專利名稱:提高固體激光器可靠性的冷卻系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及固體激光器技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種提高固體激光器可靠性的冷卻系統(tǒng)。
背景技術(shù):
傳統(tǒng)的固體激光器水冷系統(tǒng)包括壓縮機(jī)、冷凝器、水泵以及熱交換器四大組件,冷卻液依次在上述四大組件中循環(huán)。傳統(tǒng)的固體激光器 水冷系統(tǒng)與固體激光器之間是通過若干金屬或塑料管路串接在一起。水冷系統(tǒng)內(nèi)的循環(huán)水從水箱開始,經(jīng)過水泵、水流開關(guān)、過濾器、激光器、熱量交換器,最后又回到水箱。當(dāng)固體激光器系統(tǒng)在長(zhǎng)期放置時(shí)或每次關(guān)機(jī)后,循環(huán)水會(huì)依然被留置于整個(gè)循環(huán)水路之中,包括激光器內(nèi)部,在較長(zhǎng)的時(shí)間里殘留于激光器內(nèi)部的冷卻液會(huì)通過通水器件中的微小縫隙向激光器機(jī)頭內(nèi)部散發(fā)水蒸氣,而激光器本身為密閉系統(tǒng),水蒸氣無法蒸發(fā),因此激光器機(jī)頭內(nèi)部的濕度會(huì)顯著增加,甚至可以達(dá)到相對(duì)濕度90%以上,在這種高濕度環(huán)境下,激光器機(jī)頭內(nèi)部的精密光學(xué)元器件和電子元器件的壽命勢(shì)必受到很大影響,進(jìn)而也影響固體激光器的可靠性。目前,對(duì)于需要循環(huán)水冷卻的固體激光器,沒有有效的方法可以解決激光器長(zhǎng)時(shí)間存放時(shí)濕度過高的問題。另外,激光器在長(zhǎng)期的使用過程中,整個(gè)水循環(huán)系統(tǒng)的冷卻液會(huì)隨著時(shí)間的推移逐漸渾濁,激光器中管路也會(huì)因?yàn)樽躺?xì)菌、冷卻液雜質(zhì)附著等原因使得管路內(nèi)壁逐漸變得含有部分水垢和污染物,這對(duì)激光器中光學(xué)元件損傷很大,而且污染物會(huì)降低激光的轉(zhuǎn)換效率,進(jìn)而降低了激光器的可靠性和壽命。目前解決這種激光器污染的方法都是打開激光器水路各個(gè)管件進(jìn)行人工擦拭清洗,操作費(fèi)時(shí)費(fèi)力。
發(fā)明內(nèi)容
鑒于上述的分析,本發(fā)明旨在提供一種提高固體激光器可靠性的冷卻系統(tǒng),用以解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的固體激光器可靠性比較差的問題。本發(fā)明的目的主要是通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的本發(fā)明一種提高固體激光器可靠性的冷卻系統(tǒng),包括閥門Al、閥門A2、閥門BI、閥門B2、出水管路、進(jìn)水管路、出氣管路、進(jìn)氣管路以及排水單元,其中,閥門Al設(shè)置于激光器機(jī)頭與水泵的出水管路中間,閥門A2設(shè)置于激光器機(jī)頭與水泵的進(jìn)水管路中間;閥門BI設(shè)置于排水單元與激光器機(jī)頭的出氣管路中間,閥門B2設(shè)置于排水單元與激光器機(jī)頭的進(jìn)氣管路中間;閥門Al和閥門A2,用于控制激光器機(jī)頭和水泵在水路上的斷開或接通;其中,排水單元工作之前閥門Al和閥門A2關(guān)閉,使得激光器機(jī)頭和水泵在水路上斷開;閥門BI和閥門B2,用于控制激光器機(jī)頭和排水單元在氣路上的斷開或連接;其中,閥門Al和閥門A2關(guān)閉后,閥門BI和閥門B2開啟,使得激光器機(jī)頭和排水單元在氣路上連通;排水單元關(guān)閉后,閥門BI和閥門B2關(guān)閉,使得激光器機(jī)頭和排水單元在氣路上斷開;
排水單元,用于在閥門Al和閥門A2關(guān)閉,以及閥門BI和閥門B2開啟后,通過進(jìn)氣管路向激光器機(jī)頭充入高壓氣體,并在持續(xù)預(yù)定充氣時(shí)間后進(jìn)行關(guān)閉。進(jìn)一步地,所述排水單元具體包括壓縮氣泵和過濾器,其中,壓縮氣泵,用于在閥門Al和閥門A2關(guān)閉,以及閥門BI和閥門B2開啟后,將其產(chǎn)生的高壓氣體送往過濾器,并在在持續(xù)預(yù)定充氣時(shí)間后進(jìn)行關(guān)閉;過濾器,用于對(duì)壓縮氣泵送過來的高壓氣體除去雜質(zhì)后通過進(jìn)氣管路進(jìn)入激光器機(jī)頭中。進(jìn)一步地,所述系統(tǒng)還包括閥門Cl、閥門C2、出 氣管路、進(jìn)氣管路以及控濕單元,其中,閥門Cl設(shè)置于控濕單元與激光器機(jī)頭的出氣管路中間,閥門C2設(shè)置于控濕單元與激光器機(jī)頭的進(jìn)氣管路中間;閥門Cl和閥門C2,用于在排水單元工作完畢后,控制激光器機(jī)頭和控濕單元在氣路上的斷開或連接;其中,控濕單元工作之前閥門Cl和閥門C2開啟,激光器機(jī)頭和控濕單元在氣路上接通;除濕單元工作結(jié)束之后,閥門Cl和閥門C2關(guān)閉,激光器機(jī)頭和控濕單元在氣路上斷開;控濕單元,用于對(duì)激光器機(jī)頭內(nèi)部的濕度進(jìn)行測(cè)量,當(dāng)高于預(yù)定濕度時(shí),對(duì)激光器機(jī)頭內(nèi)部進(jìn)行除濕處理。進(jìn)一步地,所述控濕單元具體包括濕度測(cè)量模塊、除濕模塊以及控制模塊,其中,控制模塊,用于在開啟閥門Cl和閥門C2后,觸發(fā)濕度測(cè)量模塊;濕度測(cè)量模塊,用于對(duì)激光器機(jī)頭內(nèi)部的濕度進(jìn)行實(shí)時(shí)測(cè)量,當(dāng)測(cè)量結(jié)果高于預(yù)定濕度時(shí),觸發(fā)除濕模塊開始工作;并在測(cè)量結(jié)果低于預(yù)定濕度時(shí),觸發(fā)除濕模塊停止工作;除濕模塊,用于對(duì)激光器機(jī)頭內(nèi)部進(jìn)行除濕處理。進(jìn)一步地,所述系統(tǒng)還包括閥門D1、閥門D2、出水管路、進(jìn)水管路以及去污單元,其中,閥門Dl設(shè)置于去污單元與激光器機(jī)頭的出水管路之間,閥門D2設(shè)置于去污單元與激光器機(jī)頭的進(jìn)水管路之間;閥門Dl和閥門D2,用于控制激光器機(jī)頭和去污單元在水路上的斷開或接通;其中,在水泵未運(yùn)轉(zhuǎn)的情況下,并且關(guān)閉閥門Al和閥門A2后,閥門Dl和閥門D2開啟,使得激光器機(jī)頭和去污單元在水路上接通;去污單元工作結(jié)束之后關(guān)閉閥門Dl和D2,使得激光器機(jī)頭和去污單元在水路上斷開;去污單元,用于對(duì)激光器機(jī)頭進(jìn)行去污處理。進(jìn)一步地,所述去污單元具體包括耐腐蝕循環(huán)泵,用于在開啟閥門Dl和閥門D2后開始啟動(dòng),將清洗水箱中的清洗液循環(huán)到激光器機(jī)頭中,并持續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)預(yù)定去污時(shí)間后進(jìn)行關(guān)閉;清洗水箱,用于預(yù)先存儲(chǔ)清洗液,并在清洗后通過排水口將清洗液排除。進(jìn)一步地,所述耐腐蝕循環(huán)泵還用于,在經(jīng)過清洗液去污處理后,再次使得清洗水箱中的去離子水循環(huán)到激光器中,并持續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)預(yù)定去污時(shí)間后進(jìn)行關(guān)閉;清洗水箱還用于,在經(jīng)過清洗液去污處理后,存儲(chǔ)去離子水,并在清洗后通過排水口將去離子水排除。本發(fā)明有益效果如下
本發(fā)明解決了現(xiàn)有技術(shù)中存在的固體激光器可靠性比較差的問題。本發(fā)明的其他特征和優(yōu)點(diǎn)將在隨后的說明書中闡述,并且,部分的從說明書中變得顯而易見,或者通過實(shí)施本發(fā)明而了解。本發(fā)明的目的和其他優(yōu)點(diǎn)可通過在所寫的說明書、權(quán)利要求書、以及附圖中所特別指出的結(jié)構(gòu)來實(shí)現(xiàn)和獲得。
圖I為本發(fā)明實(shí)施例所述系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合附圖來具體描述本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例,其中,附圖構(gòu)成本申請(qǐng)一部分,并與本發(fā)明的實(shí)施例一起用于闡釋本發(fā)明的原理。如圖I所示,圖I為本發(fā)明實(shí)施例所述系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖,具體可以包括閥門Al、閥門A2、閥門BI、閥門B2、出水管路、進(jìn)水管路、出氣管路、進(jìn)氣管路以及排水單元,其中,排水單元具體可以包括壓縮氣泵和過濾器,其中,閥門Al設(shè)置于激光器機(jī)頭與水泵的出水管路中間(在管路中的具體位置可以根據(jù)實(shí)際情況進(jìn)行設(shè)定,以下其他閥門的位置設(shè)定也如此),閥門A2設(shè)置于激光器機(jī)頭與水泵的進(jìn)水管路中間;閥門Al和閥門A2用于控制激光器機(jī)頭和水泵在水路上的斷開或接通;其中,排水單元工作之前閥門Al和閥門A2關(guān)閉,使得激光器機(jī)頭和水泵在水路上斷開;閥門BI設(shè)置于排水單元與激光器機(jī)頭的出氣管路中間,閥門B2設(shè)置于水箱與激光器機(jī)頭的進(jìn)氣管路中間;閥門BI和閥門B2用于控制激光器機(jī)頭和排水單元在氣路上的斷開或連接;其中,閥門Al和閥門A2關(guān)閉后,閥門BI和閥門B2開啟,使得激光器機(jī)頭和排水單元在氣路上連通;排水單元關(guān)閉后,閥門BI和閥門B2關(guān)閉,使得激光器機(jī)頭和排水單元在氣路上斷開;排水單元工作之前,關(guān)閉閥門Al和閥門A2,使激光器機(jī)頭和水泵在水路上實(shí)現(xiàn)斷開;閥門Al和閥門A2關(guān)閉后,閥門BI和閥門B2開啟,使得激光器機(jī)頭和排水單元在氣路上實(shí)現(xiàn)連接。啟動(dòng)壓縮氣泵,壓縮氣泵出來的高壓氣體經(jīng)過過濾器過濾掉雜質(zhì)后,通過出氣管路向激光器機(jī)頭充入過濾后的高壓氣體,通過充氣使得激光器機(jī)頭中剩余的冷卻液被排到水箱中,持續(xù)一段時(shí)間(例如2分鐘)后關(guān)閉壓縮氣泵,此時(shí)激光器機(jī)頭中剩余冷卻液被排空,激光器機(jī)頭中不再有殘留的冷卻液。激光器機(jī)頭中殘留的冷卻液被排空后,關(guān)閉閥門BI和閥門B2,切斷激光器機(jī)頭和壓縮氣泵的連接,完成激光器機(jī)頭排水的全過程。作為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例,本發(fā)明所述系統(tǒng)還可以包括閥門Cl、閥門C2、出氣管路、進(jìn)氣管路以及控濕單元,其中,閥門Cl設(shè)置于控濕單元與激光器機(jī)頭的出氣管路中間,閥門C2設(shè)置于控濕單元與激光器機(jī)頭的進(jìn)氣管路中間;閥門Cl和閥門C2用于在排水單元工作完畢后,控制激光器機(jī)頭和控濕單元在氣路上的斷開或連接;其中,控濕單元工作之前閥門Cl和閥門C2開啟,激光器機(jī)頭和控濕單元在氣路上接通;除濕單元工作結(jié)束之后,閥門Cl和閥門C2關(guān)閉,激光器機(jī)頭和控濕單元在氣路上斷開??貪駟卧?,用于對(duì)激光器機(jī)頭內(nèi)部的濕度進(jìn)行測(cè)量,當(dāng)高于預(yù)定濕度時(shí),對(duì)激光器機(jī)頭內(nèi)部進(jìn)行除濕處理。
該控濕單元具體可以包括濕度測(cè)量模塊、除濕模塊以及控制模塊,其中,控制模塊,用于在開啟閥門Cl和閥門C2后,觸發(fā)濕度測(cè)量模塊;濕度測(cè)量模塊,本發(fā)明實(shí)施例中可以采用電子濕度表作為濕度測(cè)量模塊,用于對(duì)激光器機(jī)頭內(nèi)部的濕度進(jìn)行實(shí)時(shí)測(cè)量,當(dāng)測(cè)量結(jié)果高于預(yù)定濕度(例如30%)時(shí),觸發(fā)除濕模塊開始工作;并在測(cè)量結(jié)果低于預(yù)定濕度時(shí),觸發(fā)除濕模塊停止工作,同時(shí)關(guān)閉閥門Cl和C2 ;除濕模塊,本發(fā)明實(shí)施例中可以采用小型除濕機(jī)作為除濕模塊,用于對(duì)激光器機(jī)頭內(nèi)部進(jìn)行除濕處理。 作為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例,本發(fā)明所述系統(tǒng)還可以包括閥門Dl和閥門D2、出水管路、進(jìn)水管路以及去污單元,其中,閥門Dl設(shè)置于去污單元與激光器機(jī)頭的出水管路之間,閥門D2設(shè)置于去污單元與激光器機(jī)頭的進(jìn)水管路之間;閥門Dl和閥門D2用于控制激光器機(jī)頭和去污單元在水路上的斷開或接通;其中,在水泵未運(yùn)轉(zhuǎn)的情況下,并且關(guān)閉閥門Al和閥門A2后,閥門Dl和閥門D2開啟,使得激光器機(jī)頭和去污單元在水路上接通;去污單元工作結(jié)束之后關(guān)閉閥門Dl和D2,使得激光器機(jī)頭和去污單元在水路上斷開。去污單元,用于對(duì)激光器機(jī)頭進(jìn)行去污處理,其具體可以包括耐腐蝕循環(huán)泵和清洗水箱,其中,耐腐蝕循環(huán)泵,用于在開啟閥門Dl和D2,即激光器機(jī)頭和去污單元連接,耐腐蝕循環(huán)泵啟動(dòng),把清洗水箱中的清洗液循環(huán)到激光器中,持續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)預(yù)定時(shí)間(例如I小時(shí))后關(guān)閉循環(huán)泵,打開清洗水箱排水口,將清洗液排除;然后向清洗水箱中注入潔凈的去離子水,持續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)預(yù)定時(shí)間(例如I小時(shí))后關(guān)閉循環(huán)泵,打開清洗水箱排水口,將去離子水排除;排干清洗水箱中的去離子水后,關(guān)閉去污系統(tǒng),關(guān)閉閥門Dl和D2,完成激光器機(jī)頭的去污處理。綜上所述,本發(fā)明實(shí)施例提供了一種提高固體激光器可靠性的冷卻系統(tǒng),可以使激光器系統(tǒng)在長(zhǎng)期放置時(shí)或每次關(guān)機(jī)后,通過氣泵可以將機(jī)頭內(nèi)部管路的循環(huán)水排入水冷系統(tǒng)內(nèi)部,用除濕系統(tǒng)可以明顯減少循環(huán)水或水蒸氣通過縫隙滲漏到激光器機(jī)頭內(nèi)部,并用除濕系統(tǒng)進(jìn)行除濕從而降低激光器機(jī)頭內(nèi)部的濕度;去污系統(tǒng)的設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)了不用打開激光器機(jī)頭就可以快捷高效的清洗激光器機(jī)頭內(nèi)部水垢和污染物,提高了激光器的可靠性延長(zhǎng)了激光器使用壽命。以上所述,僅為本發(fā)明較佳的具體實(shí)施方式
,但本發(fā)明的保護(hù)范圍并不局限于此,任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本發(fā)明揭露的技術(shù)范圍內(nèi),可輕易想到的變化或替換,都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。因此,本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)該以權(quán)利要求書的保護(hù)范圍為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種提高固體激光器可靠性的冷卻系統(tǒng),其特征在于,包括閥門(Al )、閥門(A2)、閥門(BI)、閥門(B2)、出水管路、進(jìn)水管路、出氣管路、進(jìn)氣管路以及排水單元,其中,閥門(Al)設(shè)置于激光器機(jī)頭與水泵的出水管路中間,閥門(A2)設(shè)置于激光器機(jī)頭與水泵的進(jìn)水管路中間;閥門(BI)設(shè)置于排水單元與激光器機(jī)頭的出氣管路中間,閥門(B2)設(shè)置于水箱與激光器機(jī)頭的進(jìn)氣管路中間; 閥門(Al)和閥門(A2),用于控制激光器機(jī)頭和水泵在水路上的斷開或接通;其中,排水單元工作之前閥門(Al)和閥門(A2)關(guān)閉,使得激光器機(jī)頭和水泵在水路上斷開; 閥門(BI)和閥門(B2),用于控制激光器機(jī)頭和排水單元在氣路上的斷開或連接;其中,閥門(Al)和閥門(A2)關(guān)閉后,閥門(BI)和閥門(B2)開啟,使得激光器機(jī)頭和排水單元在氣路上連通;排水單元關(guān)閉后,閥門(BI)和閥門(B2)關(guān)閉,使得激光器機(jī)頭和排水單元在氣路上斷開; 排水單元,用于在閥門(Al)和閥門(A2)關(guān)閉,以及閥門(BI)和閥門(B2)開啟后,通過進(jìn)氣管路向激光器機(jī)頭充入高壓氣體,并在持續(xù)預(yù)定充氣時(shí)間后進(jìn)行關(guān)閉。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的系統(tǒng),其特征在于,所述排水單元具體包括壓縮氣泵和過濾器,其中, 壓縮氣泵,用于在閥門(Al)和閥門(A2)關(guān)閉,以及閥門(BI)和閥門(B2)開啟后,將其產(chǎn)生的高壓氣體送往過濾器,并在在持續(xù)預(yù)定充氣時(shí)間后進(jìn)行關(guān)閉; 過濾器,用于對(duì)壓縮氣泵送過來的高壓氣體除去雜質(zhì)后通過進(jìn)氣管路進(jìn)入激光器機(jī)頭中。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的系統(tǒng),其特征在于,所述系統(tǒng)還包括閥門(Cl)、閥門(C2)、出氣管路、進(jìn)氣管路以及控濕單元,其中,閥門(Cl)設(shè)置于控濕單元與激光器機(jī)頭的出氣管路中間,閥門(C2)設(shè)置于控濕單元與激光器機(jī)頭的進(jìn)氣管路中間; 閥門(Cl)和閥門(C2),用于在排水單元工作完畢后,控制激光器機(jī)頭和控濕單元在氣路上的斷開或連接;其中,控濕單元工作之前閥門(Cl)和閥門(C2)開啟,激光器機(jī)頭和控濕單元在氣路上接通;除濕單元工作結(jié)束之后,閥門(Cl)和閥門(C2)關(guān)閉,激光器機(jī)頭和控濕單元在氣路上斷開; 控濕單元,用于對(duì)激光器機(jī)頭內(nèi)部的濕度進(jìn)行測(cè)量,當(dāng)高于預(yù)定濕度時(shí),對(duì)激光器機(jī)頭內(nèi)部進(jìn)行除濕處理。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的系統(tǒng),其特征在于,所述控濕單元具體包括濕度測(cè)量模塊、除濕模塊以及控制模塊,其中, 控制模塊,用于在開啟閥門(Cl)和閥門(C2)后,觸發(fā)濕度測(cè)量模塊; 濕度測(cè)量模塊,用于對(duì)激光器機(jī)頭內(nèi)部的濕度進(jìn)行實(shí)時(shí)測(cè)量,當(dāng)測(cè)量結(jié)果高于預(yù)定濕度時(shí),觸發(fā)除濕模塊開始工作;并在測(cè)量結(jié)果低于預(yù)定濕度時(shí),觸發(fā)除濕模塊停止工作; 除濕模塊,用于對(duì)激光器機(jī)頭內(nèi)部進(jìn)行除濕處理。
5.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的系統(tǒng),其特征在于,所述系統(tǒng)還包括閥門(Dl)和閥門(D2)、出水管路、進(jìn)水管路以及去污單元,其中,閥門(Dl)設(shè)置于去污單元與激光器機(jī)頭的出水管路之間,閥門(D2)設(shè)置于去污單元與激光器機(jī)頭的進(jìn)水管路之間; 閥門(Dl)和閥門(D2),用于控制激光器機(jī)頭和去污單元在水路上的斷開或接通;其中,在水泵未運(yùn)轉(zhuǎn)的情況下,并且關(guān)閉閥門(Al)和閥門(A2)后,閥門(Dl)和閥門(D2)開啟,使得激光器機(jī)頭和去污單元在水路上接通;去污單元工作結(jié)束之后關(guān)閉閥門(Dl)和(D2),使得激光器機(jī)頭和去污單元在水路上斷開; 去污單元,用于對(duì)激光器機(jī)頭進(jìn)行去污處理。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的系統(tǒng),其特征在于,所述去污單元具體包括 耐腐蝕循環(huán)泵,用于在開啟閥門(Dl)和閥門(D2)后開始啟動(dòng),將清洗水箱中的清洗液循環(huán)到激光器機(jī)頭中,并持續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)預(yù)定去污時(shí)間后進(jìn)行關(guān)閉; 清洗水箱,用于預(yù)先存儲(chǔ)清洗液,并在清洗后通過排水口將清洗液排除。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的系統(tǒng),其特征在于,所述耐腐蝕循環(huán)泵還用于,在經(jīng)過清洗液去污處理后,再次使得清洗水箱中的去離子水循環(huán)到激光器中,并持續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)預(yù)定去污時(shí)間后進(jìn)行關(guān)閉; 清洗水箱還用于,在經(jīng)過清洗液去污處理后,存儲(chǔ)去離子水,并在清洗后通過排水口將去離子水排除。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種提高固體激光器可靠性的冷卻系統(tǒng),包括閥門A1、閥門A2、閥門B1、閥門B2、出水管路、進(jìn)水管路、出氣管路、進(jìn)氣管路以及排水單元,閥門A1和閥門A2用于控制激光器機(jī)頭和水泵在水路上的斷開或接通;閥門B1和閥門B2用于控制激光器機(jī)頭和排水單元在氣路上的斷開或連接;排水單元用于在閥門A1和閥門A2關(guān)閉,以及閥門B1和閥門B2開啟后,通過進(jìn)氣管路向激光器機(jī)頭充入高壓氣體,并在持續(xù)預(yù)定充氣時(shí)間后進(jìn)行關(guān)閉;本發(fā)明解決了現(xiàn)有技術(shù)中存在的固體激光器可靠性比較差的問題。
文檔編號(hào)H01S3/042GK102769241SQ20121024344
公開日2012年11月7日 申請(qǐng)日期2012年7月13日 優(yōu)先權(quán)日2012年7月13日
發(fā)明者張馳, 王建軍, 王旭, 肖磊, 趙書云 申請(qǐng)人:中國電子科技集團(tuán)公司第十一研究所