專利名稱：基片裝卸設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種裝卸設(shè)備，尤其涉及一種對平板顯示器件的基片進行裝載和 卸載的基片裝卸設(shè)備。
背景技術(shù)：
隨著社會的發(fā)展、科技水平的進步，作為各種視頻信號和計算機數(shù)據(jù)信息的終端 顯示器件的平板顯示器件越來越深入人們的生活。平板顯示器件具有薄而輕巧，整機可做 成便攜式，電壓低、無X射線輻射、沒有閃爍抖動、不產(chǎn)生靜電，功耗低、可用電池供電、壽命 長等優(yōu)點，它是將微電子技術(shù)、液晶顯示技術(shù)等相融合的技術(shù)，主要應(yīng)用于筆記本電腦、臺 式計算機、大屏幕彩電、移動通信、數(shù)碼相機、數(shù)碼攝像機等終端產(chǎn)品上。現(xiàn)有的平板顯示器件主要包括等離子顯示器PDP、有機發(fā)光顯示器OLED及薄膜晶 體管液晶顯示器TFT-IXD等3大類型，其中TFT-IXD和PDP主要應(yīng)用于中大型顯示技術(shù)中， 而OLED則主要集中于中小型顯示技術(shù)中，對于不同的市場需求，這3大類型的平板顯示器 各有優(yōu)勢。隨著平板顯示器件的技術(shù)逐漸成熟，平板顯示器件的被需求量越來越大，因此在 平板顯示器件的生產(chǎn)過程中，對其各個環(huán)節(jié)的生產(chǎn)效率的要求也越來越高。通常，在PDP、 OLED和TFT-LCD的制造過程中，都會涉及到基片等片狀結(jié)構(gòu)在不同工藝模塊或設(shè)備之間運 送，為了提高生產(chǎn)效率，多個基片一般先裝載于一個籃子裝置中，然后再通過一個平穩(wěn)、高 效的裝卸設(shè)備來裝載、搬運及卸載籃子從而實現(xiàn)對基片的運送。目前關(guān)于籃子的裝載、搬運 及卸載一般采用機械人來操作，然而使用機械人進行裝載、搬運及卸載操作時，需要較為復(fù) 雜的定位和檢測系統(tǒng)來配合才能實現(xiàn)對籃子的精確裝載和卸載，并且其搬運范圍也會受到 限制。因此，有必要提供一種改進型的基片裝卸設(shè)備來克服上述缺陷。
實用新型內(nèi)容本實用新型的目的是提供一種基片裝卸設(shè)備，所述基片裝卸設(shè)備定位簡單、靈活 且定位精度高，從而使用所述基片裝卸設(shè)備對基片進行裝載和卸載時操作方便、快捷及安 全可靠，同時使用所述基片裝卸設(shè)備對基片進行搬運時不受范圍的限制。為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供了一種基片裝卸設(shè)備，所述基片裝卸設(shè)備包 括支撐架、傳動機構(gòu)、滑動機構(gòu)及用于承載基片的升降支架所述支撐架的下表面均勻分布 有滾輪，所述滾輪帶動所述支撐架運動；所述升降支架包括升降部和承載部，所述升降部與 所述支撐架在垂直方向呈平行對應(yīng)設(shè)置，所述承載部由所述升降部的上端相對所述支撐架 向后垂直彎折形成，與所述支撐架相對的所述升降部的一側(cè)垂直設(shè)有齒條，所述承載部的 上表面的前后兩側(cè)分別向上延伸形成第一支撐塊和第二支撐塊，所述第一支撐塊和所述第 二支撐塊形成承載區(qū)，所述基片固定承載于所述承載區(qū)內(nèi)；所述傳動機構(gòu)包括第一傳動組 件、第二傳動組件、設(shè)于所述支撐架上的固定座及穿過所述固定座且兩端分別固定連接所 述第一傳動組件和第二傳動組件的傳動軸，所述第一傳動組件包括穿過所述支撐架并與所
4述支撐架樞接的手柄、固定連接所述手柄的一端的蝸桿及固定連接于所述傳動軸的一端并 與所述蝸桿嚙合的蝸輪，所述第二傳動組件包括所述齒條及固定連接于所述傳動軸的另一 端并與所述齒條嚙合的齒輪；所述滑動機構(gòu)包括設(shè)于所述支撐架上并與所述齒條平行的導(dǎo) 軌及設(shè)于所述升降支架的升降部上并與所述導(dǎo)軌滑動卡接的滑塊，轉(zhuǎn)動所述手柄，從而使 所述升降支架在所述齒輪和齒條的配合下實現(xiàn)垂直方向上的升降運動。較佳地，所述第一支撐塊的頂面開設(shè)有第一凹面，所述第二支撐塊的頂面開設(shè)有 第二凹面，所述第一凹面和第二凹面相對設(shè)置并形成所述承載區(qū)，所述基片固定承載于所 述承載區(qū)內(nèi)。較佳地，所述第一凹面的中部設(shè)有定位銷，所述定位銷在左右方向上對所述基片 進行定位。較佳地，所述承載部的下表面的左右兩側(cè)分別設(shè)有導(dǎo)向滾輪，所述導(dǎo)向滾輪的外 切線超出所述承載部的下表面的左右兩側(cè)邊緣。較佳地，所述支撐架呈垂直彎折結(jié)構(gòu)，所述支撐架包括垂直部和水平部，所述垂直 部與所述升降部在垂直方向呈平行對應(yīng)設(shè)置，所述水平部垂直連接于所述垂直部的下端且 所述水平部的末端設(shè)有減震塊，所述垂直部的上端設(shè)有所述固定座，所述固定座上穿設(shè)有 所述傳動軸，所述傳動軸的兩端分別固定連接所述蝸輪和齒輪。較佳地，所述垂直部上設(shè)有與所述齒條平行的導(dǎo)軌，所述升降部上設(shè)有與所述導(dǎo) 軌滑動卡接的滑塊。較佳地，所述升降部包括相對設(shè)置的上、下側(cè)臂和左、右側(cè)臂，所述上、下、左、右側(cè) 臂圍成第一長方形空間，所述承載部由所述升降部的上側(cè)臂相對所述支撐架的垂直部向后 水平延伸形成，所述齒條垂直設(shè)于所述上、下側(cè)臂之間且收容于所述第一長方形空間內(nèi)，背 向所述垂直部的所述左、右側(cè)臂的一側(cè)的中部均設(shè)有限位塊。較佳地，所述水平部的上表面設(shè)有下限位塊，所述垂直部上設(shè)有上限位塊，所述下 限位塊對應(yīng)所述下側(cè)臂正下方的位置設(shè)置，所述上限位塊的一端固定設(shè)于所述垂直部上， 所述上限位塊的另一端穿過所述第一長方形空間并位于所述下側(cè)臂的正上方。較佳地，所述滾輪為萬向滾輪且所述萬向滾輪均勻分布于所述水平部的下表面。較佳地，還包括把手，所述把手設(shè)于所述垂直部上并與所述手柄的自由端位于同 一側(cè)面。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型采用基片裝卸設(shè)備來對基片進行裝載、搬運和卸載， 所述基片裝卸設(shè)備通過蝸桿和蝸輪配合轉(zhuǎn)動及齒條和齒輪配合轉(zhuǎn)動來實現(xiàn)升降支架的升 降，進而實現(xiàn)對承載于所述升降支架上的基片的裝載和卸載，由于所述蝸桿、蝸輪及齒條、 齒輪是由手柄來驅(qū)動，因此所述基片裝卸設(shè)備的定位簡單、靈活，又由于所述蝸桿、蝸輪具 有自鎖功能且所述齒條、齒輪的升降精度高，因此使用所述基片裝卸設(shè)備來對所述基片進 行裝載和卸載時操作方便、快捷且安全可靠；此外，所述基片裝卸設(shè)備通過所述滾輪來實現(xiàn) 所述基片的搬運，因此使用所述基片裝卸設(shè)備來對所述基片進行搬運時不受范圍的限制。通過以下的描述并結(jié)合附圖，本實用新型將變得更加清晰，這些附圖用于解釋本 實用新型的實施例。
圖1為本實用新型基片裝卸設(shè)備一個具體實施例中的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為圖1所示基片裝卸設(shè)備另一個角度下的結(jié)構(gòu)示意圖。圖3為圖2所示A部分的結(jié)構(gòu)放大圖。圖4為圖1所示基片裝卸設(shè)備的升降支架在下降狀態(tài)下的結(jié)構(gòu)示意圖。圖5為圖1所示基片裝卸設(shè)備的升降支架在上升狀態(tài)下的結(jié)構(gòu)示意圖。圖6為本實用新型基片裝卸設(shè)備進入槽型平臺的結(jié)構(gòu)示意圖。圖7為本實用新型基片裝卸設(shè)備另一個實施例中的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
現(xiàn)在參考附圖描述本實用新型的實施例，附圖中類似的元件標號代表類似的元 件。參考圖1-2，在本實用新型的一個具體實施例中，所述基片裝卸設(shè)備1包括支撐架 10、傳動機構(gòu)30、滑動機構(gòu)40及用于承載基片(圖未示)的升降支架20。具體地，所述支 撐架10的下表面均勻分布有滾輪110，所述滾輪110帶動所述支撐架10運動；所述升降支 架20包括升降部21和承載部22，所述升降部21與所述支撐架10在垂直方向呈平行對應(yīng) 設(shè)置，所述承載部22由所述升降部21的上端相對所述支撐架10向后垂直彎折形成，與所 述支撐架10相對的所述升降部21的一側(cè)垂直設(shè)有齒條321，所述承載部22的上表面的前 后兩側(cè)分別向上延伸形成第一支撐塊221和第二支撐塊222，所述第一支撐塊221和所述第 二支撐塊222形成承載區(qū)，所述基片固定承載于所述承載區(qū)內(nèi)；所述傳動機構(gòu)30包括第一 傳動組件、第二傳動組件、設(shè)于所述支撐架10上的固定座33及穿過所述固定座33且兩端 分別固定連接所述第一傳動組件和第二傳動組件的傳動軸34，所述第一傳動組件包括穿過 所述支撐架10并與所述支撐架10樞接的手柄311、固定連接所述手柄311的一端的蝸桿 312及固定連接于所述傳動軸34的一端并與所述蝸桿312嚙合的蝸輪313，所述第二傳動 組件包括所述齒條321及固定連接于所述傳動軸34的另一端并與所述齒條321嚙合的齒 輪322 ；所述滑動機構(gòu)40包括設(shè)于所述支撐架10上并與所述齒條321平行的導(dǎo)軌41及設(shè) 于所述升降支架20的升降部21上并與所述導(dǎo)軌41滑動卡接的滑塊42，轉(zhuǎn)動所述手柄311， 從而使所述升降支架20在所述齒輪322和齒條321的配合下實現(xiàn)垂直方向上的升降運動。 在本實施例中，所述滾輪110為萬向滾輪且所述萬向滾輪均勻分布于所述水平部12的下表 面，使用所述萬向止動輪使所述基片裝卸設(shè)備1停止時平穩(wěn)放置，運動時方向變動自如，從 而易于控制所述基片裝卸設(shè)備1的運動方向。參考圖3及圖6，所述第一支撐塊221的頂面221a開設(shè)有第一凹面221b，所述第 一凹面221b與所述第一支撐塊221的頂面221a之間形成第一側(cè)面221c，所述第二支撐塊 222的頂面222a開設(shè)有第二凹面222b，所述第二凹面222b與所述第二支撐塊222的頂面 222a之間形成第二側(cè)面222c。所述第一凹面221b和第二凹面222b相對設(shè)置并形成所述 承載區(qū)，裝載時，若干的基片先裝載在一個籃子裝置5中，然后所述籃子裝置5再固定承載 于所述承載區(qū)內(nèi)。具體地，所述籃子裝置5承載于所述第一凹面221b和所述第二凹面222b 上并受到所述第一側(cè)面221c和所述第二側(cè)面222c的限制從而實現(xiàn)對所述基片在前后方向 上的定位。在本實施例中，所述第二凹面222b的中部設(shè)有定位銷223，所述定位銷223用于與所述籃子裝置5進行配合定位，從而實現(xiàn)在左右方向上對所述基片進行定位。在本實施例中，所述承載部22的下表面的左右兩側(cè)分別設(shè)有導(dǎo)向滾輪224，所述 導(dǎo)向滾輪224用于引導(dǎo)所述基片裝卸設(shè)備1靈活、快速的進入承接所述籃子裝置5的槽型 平臺6的凹槽61內(nèi)，因此在設(shè)計上，所述導(dǎo)向滾輪224的外切線超出所述承載部22的下表 面的左右兩側(cè)邊緣，且左右兩排所述導(dǎo)向滾輪224的外切線之間的距離窄于所述凹槽61的 寬度，以便于操作人員快速、輕易的推動所述基片裝卸設(shè)備1進入所述槽型平臺6的凹槽61 內(nèi)，從而執(zhí)行卸載或裝載所述籃子裝置5的操作。參考圖1-2及圖4-5，所述支撐架10呈垂直彎折結(jié)構(gòu)，所述支撐架10包括垂直部 11和水平部12，所述垂直部11與所述升降部21在垂直方向呈平行對應(yīng)設(shè)置，所述水平部 12垂直連接于所述垂直部11的下端且所述水平部12的末端設(shè)有減震塊120，所述垂直部 11的上端設(shè)有所述固定座33，所述固定座33上穿設(shè)有所述傳動軸34，所述傳動軸34的兩 端分別固定連接所述蝸輪313和齒輪322。所述減震塊120設(shè)于所述水平部12的末端，避 免了所述支撐架10與其他設(shè)備直接碰撞，起到了減震和緩沖的作用。在本實施例中，所述 水平部12的左右寬度可根據(jù)所述基片裝卸設(shè)備1需要接觸的下一模塊設(shè)備的機身底座的 寬度來確定。具體地，所述升降部21包括相對設(shè)置的上、下側(cè)臂211、213和左、右側(cè)臂212、214， 所述上、下、左、右側(cè)臂211、213、212、214圍成第一長方形空間200，所述承載部22由所述升 降部21的上側(cè)臂211相對所述支撐架10的垂直部11向后水平延伸形成，所述齒條321垂 直設(shè)于所述上、下側(cè)臂211、213之間且收容于所述第一長方形空間200內(nèi)，背向所述垂直部 11的所述升降部20的左、右側(cè)臂212、214的一側(cè)的中部均設(shè)有限位塊23，所述限位塊23 用于保持所述升降支架20與其他設(shè)備之間的距離，避免兩者因碰撞而損壞。更加具體地，所述垂直部11包括相對設(shè)置的第一、第三側(cè)臂111、113和第二、第 四側(cè)臂112、114，所述第一、第三、第二及第四側(cè)臂111、113、112、114分別與所述升降部21 的上、下、左、右側(cè)臂211、213、212、214—一平行，且所述第一、第三、第二及第四側(cè)臂111、 113、112、114圍成第二長方形空間100，所述水平部12由所述第三側(cè)臂113水平延伸形成 且所述水平部12的延伸方向與所述承載部22的延伸方向相同，所述固定座33的一端固定 于所述第一側(cè)臂111的下表面、另一端向第二長方形空間100延伸。在本實施例中，所述基 片裝卸設(shè)備1還包括蝸桿座13，所述蝸桿座13的上端固定于所述第一側(cè)臂111的外側(cè)面 (圖未示)，所述外側(cè)面為與所述升降支架20的升降部21相背的側(cè)面，所述蝸桿座13的下 端向下延伸，所述手柄311穿過所述蝸桿座13的下端并與所述蝸桿座13樞接。在本實施 例中，還包括把手14，所述把手14設(shè)于所述第二、第四側(cè)臂112、114的外側(cè)面上，所述把手 14的設(shè)置方便使用者操作所述基片裝卸設(shè)備1。具體地，所述水平部12的上表面設(shè)有下限位塊15，所述垂直部11的第四側(cè)臂114 上設(shè)有上限位塊16，所述下限位塊15對應(yīng)所述下側(cè)臂213正下方的位置設(shè)置，所述上限位 塊16的一端固定設(shè)于所述垂直部11的第四側(cè)臂114上，所述上限位塊16的另一端穿過所 述第一長方形空間200并位于所述下側(cè)臂213的正上方。所述上、下限位塊15、16的設(shè)置 使所述基片裝卸設(shè)備1在一定的行程上平穩(wěn)升降及限位。在本實施例中，所述導(dǎo)軌41垂直設(shè)于所述垂直部11的第二側(cè)臂112的內(nèi)側(cè)面(圖 未示)，所述內(nèi)側(cè)面為與所述升降支架20的升降部21相對的側(cè)面，所述升降部21的左側(cè)
7臂212上設(shè)有與所述導(dǎo)軌41滑動卡接的滑塊42。參考圖7，在本實用新型的另一個實施例 2中，在所述垂直部11的第二側(cè)臂112和第四側(cè)臂114的內(nèi)側(cè)面上分別垂直設(shè)有所述導(dǎo)軌 41，所述升降部21的左、右側(cè)臂212、214上分別設(shè)有與所述導(dǎo)軌41滑動卡接的滑塊42。下面結(jié)合圖1-6對本實用新型基片裝卸設(shè)備1在一個具體實施例中的工作原理進 行詳細的描述當需要對所述基片裝卸設(shè)備1上的籃子裝置5進行卸載時，操作人員先把所述籃 子裝置5利用所述定位銷223固定在所述第一凹面221b和所述第二凹面222b形成的承載 區(qū)上，同時使所述籃子裝置5的前后位置剛好被所述第一支撐塊221的第一側(cè)面221c和第 二支撐塊222的第二側(cè)面222c固定；然后推動所述把手14使裝載有所述籃子裝置5的基 片裝卸設(shè)備1到達承接所述籃子裝置5的槽型平臺6所在的設(shè)備的門外，打開該門，再通過 旋轉(zhuǎn)所述手柄311的自由端從而帶動所述蝸桿312轉(zhuǎn)動，進而所述蝸桿312轉(zhuǎn)動帶動所述 蝸輪313轉(zhuǎn)動，所述蝸輪313通過所述傳動軸34將旋轉(zhuǎn)動力傳遞到所述齒輪322使所述齒 輪322轉(zhuǎn)動，所述齒輪322推動所述齒條321上下運動，從而使所述升降支架20做升降運 動；當所述升降支架20上升從而使所述籃子裝置5的底面高于所述槽型平臺6表面的擋塊 62后，推動所述把手14，使所述基片裝卸設(shè)備1通過所述導(dǎo)向滾輪224沿著所述槽型平臺 6的凹槽61內(nèi)壁進入所述凹槽61，當所述限位塊23接觸到所述槽型平臺6所在的門外框 的下側(cè)板時，所述基片裝卸設(shè)備1在卸載區(qū)域定位完成；接著，所述旋轉(zhuǎn)所述手柄311，調(diào)低 所述升降支架20，直到所述籃子裝置5被完全定位在所述槽型平臺6的擋塊62中，此時， 所述槽型平臺6的支持板63上的檢查單元64檢測到所述籃子裝置5被放置完畢并發(fā)送信 號到外部顯示系統(tǒng)(圖未示)顯示；最后，操作者旋轉(zhuǎn)所述手柄311使所述升降支架20下 降從而脫離所述籃子裝置5，并且拉動所述把手14，使所述基片裝卸設(shè)備1通過所述導(dǎo)向滾 輪224的導(dǎo)向作用離開所述槽型平臺6所在的設(shè)備。同理，所述籃子裝置5裝載到所述基 片裝卸設(shè)備1上的工作過程跟上述的卸載過程相反，因此這里將不再詳細闡述。如上所述，本實用新型采用基片裝卸設(shè)備1來對基片進行裝載、搬運和卸載，所述 基片裝卸設(shè)備1通過蝸桿312和蝸輪313配合轉(zhuǎn)動及齒條321和齒輪322配合轉(zhuǎn)動來實現(xiàn) 升降支架20的升降，進而實現(xiàn)對承載于所述升降支架20上的基片的裝載和卸載，由于所述 蝸桿312、蝸輪313及齒條321、齒輪322是由手柄311來驅(qū)動，因此所述基片裝卸設(shè)備1的 定位簡單、靈活，又由于所述蝸桿312、蝸輪313具有自鎖功能且所述齒條321、齒輪322的 升降精度高，因此使用所述基片裝卸設(shè)備1來對所述基片進行裝載和卸載時操作方便、快 捷且安全可靠；此外，所述基片裝卸設(shè)備1通過所述滾輪110來實現(xiàn)所述基片的搬運，因此 使用所述基片裝卸設(shè)備1來對所述基片進行搬運時不受范圍的限制?？芍?，本實用新型的基片裝卸設(shè)備1不僅僅應(yīng)用于裝載、搬運和卸載平板顯示 器件的基片，在平板顯示器件生產(chǎn)過程中需要用到的片狀結(jié)構(gòu)的裝載、搬運和卸載都可以 用所述基片裝卸設(shè)備1來實現(xiàn)。以上結(jié)合最佳實施例對本實用新型進行了描述，但本實用新型并不局限于以上揭 示的實施例，而應(yīng)當涵蓋各種根據(jù)本實用新型的本質(zhì)進行的修改、等效組合。
權(quán)利要求一種基片裝卸設(shè)備，其特征在于，包括支撐架、傳動機構(gòu)、滑動機構(gòu)及用于承載基片的升降支架所述支撐架的下表面均勻分布有滾輪，所述滾輪帶動所述支撐架運動；所述升降支架包括升降部和承載部，所述升降部與所述支撐架在垂直方向呈平行對應(yīng)設(shè)置，所述承載部由所述升降部的上端相對所述支撐架向后垂直彎折形成，與所述支撐架相對的所述升降部的一側(cè)垂直設(shè)有齒條，所述承載部的上表面的前后兩側(cè)分別向上延伸形成第一支撐塊和第二支撐塊，所述第一支撐塊和所述第二支撐塊形成承載區(qū)，所述基片固定承載于所述承載區(qū)內(nèi)；所述傳動機構(gòu)包括第一傳動組件、第二傳動組件、設(shè)于所述支撐架上的固定座及穿過所述固定座且兩端分別固定連接所述第一傳動組件和第二傳動組件的傳動軸，所述第一傳動組件包括穿過所述支撐架并與所述支撐架樞接的手柄、固定連接所述手柄的一端的蝸桿及固定連接于所述傳動軸的一端并與所述蝸桿嚙合的蝸輪，所述第二傳動組件包括所述齒條及固定連接于所述傳動軸的另一端并與所述齒條嚙合的齒輪；所述滑動機構(gòu)包括設(shè)于所述支撐架上并與所述齒條平行的導(dǎo)軌及設(shè)于所述升降支架的升降部上并與所述導(dǎo)軌滑動卡接的滑塊，轉(zhuǎn)動所述手柄，從而使所述升降支架在所述齒輪和齒條的配合下實現(xiàn)垂直方向上的升降運動。
2.如權(quán)利要求1所述的基片裝卸設(shè)備，其特征在于，所述第一支撐塊的頂面開設(shè)有第 一凹面，所述第二支撐塊的頂面開設(shè)有第二凹面，所述第一凹面和第二凹面相對設(shè)置并形 成所述承載區(qū)，所述基片固定承載于所述承載區(qū)內(nèi)。
3.如權(quán)利要求2所述的基片裝卸設(shè)備，其特征在于，所述第二凹面的中部設(shè)有定位銷， 所述定位銷在左右方向上對所述基片進行定位。
4.如權(quán)利要求3所述的基片裝卸設(shè)備，其特征在于，所述承載部的下表面的左右兩側(cè) 分別設(shè)有導(dǎo)向滾輪，所述導(dǎo)向滾輪的外切線超出所述承載部的下表面的左右兩側(cè)邊緣。
5.如權(quán)利要求1所述的基片裝卸設(shè)備，其特征在于，所述支撐架呈垂直彎折結(jié)構(gòu)，所述 支撐架包括垂直部和水平部，所述垂直部與所述升降部在垂直方向呈平行對應(yīng)設(shè)置，所述 水平部垂直連接于所述垂直部的下端且所述水平部的末端設(shè)有減震塊，所述垂直部的上端 設(shè)有所述固定座，所述固定座上穿設(shè)有所述傳動軸，所述傳動軸的兩端分別固定連接所述 蝸輪和齒輪。
6.如權(quán)利要求5所述的基片裝卸設(shè)備，其特征在于，所述垂直部上設(shè)有與所述齒條平 行的導(dǎo)軌，所述升降部上設(shè)有與所述導(dǎo)軌滑動卡接的滑塊。
7.如權(quán)利要求6所述的基片裝卸設(shè)備，其特征在于，所述升降部包括相對設(shè)置的上、下 側(cè)臂和左、右側(cè)臂，所述上、下、左、右側(cè)臂圍成第一長方形空間，所述承載部由所述升降部 的上側(cè)臂相對所述支撐架的垂直部向后水平延伸形成，所述齒條垂直設(shè)于所述上、下側(cè)臂 之間且收容于所述第一長方形空間內(nèi)，背向所述垂直部的所述左、右側(cè)臂的一側(cè)的中部均 設(shè)有限位塊。
8.如權(quán)利要求7所述的基片裝卸設(shè)備，其特征在于，所述水平部的上表面設(shè)有下限位 塊，所述垂直部上設(shè)有上限位塊，所述下限位塊對應(yīng)所述下側(cè)臂正下方的位置設(shè)置，所述上 限位塊的一端固定設(shè)于所述垂直部上，所述上限位塊的另一端穿過所述第一長方形空間并 位于所述下側(cè)臂的正上方。
9.如權(quán)利要求5所述的基片裝卸設(shè)備，其特征在于，所述滾輪為萬向滾輪且所述萬向 滾輪均勻分布于所述水平部的下表面。
10.如權(quán)利要求5所述的基片裝卸設(shè)備，其特征在于，還包括把手，所述把手設(shè)于所述 垂直部上并與所述手柄的自由端位于同一側(cè)面。
專利摘要本實用新型公開了一種基片裝卸設(shè)備，包括支撐架、傳動機構(gòu)、滑動機構(gòu)及升降支架支撐架的下表面設(shè)有滾輪；升降支架包括與支撐架呈平行對應(yīng)設(shè)置的升降部及由升降部的上端相對支撐架向后垂直彎折形成的承載部，升降部上與支撐架相對的一側(cè)垂直設(shè)有齒條，承載部的上表面的前后兩側(cè)分別設(shè)有第一支撐塊和第二支撐塊從而形成用于承載基片的承載區(qū)；傳動機構(gòu)包括第一傳動組件、第二傳動組件、設(shè)于支撐架上的固定座及穿過固定座并固定連接第一傳動組件和第二傳動組件的傳動軸，第一傳動組件包括手柄、蝸桿及與蝸桿嚙合的蝸輪，第二傳動組件包括齒條及與齒條嚙合的齒輪；滑動機構(gòu)包括設(shè)于支撐架上的導(dǎo)軌及設(shè)于升降支架上并與導(dǎo)軌滑動卡接的滑塊。
文檔編號H01L21/677GK201694655SQ20102021070
公開日2011年1月5日 申請日期2010年5月25日 優(yōu)先權(quán)日2010年5月25日
發(fā)明者劉惠森, 楊明生, 王勇, 王曼媛, 范繼良, 郭業(yè)祥 申請人:東莞宏威數(shù)碼機械有限公司