專(zhuān)利名稱(chēng)：物品保管設(shè)備以及物品保管方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種物品保管設(shè)備以及利用這種物品保管設(shè)備的物品保管方法，該物品保管設(shè)備具備:收納收容基板的運(yùn)送容器的多個(gè)收納部，相對(duì)于上述多個(gè)收納部運(yùn)送上述運(yùn)送容器的運(yùn)送裝置，向收納在上述收納部中的上述運(yùn)送容器的內(nèi)部供給惰性氣體的惰性氣體供給部，以及控制上述運(yùn)送裝置的動(dòng)作和上述惰性氣體供給部的流量調(diào)節(jié)裝置的動(dòng)作的控制裝置。
背景技術(shù)：
在上述這種物品保管設(shè)備中，為了防止運(yùn)送容器內(nèi)的基板的污損而具備有向收納在收納部中的運(yùn)送容器內(nèi)供給惰性氣體的潔凈功能。作為具體例子，例如具備收納收容半導(dǎo)體晶片的FOUP等運(yùn)送容器的多個(gè)收納部的保管架作為帶有潔凈功能的物品保管架而構(gòu)成。該物品保管架的收納部的每一個(gè)具備有作為惰性氣體供給部的供給噴嘴，向運(yùn)送容器的內(nèi)部供給例如氮?dú)饣驓鍤獾榷栊詺怏w。在日本國(guó)特開(kāi)2010-16199號(hào)公報(bào)(專(zhuān)利文獻(xiàn)I)中公開(kāi)了這種物品保管設(shè)備的一例，在該專(zhuān)利文獻(xiàn)I中，記載了為了抑制設(shè)備的運(yùn)行成本而盡量抑制惰性氣體的消耗量的以下的技術(shù)。即，在運(yùn)送容器收納在收納部中的情況和未收納在收納部中的情況下，能夠變更從供給噴嘴排放的惰性氣體的流量，使運(yùn)送容器收納在收納部中的情況下的惰性氣體的流量比運(yùn)送容器未收納在收納部中的情況下的流量少。具體地說(shuō)，在上述專(zhuān)利文獻(xiàn)I中，運(yùn)送容器收納在收納部中的情況下的惰性氣體的流量設(shè)定成為了向運(yùn)送容器內(nèi)供給充分的惰性氣體所必須的流量(稱(chēng)為第I流量)。另一方面，運(yùn)送容器未收納在收納部中的情況下的排放流量設(shè)定成比上述第I流量少的流量(稱(chēng)為第2流量)，以防止顆?；蛩魵獾入s物粒子在上述惰性氣體供給部上積蓄。這樣一來(lái)，在運(yùn)送容器未收納在收納部中的期間，能夠防止在惰性氣體供給部上滯留成為基板污損的原因的雜物粒子。這樣，在運(yùn)送容器收納在收納部中后，能夠相對(duì)于該運(yùn)送容器盡量供給純粹的惰性氣體，并謀求了設(shè)備運(yùn)行成本的降低。但是，在上述專(zhuān)利文獻(xiàn)I中，在運(yùn)送容器未收納在收納部中的情況下，平時(shí)從供給噴嘴向空間排放第2流量的惰性氣體。因此，由于原本應(yīng)向運(yùn)送容器供給的惰性氣體未向運(yùn)送容器供給而向空間排放，所以存在大量浪費(fèi)了惰性氣體的問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容
鑒于上述背景，希望實(shí)現(xiàn)能夠抑制惰性氣體的使用量并且能夠防止運(yùn)送容器內(nèi)的基板污損的物品保管設(shè)備。本發(fā)明所涉及的物品保管設(shè)備具備:收納收容基板的運(yùn)送容器的多個(gè)收納部，相對(duì)于上述多個(gè)收納部運(yùn)送上述運(yùn)送容器的運(yùn)送裝置，針對(duì)上述多個(gè)收納部的每一個(gè)設(shè)置、具有排放惰性氣體的排放口和能夠調(diào)節(jié)從上述排放口排放的上述惰性氣體的流量的流量調(diào)節(jié)裝置、并且向收納在上述收納部中的上述運(yùn)送容器的內(nèi)部供給上述惰性氣體的惰性氣體供給部，以及控制上述運(yùn)送裝置和上述流量調(diào)節(jié)裝置的動(dòng)作的控制裝置，其中，上述控制裝置構(gòu)成為，針對(duì)上述多個(gè)收納部的每一個(gè)進(jìn)行是否收納有上述運(yùn)送容器的管理，控制多個(gè)上述惰性氣體供給部各自的上述流量調(diào)節(jié)裝置的動(dòng)作，以使與收納有上述運(yùn)送容器的上述收納部相對(duì)應(yīng)的上述惰性氣體供給部的狀態(tài)為從上述排放口排放上述惰性氣體的保管用供給狀態(tài)，同時(shí)使與未收納有上述運(yùn)送容器的上述收納部相對(duì)應(yīng)的上述惰性氣體供給部的狀態(tài)為不從上述排放口排放上述惰性氣體的供給停止?fàn)顟B(tài)，另外，上述控制裝置構(gòu)成為，在由上述運(yùn)送裝置將上述運(yùn)送容器向上述收納部收納之際，控制上述運(yùn)送裝置的動(dòng)作以及上述流量調(diào)節(jié)裝置的動(dòng)作，以在將與收納目的地的上述收納部相對(duì)應(yīng)的上述惰性氣體供給部的狀態(tài)從上述供給停止?fàn)顟B(tài)切換成從上述排放口排放上述惰性氣體的收納前供給狀態(tài)之后，將上述運(yùn)送容器向上述收納部收納。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，由于與收納有運(yùn)送容器的收納部相對(duì)應(yīng)的惰性氣體供給部被切換成保管用供給狀態(tài)，所以能夠從惰性氣體供給部相對(duì)于收納在該收納部中的運(yùn)送容器供給惰性氣體。而且，由于與未收納有運(yùn)送容器的收納部相對(duì)應(yīng)的惰性氣體供給部被切換成供給停止?fàn)顟B(tài)，所以不從惰性氣體供給部相對(duì)于未收納有惰性氣體的供給對(duì)象的運(yùn)送容器的收納部供給惰性氣體，能夠抑制不必要地使用惰性氣體。而且，在將運(yùn)送容器向收納部收納之際，將與收納目的地的收納部相對(duì)應(yīng)的惰性氣體供給部的狀態(tài)從供給停止?fàn)顟B(tài)切換成收納前供給狀態(tài)，在從排放口排放出惰性氣體后將運(yùn)送容器向收納部收納，因此，即使在將惰性氣體供給部向供給停止?fàn)顟B(tài)切換的期間在該惰性氣體供給部中滯留有雜物粒子，也能夠在將運(yùn)送容器向收納部收納之前通過(guò)以收納前供給狀態(tài)供給的惰性氣體對(duì)惰性氣體供給部進(jìn)行凈化，能夠防止其雜物粒子從惰性氣體供給部進(jìn)入運(yùn)送容器內(nèi)。因此，即使在平時(shí)不預(yù)先向未收納有運(yùn)送容器的收納部排放惰性氣體，也能夠防止雜物粒子進(jìn)入運(yùn)送容器，防止運(yùn)送容器內(nèi)的基板的污損。這樣，根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，能夠抑制惰性氣體的使用量并防止運(yùn)送容器內(nèi)的基板的污損。本發(fā)明所涉及的物品保管設(shè)備的技術(shù)特征也能夠適用于物品保管方法，本發(fā)明也能夠?qū)⑦@種方法作為權(quán)利的對(duì)象。在該物品保管方法中，也能夠得到上述物品保管設(shè)備所涉及的作用和效果。S卩，本發(fā)明所涉及的物品保管方法利用如下的物品保管設(shè)備，該物品保管設(shè)備具備:收納收容基板的運(yùn)送容器的多個(gè)收納部，相對(duì)于上述多個(gè)收納部運(yùn)送上述運(yùn)送容器的運(yùn)送裝置，針對(duì)上述多個(gè)收納部的每一個(gè)設(shè)置、具備排放惰性氣體的排放口和能夠調(diào)節(jié)從上述排放口排放的上述惰性氣體的流量的流量調(diào)節(jié)裝置、并且向收納在上述收納部中的上述運(yùn)送容器的內(nèi)部供給上述惰性氣體的惰性氣體供給部，以及控制上述運(yùn)送裝置和上述流量調(diào)節(jié)裝置的動(dòng)作的控制裝置，上述物品保管方法包括由上述控制裝置執(zhí)行的以下的工序:第I控制工序，針對(duì)上述多個(gè)收納部的每一個(gè)進(jìn)行是否收納有上述運(yùn)送容器的管理，控制多個(gè)上述惰性氣體供給部各自的上述流量調(diào)節(jié)裝置的動(dòng)作，以使與收納有上述運(yùn)送容器的上述收納部相對(duì)應(yīng)的上述惰性氣體供給部的狀態(tài)為從上述排放口排放上述惰性氣體的保管用供給狀態(tài)，同時(shí)使與未收納有上述運(yùn)送容器的上述收納部相對(duì)應(yīng)的上述惰性氣體供給部的狀態(tài)為不從上述排放口排放上述惰性氣體的供給停止?fàn)顟B(tài)，第2控制工序，在由上述運(yùn)送裝置將上述運(yùn)送容器向上述收納部收納之際，控制上述運(yùn)送裝置的動(dòng)作以及上述流量調(diào)節(jié)裝置的動(dòng)作，以在將與收納目的地的上述收納部相對(duì)應(yīng)的上述惰性氣體供給部的狀態(tài)從上述供給停止?fàn)顟B(tài)切換成從上述排放口排放上述惰性氣體的收納前供給狀態(tài)后，將上述運(yùn)送容器向上述收納部收納。以下，對(duì)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式的例子進(jìn)行說(shuō)明。在本發(fā)明所涉及的物品保管設(shè)備的實(shí)施方式中，優(yōu)選地是，在上述運(yùn)送容器被運(yùn)送到上述收納部之前的期間的某一時(shí)刻實(shí)現(xiàn)的上述運(yùn)送裝置的動(dòng)作狀態(tài)是預(yù)先作為惰性氣體供給開(kāi)始狀態(tài)設(shè)定的，上述控制裝置構(gòu)成為，以上述運(yùn)送裝置的動(dòng)作狀態(tài)成為了上述惰性氣體供給開(kāi)始狀態(tài)為條件，控制上述流量調(diào)節(jié)裝置的動(dòng)作，將與收納目的地的上述收納部相對(duì)應(yīng)的上述惰性氣體供給部的狀態(tài)從上述供給停止?fàn)顟B(tài)切換成上述收納前供給狀態(tài)，之后，在經(jīng)過(guò)設(shè)定時(shí)間之前維持上述收納前供給狀態(tài)。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，當(dāng)運(yùn)送裝置的動(dòng)作狀態(tài)成為惰性氣體供給開(kāi)始狀態(tài)時(shí)，與運(yùn)送容器的收納目的地的收納部相對(duì)應(yīng)的惰性氣體供給部從供給停止?fàn)顟B(tài)切換成收納前供給狀態(tài)，之后，在經(jīng)過(guò)規(guī)定時(shí)間之前惰性氣體以收納前供給狀態(tài)從排放口排放。因此，由于在由運(yùn)送裝置將運(yùn)送容器向收納部收納之際的恰當(dāng)時(shí)期，惰性氣體在整個(gè)設(shè)定時(shí)間內(nèi)從排放口排放，所以能夠與運(yùn)送容器被收納的時(shí)機(jī)相配合而恰當(dāng)?shù)貙?duì)處于供給停止?fàn)顟B(tài)的惰性氣體供給部進(jìn)行凈化。另外，惰性氣體供給開(kāi)始狀態(tài)既可以設(shè)定成運(yùn)送裝置為了接收運(yùn)送對(duì)象的運(yùn)送容器而動(dòng)作時(shí)的動(dòng)作狀態(tài)，也可以設(shè)定成在接收了運(yùn)送容器后的動(dòng)作狀態(tài)或接收后使運(yùn)送容器實(shí)際移動(dòng)時(shí)的動(dòng)作狀態(tài)。而且，惰性氣體供給開(kāi)始狀態(tài)也可以設(shè)定成在時(shí)間或空間上具有一定的幅度。在本發(fā)明所涉及的物品保管設(shè)備的實(shí)施方式中，優(yōu)選地是，上述控制裝置構(gòu)成為，在從將與收納目的地的上述收納部相對(duì)應(yīng)的上述惰性氣體供給部的狀態(tài)從上述供給停止?fàn)顟B(tài)切換成上述收納前供給狀態(tài)后經(jīng)過(guò)了上述設(shè)定時(shí)間的時(shí)刻，上述運(yùn)送容器未運(yùn)送到該收納部的情況下，控制上述流量調(diào)節(jié)裝置的動(dòng)作，以在將該惰性氣體供給部的狀態(tài)從上述收納前供給狀態(tài)切換成上述供給停止?fàn)顟B(tài)后，以上述運(yùn)送容器被運(yùn)送到該收納部為條件，從上述供給停止?fàn)顟B(tài)切換成上述保管用供給狀態(tài)。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，在運(yùn)送容器向收納目的地的收納部收納之前，從收納前供給狀態(tài)下的惰性氣體的供給開(kāi)始后經(jīng)過(guò)了設(shè)定時(shí)間的情況下，能夠通過(guò)以收納前供給狀態(tài)排放惰性氣體設(shè)定時(shí)間而充分地對(duì)與該收納部相對(duì)應(yīng)的惰性氣體供給部進(jìn)行凈化,通過(guò)從經(jīng)過(guò)設(shè)定時(shí)間后、到運(yùn)送容器向收納部收納之前的期間不供給惰性氣體，能夠盡量抑制惰性氣體的使用量。而且，即使在從運(yùn)送裝置的動(dòng)作狀態(tài)成為惰性氣體供給開(kāi)始狀態(tài)后、到運(yùn)送容器被運(yùn)送到收納目的地的收納部之前的運(yùn)送時(shí)間因收納部的不同而不同的情況下，也能夠在多個(gè)收納部之間統(tǒng)一收納前供給狀態(tài)下的惰性氣體的供給時(shí)間，防止惰性氣體供給部的凈化度的參差不齊。在本發(fā)明所涉及的物品保管設(shè)備的實(shí)施方式中，優(yōu)選地是，上述控制裝置構(gòu)成為，執(zhí)行運(yùn)送牽制控制，該運(yùn)送牽制控制是在將與收納目的地的上述收納部相對(duì)應(yīng)的上述惰性氣體供給部的狀態(tài)從上述供給停止?fàn)顟B(tài)切換成上述收納前供給狀態(tài)后、到經(jīng)過(guò)上述設(shè)定時(shí)間之前，不使上述運(yùn)送裝置進(jìn)行的上述運(yùn)送容器向該收納部的運(yùn)送完成的控制。
根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，通過(guò)控制裝置執(zhí)行運(yùn)送牽制控制，從將惰性氣體供給部的狀態(tài)從供給停止?fàn)顟B(tài)切換成收納前供給狀態(tài)后、到經(jīng)過(guò)設(shè)定時(shí)間之前，運(yùn)送容器不向收納目的地的收納部收納。因此，由于能夠在容器未收納在收納目的地的收納部中的狀態(tài)下以收納前供給狀態(tài)在整個(gè)設(shè)定時(shí)間內(nèi)排放惰性氣體，所以能夠在整個(gè)設(shè)定時(shí)間內(nèi)可靠地進(jìn)行惰性氣體供給部的凈化。在本發(fā)明所涉及的物品保管設(shè)備的實(shí)施方式中，優(yōu)選地是，與上述運(yùn)送裝置的動(dòng)作狀態(tài)成為上述惰性氣體供給開(kāi)始狀態(tài)時(shí)上述運(yùn)送容器的位置相比，在上述運(yùn)送裝置的運(yùn)送路徑上靠近運(yùn)送目的地的上述收納部的位置設(shè)定了供給狀態(tài)判別用位置，上述控制裝置構(gòu)成為，在上述運(yùn)送容器被上述運(yùn)送裝置運(yùn)送到上述供給狀態(tài)判別用位置時(shí)，與該收納部相對(duì)應(yīng)的上述惰性氣體供給部的狀態(tài)處于上述收納前供給狀態(tài)的情況下，控制上述流量調(diào)節(jié)裝置以及上述運(yùn)送裝置的動(dòng)作，以使上述運(yùn)送裝置的運(yùn)送動(dòng)作停止，在該惰性氣體供給部的上述收納前供給狀態(tài)下的上述惰性氣體的供給完成后，再次開(kāi)始上述運(yùn)送裝置的運(yùn)送動(dòng)作。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，通過(guò)使運(yùn)送裝置的動(dòng)作停止這種簡(jiǎn)單的控制，能夠可靠地進(jìn)行從將惰性氣體供給部的狀態(tài)從供給停止?fàn)顟B(tài)切換成收納前供給狀態(tài)后、到經(jīng)過(guò)設(shè)定時(shí)間之前不將運(yùn)送容器向收納目的地的收納部收納。而且，供給狀態(tài)判別用位置是運(yùn)送裝置的運(yùn)送路徑上靠近收納目的地的收納部的位置。因此，能夠在與收納目的地的收納部相對(duì)應(yīng)的惰性氣體供給部的收納前供給狀態(tài)下的惰性氣體的供給完成后立即將運(yùn)送對(duì)象的運(yùn)送容器向收納目的地的收納部收納，其結(jié)果，能夠盡量迅速地將運(yùn)送容器向收納目的地的收納部收納。在本發(fā)明所涉及的物品保管設(shè)備的實(shí)施方式中，優(yōu)選地是，上述控制裝置構(gòu)成為，在從將與收納目的地的上述收納部相對(duì)應(yīng)的上述惰性氣體供給部的狀態(tài)從上述供給停止?fàn)顟B(tài)切換成上述收納前供給狀態(tài)后經(jīng)過(guò)了上述設(shè)定時(shí)間的時(shí)刻，上述運(yùn)送容器未運(yùn)送到該收納部的情況下，控制上述流量調(diào)節(jié)裝置以及上述運(yùn)送裝置的動(dòng)作，在上述運(yùn)送容器被運(yùn)送到該收納部之前持續(xù)該惰性氣體供給部的上述收納前供給狀態(tài)下的上述惰性氣體的供
5口 O根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，即使在將惰性氣體供給部的狀態(tài)切換成收納前供給狀態(tài)并經(jīng)過(guò)了設(shè)定時(shí)間后，在運(yùn)送容器被運(yùn)送到該收納部之前的期間，也能夠防止塵埃、周?chē)乃魵?、氧進(jìn)入該惰性氣體供給部。這樣一來(lái)，在收納了運(yùn)送容器后、開(kāi)始了保管用供給狀態(tài)下的惰性氣體的供給的情況下，也能夠防止塵埃、水蒸氣、氧進(jìn)入運(yùn)送容器內(nèi)。在本發(fā)明所涉及的物品保管方法的實(shí)施方式中，優(yōu)選地是，在上述運(yùn)送容器運(yùn)送到上述收納部之前的期間的某一時(shí)刻實(shí)現(xiàn)的上述運(yùn)送裝置的動(dòng)作狀態(tài)是預(yù)先作為惰性氣體供給開(kāi)始狀態(tài)設(shè)定的，在上述第2控制工序中，以上述運(yùn)送裝置的動(dòng)作狀態(tài)成為了上述惰性氣體供給開(kāi)始狀態(tài)為條件，控制上述流量調(diào)節(jié)裝置的動(dòng)作，將與收納目的地的上述收納部相對(duì)應(yīng)的上述惰性氣體供給部的狀態(tài)從上述供給停止?fàn)顟B(tài)切換成上述收納前供給狀態(tài)，之后，在經(jīng)過(guò)設(shè)定時(shí)間之前維持上述收納前供給狀態(tài)。在本發(fā)明所涉及的物品保管方法的實(shí)施方式中，優(yōu)選地是，在上述第2控制工序中，在從將與收納目的地的上述收納部相對(duì)應(yīng)的上述惰性氣體供給部的狀態(tài)從上述供給停止?fàn)顟B(tài)切換成上述收納前供給狀態(tài)并經(jīng)過(guò)了上述設(shè)定時(shí)間的時(shí)刻，上述運(yùn)送容器未運(yùn)送到該收納部的情況下，控制上述流量調(diào)節(jié)裝置的動(dòng)作，以在將該惰性氣體供給部的狀態(tài)從上述收納前供給狀態(tài)切換成上述供給停止?fàn)顟B(tài)后，以上述運(yùn)送容器被運(yùn)送到該收納部為條件，從上述供給停止?fàn)顟B(tài)切換成上述保管用供給狀態(tài)。在本發(fā)明所涉及的的物品保管方法的實(shí)施方式中，優(yōu)選地是，在上述第2控制工序中，執(zhí)行運(yùn)送牽制控制，該運(yùn)送牽制控制是在從將與收納目的地的上述收納部相對(duì)應(yīng)的上述惰性氣體供給部的狀態(tài)從上述供給停止?fàn)顟B(tài)切換成上述收納前供給狀態(tài)后、到經(jīng)過(guò)上述設(shè)定時(shí)間之前，不使上述運(yùn)送裝置進(jìn)行的上述運(yùn)送容器向該收納部的運(yùn)送完成的控制。在本發(fā)明所涉及的物品保管方法的實(shí)施方式中，優(yōu)選地是，與上述運(yùn)送裝置的動(dòng)作狀態(tài)成為上述惰性氣體供給開(kāi)始狀態(tài)時(shí)上述運(yùn)送容器的位置相比，在上述運(yùn)送裝置的運(yùn)送路徑上靠近運(yùn)送目的地的上述收納部的位置設(shè)定了供給狀態(tài)判別用位置，在上述第2控制工序中，在上述運(yùn)送容器被上述運(yùn)送裝置運(yùn)送到上述供給狀態(tài)判別用位置時(shí)，與該收納部相對(duì)應(yīng)的上述惰性氣體供給部的狀態(tài)處于上述收納前供給狀態(tài)的情況下，控制上述流量調(diào)節(jié)裝置以及上述運(yùn)送裝置的動(dòng)作，以使上述運(yùn)送裝置的運(yùn)送動(dòng)作停止，在該惰性氣體供給部的上述收納前供給狀態(tài)下的上述惰性氣體的供給完成后，再次開(kāi)始上述運(yùn)送裝置的運(yùn)送動(dòng)作。在本發(fā)明所涉及的物品保管方法的實(shí)施方式中，優(yōu)選地是，在上述第2控制工序中，在從將與收納目的地的上述收納部相對(duì)應(yīng)的上述惰性氣體供給部的狀態(tài)從上述供給停止?fàn)顟B(tài)切換成上述收納前供給狀態(tài)后經(jīng)過(guò)了上述設(shè)定時(shí)間的時(shí)刻，上述運(yùn)送容器未運(yùn)送到該收納部的情況下，控制上述流量調(diào)節(jié)裝置以及上述運(yùn)送裝置的動(dòng)作，在上述運(yùn)送容器被運(yùn)送到該收納部之前持續(xù)該惰性氣體供給部的上述收納前供給狀態(tài)下的上述惰性氣體的供給。


圖1是物品保管設(shè)備的縱剖側(cè)視 圖2是表示相同設(shè)備的一部分的縱剖主視 圖3是收納部的立體 圖4是表示收納部與運(yùn)送容器的關(guān)系的示意結(jié)構(gòu) 圖5是控制裝置的連接結(jié)構(gòu) 圖6是表示惰性氣體的供給量的控制方式的說(shuō)明 圖7是塔式起重機(jī)的運(yùn)送控制與氮?dú)獾墓┙o控制的流程 圖8是塔式起重機(jī)的運(yùn)送控制與氮?dú)獾墓┙o控制的流程 圖9是塔式起重機(jī)的運(yùn)送控制與氮?dú)獾墓┙o控制的流程圖。附圖標(biāo)記說(shuō)明:
F:惰性氣體供給部，H:控制裝置，W:基板，tl:設(shè)定時(shí)間，IOS:收納部，20:運(yùn)送裝置，IO1:排放口，40:流量調(diào)節(jié)裝置，50:運(yùn)送容器。
具體實(shí)施例方式基于附圖對(duì)將本發(fā)明適用于帶潔凈功能的物品保管設(shè)備上的情況下的實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。
(整體結(jié)構(gòu))
物品保管設(shè)備如圖1以及圖2所示，具備:保管以密閉狀態(tài)收容基板的運(yùn)送容器50(以下簡(jiǎn)稱(chēng)為容器50)的保管架10，作為運(yùn)送裝置的塔式起重機(jī)20，以及作為容器50的入出庫(kù)部的入出庫(kù)輸送機(jī)CV。保管架10以及塔式起重機(jī)20裝配在外周部被壁體K包覆的設(shè)置空間內(nèi)，入出庫(kù)輸送機(jī)CV以貫通壁體K的狀態(tài)裝配。保管架10以沿上下方向以及左右方向排列有作為支撐容器50的支撐部的收納部IOS的狀態(tài)具備多個(gè)，構(gòu)成為向多個(gè)收納部IOS的每一個(gè)收納容器50，其詳細(xì)結(jié)構(gòu)后述。并且在本實(shí)施方式中，如圖1所示，裝備有升降式的運(yùn)送車(chē)D，其沿著敷設(shè)在設(shè)置了物品保管設(shè)備的清潔室的天花板部的導(dǎo)軌G行駛，通過(guò)該升降式的運(yùn)送車(chē)D，容器50相對(duì)于入出庫(kù)輸送機(jī)CV運(yùn)入以及運(yùn)出。入出庫(kù)輸送機(jī)CV的兩端部中位于設(shè)置空間之外一側(cè)的端部作為運(yùn)出運(yùn)入口，位于設(shè)置空間之內(nèi)一側(cè)的端部作為入出庫(kù)口，由運(yùn)出運(yùn)入口在入出庫(kù)輸送機(jī)CV與升降式運(yùn)送車(chē)D之間進(jìn)行容器50的交接(移載)，由入出庫(kù)口在入出庫(kù)輸送機(jī)CV與塔式起重機(jī)20之間進(jìn)行容器50的交接(移載)。(容器50的結(jié)構(gòu))
容器50是以半導(dǎo)體設(shè)備和材料協(xié)會(huì)(SEMI !Semiconductor Equipment and MaterialsInstitute)規(guī)格為基準(zhǔn)的合成樹(shù)脂制的氣密容器，用于收納作為基板的半導(dǎo)體晶片(參照?qǐng)D4)，被稱(chēng)為前開(kāi)式標(biāo)準(zhǔn)容器(FOUP:Front Opening Unified Pod)。并且雖然省略了詳細(xì)說(shuō)明，但在容器50的前表面形成 有被裝卸自如的蓋體開(kāi)閉的基板出入用的開(kāi)口，在容器50的上表面形成有被升降式的運(yùn)送車(chē)D把持的上凸緣52。在容器50的底面上形成有定位銷(xiāo)IOb (參照?qǐng)D3)卡合的三個(gè)卡合槽(未圖示)。g卩，容器50如圖4所不,具備殼體51和未圖不的蓋體,殼體51在內(nèi)部具備能夠沿上下方向載置多個(gè)半導(dǎo)體晶片W的基板支撐體53。容器50構(gòu)成為在將蓋體安裝在殼體51上的狀態(tài)下內(nèi)部空間被密閉成氣密狀態(tài)，并且在收納在收納部IOS中的狀態(tài)下被定位銷(xiāo)IOb定位。而且，如圖4所示，在容器50的底部，如后所述設(shè)有用于注入作為惰性氣體的氮?dú)獾墓饪?50i以及排氣口 50ο。雖然省略了圖示，但在供氣口 50i處設(shè)有注入側(cè)開(kāi)閉閥，在排氣口 50ο處設(shè)有排出側(cè)開(kāi)閉閥。注入側(cè)開(kāi)閉閥被彈簧等施力部件向關(guān)閉方向施力，若向供氣口 50i供給的氮?dú)獾呐欧艍毫楦叱龃髿鈮涸O(shè)定值的設(shè)定開(kāi)閥壓力以上，則在其壓力的作用下操作而打開(kāi)。而且，排出側(cè)開(kāi)閉閥被彈簧等施力部件向關(guān)閉方向施力，若容器50內(nèi)部的壓力為高出大氣壓設(shè)定值的設(shè)定開(kāi)閥壓力以上，則在其壓力的作用下操作而打開(kāi)。(塔式起重機(jī)20的結(jié)構(gòu))
塔式起重機(jī)20具備:能夠沿著設(shè)在保管架10的前面一側(cè)的地面部上的行駛軌道E行駛移動(dòng)的行駛臺(tái)車(chē)21，立設(shè)在該行駛臺(tái)車(chē)21上的立柱22，以及能夠以被立柱22引導(dǎo)的狀態(tài)升降移動(dòng)的升降臺(tái)24。另外，雖然未圖示，但設(shè)在立柱22的上端的上部框23構(gòu)成為與設(shè)在外周部被壁體K包覆的設(shè)置空間的天花板一側(cè)的上部導(dǎo)軌卡合而移動(dòng)。
在升降臺(tái)24上裝備有相對(duì)于收納部IOS移載容器50的移載裝置25。移載裝置25具備載置支撐容器50的板狀的載置支撐體25A，能夠進(jìn)退到向收納部IOS的內(nèi)部突出的突出位置和后退到升降臺(tái)24 —側(cè)的后退位置。具備移載裝置25的塔式起重機(jī)20構(gòu)成為在載置支撐體25A的進(jìn)退動(dòng)作以及升降臺(tái)24的升降動(dòng)作的作用下進(jìn)行將載置在載置支撐體25A上的容器50向收納部IOS下降的下降處理，以及取出收納在收納部IOS中的容器50的上托處理。S卩，容器50由運(yùn)送車(chē)D載置在入出庫(kù)輸送機(jī)CV的運(yùn)出運(yùn)入口，在由該入出庫(kù)輸送機(jī)CV從壁體K外部的運(yùn)出運(yùn)入口運(yùn)送到內(nèi)部的入出庫(kù)口后，由塔式起重機(jī)20向多個(gè)收納部IOS中空置狀態(tài)的收納部IOS運(yùn)送。這樣，在本實(shí)施方式中，作為相對(duì)于多個(gè)收納部IOS運(yùn)送容器50的運(yùn)送裝置設(shè)有塔式起重機(jī)20。該塔式起重機(jī)20具備相對(duì)于收納部IOS移載容器50的移載裝置25，和使移載裝置25向與收納部IOS相對(duì)應(yīng)地設(shè)定的移載用位置移動(dòng)的作為移動(dòng)裝置的行駛臺(tái)車(chē)21以及升降臺(tái)24。并且起重機(jī)控制器H3構(gòu)成為，在向收納部IOS運(yùn)送容器50的情況下，將塔式起重機(jī)20的動(dòng)作控制成在由行駛臺(tái)車(chē)21以及升降臺(tái)24將移載裝置25移動(dòng)到與移載對(duì)象的收納部IOS相對(duì)應(yīng)的移載用位置后，由移載裝置25移載容器50。雖然未圖示，但在塔式起重機(jī)20上裝備有檢測(cè)行駛路徑上的行駛位置的行駛位置檢測(cè)裝置，以及檢測(cè)升降臺(tái)24的升降位置的升降位置檢測(cè)裝置?？刂扑狡鹬貦C(jī)20的動(dòng)作的起重機(jī)控制器H3構(gòu)成為基于行駛位置檢測(cè)裝置以及升降位置檢測(cè)裝置的檢測(cè)信息控制塔式起重機(jī)20的動(dòng)作。而且，在移載裝置25上設(shè)有檢測(cè)載置支撐體25A的進(jìn)退位置的作為進(jìn)退位置檢測(cè)裝置的旋轉(zhuǎn)編碼器及檢測(cè)容器50是否載置在載置支撐體25A上的容器檢測(cè)傳感器，起重機(jī)控制器H3構(gòu)成為基于這些傳感器類(lèi)的檢測(cè)信息控制移載裝置25的動(dòng)作。這樣，起重機(jī)控制器H3控制行駛臺(tái)車(chē)21，升降臺(tái)24，移載裝置25的動(dòng)作狀態(tài)。并且起重機(jī)控制器H3構(gòu)成為控制行駛臺(tái)車(chē)21的行駛動(dòng)作和升降臺(tái)24的升降動(dòng)作以及移載裝置25上的載置支撐體25A的進(jìn)退動(dòng)作而運(yùn)送容器50，以進(jìn)行接收運(yùn)入到入出庫(kù)輸送機(jī)CV的入出庫(kù)口的容器50并向收納部IOS收納的入庫(kù)作業(yè)，以及從收納部IOS中取出收納在收納部IOS中的容器50并向入出庫(kù)輸送機(jī)CV的入出庫(kù)口交接的出庫(kù)作業(yè)。上述入庫(kù)作業(yè)以及出庫(kù)作業(yè)由儲(chǔ)料控制器H2向起重機(jī)控制器H3發(fā)出指令。而且，起重機(jī)控制器H3向儲(chǔ)料控制器H2發(fā)送行駛臺(tái)車(chē)21的行駛動(dòng)作完成信息、升降臺(tái)24的升降完成信息、移載裝置25的容器50的接收(上托)動(dòng)作完成信息、以及交接(卸載)動(dòng)作完成信息。(收納部IOS的結(jié)構(gòu))
如圖3以及圖4所示，多個(gè)收納部IOS的每一個(gè)具備載置支撐容器50的板狀的載置支撐部10a。該載置支撐部IOa形成為俯視形狀為U字型，從而形成載置裝置25的載置支撐體25A上下通過(guò)的空間，在其上表面以向上方突出的狀態(tài)裝備有上述定位銷(xiāo)10b。而且，在載置支撐部IOa上設(shè)有檢測(cè)是否恰當(dāng)?shù)剌d置了容器50的兩個(gè)重載傳感器ΙΟζ，這些傳感器的檢測(cè)信息向管理后述的作為流量調(diào)節(jié)裝置的質(zhì)量流控制器40的運(yùn)行的潔凈控制器Hl輸入。在載置支撐部IOa上設(shè)有向容器50的內(nèi)部供給作為惰性氣體的氮?dú)獾淖鳛榕欧趴诘呐欧艊娮?0i，和使從容器50的內(nèi)部排出的氣體流通的排出用透氣體10ο。在各收納部IOS的里側(cè)、并且沿左右方向排列的收納部IOS之間的位置裝備有控制氮?dú)獾墓┙o的質(zhì)量流控制器40 (參照?qǐng)D1 圖3)。各收納部IOS的里側(cè)是與容器50出入的開(kāi)口(出入口)對(duì)向的端部一側(cè)。質(zhì)量流控制器40裝配在俯視時(shí)不存在保管架10的收納部IOS以及對(duì)其進(jìn)行支撐的柱材等的部位、并且在收納容器50時(shí)也不存在容器50的部位。即，在質(zhì)量流控制器40所裝配的部位形成有沿保管架10的上下方向連通的空間。因此，因質(zhì)量流控制器40發(fā)出的熱而產(chǎn)生的氣流不會(huì)被障礙物阻礙地從保管架10的下端流動(dòng)到上端，能夠抑制質(zhì)量流控制器40發(fā)散的熱滯留，抑制質(zhì)量流控制器40因熱而誤動(dòng)作等障礙。并且在排放噴嘴IOi上連接有使來(lái)自質(zhì)量流控制器40的氮?dú)饬鲃?dòng)的供給配管Li，在排出用透氣體IOo上連接有端部開(kāi)口的排出管Lo。若容器50載置支撐在載置支撐部IOa上,則排放噴嘴IOi以嵌合狀態(tài)與容器50的供氣口 50i相連，并且排出用透氣體IOo以嵌合狀態(tài)與容器50的排氣口 50ο相連。并且在容器50載置支撐在載置支撐部IOa上的狀態(tài)下，通過(guò)從排放噴嘴IOi排放壓力比大氣壓高出設(shè)定值以上的氮?dú)?，能夠以使容器?nèi)的氣體從容器50的排氣口 50ο向外部排出的狀態(tài)從容器50的供氣口 50i向容器50的內(nèi)部注入氮?dú)?。在本?shí)施方式中，主要由質(zhì)量流控制器40，供給配管Li，以及排放噴嘴IOi構(gòu)成惰性氣體供給部F。即,惰性氣體供給部F具備排放惰性氣體的排放噴嘴IOi，和能夠調(diào)節(jié)從該排放噴嘴IOi排放的惰性氣體的流量的質(zhì)量流控制器40，向收納在收納部IOS中的容器50的內(nèi)部供給惰性氣體。并且惰性氣體供給部F是針對(duì)多個(gè)收納部IOS的每一個(gè)設(shè)置的。另外，如圖3所示，在供給配管Li上裝備有手動(dòng)操作式的開(kāi)閉閥Vi，能夠在質(zhì)量流控制器40發(fā)生故障的緊急時(shí)等切換成停止氮?dú)獾墓┙o的狀態(tài)。(質(zhì)量流控制器40的結(jié)構(gòu))
如圖3以及圖4所示，質(zhì)量流控制器40具備流入側(cè)端口 40i和排出側(cè)端口 40ο。在排出側(cè)端口 40ο上連接有上述的供給配管Li，在流入側(cè)端口 40i上連接有引導(dǎo)來(lái)自氮?dú)夤┙o源的氮?dú)獾墓┙o配管Ls。另外，在氮?dú)夤┙o源上裝備有將氮?dú)獾墓┙o壓力調(diào)整成比大氣壓高出設(shè)定值以上的設(shè)定壓力的調(diào)節(jié)器、斷續(xù)氮?dú)獾墓┙o的手動(dòng)操作式的開(kāi)閉閥等。在質(zhì)量流控制器40上裝備有變更調(diào)節(jié)在從流入側(cè)端口 40i朝向排出側(cè)端口 40ο的內(nèi)部流路中流動(dòng)的氮?dú)獾牧髁康牧髁空{(diào)節(jié)閥，計(jì)量在內(nèi)部流路中流動(dòng)的氮?dú)獾牧髁康牧髁總鞲衅鳎约翱刂屏髁空{(diào)節(jié)閥的動(dòng)作的內(nèi)部控制部。并且內(nèi)部控制部構(gòu)成為基于流量傳感器的檢測(cè)信息控制流量調(diào)節(jié)閥，以將朝向容器50的供給流量調(diào)整成由上述潔凈控制器Hl指令的目標(biāo)流量。即，潔凈控制器Hl控制質(zhì)量流控制器40的動(dòng)作。(控制裝置H的結(jié)構(gòu))
如圖5所示，控制裝置H具備控制質(zhì)量流控制器40的潔凈控制器Η1，對(duì)保管架10上的容器50的在庫(kù)狀態(tài)等進(jìn)行管理的儲(chǔ)料控制器Η2，以及控制塔式起重機(jī)20的動(dòng)作的起重機(jī)控制器Η3。潔凈控制器Η1，儲(chǔ)料控制器Η2，以及起重機(jī)控制器Η3由例如以積分程序方式處理信息的計(jì)算機(jī)構(gòu)成，相互之間通過(guò)LAN等網(wǎng)絡(luò)Cl連接。而且，可編程邏輯控制器P以及IO擴(kuò)展模塊A能夠與上述控制裝置H通信地與網(wǎng)絡(luò)Cl相連。在可編程邏輯控制器P上，經(jīng)由控制總線(xiàn)C2連接有12臺(tái)質(zhì)量流控制器40。而且，在IO擴(kuò)展模塊A上，通過(guò)信號(hào)線(xiàn)C3連接有上述12臺(tái)質(zhì)量流控制器40所具備的與收納部IOS的每一個(gè)相對(duì)應(yīng)的一對(duì)重載傳感器IOz。 當(dāng)基于來(lái)自上位管理計(jì)算機(jī)(未圖示)的入庫(kù)要求，運(yùn)送車(chē)D將容器50載置在入出庫(kù)輸送機(jī)CV的運(yùn)出運(yùn)入口上時(shí)，從儲(chǔ)料控制器H2向輸送機(jī)控制器(未圖示)發(fā)出入庫(kù)用的運(yùn)送指令，輸送機(jī)控制器基于入庫(kù)用的運(yùn)送指令控制入出庫(kù)輸送機(jī)CV的動(dòng)作，將容器50運(yùn)送到入出庫(kù)輸送機(jī)CV的入出庫(kù)口。通過(guò)儲(chǔ)料控制器H2向起重機(jī)控制器H3發(fā)出入庫(kù)指令，起重機(jī)控制器H3控制塔式起重機(jī)20的運(yùn)送動(dòng)作，上托位于入出庫(kù)口的容器50，使移載裝置25向與收納目的地的收納部IOS相對(duì)應(yīng)的移載用位置移動(dòng)，將收納對(duì)象的容器50收納在該收納部中。儲(chǔ)料控制器H2構(gòu)成為基于塔式起重機(jī)20所進(jìn)行的入出庫(kù)作業(yè)履歷對(duì)多個(gè)收納部IOS的每一個(gè)進(jìn)行是否收納有容器50的管理。收納容器50的收納部IOS通過(guò)儲(chǔ)料控制器H2執(zhí)行的保留處理(收納部選擇處理)而被選擇出。S卩，儲(chǔ)料控制器H2針對(duì)所有收納部IOS存儲(chǔ)著入庫(kù)運(yùn)送時(shí)間表，該入庫(kù)運(yùn)送時(shí)間表記錄了通過(guò)塔式起重機(jī)20將容器50從入出庫(kù)輸送機(jī)CV的入出庫(kù)口進(jìn)行入庫(kù)所需要的入庫(kù)運(yùn)送時(shí)間。在收納部選擇處理中，參照該入庫(kù)運(yùn)送時(shí)間表，空置狀態(tài)的收納部IOS中入庫(kù)運(yùn)送時(shí)間最短的收納部被選作收納目的地的收納部10S。容器50向收納部IOS收納時(shí)，相對(duì)于該容器50供給氮?dú)?。氮?dú)庀鄬?duì)于容器50的供給由潔凈控制器Hl控制。潔凈控制器Hl經(jīng)由可編程邏輯控制器P相對(duì)于與多個(gè)收納部IOS的每一個(gè)相對(duì)應(yīng)地設(shè)置的質(zhì)量流控制器40發(fā)出目標(biāo)流量指令。另外，在潔凈控制器Hl上裝備有用于輸入各種信息的操作臺(tái)HS。作為潔凈控制器Hl指令的目標(biāo)流量，在容器50收納在收納部IOS中的狀態(tài)下是應(yīng)向容器50的內(nèi)部注入氮?dú)獾?、相?duì)于質(zhì)量流控制器40指令的保管用的目標(biāo)流量，在容器50即將收納在收納部IOS中之前是為了將排放噴嘴IOi清潔化而指令的噴嘴凈化用的目標(biāo)流量，而在設(shè)置保管架10時(shí)等是為了將排放噴嘴IOi及供給配管Li等清潔化而指令的清潔用的目標(biāo)流量。S卩，潔凈控制器Hl如圖6所示，作為確定目標(biāo)流量和供給時(shí)間的多個(gè)潔凈方案，存儲(chǔ)了噴嘴潔凈方案P1，清潔方案P2，以及保管用潔凈方案P3。另外，噴嘴潔凈方案Pl，清潔方案P2以及保管用潔凈方案P3中的目標(biāo)流量和供給時(shí)間預(yù)先設(shè)定成基準(zhǔn)值，能夠由作為設(shè)定輸入裝置的操作臺(tái)HS進(jìn)行變更設(shè)定。噴嘴潔凈方案Pl是在容器50即將收納在收納部IOS中之前設(shè)定的設(shè)定時(shí)間tl的期間從收納目的地的收納部IOS的排放噴嘴IOi排放氮?dú)獾墓┙o方案。即，當(dāng)潔凈控制器Hl從儲(chǔ)料控制器H2接收表示塔式起重機(jī)20在入出庫(kù)口接收了入庫(kù)對(duì)象的容器50的上托完成信息后，潔凈控制器Hl相對(duì)于質(zhì)量流控制器40發(fā)出由噴嘴潔凈方案Pl所賦予的噴嘴凈化用的目標(biāo)流量的指令。如圖7所示，噴嘴潔凈方案Pl是在從接收到上托完成信息的時(shí)刻到作為收納前供給時(shí)間設(shè)定的設(shè)定時(shí)間tl的期間，以作為噴嘴凈化用的目標(biāo)流量設(shè)定的目標(biāo)流量LI供給氮?dú)獾姆桨复_定的。設(shè)定時(shí)間11例如設(shè)定成5秒，目標(biāo)流量LI例如設(shè)定成30升/分鐘。清潔方案P2是在設(shè)置保管架10時(shí)或更換特定的收納部IOS的惰性氣體供給部F的全部或者一部分等情況下使用的供給方案，是從指定的收納部IOS的排放噴嘴IOi排放氮?dú)獾墓┙o方案。即，當(dāng)由操作臺(tái)HS發(fā)出相對(duì)于某一個(gè)收納部IOS的清潔開(kāi)始指令后，潔凈控制器Hl根據(jù)清潔方案P2相對(duì)于質(zhì)量流控制器40發(fā)出目標(biāo)流量指令。此時(shí)，目標(biāo)流量設(shè)定成清潔用的流量，供給時(shí)間設(shè)定成清潔用的時(shí)間。清潔方案P2是作為在由操作桌HS發(fā)出清潔開(kāi)始指令后、到作為設(shè)置初期供給時(shí)間設(shè)定的供給時(shí)間t2的期間，以作為清潔用的目標(biāo)流量設(shè)定的目標(biāo)流量L2供給氮?dú)獾姆桨复_定的。供給時(shí)間t2例如設(shè)定成1800秒，目標(biāo)流量L2例如設(shè)定成20升/分鐘。保管用潔凈方案P3是在將容器50收納在收納部IOS中后從該收納部IOS的排放噴嘴IOi排放氮?dú)獾那闆r下使用的供給方案。即，當(dāng)由容器50的收納目的地的收納部IOS的一對(duì)重載傳感器IOz檢測(cè)出已恰當(dāng)?shù)厥占{了容器50時(shí)，潔凈控制器Hl相對(duì)于質(zhì)量流控制器40發(fā)出由保管用潔凈方案P
所賦予的保管用的目標(biāo)流量。保管用潔凈方案P3作為保管用的目標(biāo)流量設(shè)定了初期目標(biāo)流量值La，和比該初期目標(biāo)流量值L a少的定常目標(biāo)流量值Li3。
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初期目標(biāo)流量La例如設(shè)定成50升/分鐘，定常目標(biāo)流量值Li 例如設(shè)定成5升/分鐘。如上所述，初期目標(biāo)流量值La及定常目標(biāo)流量值Li 由使用者變更設(shè)定。保管用潔凈方案P3是作為下述的方案確定的，即、將容器50向收納部IOS中的收納完成后的容器收納完成時(shí)刻為始點(diǎn)，在容器收納完成時(shí)刻后設(shè)定供給時(shí)間t3 (例如5分鐘)的期間，以作為初期目標(biāo)流量值L a的供給流量L31供給氮?dú)?，之后在一?duì)重載傳感器IOz檢測(cè)容器50的存在的期間，繼續(xù)以作為定常目標(biāo)流量值Lβ的供給流量L32供給氮?dú)狻崈艨刂破鱄l執(zhí)行第I控制工序。在此，第I控制工序是如下的控制工序:在容器50收納在收納部IOS中的情況下，控制質(zhì)量流控制器40的動(dòng)作，以使與該收納部IOS相對(duì)應(yīng)的惰性氣體供給部F的狀態(tài)為從排放噴嘴IOi按照保管用潔凈方案Ρ3排放氮?dú)獾谋９苡霉┙o狀態(tài)，并且在容器50未收納在收納部IOS中的情況下，控制質(zhì)量流控制器40的動(dòng)作，以使與該收納部IOS相對(duì)應(yīng)的惰性氣體供給部F的狀態(tài)為不從排放噴嘴IOi排放氮?dú)獾墓┙o停止?fàn)顟B(tài)。并且具有潔凈控制器Hl的控制裝置H執(zhí)行第2控制工序。在此，第2控制工序是如下的控制工序:在由塔式起重機(jī)20將容器50向收納部IOS中收納之際，控制運(yùn)送裝置的動(dòng)作以及流量調(diào)節(jié)裝置的動(dòng)作，將與收納目的地的收納部IOS相對(duì)應(yīng)的惰性氣體供給部F的狀態(tài)從供給停止?fàn)顟B(tài)切換成從排放噴嘴IOi按照噴嘴潔凈方案Pl排放惰性氣體的收納前供給狀態(tài)，之后將容器50向收納部IOS收納。潔凈控制器Hl在收納前供給狀態(tài)下根據(jù)噴嘴潔凈方案Pl相對(duì)于質(zhì)量流控制器40發(fā)出噴嘴凈化用的目標(biāo)流量的指令。因此，當(dāng)塔式起重機(jī)20在入出庫(kù)口接收容器50時(shí)，潔凈控制器Hl將與收納該運(yùn)送對(duì)象的容器50的收納部IOS相對(duì)應(yīng)的惰性氣體供給部F的狀態(tài)從供給停止?fàn)顟B(tài)切換成以由噴嘴潔凈方案Pl所賦予的噴嘴凈化用的目標(biāo)流量供給氮?dú)獾氖占{前供給狀態(tài)。之后潔凈控制器Hl控制質(zhì)量流控制器40的動(dòng)作，在經(jīng)過(guò)設(shè)定時(shí)間tl之前維持收納前供給狀態(tài)。在本實(shí)施方式中，在塔式起重機(jī)20將容器50向收納部IOS運(yùn)送之前的時(shí)間的某一時(shí)刻實(shí)現(xiàn)的塔式起重機(jī)20的動(dòng)作狀態(tài)是預(yù)先作為惰性氣體供給開(kāi)始狀態(tài)設(shè)定的。具體地說(shuō)，在入出庫(kù)口容器50的接收完成的時(shí)刻的塔式起重機(jī)20的動(dòng)作狀態(tài)是作為惰性氣體供給開(kāi)始狀態(tài)設(shè)定的。以下，基于圖7 圖9所示的流程圖對(duì)潔凈控制器Hl進(jìn)行的氮?dú)庀鄬?duì)于容器50的供給控制，和儲(chǔ)料控制器H2以及起重機(jī)控制器H3進(jìn)行的容器50的運(yùn)送控制進(jìn)行說(shuō)明。首先，儲(chǔ)料控制器H2在從上位管理計(jì)算機(jī)接收了容器50的入庫(kù)要求時(shí)(步驟
#SI 是”)執(zhí)行收納部選擇處理(步驟# S2)，決定收納該容器50的收納部10S，在步驟
#S3相對(duì)于起重機(jī)控制器H3發(fā)出入庫(kù)指令。起重機(jī)控制器H3在接收了入庫(kù)指令后，在步驟# Rl # R3控制行駛臺(tái)車(chē)21以及升降臺(tái)24的動(dòng)作，使移載裝置25移動(dòng)到與入出庫(kù)輸送機(jī)CV的入出庫(kù)口相對(duì)應(yīng)的移載用位置，當(dāng)朝向入出庫(kù)口的移動(dòng)完成時(shí)向儲(chǔ)料控制器H2發(fā)送移動(dòng)完成信息。并且起重機(jī)控制器H3接著在步驟# R4 # R6進(jìn)行由移載裝置25接收位于入出庫(kù)口的入庫(kù)對(duì)象的容器50的上托移載動(dòng)作。具體地說(shuō)，順序(即連續(xù)地)進(jìn)行使移載裝置25所具備的載置支撐體25A從升降臺(tái)24—側(cè)的后退位置突出到入出庫(kù)口一側(cè)的突出位置，在僅上升移載用的設(shè)定量后向升降臺(tái)24—側(cè)的后退位置后退這一系列的動(dòng)作。當(dāng)上托處理完成后，起重機(jī)控制器H3向儲(chǔ)料控制器H2發(fā)送上托完成信息。當(dāng)儲(chǔ)料控制器H2從起重機(jī)控制器H3接收了上托完成信息后，向潔凈控制器Hl發(fā)送針對(duì)收納目的地的收納部IOS的噴嘴凈化要求(步驟# S4)。該噴嘴凈化要求包含收納目的地的收納部IOS的位置信息和表示相對(duì)于入出庫(kù)口的上托處理完成的信息。當(dāng)潔凈控制器Hl接收了來(lái)自?xún)?chǔ)料控制器H2的噴嘴凈化要求后，在步驟# NI
#N3向與收納目的地的收納部IOS相對(duì)應(yīng)的惰性氣體供給部F所具備的質(zhì)量流控制器40發(fā)出由噴嘴潔凈方案Pl所賦予的噴嘴凈化用的目標(biāo)流量的指令。即，如圖6的(Pl)所示，在設(shè)定時(shí)間tl的期間發(fā)出目標(biāo)流量LI的指令，在經(jīng)過(guò)了設(shè)定時(shí)間tl后使目標(biāo)流量為零。這樣，在塔式起重機(jī)20進(jìn)行的入庫(kù)對(duì)象的容器50的上托處理完成前的期間處于供給停止?fàn)顟B(tài)的惰性氣體供給部F在入庫(kù)對(duì)象的容器50的上托處理完成的時(shí)刻被切換成收納前供給狀態(tài)。起重機(jī)控制器H3在步驟# R6發(fā)送了上托完成信息后控制行駛臺(tái)車(chē)21的行駛動(dòng)作以及升降臺(tái)24的升降動(dòng)作，使針對(duì)運(yùn)送對(duì)象的容器50的運(yùn)送動(dòng)作繼續(xù)。S卩，在步驟
#R7 # R9開(kāi)始行駛動(dòng)作以及升降動(dòng)作，使移載裝置25位于與收納目的地的收納部IOS相對(duì)應(yīng)的移載用位置，向儲(chǔ)料控制器H2發(fā)送移動(dòng)完成信息。另外，因入出庫(kù)口與收納目的地的收納部IOS的位置關(guān)系而使移載裝置25位于與收納目的地的收納部IOS相對(duì)應(yīng)的移載用位置所必須的動(dòng)作也存在僅是行駛動(dòng)作以及升降動(dòng)作中的某一種的情況。與塔式起重機(jī)20使移載裝置25移動(dòng)并行，潔凈控制器Hl如上所述僅進(jìn)行設(shè)定時(shí)間tl的目標(biāo)流量LI的氮?dú)夤┙o，當(dāng)經(jīng)過(guò)了設(shè)定時(shí)間tl后，在步驟# N4向儲(chǔ)料控制器H2發(fā)送噴嘴潔凈結(jié)束信息。儲(chǔ)料控制器H2在步驟# S4發(fā)送了噴嘴潔凈要求后，在步驟# S5，基于有無(wú)從起重機(jī)控制器H3發(fā)送的移動(dòng)完成信息而確認(rèn)塔式起重機(jī)20的移動(dòng)動(dòng)作是否完成。當(dāng)塔式起重機(jī)20的移動(dòng)動(dòng)作完成后，在步驟# S6確認(rèn)是否已接收到來(lái)自潔凈控制器Hl的噴嘴潔凈結(jié)束信息，若未接收到信息則待機(jī)至接收到信息，若已接收到信息或待機(jī)后接收到信息，則在步驟# S7向起重機(jī)控制器H3發(fā)送移載指令。這樣，在塔式起重機(jī)20使移載裝置25向與收納目的地的收納部IOS相對(duì)應(yīng)的移載用位置移動(dòng)，并且該收納目的地的收納部IOS的噴嘴潔凈已完成的情況下，儲(chǔ)料控制器H2向起重機(jī)控制器H3發(fā)出移載指令。這樣一來(lái)，相對(duì)于收納目的地的收納部IOS確保了設(shè)定時(shí)間tl的噴嘴潔凈。由于移載裝置25至收納目的地的收納部IOS的移動(dòng)距離，存在針對(duì)該收納部IOS的噴嘴潔凈完成前塔式起重機(jī)20的移動(dòng)動(dòng)作完成，移載裝置25位于(到達(dá))與該收納部IOS相對(duì)應(yīng)的移載用位置的情況。在這種情況下，從噴嘴潔凈開(kāi)始、經(jīng)過(guò)設(shè)定時(shí)間tl之前，移載裝置25的移載動(dòng)作保留。這樣，控制裝置H構(gòu)成為，在從將與收納目的地的收納部IOS相對(duì)應(yīng)的惰性氣體供給部F的狀態(tài)從供給停止?fàn)顟B(tài)切換成收納前供給狀態(tài)后、經(jīng)過(guò)設(shè)定時(shí)間tl之前，執(zhí)行不使塔式起重機(jī)20進(jìn)行的容器50朝向該收納部IOS的運(yùn)送完成的控制(運(yùn)送牽制控制)。并且當(dāng)在步驟# S7起重機(jī)控制器H3接收了儲(chǔ)料控制器H2發(fā)出的移載指令后，在步驟# RlO開(kāi)始移載裝置25的移載動(dòng)作。這樣，在容器50被塔式起重機(jī)20運(yùn)送到與收納目的地的收納部IOS相對(duì)應(yīng)的移載用位置后，針對(duì)該收納部IOS的惰性氣體供給部F處于收納前供給狀態(tài)的情況下，即正在進(jìn)行噴嘴潔凈的情況下，控制裝置H使塔式起重機(jī)20的運(yùn)送動(dòng)作停止。并且在與該收納部IOS相對(duì)應(yīng)的惰性氣體供給部F的收納前供給狀態(tài)下的氮?dú)獾墓┙o完成后，控制裝置H使塔式起重機(jī)20的運(yùn)送動(dòng)作再次開(kāi)始。在本實(shí)施方式中，供給狀態(tài)判別用位置設(shè)定在移載裝置25位于與收納目的地的收納部IOS相對(duì)應(yīng)的移載用位置時(shí)容器50的位置。即，供給狀態(tài)判別用位置針對(duì)多個(gè)收納部IOS的每一個(gè)設(shè)定在不同的位置。而且，針對(duì)多個(gè)收納部IOS的每一個(gè)的供給狀態(tài)判別用位置均設(shè)定在與塔式起重機(jī)20的動(dòng)作狀態(tài)為惰性氣體供給開(kāi)始狀態(tài)(在本例中是在入出庫(kù)口完成了容器50的接收的時(shí)刻的塔式起重機(jī)20的動(dòng)作狀態(tài))的情況下的容器50的位置相比、在塔式起重機(jī)20的運(yùn)送路徑上靠近收納目的地的收納部IOS的位置。由于至收納目的地的收納部IOS的移動(dòng)距離不同，存在針對(duì)該收納部IOS的噴嘴潔凈完成后移載裝置25位于(到達(dá))與該收納部IOS相對(duì)應(yīng)的移載用位置的情況。在這種情況下，從噴嘴潔凈完成后、移載裝置25的移載動(dòng)作完成前，潔凈控制器Hl不向質(zhì)量流控制器40發(fā)出目標(biāo)流量的指令，與該收納部IOS相對(duì)應(yīng)的惰性氣體供給部F被維持在供給停止?fàn)顟B(tài)。之后，當(dāng)移載裝置25的移載動(dòng)作完成，收納部IOS的一對(duì)重載傳感器IOz檢測(cè)出收納狀態(tài)的容器50時(shí)，潔凈控制器Hl將惰性氣體供給部F從供給停止?fàn)顟B(tài)切換成保管用供給狀態(tài)。這樣，在將與收納目的地的收納部IOS相對(duì)應(yīng)的惰性氣體供給部F的狀態(tài)切換成按照噴嘴潔凈方案Pl排放氮?dú)獾氖占{前供給狀態(tài)后經(jīng)過(guò)了設(shè)定時(shí)間tl的時(shí)刻，容器50未運(yùn)送到該收納部IOS的情況下，控制裝置H將該惰性氣體供給部F的狀態(tài)從收納前供給狀態(tài)切換成供給停止?fàn)顟B(tài)。之后，以容器50已運(yùn)送到該收納部IOS為條件，控制裝置H將與該收納部IOS相對(duì)應(yīng)的惰性氣體供給部F的狀態(tài)從供給停止?fàn)顟B(tài)切換成保管用供給狀態(tài)。當(dāng)移載裝置25的移載動(dòng)作完成后(步驟# Rll 是”)，起重機(jī)控制器H3向步驟
#R12轉(zhuǎn)移，向儲(chǔ)料達(dá)控制器H2發(fā)送移載完成信息。當(dāng)儲(chǔ)料控制器H2從起重機(jī)控制器H3接收了移載完成信息后，在步驟# S8更新收納部信息中的容器存在數(shù)據(jù)。S卩，針對(duì)步驟# S2的收納部選擇處理中作為收納對(duì)象的收納部IOS選擇的收納部IOS的容器存在數(shù)據(jù)更新為“有容器”。儲(chǔ)料控制器H2在步驟# S9向潔凈控制器Hl發(fā)送更新后的收納部信息。潔凈控制器Hl實(shí)時(shí)監(jiān)視是否處于能夠與儲(chǔ)料控制器H2通信的狀態(tài)。在處于能夠通信的狀態(tài)的情況(例如物品保管設(shè)備以自動(dòng)模式運(yùn)行的情況)和處于不能夠通信的狀態(tài)的情況(例如物品保管設(shè)備以手動(dòng)模式運(yùn)行的情況)下，向保管用供給狀態(tài)的切換條件是不同的(步驟# N5)。具體地說(shuō)，在潔凈控制器Hl處于能夠與儲(chǔ)料控制器H2通信的狀態(tài)的情況下(步驟
#N5 是”)，基于從儲(chǔ)料控制器H2發(fā)送的收納部信息判別是否有新近收納了容器50的收納部10S、即新近更新成“有容器”的收納部IOS (步驟# N6)。在產(chǎn)生了新近收納了容器50的收納部IOS的情況下，確認(rèn)裝備在該收納部IOS上的一對(duì)重載傳感器IOz的檢測(cè)信息(步驟# N7)。若一對(duì)重載傳感器IOz雙方檢測(cè)出容器50，則作為容器50正常地收納在收納部IOS中，向步驟# NlO轉(zhuǎn)移，進(jìn)行向保管用供給狀態(tài)的切換。即使一對(duì)重載傳感器IOz的一方未檢測(cè)出容器50，也作為容器50未正常地收納在收納部10S，向步驟# N8轉(zhuǎn)移，執(zhí)行通報(bào)處理等異常發(fā)生處理。在潔凈控制器Hl不處于能夠與儲(chǔ)料控制器H2通信的狀態(tài)的情況下(步驟# N5:“否”)，則確認(rèn)一對(duì)重載傳感器IOz的檢測(cè)信息(步驟# N7)。若一對(duì)重載傳感器IOz雙方檢測(cè)出容器50，則作為容器50已收納在收納部IOS中，向步驟# NlO轉(zhuǎn)移，進(jìn)行向保管用供給狀態(tài)的切換。另外，在潔凈控制器Hl不處于能夠與儲(chǔ)料控制器H2通信的狀態(tài)的情況下，作業(yè)者將容器50向收納部IOS收納。當(dāng)基于重載傳感器IOz的檢測(cè)信息向步驟# NlO轉(zhuǎn)移時(shí)，潔凈控制器Hl向與收納目的地的收納部IOS相對(duì)應(yīng)的惰性氣體供給部F所具備的質(zhì)量流控制器40發(fā)出由保管用潔凈方案P3所賦予的保管用的目標(biāo)流量的指令。即，如圖6的(P3)所示，在設(shè)定供給時(shí)間t3 (例如5分鐘)的期間，以作為初期目標(biāo)流量值L α的供給流量L31供給氮?dú)?第I供給狀態(tài))，之后，在一對(duì)重載傳感器IOz檢測(cè)到容器50的存在的期間，持續(xù)以作為定常目標(biāo)流量值L3的供給流量L32供給氮?dú)?第2供給狀態(tài))。潔凈控制器Hl在步驟# Nll被判別為從向保管用供給狀態(tài)切換后最初的第I供給狀態(tài)已完成時(shí)向步驟# N12轉(zhuǎn)移，向儲(chǔ)料控制器H2發(fā)送出庫(kù)許可信息。接收到出庫(kù)許可信息的儲(chǔ)料控制器H2在步驟# SlO對(duì)收納部信息中針對(duì)該收納部IOS的出庫(kù)許可標(biāo)志信息進(jìn)行更新，并向上位管理計(jì)算機(jī)報(bào)告。當(dāng)從上位管理計(jì)算機(jī)有出庫(kù)要求，儲(chǔ)料控制器H2從步驟# Sll向步驟# S12轉(zhuǎn)移，參照收納部信息，確認(rèn)針對(duì)收納了出庫(kù)對(duì)象的容器50的收納部IOS的出庫(kù)許可標(biāo)志是否為許可狀態(tài)。在存在相對(duì)于未成為許可狀態(tài)的收納部IOS的出庫(kù)要求的情況下，在步驟
#S13向上位管理計(jì)算機(jī)發(fā)送表示氮?dú)忉槍?duì)該出庫(kù)對(duì)象的容器50的供給不充分的潔凈未完成信息，并在步驟# S14向起重機(jī)控制部H3發(fā)送出庫(kù)指令。在存在相對(duì)于已成為許可狀態(tài)的收納部IOS的出庫(kù)要求的情況下，從步驟# S12向步驟# S14轉(zhuǎn)移，向起重機(jī)控制部H3原樣發(fā)送出庫(kù)指令。起重機(jī)控制器H3在從儲(chǔ)料控制器H2接收了出庫(kù)指令時(shí)，在步驟# R13執(zhí)行出庫(kù)控制。這樣一來(lái)，出庫(kù)對(duì)象的容器50被塔式起重機(jī)20從出庫(kù)起始地的收納部IOS向入出庫(kù)輸送機(jī)CV的入出庫(kù)口運(yùn)送，另外，交接到入出庫(kù)口的容器50由入出庫(kù)輸送機(jī)CV運(yùn)送到運(yùn)出運(yùn)入口，被運(yùn)送車(chē)D運(yùn)出。當(dāng)通過(guò)塔式起重機(jī)20的出庫(kù)作業(yè)，容器50從出庫(kù)起始地的收納部IOS取出時(shí)，從該收納部IOS的一對(duì)重載傳感器IOz檢測(cè)出容器的狀態(tài)向檢測(cè)不出容器的狀態(tài)過(guò)渡。這樣一來(lái)，潔凈控制器Hl在步驟# N13以及步驟# N14停止朝向質(zhì)量流控制器40的目標(biāo)流量的指令。在塔式起重機(jī)20將出庫(kù)對(duì)象的容器50運(yùn)送到入出庫(kù)輸送機(jī)CV,出庫(kù)作業(yè)完成后(步驟# R14 是”)，起重機(jī)控制器H3向儲(chǔ)料控制器H2發(fā)送出庫(kù)完成信息(步驟# R15)。接收到該信息的儲(chǔ)料控制器H2在步驟# S15將收納部信息中針對(duì)出庫(kù)起始地的收納部IOS的容器存在數(shù)據(jù)更新成“沒(méi)有容器”。在步驟# R16向潔凈控制器Hl發(fā)送更新后的收納部信息。接收到該信息的潔凈控制器Hl在步驟# N15與自身所存儲(chǔ)的各收納部IOS的管理信息對(duì)比，如果不一致，則使更新后的收納部信息的內(nèi)容反映在管理信息中。在存在潔凈控制器Hl的容器存在數(shù)據(jù)和儲(chǔ)料控制器H2的管理信息不一致的收納部IOS的情況下，潔凈控制器Hl設(shè)置禁止該收納部IOS的使用的標(biāo)志，并將這一內(nèi)容向儲(chǔ)料控制器H2發(fā)送。這樣一來(lái)，在其后有入庫(kù)要求的情況下執(zhí)行的收納部選擇處理(步驟
#S2)中，能夠避免該收納部IOS被選作收納目的地的收納部10S。[其它實(shí)施方式]
(I)在上述實(shí)施方式中，作為收納運(yùn)送容器的收納部例示了保管架10的收納部10S，但作為收納部，例如也可以考慮設(shè)在升降式的運(yùn)送車(chē)D的導(dǎo)軌G的橫向旁側(cè)的垂吊式的收納部等各種收納部。(2)在上述實(shí)施方式中，作為惰性氣體例示了使用氮?dú)獾那闆r，但也可以使用氮?dú)庖酝獾臍鍤獾认鄬?duì)于所收容的基板的反應(yīng)性低的各種氣體作為惰性氣體。本發(fā)明中的惰性氣體必須是含氧量低、絕對(duì)濕度低的氣體。(3)在上述實(shí)施方式中，例示了將具備排放噴嘴IOi以及內(nèi)部控制部的質(zhì)量流控制器40作為主要部分構(gòu)成惰性氣體供給部F的情況下，但本發(fā)明的實(shí)施方式并不僅限于此。例如，也可以在氮?dú)獾墓┙o路徑中設(shè)置變更調(diào)節(jié)氮?dú)庀蛉萜?0的供給流量的的流量調(diào)節(jié)閥，以及計(jì)量氮?dú)庀蛉萜?0的供給流量的流量傳感器，以控制裝置H基于流量傳感器的檢測(cè)信息控制流量調(diào)節(jié)閥的動(dòng)作的方式實(shí)施。在這種情況下，將排放噴嘴IOi以及流量調(diào)節(jié)閥作為主要部分構(gòu)成惰性氣體供給部F。(4)在上述實(shí)施方式中，例示了控制裝置H以下述的方式控制質(zhì)量流控制器40的動(dòng)作的結(jié)構(gòu)，即、在從將與收納目的地的收納部IOS相對(duì)應(yīng)的惰性氣體供給部F的狀態(tài)從不從排放噴嘴IOi排放氮?dú)獾墓┙o停止?fàn)顟B(tài)切換成從排放噴嘴IOi按照噴嘴潔凈方案Pl排放氮?dú)獾氖占{前供給狀態(tài)并經(jīng)過(guò)了規(guī)定時(shí)間tl后、到容器50被運(yùn)送到該收納部IOS之前，停止該惰性氣體供給部F進(jìn)行的氮?dú)獾墓┙o?？刂蒲b置H也可以代之為以下述的方式控制質(zhì)量流控制器40的動(dòng)作，即、在從將與收納目的地的收納部IOS相對(duì)應(yīng)的惰性氣體供給部F的狀態(tài)從供給停止?fàn)顟B(tài)切換成收納前供給狀態(tài)后經(jīng)過(guò)了設(shè)定時(shí)間tl的時(shí)刻，容器50未運(yùn)送到該收納部IOS的情況下，使從排放噴嘴IOi按照噴嘴結(jié)潔凈方案Pl排放氮?dú)?即收納前供給狀態(tài)下的氮?dú)獾墓┙o)持續(xù)到容器50被運(yùn)送到該收納部10S。在這種情況下，在從將惰性氣體供給部F的狀態(tài)切換成收納前供給狀態(tài)并經(jīng)過(guò)了設(shè)定時(shí)間tl后、到容器50被運(yùn)送到該收納部IOS前的期間，能夠防止塵埃、周?chē)乃魵?、氧進(jìn)入排放噴嘴IOi內(nèi)。這樣一來(lái)，在容器50被收納，按照保管用潔凈方案P3開(kāi)始了氮?dú)獾墓┙o的情況下，能夠防止塵埃、水蒸氣、氧進(jìn)入容器50內(nèi)。另外，也可以在經(jīng)過(guò)了設(shè)定時(shí)間tl后相對(duì)于質(zhì)量流控制器40發(fā)出目標(biāo)流量的指令，以比噴嘴潔凈方案Pl中的噴嘴凈化用的目標(biāo)流量少的容器待機(jī)用的目標(biāo)流量(例如15升/分鐘)排放氮?dú)狻?5)在上述實(shí)施方式中，例示了運(yùn)送容器為F0UP，收容在其中的基板為半導(dǎo)體晶片，將氮?dú)庾鳛槎栊詺怏w向FOUP內(nèi)供給的結(jié)構(gòu)，但本發(fā)明的實(shí)施方式并不僅限于這種結(jié)構(gòu)，例如，收容在運(yùn)送容器中的基板也可以是標(biāo)線(xiàn)片，運(yùn)送容器為標(biāo)線(xiàn)片容器。(6)在上述實(shí)施方式中，例示了維持收納前供給狀態(tài)的設(shè)定時(shí)間tl是能夠變更設(shè)定的結(jié)構(gòu)，但設(shè)定時(shí)間tl也可以是固定的。(7)在上述實(shí)施方式中，構(gòu)成為將在保管用供給狀態(tài)下相對(duì)于容器50供給的氮?dú)獾哪繕?biāo)流量設(shè)定成第I目標(biāo)流量值(初期目標(biāo)流量值La)和比該第I目標(biāo)流量值少的第2目標(biāo)流量值(定常目標(biāo)流量值Lβ )的兩階段，但本發(fā)明的實(shí)施方式并不僅限于這種結(jié)構(gòu)。例如，也可以構(gòu)成為將氮?dú)獾哪繕?biāo)流量分三階段或三階段以上的階段設(shè)定，以在第I目標(biāo)流量值之后依次對(duì)第2目標(biāo)流量值、第3目標(biāo)流量值(后者其以上的目標(biāo)流量值)進(jìn)行切換的狀態(tài)使質(zhì)量流控制器40動(dòng)作。而且，還可以是斷續(xù)地進(jìn)行各目標(biāo)流量值的氮?dú)夤┙o的供給方式。(8)在上述實(shí)施方式中，例示了在收納前供給狀態(tài)和保管用供給狀態(tài)下以不同的方式供給惰性氣體的結(jié)構(gòu)，但也可以在收納前供給狀態(tài)和保管用供給狀態(tài)下以相同的方式供給惰性氣體。(9)在上述實(shí)施方式中，作為運(yùn)送牽制控制例示了中斷運(yùn)送容器相對(duì)于收納目的地的收納部的移載動(dòng)作的結(jié)構(gòu)，但也可以代之為對(duì)運(yùn)送裝置的運(yùn)送動(dòng)作速度進(jìn)行減速的結(jié)構(gòu)。例如，在上述實(shí)施方式那樣運(yùn)送裝置由塔式起重機(jī)20構(gòu)成的情況下，只要使行駛臺(tái)車(chē)21的行駛速度，升降臺(tái)24的升降速度，移載裝置25的進(jìn)退速度中的某一種或者多種動(dòng)作速度減速即可。(10)在上述實(shí)施方式中，例示了執(zhí)行運(yùn)送牽制控制的結(jié)構(gòu)，但也可以代之為在從將與收納目的地的收納部相對(duì)應(yīng)的惰性氣體供給部的狀態(tài)從供給停止?fàn)顟B(tài)切換成收納前供給狀態(tài)后未經(jīng)過(guò)設(shè)定時(shí)間的情況下，容許使運(yùn)送裝置進(jìn)行的運(yùn)送容器向該收納部的運(yùn)送完成。在這種情況下，也可以在將惰性氣體供給部的狀態(tài)切換成收納前供給狀態(tài)后、經(jīng)過(guò)設(shè)定時(shí)間之前，將該惰性氣體供給部的狀態(tài)切換成保管用供給狀態(tài)的結(jié)構(gòu)。(11)在上述實(shí)施方式中，例示了運(yùn)送裝置由塔式起重機(jī)構(gòu)成，惰性氣體供給開(kāi)始狀態(tài)為塔式起重機(jī)的上托動(dòng)作完成的時(shí)刻的塔式起重機(jī)的動(dòng)作狀態(tài)的結(jié)構(gòu)。但也可以代之為由多個(gè)運(yùn)送裝置構(gòu)成運(yùn)送運(yùn)送容器的裝置，將針對(duì)多個(gè)運(yùn)送裝置中的某一個(gè)的特定的動(dòng)作狀態(tài)設(shè)定成惰性氣體供給開(kāi)始狀態(tài)。例如，在上述實(shí)施方式中，可以是由入出庫(kù)輸送機(jī)CV和塔式起重機(jī)20構(gòu)成運(yùn)送裝置，將入出庫(kù)輸送機(jī)CV完成了容器50向入出庫(kù)口的運(yùn)送的時(shí)刻的入出庫(kù)輸送機(jī)CV的動(dòng)作狀態(tài)設(shè)定成惰性氣體供給開(kāi)始狀態(tài)。而且，可以將塔式起重機(jī)20為了接收運(yùn)送對(duì)象的容器50而動(dòng)作時(shí)的特定的動(dòng)作狀態(tài)、或者在接收了容器50后使容器50實(shí)際移動(dòng)時(shí)的特定的動(dòng)作狀態(tài)設(shè)成惰性氣體供給開(kāi)始狀態(tài)。這種特定的動(dòng)作狀態(tài)例如由行駛臺(tái)車(chē)21的行駛位置或升降臺(tái)24的升降位置特定出。(12)在上述實(shí)施方式中，例示了以運(yùn)送裝置的動(dòng)作狀態(tài)成為了惰性氣體供給開(kāi)始狀態(tài)為條件，將與收納目的地的收納部相對(duì)應(yīng)的惰性氣體供給部的狀態(tài)從供給停止?fàn)顟B(tài)切換成收納前供給狀態(tài)的結(jié)構(gòu)，但本發(fā)明的實(shí)施方式并不僅限于此。即，將與收納目的地的收納部相對(duì)應(yīng)的惰性氣體供給部的狀態(tài)從供給停止?fàn)顟B(tài)向收納前供給狀態(tài)切換的時(shí)機(jī)能夠適當(dāng)變更。例如，在上述實(shí)施方式中，也可以是以?xún)?chǔ)料控制器H2向起重機(jī)控制部H3發(fā)出了入庫(kù)指令為條件，將與收納目的地的收納部相對(duì)應(yīng)的惰性氣體供給部的狀態(tài)從供給停止?fàn)顟B(tài)向收納前供給狀態(tài)切換的結(jié)構(gòu)。
權(quán)利要求
1.一種物品保管設(shè)備，具備:收納收容基板的運(yùn)送容器的多個(gè)收納部，相對(duì)于上述多個(gè)收納部運(yùn)送上述運(yùn)送容器的運(yùn)送裝置，針對(duì)上述多個(gè)收納部的每一個(gè)設(shè)置、具有排放惰性氣體的排放口和能夠調(diào)節(jié)從上述排放口排放的上述惰性氣體的流量的流量調(diào)節(jié)裝置、并且向收納在上述收納部中的上述運(yùn)送容器的內(nèi)部供給上述惰性氣體的惰性氣體供給部，以及控制上述運(yùn)送裝置和上述流量調(diào)節(jié)裝置的動(dòng)作的控制裝置，其特征在于， 上述控制裝置構(gòu)成為，針對(duì)上述多個(gè)收納部的每一個(gè)進(jìn)行是否收納有上述運(yùn)送容器的管理，控制多個(gè)上述惰性氣體供給部各自的上述流量調(diào)節(jié)裝置的動(dòng)作，以使與收納有上述運(yùn)送容器的上述收納部相對(duì)應(yīng)的上述惰性氣體供給部的狀態(tài)為從上述排放口排放上述惰性氣體的保管用供給狀態(tài)，同時(shí)使與未收納有上述運(yùn)送容器的上述收納部相對(duì)應(yīng)的上述惰性氣體供給部的狀態(tài)為不從上述排放口排放上述惰性氣體的供給停止?fàn)顟B(tài)， 另外，上述控制裝置構(gòu)成為，在由上述運(yùn)送裝置將上述運(yùn)送容器向上述收納部收納之際，控制上述運(yùn)送裝置的動(dòng)作以及上述流量調(diào)節(jié)裝置的動(dòng)作，以在將與收納目的地的上述收納部相對(duì)應(yīng)的上述惰性氣體供給部的狀態(tài)從上述供給停止?fàn)顟B(tài)切換成從上述排放口排放上述惰性氣體的收納前供給狀態(tài)之后，將上述運(yùn)送容器向上述收納部收納。
2.如權(quán)利要求1所述的物品保管設(shè)備，其特征在于， 在上述運(yùn)送容器被運(yùn)送到上述收納部之前的期間的某一時(shí)刻實(shí)現(xiàn)的上述運(yùn)送裝置的動(dòng)作狀態(tài)是預(yù)先作為惰性氣體供給開(kāi)始狀態(tài)設(shè)定的， 上述控制裝置構(gòu)成為，以上述運(yùn)送裝置的動(dòng)作狀態(tài)成為了上述惰性氣體供給開(kāi)始狀態(tài)為條件，控制上述流量調(diào)節(jié)裝置的動(dòng)作，將與收納目的地的上述收納部相對(duì)應(yīng)的上述惰性氣體供給部的狀態(tài)從上述供給停止?fàn)顟B(tài)切換成上述收納前供給狀態(tài)，之后，在經(jīng)過(guò)設(shè)定時(shí)間之前維持上述收納前供給狀態(tài)。
3.如權(quán)利要求2所述的物品保管設(shè)備，其特征在于， 上述控制裝置構(gòu)成為，在從將與收納目的地的上述收納部相對(duì)應(yīng)的上述惰性氣體供給部的狀態(tài)從上述供給停 止?fàn)顟B(tài)切換成上述收納前供給狀態(tài)后經(jīng)過(guò)了上述設(shè)定時(shí)間的時(shí)刻，上述運(yùn)送容器未運(yùn)送到該收納部的情況下，控制上述流量調(diào)節(jié)裝置的動(dòng)作，以在將該惰性氣體供給部的狀態(tài)從上述收納前供給狀態(tài)切換成上述供給停止?fàn)顟B(tài)后，以上述運(yùn)送容器被運(yùn)送到該收納部為條件，從上述供給停止?fàn)顟B(tài)切換成上述保管用供給狀態(tài)。
4.如權(quán)利要求2所述的物品保管設(shè)備，其特征在于， 上述控制裝置構(gòu)成為，執(zhí)行運(yùn)送牽制控制，該運(yùn)送牽制控制是在將與收納目的地的上述收納部相對(duì)應(yīng)的上述惰性氣體供給部的狀態(tài)從上述供給停止?fàn)顟B(tài)切換成上述收納前供給狀態(tài)后、到經(jīng)過(guò)上述設(shè)定時(shí)間之前，不使上述運(yùn)送裝置進(jìn)行的上述運(yùn)送容器向該收納部的運(yùn)送完成的控制。
5.如權(quán)利要求4所述的物品保管設(shè)備，其特征在于， 與上述運(yùn)送裝置的動(dòng)作狀態(tài)成為上述惰性氣體供給開(kāi)始狀態(tài)時(shí)上述運(yùn)送容器的位置相比，在上述運(yùn)送裝置的運(yùn)送路徑上靠近運(yùn)送目的地的上述收納部的位置設(shè)定了供給狀態(tài)判別用位置， 上述控制裝置構(gòu)成為，在上述運(yùn)送容器被上述運(yùn)送裝置運(yùn)送到上述供給狀態(tài)判別用位置時(shí)，與該收納部相對(duì)應(yīng)的上述惰性氣體供給部的狀態(tài)處于上述收納前供給狀態(tài)的情況下，控制上述流量調(diào)節(jié)裝置以及上述運(yùn)送裝置的動(dòng)作，以使上述運(yùn)送裝置的運(yùn)送動(dòng)作停止，在該惰性氣體供給部的上述收納前供給狀態(tài)下的上述惰性氣體的供給完成后，再次開(kāi)始上述運(yùn)送裝置的運(yùn)送動(dòng)作。
6.如權(quán)利要求2所述的物品保管設(shè)備，其特征在于， 上述控制裝置構(gòu)成為，在從將與收納目的地的上述收納部相對(duì)應(yīng)的上述惰性氣體供給部的狀態(tài)從上述供給停止?fàn)顟B(tài)切換成上述收納前供給狀態(tài)后經(jīng)過(guò)了上述設(shè)定時(shí)間的時(shí)刻，上述運(yùn)送容器未運(yùn)送到該收納部的情況下，控制上述流量調(diào)節(jié)裝置以及上述運(yùn)送裝置的動(dòng)作，在上述運(yùn)送容器被運(yùn)送到該收納部之前持續(xù)該惰性氣體供給部的上述收納前供給狀態(tài)下的上述惰性氣體的供給。
7.一種利用物品保管設(shè)備的物品保管方法， 上述物品保管設(shè)備具備:收納收容基板的運(yùn)送容器的多個(gè)收納部， 相對(duì)于上述多個(gè)收納部運(yùn)送上述運(yùn)送容器的運(yùn)送裝置， 針對(duì)上述多個(gè)收納部的每一個(gè)設(shè)置、具備排放惰性氣體的排放口和能夠調(diào)節(jié)從上述排放口排放的上述惰性氣體的流量的流量調(diào)節(jié)裝置、并且向收納在上述收納部中的上述運(yùn)送容器的內(nèi)部供給上述惰性氣體的惰性氣體供給部， 控制上述運(yùn)送裝置和上述流量調(diào)節(jié)裝置的動(dòng)作的控制裝置， 上述物品保管方法包括由上述控制裝置執(zhí)行的以下的工序: 第I控制工序，針對(duì)上述多個(gè)收納部的每一個(gè)進(jìn)行是否收納有上述運(yùn)送容器的管理，控制多個(gè)上述惰性氣體供給部各自的上述流量調(diào)節(jié)裝置的動(dòng)作，以使與收納有上述運(yùn)送容器的上述收納部相對(duì)應(yīng)的上述惰性氣體供給部的狀態(tài)為從上述排放口排放上述惰性氣體的保管用供給狀態(tài)，同時(shí)使與未收納有上述運(yùn)送容器的上述收納部相對(duì)應(yīng)的上述惰性氣體供給部的狀態(tài)為不 從上述排放口排放上述惰性氣體的供給停止?fàn)顟B(tài)， 第2控制工序，在由上述運(yùn)送裝置將上述運(yùn)送容器向上述收納部收納之際，控制上述運(yùn)送裝置的動(dòng)作以及上述流量調(diào)節(jié)裝置的動(dòng)作，以在將與收納目的地的上述收納部相對(duì)應(yīng)的上述惰性氣體供給部的狀態(tài)從上述供給停止?fàn)顟B(tài)切換成從上述排放口排放上述惰性氣體的收納前供給狀態(tài)后，將上述運(yùn)送容器向上述收納部收納。
8.如權(quán)利要求7所述的物品保管方法，其特征在于， 在上述運(yùn)送容器運(yùn)送到上述收納部之前的期間的某一時(shí)刻實(shí)現(xiàn)的上述運(yùn)送裝置的動(dòng)作狀態(tài)是預(yù)先作為惰性氣體供給開(kāi)始狀態(tài)設(shè)定的， 在上述第2控制工序中，以上述運(yùn)送裝置的動(dòng)作狀態(tài)成為了上述惰性氣體供給開(kāi)始狀態(tài)為條件，控制上述流量調(diào)節(jié)裝置的動(dòng)作，將與收納目的地的上述收納部相對(duì)應(yīng)的上述惰性氣體供給部的狀態(tài)從上述供給停止?fàn)顟B(tài)切換成上述收納前供給狀態(tài)，之后，在經(jīng)過(guò)設(shè)定時(shí)間之前維持上述收納前供給狀態(tài)。
9.如權(quán)利要求8所述的物品保管方法，其特征在于， 在上述第2控制工序中，在從將與收納目的地的上述收納部相對(duì)應(yīng)的上述惰性氣體供給部的狀態(tài)從上述供給停止?fàn)顟B(tài)切換成上述收納前供給狀態(tài)后經(jīng)過(guò)了上述設(shè)定時(shí)間的時(shí)亥IJ，上述運(yùn)送容器未運(yùn)送到該收納部的情況下，控制上述流量調(diào)節(jié)裝置的動(dòng)作，以在將該惰性氣體供給部的狀態(tài)從上述收納前供給狀態(tài)切換成上述供給停止?fàn)顟B(tài)后，以上述運(yùn)送容器被運(yùn)送到該收納部為條件，從上述供給停止?fàn)顟B(tài)切換成上述保管用供給狀態(tài)。
10.如權(quán)利要求8所述的物品保管方法，其特征在于，在上述第2控制工序中，執(zhí)行運(yùn)送牽制控制，該運(yùn)送牽制控制是在從將與收納目的地的上述收納部相對(duì)應(yīng)的上述惰性氣體供給部的狀態(tài)從上述供給停止?fàn)顟B(tài)切換成上述收納前供給狀態(tài)后、到經(jīng)過(guò)上述設(shè)定時(shí)間之前，不使上述運(yùn)送裝置進(jìn)行的上述運(yùn)送容器向該收納部的運(yùn)送完成的控制。
11.如權(quán)利要求10所述的物品保管方法，其特征在于， 與上述運(yùn)送裝置的動(dòng)作狀態(tài)成為上述惰性氣體供給開(kāi)始狀態(tài)時(shí)上述運(yùn)送容器的位置相比，在上述運(yùn)送裝置的運(yùn)送路徑上靠近運(yùn)送目的地的上述收納部的位置設(shè)定了供給狀態(tài)判別用位置， 在上述第2控制工序中，在上述運(yùn)送容器被上述運(yùn)送裝置運(yùn)送到上述供給狀態(tài)判別用位置時(shí)，與該收納部相對(duì)應(yīng)的上述惰性氣體供給部的狀態(tài)處于上述收納前供給狀態(tài)的情況下，控制上述流量調(diào)節(jié)裝置以及上述運(yùn)送裝置的動(dòng)作，以使上述運(yùn)送裝置的運(yùn)送動(dòng)作停止，在該惰性氣體供給部的上述收納前供給狀態(tài)下的上述惰性氣體的供給完成后，再次開(kāi)始上述運(yùn)送裝置的運(yùn)送動(dòng)作。
12.如權(quán)利要求8所述的物品保管方法，其特征在于， 在上述第2控制工序中，在從將與收納目的地的上述收納部相對(duì)應(yīng)的上述惰性氣體供給部的狀態(tài)從上述供給停止?fàn)顟B(tài)切換成上述收納前供給狀態(tài)并經(jīng)過(guò)了上述設(shè)定時(shí)間的時(shí)亥IJ，上述運(yùn)送容器未運(yùn)送到該收納部的情況下，控制上述流量調(diào)節(jié)裝置以及上述運(yùn)送裝置的動(dòng)作，在上述運(yùn)送容器被運(yùn)送到該收納部之前持續(xù)該惰性氣體供給部的上述收納前供給狀態(tài)下的上述惰性 氣體的供給。
全文摘要
本發(fā)明的物品保管設(shè)備具備相對(duì)于收納部運(yùn)送運(yùn)送容器的運(yùn)送裝置，向收納在上述收納部中的運(yùn)送容器的內(nèi)部供給惰性氣體的惰性氣體供給部，以及控制運(yùn)送裝置的動(dòng)作和惰性氣體供給部的流量調(diào)節(jié)裝置的動(dòng)作的控制裝置?？刂蒲b置構(gòu)成為，使與收納有運(yùn)送容器的收納部相對(duì)應(yīng)的惰性氣體供給部的狀態(tài)為保管用供給狀態(tài)，使與未收納有運(yùn)送容器的收納部相對(duì)應(yīng)的惰性氣體供給部的狀態(tài)為供給停止?fàn)顟B(tài)，并且在將運(yùn)送容器向收納部收納之際，在將與收納目的地的收納部相對(duì)應(yīng)的惰性氣體供給部的狀態(tài)從供給停止?fàn)顟B(tài)切換成收納前供給狀態(tài)之后，將運(yùn)送容器向收納部收納。
文檔編號(hào)B65G1/137GK103193051SQ201210582260
公開(kāi)日2013年7月10日 申請(qǐng)日期2012年12月28日 優(yōu)先權(quán)日2012年1月4日
發(fā)明者高原正裕, 上田俊人 申請(qǐng)人:株式會(huì)社大福