專利名稱：一種引線鍵合機(jī)xy工作臺(tái)結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體集成電路制造領(lǐng)域，特別是涉及后道裝備引線鍵合機(jī)的核心部件XY工作臺(tái)的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。
背景技術(shù)：
引線鍵合設(shè)備的根本在于通過劈刀引導(dǎo)金屬引線在三維空間中作復(fù)雜高速的運(yùn)動(dòng)以形成各種滿足不同封裝形式需要的特殊線弧形狀。X，Y,Z三個(gè)方向上協(xié)調(diào)運(yùn)動(dòng)的精度和速度，是保證鍵合設(shè)備焊線精度、可靠性、一致性和效率的關(guān)鍵。 傳統(tǒng)的鍵合機(jī)XY工作臺(tái)的X向直線電機(jī)安裝在綁定頭的左側(cè)，綁頭下面還需要基座來支撐X向直線電機(jī)基座，Y向直線電機(jī)基座和鍵合頭，這樣將導(dǎo)致整個(gè)XY工作臺(tái)占空間面積大，并且需要基座和X向直線電機(jī)動(dòng)子的精密配合加上高精度的機(jī)械設(shè)計(jì)和裝配才能保證XY工作臺(tái)裝配精度的技術(shù)問題。

發(fā)明內(nèi)容
為了更好地提高引線鍵合機(jī)自動(dòng)生產(chǎn)過程中的速度、精度和可靠性，本發(fā)明提供了一種新型引線鍵合機(jī)XY工作臺(tái)。本發(fā)明采用的技術(shù)方案是一種引線鍵合機(jī)XY工作臺(tái)結(jié)構(gòu)，由引線鍵合機(jī)構(gòu)、礦物質(zhì)鑄件基座、礦物質(zhì)支腿和基礎(chǔ)鋼板組成，礦物質(zhì)鑄件基座為人造理石鑄造而成的二層階梯的臺(tái)階形狀基座，其中第一層臺(tái)階開有垂直方向的走線孔用于導(dǎo)線安裝；第二層臺(tái)階水平表面提供了 X向交叉滾子安裝面，第二層臺(tái)階水平表面還開有X向直線電機(jī)定子安裝孔，X向交叉滾子安裝孔，第二層臺(tái)階水平表面上還開有X向直線電機(jī)安裝凹槽，在X向直線電機(jī)安裝凹槽的側(cè)面開有走線凹槽；第三層臺(tái)階水平表面上開有Y向直線電機(jī)定子安裝孔；在第二層臺(tái)階的垂直面上開有水平向的導(dǎo)線孔；礦物質(zhì)鑄件基座的四角留有礦物質(zhì)支腿的安裝孔，四根大螺栓通過礦物質(zhì)支腿安裝孔將礦物質(zhì)鑄件基座，礦物質(zhì)支腿和基礎(chǔ)鋼板固定連接在一起，在礦物質(zhì)支腿上開有若干個(gè)走線孔；
引線鍵合機(jī)構(gòu)由Y向直線電機(jī)定子，Y向直線電機(jī)動(dòng)子，X向直線電機(jī)定子，X向直線電機(jī)動(dòng)子，X向基座，Y向基座，鍵合頭，Y向交叉滾子，X向交叉滾子和Y向直線電機(jī)動(dòng)子散熱器組成
用交叉滾子專用螺絲將X向交叉滾子通過X向交叉滾子安裝孔安裝在X向交叉滾子安裝面上；
用螺絲通過X向基座上的X向直線電機(jī)動(dòng)子安裝螺絲孔將X向直線電機(jī)動(dòng)子和X向基座固定在一起；
將Y向直線電機(jī)定子用螺絲通過Y向直線電機(jī)定子安裝孔固定在礦物質(zhì)鑄件基座上；將X向直線電機(jī)定子用X向直線電機(jī)定子安裝螺絲通過X向直線電機(jī)定子安裝孔安裝進(jìn)X向直線電機(jī)安裝凹槽里面；
用X向交叉滾子安裝螺絲通過X向交叉滾子螺絲安裝孔將X向交叉滾子安裝在由礦物質(zhì)材料鑄成的X向交叉滾子安裝面上；
用X向交叉滾子安裝螺絲將X向交叉滾子和X向基座連在一起；
用Y向交叉滾子安裝螺絲將Y向交叉滾子的一側(cè)安裝到Y(jié)向基座上，用Y向交叉滾子安裝螺絲將Y向交叉滾子的另一側(cè)固定到X向基座上，將Y向直線電機(jī)動(dòng)子散熱器和Y向直線電機(jī)動(dòng)子的對(duì)齊邊對(duì)齊，用Y向直線電機(jī)動(dòng)子安裝螺絲將其固定在Y向基座上。本發(fā)明的有益效果是這種引線鍵合機(jī)XY工作臺(tái)結(jié)構(gòu)結(jié)構(gòu)省略掉傳統(tǒng)結(jié)構(gòu)左側(cè)安裝X向直線電機(jī)，這樣鍵合頭部分的所有重量都承載在X向直線電機(jī)動(dòng)子上方的X向直線電機(jī)基座上面，因?yàn)椴恍枰~外的機(jī)械連接，所以能夠增加X方向的機(jī)械剛性和強(qiáng)度；本發(fā)明的這種結(jié)構(gòu)的另一個(gè)好處就是機(jī)臺(tái)的重心會(huì)向中間偏移，利于整個(gè)機(jī)臺(tái)的穩(wěn)定，從而大大增加了機(jī)器焊接的穩(wěn)定性。


圖I是本發(fā)明引線鍵合機(jī)XY工作臺(tái)結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中1、Y向直線電機(jī)定子，2、Υ向直線電機(jī)動(dòng)子，3、Χ向直線電機(jī)定子，4、Χ向直線電機(jī)動(dòng)子，5、X向基座，6、Y向基座，7、X向直線電機(jī)礦物質(zhì)鑄件基座，8、X向直線電機(jī)安裝凹槽，9、鍵合頭。圖2是本發(fā)明礦物質(zhì)基礎(chǔ)基座結(jié)構(gòu)不意圖。圖中21-24、χ向直線電機(jī)定子安裝孔，51-56、γ向直線電機(jī)定子安裝孔，70-79、X向交叉滾子安裝孔，8、X向直線電機(jī)安裝凹槽，10、X直線電機(jī)動(dòng)子走線凹槽。圖3是本發(fā)明引線鍵合機(jī)XY工作臺(tái)結(jié)構(gòu)組裝結(jié)構(gòu)分解圖。圖中I、Y向直線電機(jī)定子，2、Y向直線電機(jī)動(dòng)子，3、X向直線電機(jī)定子，4、X向直線電機(jī)動(dòng)子，5、X向基座，6、Y向基座，7、X向直線電機(jī)礦物質(zhì)鑄件基座，8、X向直線電機(jī)安裝凹槽凹槽，10、X直線電機(jī)動(dòng)子走線凹槽，70-79、X向交叉滾子安裝孔，80-89、X向交叉滾子螺絲安裝孔，90-99、X向交叉滾子安裝螺絲I (安裝到70-79)，101、X向直線電機(jī)定子安裝螺絲，IOUX向直線電機(jī)定子安裝螺絲，102,X向直線電機(jī)動(dòng)子安裝螺絲，103,X向交叉滾子安裝螺絲2 (通過X向基座5安裝到X向交叉滾子螺絲安裝孔80-89)，104-105,Y向交叉滾子安裝螺絲，106，Y向直線電機(jī)動(dòng)子安裝螺絲，IlUY向交叉滾子，112,Y向直線電機(jī)動(dòng)子散熱器，113、X向交叉滾子安裝面，114-115、X向交叉滾子，116、X向直線電機(jī)動(dòng)子安裝孔。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說明。圖1、2、3示出了引線鍵合機(jī)XY工作臺(tái)的結(jié)構(gòu)圖 以下結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步的說明
一種引線鍵合機(jī)XY工作臺(tái)結(jié)構(gòu)，由引線鍵合機(jī)構(gòu)、礦物質(zhì)鑄件基座(7)、礦物質(zhì)支腿(117)和基礎(chǔ)鋼板(118)組成，礦物質(zhì)鑄件基座(7)為人造理石鑄造而成的三層階梯的臺(tái)階形狀基座，其中第一層臺(tái)階開有垂直方向的走線孔用于導(dǎo)線安裝；第二層臺(tái)階水平表面提供了 X向交叉滾子安裝面(113)，第二層臺(tái)階水平表面還開有X向直線電機(jī)定子安裝孔(41-44)，X向交叉滾子安裝孔(70-79)，第二層臺(tái)階水平表面上還開有X向直線電機(jī)安裝凹槽(8)，在X向直線電機(jī)安裝凹槽(8)的側(cè)面開有走線凹槽(10)，在第二層臺(tái)階的垂直面上開有水平向的導(dǎo)線孔；第三層臺(tái)階水平表面上開有Y向直線電機(jī)定子安裝孔(51-56);礦物質(zhì)鑄件基座(7)的四角留有礦物質(zhì)支腿(117)的安裝孔(31-34)，四根大螺栓通過礦物質(zhì)支腿安裝孔(31-34)將礦物質(zhì)鑄件基座(J)，礦物質(zhì)支腿(117)和基礎(chǔ)鋼板(118)固定連接在一起，在礦物質(zhì)支腿(117)上開有若干個(gè)走線孔。引線鍵合機(jī)構(gòu)包括Y向直線電機(jī)定子(I)，Y向直線電機(jī)動(dòng)子(2)，X向直線電機(jī)定子(3)，X向直線電機(jī)動(dòng)子(4)，X向基座(5)，Y向基座(6)，鍵合頭(9)，交叉滾子安裝螺絲，Y向交叉滾子(111)，X向交叉滾子(114-115)和Y向直線電機(jī)動(dòng)子散熱器(112)；
用交叉滾子專用螺絲將X向交叉滾子(114-115)通過X向交叉滾子安裝孔(70-79)安裝在X向交叉滾子安裝面(113)上；
用螺絲(102)通過X向基座(5)上的X向直線電機(jī)動(dòng)子安裝螺絲孔(116)將X向直線電機(jī)動(dòng)子⑷和X向基座(5)固定在一起；
將Y向直線電機(jī)定子(I)用螺絲通過Y向直線電機(jī)定子安裝孔(51-56)固定在礦物質(zhì)基礎(chǔ)基座(圖2)上;
將X向直線電機(jī)定子(3)用X向直線電機(jī)定子安裝螺絲(101)通過X向直線電機(jī)定子安裝孔(41-44)安裝進(jìn)X向直線電機(jī)安裝凹槽(10)里面；
用X向交叉滾子安裝螺絲(90-99)通過X向交叉滾子螺絲安裝孔(80-89)將X向交叉滾子(114-115)安裝在由礦物質(zhì)材料鑄成的X向交叉滾子安裝面(113)上；
用X向交叉滾子安裝螺絲(103)將X向交叉滾子(114-115)和X向基座(5)連在一起；用Y向交叉滾子安裝螺絲(104)將Y向交叉滾子(111)的一側(cè)安裝到Y(jié)向基座(6)上，用Y向交叉滾子安裝螺絲(105)將Y向交叉滾子(111)的另一側(cè)固定到X向基座(5)上，將Y向直線電機(jī)動(dòng)子散熱器(I 12)和Y向直線電機(jī)動(dòng)子(2)的對(duì)齊邊對(duì)齊，用Y向直線電機(jī)動(dòng)子安裝螺絲(106)將其固定在Y向基座(6)上。
權(quán)利要求
1.一種引線鍵合機(jī)XY工作臺(tái)結(jié)構(gòu)，由礦物質(zhì)鑄件基座，Y向直線電機(jī)定子(1)，Y向直線電機(jī)動(dòng)子(2)，X向直線電機(jī)定子(3)，X向直線電機(jī)動(dòng)子(4)，X向基座(5)，Y向基座(6)，Y向交叉滾子(111)，X向交叉滾子(114-115)，Y向直線電機(jī)動(dòng)子散熱器(112)組成；礦物質(zhì)鑄件基座為人造理石鑄造而成的三層階梯的臺(tái)階形狀基座，其中第一層臺(tái)階開有垂直方向的走線孔用于導(dǎo)線安裝；第二層臺(tái)階水平表面提供了 X向交叉滾子安裝面(113)，第二層臺(tái)階水平表面還開有X向直線電機(jī)交叉滾子安裝孔(70-79)和預(yù)留X向直線電機(jī)安裝凹槽(8);在X向直線電機(jī)安裝凹槽(8)的底部預(yù)留X向直線電機(jī)定子安裝孔(21-24)，在凹槽(8)側(cè)面開有X向直線電機(jī)動(dòng)子走線凹槽(10);第三層臺(tái)階水平表面上開有Y向直線電機(jī)定子安裝孔(51-56);其特征在于 引線鍵合機(jī)構(gòu)由Y向直線電機(jī)定子(1)，Y向直線電機(jī)動(dòng)子(2)，X向直線電機(jī)定子(3)，X向直線電機(jī)動(dòng)子(4)，Χ向基座(5)，Υ向基座(6)，交叉滾子安裝螺絲，Y向交叉滾子(111)，X向交叉滾子(114-115)，Y向直線電機(jī)動(dòng)子散熱器(112)組成； Y向直線電機(jī)定子(I)用螺絲通過Y向直線電機(jī)定子安裝孔(51-56)固定在礦物質(zhì)鑄件基座上； X向直線電機(jī)定子(3)用X向直線電機(jī)定子安裝螺絲(101)通過X向直線電機(jī)定子安裝孔(21-24)安裝進(jìn)X向直線電機(jī)安裝凹槽(8)里面； 用螺絲(102)通過基座(5)上的X向直線電機(jī)動(dòng)子安裝螺絲孔(116)將X向直線電機(jī)動(dòng)子⑷和X向基座(5)固定在一起； X向交叉滾子安裝螺絲(90-99)通過X向交叉滾子螺絲安裝孔(80-89)將X向交叉滾子(114-115)的一側(cè)固定在由礦物質(zhì)材料鑄成的X向交叉滾子安裝面(113)上； 用X向交叉滾子安裝螺絲(103)將X向交叉滾子(114-115)的另一側(cè)和X向基座(5)固定在一起，這樣就組成了 XY工作臺(tái)的X向運(yùn)動(dòng)機(jī)械結(jié)構(gòu)； 用Y向交叉滾子安裝螺絲(104)將Y向交叉滾子(111)的一側(cè)安裝到Y(jié)向基座(6)上，用Y向交叉滾子安裝螺絲(105)將Y向交叉滾子(111)的另一側(cè)固定到X向基座(5)上，將Y向直線電機(jī)動(dòng)子散熱器(I 12)和Y向直線電機(jī)動(dòng)子(2)的對(duì)齊邊對(duì)齊，用Y向直線電機(jī)動(dòng)子安裝螺絲(106 )將其固定在Y向基座(6 )上，這樣就實(shí)現(xiàn)了 XY工作臺(tái)在X和Y方向上的機(jī)械解耦。
全文摘要
一種引線鍵合機(jī)XY工作臺(tái)結(jié)構(gòu)，屬于半導(dǎo)體集成電路制造領(lǐng)域。這種引線鍵合機(jī)XY工作臺(tái)結(jié)構(gòu)省略掉傳統(tǒng)結(jié)構(gòu)左側(cè)安裝X向直線電機(jī)，巧妙的利用了在傳統(tǒng)X基座下方用基座支撐結(jié)構(gòu)的空間，這樣鍵合頭部分的所有重量都承載在X向直線電機(jī)動(dòng)子上方的X向直線電機(jī)基座上面，因?yàn)椴恍枰~外的機(jī)械連接，所以能夠增加X方向的機(jī)械剛性和強(qiáng)度；本發(fā)明的這種結(jié)構(gòu)的另一個(gè)好處就是機(jī)臺(tái)的重心會(huì)向中間偏移，利于整個(gè)機(jī)臺(tái)的穩(wěn)定，從而大大增加了機(jī)器焊接的穩(wěn)定性。
文檔編號(hào)H01L21/60GK102956516SQ20121046765
公開日2013年3月6日 申請(qǐng)日期2012年11月19日 優(yōu)先權(quán)日2012年11月19日
發(fā)明者張飛, 徐大林 申請(qǐng)人:大連佳峰電子有限公司