終將與同時供給最大數(shù)N相同數(shù)量的惰性氣體供給部F控制為第一供給狀態(tài)R1。上述的開始時數(shù)量例如設(shè)定為同時供給最大數(shù)N的1/2以下或者1/3以下的數(shù)等，可以考慮隨著計算同時供給最大數(shù)N還計算開始時數(shù)量，或者將開始時數(shù)量固定地設(shè)定。另外，開始時數(shù)量的計算方法不限定于上述內(nèi)容。
權(quán)利要求
1.一種物品保管設(shè)備，包括: 多個收納部，收納用于容納基板的搬運容器； 搬運裝置，相對于所述多個收納部搬運所述搬運容器； 惰性氣體供給部，針對所述多個收納部的每一個收納部而設(shè)置，包括:排出惰性氣體的排出口 ；以及能夠調(diào)節(jié)從所述排出口排出的所述惰性氣體的流量的流量調(diào)節(jié)裝置，該惰性氣體供給部用于將所述惰性氣體供給至收納于所述收納部的所述搬運容器的內(nèi)部；以及控制裝置，控制所述搬運裝置和所述流量調(diào)節(jié)裝置的動作， 其特征在于， 所述物品保管設(shè)備具有供給源，該供給源對與所述多個收納部中的一組收納部對應(yīng)的一組所述惰性氣體供給部供給所述惰性氣體， 所述物品保管設(shè)備設(shè)定了從所述供給源對所述一組惰性氣體供給部能夠供給的最大容許流量， 所述控制裝置構(gòu)成為，能夠?qū)⑺鲆唤M惰性氣體供給部各自的控制狀態(tài)在第一供給狀態(tài)和第二供給狀態(tài)之間切換，所述第一供給狀態(tài)是使所述流量調(diào)節(jié)裝置動作以便對收納于所述收納部的所述搬運容器以第一目標(biāo)流量供給所述惰性氣體的狀態(tài)，所述第二供給狀態(tài)是使所述流量調(diào)節(jié)裝置動作以便對收納于所述收納部的所述搬運容器以比所述第一目標(biāo)流量小的第二目標(biāo)流量供給所述惰性氣體的狀態(tài)， 根據(jù)所述最大容許流量、所述第一目標(biāo)流量以及所述第二目標(biāo)流量確定的能夠同時期地控制為所述第一供給狀態(tài)的所述惰性氣體供給部的最大數(shù)為同時供給最大數(shù)， 所述控制裝置構(gòu)成為，在判斷為對象總數(shù)超過了所述同時供給最大數(shù)的情況下，將決定同時期地控制為所述第一供給狀態(tài)的所述惰性氣體供給部中的所述同時供給最大數(shù)以下的所述惰性氣體供給部控制為所述第一供給狀態(tài)，對于剩余的所述惰性氣體供給部執(zhí)行開始延遲處理，所述開始延遲處理是使所述第一供給狀態(tài)的開始延遲設(shè)定延遲時間的處理，其中，所述對象總數(shù)為決定同時期地控制為所述第一供給狀態(tài)的所述惰性氣體供給部的總數(shù)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的物品保管設(shè)備，其特征在于， 所述控制裝置構(gòu)成為，將延遲處理對象供給部控制為所述第二供給狀態(tài)，所述延遲處理對象供給部是作為所述開始延遲處理的執(zhí)行對象的所述惰性氣體供給部。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的物品保管設(shè)備，其特征在于， 所述控制裝置構(gòu) 成為，在判斷為所述對象總數(shù)超過了所述同時供給最大數(shù)的情況下，將決定同時期地控制為所述第一供給狀態(tài)的所述惰性氣體供給部中的與所述同時供給最大數(shù)相同數(shù)量的所述惰性氣體供給部控制為所述第一供給狀態(tài)，而對于剩余的所述惰性氣體供給部則執(zhí)行所述開始延遲處理。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的物品保管設(shè)備，其特征在于， 所述物品保管設(shè)備設(shè)置有用于計算所述同時供給最大數(shù)的同時供給計算部， 所述控制裝置構(gòu)成為，除了所述第一供給狀態(tài)和所述第二供給狀態(tài)，還能夠?qū)⑺鲆唤M惰性氣體供給部各自的控制狀態(tài)切換為收納前供給狀態(tài)， 所述收納前供給狀態(tài)是這樣的供給狀態(tài):使所述流量調(diào)節(jié)裝置動作，以便在到所述搬運容器收納至所述收納部為止之間的設(shè)定期間內(nèi)，對設(shè)置于所述收納部的所述排出口以比所述第一目標(biāo)流量小的收納前目標(biāo)流量供給所述惰性氣體， 所述同時供給計算部構(gòu)成為，根據(jù)所述最大容許流量、所述第一目標(biāo)流量、所述第二目標(biāo)流量以及所述收納前目標(biāo)流量，來計算所述同時供給最大數(shù)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的物品保管設(shè)備，其特征在于， 所述物品保管設(shè)備設(shè)置有用于計算所述同時供給最大數(shù)的同時供給計算部， 所述同時供給計算部構(gòu)成為，計算所述同時供給最大數(shù)，以使針對所述一組惰性氣體供給部的所有的所述惰性氣體的目標(biāo)流量的合計流量為所述最大容許流量以下。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的物品保管設(shè)備，其特征在于， 所述控制裝置構(gòu)成為，在所述開始延遲處理執(zhí)行后，在判斷為所述對象總數(shù)低于所述同時供給最大數(shù)的情況下，對于作為所述開始延遲處理的執(zhí)行對象的所述惰性氣體供給部即延遲處理對象供給部中的不超過所述對象總數(shù)與所述同時供給最大數(shù)之差的數(shù)量的所述延遲處理對象供給部，執(zhí)行供給處理，該供給處理是控制為所述第一供給狀態(tài)的處理。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的物品保管設(shè)備，其特征在于， 所述控制裝置構(gòu)成為根據(jù)識別信息管理所述多個收納部，并且構(gòu)成為，控制所述搬運裝置的動作，使得在被指示了將所述搬運容器收納到所述收納部的收納指令時，按照根據(jù)所述識別信息設(shè)定的優(yōu)先順序，從所述多個收納部選擇收納所述搬運容器的空閑狀態(tài)的收納部，并將所述搬運容器收納到所選擇的所述空閑狀態(tài)的收納部中， 而且，所述控制裝置構(gòu)成為，按照所述收納部的所述優(yōu)先順序選擇作為所述供給處理的執(zhí)行對象的所述延遲處理對象供給部。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的物品保管設(shè)備，其特征在于， 所述物品保管設(shè)備設(shè)置有針對所述延遲處理對象供給部的每一個的待機時間計測部，該待機時間計測部用于計測自開始所述開始延遲處理起的時間即待機時間， 所述控制裝置構(gòu)成為根據(jù)識別信息管理所述多個收納部，并且構(gòu)成為，控制所述搬運裝置的動作，使得在被指示了將所述搬運容器收納到所述收納部的收納指令時，按照根據(jù)所述識別信息設(shè)定的優(yōu)先順序，從所述多個收納部選擇收納所述搬運容器的空閑狀態(tài)的收納部，并將所述搬運容器收納到所選擇的所述空閑狀態(tài)的收納部中， 而且，所述控制裝置構(gòu)成為，從所述待機時間計測部計測到的所述待機時間長的所述延遲處理對象供給部起依次執(zhí)行所述供給處理。
9.一種使用了物品保管設(shè)備的物品保管方法， 所述物品保管設(shè) 備包括: 多個收納部，收納用于容納基板的搬運容器； 搬運裝置，相對于所述多個收納部搬運所述搬運容器； 惰性氣體供給部，針對所述多個收納部的每一個收納部而設(shè)置，包括:排出惰性氣體的排出口 ；以及能夠調(diào)節(jié)從所述排出口排出的所述惰性氣體的流量的流量調(diào)節(jié)裝置，該惰性氣體供給部用于將所述惰性氣體供給至收納于所述收納部的所述搬運容器的內(nèi)部； 控制裝置，控制所述搬運裝置和所述流量調(diào)節(jié)裝置的動作；以及供給源,對與所述多個收納部中的一組收納部對應(yīng)的一組所述惰性氣體供給部供給所述惰性氣體， 所述物品保管設(shè)備設(shè)定了從所述供給源對所述一組惰性氣體供給部能夠供給的最大容許流量， 所述控制裝置構(gòu)成為，能夠?qū)⑺鲆唤M惰性氣體供給部各自的控制狀態(tài)在第一供給狀態(tài)和第二供給狀態(tài)之間切換，所述第一供給狀態(tài)是使所述流量調(diào)節(jié)裝置動作以便對收納于所述收納部的所述搬運容器以第一目標(biāo)流量供給所述惰性氣體的狀態(tài)，所述第二供給狀態(tài)是使所述流量調(diào)節(jié)裝置動作以便對收納于所述收納部的所述搬運容器以比所述第一目標(biāo)流量小的第二目標(biāo)流量供給所述惰性氣體的狀態(tài)， 根據(jù)所述最大容許流量、所述第一目標(biāo)流量以及所述第二目標(biāo)流量確定的能夠同時期地控制為所述第一供給狀態(tài)的所述惰性氣體供給部的最大數(shù)為同時供給最大數(shù)， 所述物品保管方法包括由所述控制裝置執(zhí)行的以下工序: 供給狀態(tài)控制工序，在所述供給狀態(tài)控制工序中，在判斷為對象總數(shù)超過了所述同時供給最大數(shù)的情況下，將決定同時期地控制為所述第一供給狀態(tài)的所述惰性氣體供給部中的所述同時供給最大數(shù)以下的所述惰性氣體供給部控制為所述第一供給狀態(tài)，對于剩余的所述惰性氣體供給部執(zhí)行開始延遲處理，所述開始延遲處理是使所述第一供給狀態(tài)的開始延遲設(shè)定延遲時間的處理，其中，所述對象總數(shù)為決定同時期地控制為所述第一供給狀態(tài)的所述惰性氣體供給部的總數(shù)。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的物品保管方法，其特征在于， 在所述供給狀態(tài)控制工序中，將延遲處理對象供給部控制為所述第二供給狀態(tài)，所述延遲處理對象供給部為作為所述開始延遲處理的執(zhí)行對象的所述惰性氣體供給部。
11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的物品保管方法，其特征在于， 在所述供給狀態(tài)控制工序中，在判斷為所述對象總數(shù)超過了所述同時供給最大數(shù)的情況下，將決定同時期地控制為所述第一供給狀態(tài)的所述惰性氣體供給部中的與所述同時供給最大數(shù)相同數(shù)量的所述惰性氣體供給部控制為所述第一供給狀態(tài)，而對于剩余的所述惰性氣體供給部則執(zhí)行所述開始延遲處理。
12.根據(jù)權(quán)利要求9所述的物品保管方法，其特征在于， 所述控制裝置構(gòu)成為，除了所述第一供給狀態(tài)和所述第二供給狀態(tài)，還能夠?qū)⑺鲆唤M惰性氣體供給部各自的控制狀態(tài)切換為收納前供給狀態(tài)， 所述收納前供給狀態(tài)是這樣的供給狀態(tài):使所述流量調(diào)節(jié)裝置動作，以便在到所述搬運容器收納至所述收納部為止之間的設(shè)定期間內(nèi)，對設(shè)置于所述收納部的所述排出口以比所述第一目標(biāo)流量小的收納前目標(biāo)流量供給所述惰性氣體， 作為由所述控制 裝置執(zhí)行的工序，還包括計算所述同時供給最大數(shù)的同時供給計算工序， 在所述同時供給計算工序中，根據(jù)所述最大容許流量、所述第一目標(biāo)流量、所述第二目標(biāo)流量以及所述收納前目標(biāo)流量，來計算所述同時供給最大數(shù)。
13.根據(jù)權(quán)利要求9所述的物品保管方法，其特征在于， 作為由所述控制裝置執(zhí)行的工序，還包括計算所述同時供給最大數(shù)的同時供給計算工序， 在所述同時供給計算工序中，計算所述同時供給最大數(shù)，以使針對所述一組惰性氣體供給部的所有的所述惰性氣體的目標(biāo)流量的合計流量為所述最大容許流量以下。
14.根據(jù)權(quán)利要求9所述的物品保管方法，其特征在于，在所述供給狀態(tài)控制工序中，在所述開始延遲處理執(zhí)行后，在判斷為所述對象總數(shù)低于所述同時供給最大數(shù)的情況下，對于作為所述開始延遲處理的執(zhí)行對象的所述惰性氣體供給部即延遲處理對象供給部中的不超過所述對象總數(shù)與所述同時供給最大數(shù)之差的數(shù)量的所述延遲處理對象供給部，執(zhí)行供給處理，該供給處理是控制為所述第一供給狀態(tài)的處理。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的物品保管方法，其特征在于， 所述控制裝置構(gòu)成為根據(jù)識別信息管理所述多個收納部，并且構(gòu)成為，控制所述搬運裝置的動作，使得在被指示了將所述搬運容器收納到所述收納部的收納指令時，按照根據(jù)所述識別信息設(shè)定的優(yōu)先順序，從所述多個收納部選擇收納所述搬運容器的空閑狀態(tài)的收納部，并將所述搬運容器收納到所選擇的所述空閑狀態(tài)的收納部中， 在所述供給狀態(tài)控制工序中，按照所述收納部的所述優(yōu)先順序選擇作為所述供給處理的執(zhí)行對象的所述延遲處理對象供給部。
16.根據(jù)權(quán)利要求14所述的物品保管方法，其特征在于， 在所述物品保管設(shè)備設(shè)置有針對所述延遲處理對象供給部的每一個的待機時間計測部，該待機時間計測部用于計測自開始所述開始延遲處理起的時間即待機時間， 所述控制裝置構(gòu)成為根據(jù)識別信息管理所述多個收納部，并且構(gòu)成為，控制所述搬運裝置的動作，使得在被指示了將所述搬運容器收納到所述收納部的收納指令時，按照根據(jù)所述識別信息設(shè)定的優(yōu)先順序，從所述多個收納部選擇收納所述搬運容器的空閑狀態(tài)的收納部，并將所述搬運容器收納到所選擇的所述空閑狀態(tài)的收納部中， 在所述供給狀態(tài)控制工序中，從所述待機時間計測部計測到的所述待機時間長的所述延遲處理對象供給 部起依次執(zhí)行所述供給處理。
全文摘要
本發(fā)明提供一種物品保管設(shè)備及物品保管方法，控制裝置在判斷為決定同時期地控制為第一供給狀態(tài)的惰性氣體供給部的總數(shù)超過了同時供給最大數(shù)的情況下，將決定同時期地控制為第一供給狀態(tài)的惰性氣體供給部中的同時供給最大數(shù)以下的惰性氣體供給部控制為第一供給狀態(tài)，對于剩余的惰性氣體供給部執(zhí)行開始延遲處理，所述開始延遲處理是使第一供給狀態(tài)的開始延遲設(shè)定延遲時間的處理。
文檔編號H01L21/673GK103199042SQ20131000133
公開日2013年7月10日 申請日期2013年1月4日 優(yōu)先權(quán)日2012年1月6日
發(fā)明者高原正裕, 上田俊人 申請人:株式會社大福