專利名稱：一種等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備后的太陽能電池冷卻裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種冷卻裝置，具體的說是一種在等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備中
對太陽能電池逐步冷卻的裝置。
背景技術(shù)：
在現(xiàn)有太陽能電池生產(chǎn)中，等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備對太陽能電池進(jìn)行沉積 PIN層的過程中，電池的溫度會很高，一般會達(dá)到18(TC，沉積完成以后，太陽能電池從等離 子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備出來以后，如果直接到室溫的話，電池會受到驟然降溫，不利于太陽 能電池的應(yīng)力釋放，嚴(yán)重時會有炸片的情況發(fā)生，所以需要對從等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè) 備出來的電池進(jìn)行逐步降溫，保證太陽能電池的性質(zhì)穩(wěn)定。

發(fā)明內(nèi)容本實用新型的目的是要提供一種在等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備中能夠?qū)μ柲?電池進(jìn)行逐步降溫的太陽能電池冷卻裝置。 本實用新型的目的是這樣實現(xiàn)的該冷卻裝置包括并排設(shè)置的三個冷卻箱、電池 掛片箱、傳送導(dǎo)軌，所述的傳送導(dǎo)軌設(shè)置在三個冷卻箱的上面，電池掛片箱掛裝在傳送導(dǎo)軌 上。 所述的前面的冷卻箱的溫度設(shè)置為150°C，中間的冷卻箱的溫度設(shè)置為9(TC，后 面的冷卻箱的溫度設(shè)置為30°C。 所述的傳送導(dǎo)軌貫穿于三個冷卻箱，并在冷卻箱以后延伸出一段置于室溫下，即 直接在室溫下對太陽能電池進(jìn)行冷卻。 本實用新型由于采用上述結(jié)構(gòu)，能夠?qū)μ柲茈姵卦诘入x子體化學(xué)氣相沉積工序 后逐步冷卻，有利于太陽能電池的應(yīng)力釋放，保證了太陽能電池的性質(zhì)穩(wěn)定，不會有炸片的 情況發(fā)生。

圖1為本實用新型整體結(jié)構(gòu)示意圖。 圖2為本實用新型側(cè)面投影圖。
具體實施方式由附圖所示該冷卻裝置包括并排設(shè)置的三個冷卻箱1、2、3、電池掛片箱4、傳送 導(dǎo)軌5，所述的傳送導(dǎo)軌5設(shè)置在三個冷卻箱1、2、3的上面，電池掛片箱4掛裝在傳送導(dǎo)軌 5上。 所述的前面的冷卻箱1的溫度設(shè)置為150°C，中間的冷卻箱2的溫度設(shè)置為90°C， 后面的冷卻箱3的溫度設(shè)置為30°C。 所述的傳送導(dǎo)軌5貫穿于三個冷卻箱1、2、3，并在冷卻箱以后延伸出一段6置于室溫下，即直接在室溫下對太陽能電池進(jìn)行冷卻。 工作過程如下設(shè)置在電池掛片箱4內(nèi)的太陽能電池從等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè) 備沿傳送導(dǎo)軌5出來以后，電池溫度大約在180°C ，使其先通過第一個冷卻箱1對其冷卻，使 太陽能電池降溫至150°C，再通過第二個冷卻箱2，降溫至9(TC，然后通過第三個冷卻箱3， 降溫至3(TC，最后從第三個冷卻箱3出來以后，直接進(jìn)入室溫，在傳送導(dǎo)軌5的后段6上逐 步冷卻至室溫。整個過程使太陽能電池從等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備出來時的18(TC逐步 冷卻到室溫。
權(quán)利要求一種等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備后的太陽能電池冷卻裝置，其特征在于該冷卻裝置包括并排設(shè)置的三個冷卻箱(1)、(2)、(3)、電池掛片箱(4)、傳送導(dǎo)軌(5)，所述的傳送導(dǎo)軌(5)設(shè)置在三個冷卻箱(1)、(2)、(3)的上面，電池掛片箱(4)掛裝在傳送導(dǎo)軌(5)上。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備后的太陽能電池冷卻裝置， 其特征在于所述的前面的冷卻箱(1)的溫度設(shè)置為15(TC，中間的冷卻箱(2)的溫度設(shè)置 為9(TC，后面的冷卻箱(3)的溫度設(shè)置為30°C。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備后的太陽能電池冷卻裝置， 其特征在于所述的傳送導(dǎo)軌(5)貫穿于三個冷卻箱(1)、 (2)、 ( )3，并在冷卻箱以后延伸 出一段(6)置于室溫下。
專利摘要本實用新型涉及一種一種在等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備中對太陽能電池逐步冷卻的裝置，該冷卻裝置包括并排設(shè)置的三個冷卻箱、電池掛片箱、傳送導(dǎo)軌，所述的傳送導(dǎo)軌設(shè)置在三個冷卻箱的上面，電池掛片箱掛裝在傳送導(dǎo)軌上；所述的前面的冷卻箱的溫度設(shè)置為150℃，中間的冷卻箱的溫度設(shè)置為90℃，后面的冷卻箱的溫度設(shè)置為30℃；所述的傳送導(dǎo)軌貫穿于三個冷卻箱，并在冷卻箱以后延伸出一段置于室溫下，即直接在室溫下對太陽能電池進(jìn)行冷卻。本實用新型能夠?qū)μ柲茈姵卦诘入x子體化學(xué)氣相沉積工序后逐步冷卻，有利于太陽能電池的應(yīng)力釋放，保證了太陽能電池的性質(zhì)穩(wěn)定，不會有炸片的情況發(fā)生。
文檔編號H01L31/18GK201536110SQ20092009471
公開日2010年7月28日 申請日期2009年11月17日 優(yōu)先權(quán)日2009年11月17日
發(fā)明者劉萬學(xué), 劉志才, 崔慶春, 強(qiáng)艷建, 李宇, 楊繼澤, 程明輝, 魏含芳 申請人:吉林慶達(dá)新能源電力股份有限公司