專利名稱：金屬光罩盒的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型是有關(guān)于一種金屬光罩盒，特別是有關(guān)于一種金屬光罩盒 零件的鎖固方式。
背景技術(shù)：
近代半導(dǎo)體科技發(fā)展迅速，其中光學(xué)微影技術(shù)(Optical Lithography) 扮演重要的角色，只要是關(guān)于圖形(pattem)定義，皆需仰賴光學(xué)微影技術(shù)。 光學(xué)微影技術(shù)在半導(dǎo)體的應(yīng)用上，是將設(shè)計(jì)好的線路制作成具有特定形狀 可透光的光罩(photomask)。利用曝光原理，則光源通過光罩投影至硅晶圓 (silicon wafer)可曝光顯示特定圖案。由于任何附著于光罩上的塵埃顆粒(如 微粒、粉塵或有機(jī)物)都會(huì)造成投影成像的質(zhì)量劣化，用于產(chǎn)生圖形的光罩 必須保持絕對(duì)潔凈，其中SMIF系統(tǒng)的目的是為減少半導(dǎo)體工藝的儲(chǔ)存及 運(yùn)送過程中所受的微粒過量。如圖1A及圖1B所示，為一公知的一般光罩傳送盒1，其由上下蓋體 11及12組合而成，其中在下蓋體12內(nèi)的兩側(cè)邊上設(shè)置兩相對(duì)的固持裝置 121，此固持裝置121還包括一些限位片1211及抵持件1212配置其上。 此外，在兩相對(duì)的固持裝置121的其中一相鄰側(cè)邊，則還配置一限制裝置 122，使得下蓋體12由兩個(gè)固持裝置121及一個(gè)相鄰的限制裝置122形成一個(gè)近似"n"字型的結(jié)構(gòu)。因此當(dāng)一片光罩放入下蓋體12時(shí)，可由此"n" 字型的結(jié)構(gòu)來形成固定及支撐光罩。當(dāng)光罩傳送盒1的上下蓋體11及12 蓋合一光罩時(shí)，配置在固持裝置上的限位片1211及抵持件1212會(huì)支撐光 罩的邊緣，但由于上下蓋體11、 12蓋合時(shí)會(huì)有間隙產(chǎn)生，使得光罩在運(yùn) 送的過程中會(huì)在未設(shè)有限制裝置的一側(cè)(亦即"n"型結(jié)構(gòu)的開口)方向上 產(chǎn)生位移。如此，不僅使得光罩接觸到固持裝置121與限制裝置122的地 方產(chǎn)生磨損而降低的光罩的使用壽命，同時(shí)還會(huì)因?yàn)槟ゲ炼纬蓧m粒，進(jìn) 而影響良率。再者，由于公知金屬光罩盒多以高分子材質(zhì)所構(gòu)成，此種高分子材質(zhì) 具有成型容易、價(jià)格低廉以及可形成透明體的優(yōu)點(diǎn)。此種絕緣電阻高的高 分子材質(zhì)容易因?yàn)槟ゲ粱驌茈x而產(chǎn)生靜電，尤其是無塵室的作業(yè)環(huán)境需要 保持較低濕度，使高分子材質(zhì)的金屬光罩盒非常容易產(chǎn)生與累積電荷。光 罩表面的靜電容易吸引空氣中的污染微粒，更甚者還會(huì)造成光罩上的金屬 線出現(xiàn)靜電放電(electrostatic discharge, ESD)效應(yīng)。靜電放電所產(chǎn)生的瞬 間電流會(huì)引起電花(spark)或電弧(arc)，在電花與電弧發(fā)生的同時(shí)，強(qiáng)大的 電流伴隨著高溫，導(dǎo)致金屬線的氧化與溶解，因而改變了光罩的圖案。然而，金屬材質(zhì)本身即具有彈性與延展性，且密度較高分子材質(zhì)高， 因此用以制成金屬光罩盒時(shí)，若要達(dá)成輕量的要求，形成盒體的金屬板需 要盡量輕薄，但是輕薄的金屬板材容易變形，因此類似重量的金屬光罩盒 會(huì)較高分子材質(zhì)的金屬光罩盒易產(chǎn)生形變，而導(dǎo)致金屬光罩盒的損壞。實(shí)用新型內(nèi)容為解決前述背景技術(shù)中的問題，本實(shí)用新型的目的在于提供一種金屬 光罩盒零件之鎖固方式。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供的金屬光罩盒，其包含 一金屬上蓋體；一金屬下蓋體，用以與該金屬上蓋體組合，形成一內(nèi)部空間可容納光罩；至少一零件，設(shè)于該金屬上蓋體或是下蓋體上；以及 至少一鎖固件，將該零件固設(shè)于該金屬上蓋體或是下蓋體上。 所述的金屬光罩盒，其中該鎖固件為一鉚釘。 所述的金屬光罩盒，其中該鎖固件為一螺絲。 所述的金屬光罩盒，其中該鎖固件由大致由金屬材料制成。 所述的金屬光罩盒，其中該零件為一接合機(jī)構(gòu)，設(shè)于該金屬光罩盒的一側(cè)邊上，用以連接該金屬上蓋體及該金屬下蓋體。所述的金屬光罩盒，其中該零件為一鎖扣件，設(shè)于該金屬光罩盒的一側(cè)邊上，用以扣合該金屬上蓋體及該金屬下蓋體。所述的金屬光罩盒，其中該鎖扣件為一高分子材料所形成。 所述的金屬光罩盒，其中該零件為一扣壓件。所述的金屬光罩盒，其中該扣壓件設(shè)于該金屬上蓋體或金屬下蓋體內(nèi) 的角落。本實(shí)用新型提供的金屬光罩盒，還可以包含 一金屬上蓋體；一金屬下蓋體用以與該金屬上蓋體組合，形成一內(nèi)部空間可容納光罩；至少一扣壓件，設(shè)于該金屬上蓋體或是下蓋體內(nèi)；以及 至少一鎖固件，將該扣壓件固設(shè)于該金屬上蓋體或是下蓋體上。 所述的金屬光罩盒，其中該扣壓件包括一座體，以復(fù)數(shù)個(gè)支撐點(diǎn)固接于該金屬光罩盒的金屬上蓋體及金屬下蓋體內(nèi)各角落的位置；以及一彎曲彈性組件，其一彎曲的端部結(jié)合于該座體上，另一彎曲的端部 則呈彈性懸浮狀態(tài)于該單或復(fù)數(shù)個(gè)支撐點(diǎn)之間，且進(jìn)一步包括一頂持面及 一扣壓面；其中，當(dāng)該金屬光罩盒承載一光罩且蓋合時(shí)，該彎曲彈性組件的該頂 持面及該扣壓面與該光罩接觸并固定。本實(shí)用新型提供的金屬光罩盒，還可以包含 一金屬上蓋體，具有一大致平坦的底面；一金屬下蓋體用以與該金屬上蓋體組合，形成一內(nèi)部空間可容納光 罩，該金屬下蓋體亦具有一大致平坦的底面；以及 至少一補(bǔ)強(qiáng)結(jié)構(gòu)設(shè)于該上蓋體或是下蓋體的底面。 所述的金屬光罩盒，其中該補(bǔ)強(qiáng)結(jié)構(gòu)設(shè)于該上蓋體或是下蓋體的角落。所述的金屬光罩盒，其中該補(bǔ)強(qiáng)結(jié)構(gòu)設(shè)于該上蓋體或是下蓋體的中央 部份。所述的金屬光罩盒，其中該補(bǔ)強(qiáng)結(jié)構(gòu)是向內(nèi)部空間凹入的結(jié)構(gòu)。 所述的金屬光罩盒，其中該補(bǔ)強(qiáng)結(jié)構(gòu)是向外部空間凸出的結(jié)構(gòu)。所述的金屬光罩盒，其中該補(bǔ)強(qiáng)結(jié)構(gòu)具有一底面，而該上蓋體或下蓋體的底面與該補(bǔ)強(qiáng)結(jié)構(gòu)的底面的落差為約2至約5mm。所述的金屬光罩盒，其中該補(bǔ)強(qiáng)結(jié)構(gòu)與該上蓋體或是下蓋體一體成型。所述的金屬光罩盒，其中該補(bǔ)強(qiáng)結(jié)構(gòu)大致呈三角形。 所述的金屬光罩盒，其中該金屬光罩盒至少包含一第一補(bǔ)強(qiáng)結(jié)構(gòu)設(shè)于該上蓋體， 一第二補(bǔ)強(qiáng)結(jié)構(gòu)設(shè)于下蓋體大致對(duì)應(yīng)于該第一補(bǔ)強(qiáng)結(jié)構(gòu)的位置。所述的金屬光罩盒，其中該第一補(bǔ)強(qiáng)結(jié)構(gòu)與該第二補(bǔ)強(qiáng)結(jié)構(gòu)的大小不所述的金屬光罩盒，另包含至少一扣壓件設(shè)于該補(bǔ)強(qiáng)結(jié)構(gòu)上。 所述的金屬光罩盒，其中該金屬光罩盒的金屬材質(zhì)大致可為不銹鋼、 鋁合金或鎂合金。由本實(shí)用新型的實(shí)施，可避免黏著劑或是焊料等污染問題，且可提供 足夠的連接強(qiáng)度，使得金屬光罩盒既具有防止靜電放電的優(yōu)點(diǎn)，又能具有 適當(dāng)?shù)牧慵也粨?dān)心污染問題。亦提供一種具有補(bǔ)強(qiáng)結(jié)構(gòu)的金屬光罩盒的 結(jié)構(gòu)，可避免金屬型變所產(chǎn)生的問題，且可提供足夠的鋼性與強(qiáng)度，使得 光罩盒既具有防止靜電放電的優(yōu)點(diǎn)，又能堅(jiān)固并長(zhǎng)期使用。


圖1A與圖1B是公知的光罩傳送盒的示意圖。 圖2是本實(shí)用新型金屬光罩盒的一實(shí)施例示意圖。圖2A是本實(shí)用新型金屬光罩盒凸腳的一實(shí)施例示意圖。 圖3是本實(shí)用新型金屬光罩盒的一實(shí)施例示意圖。 圖4是本實(shí)用新型金屬光罩盒的一實(shí)施例示意圖。圖4A是本實(shí)用新型鎖固件固設(shè)零件的一實(shí)施例剖面圖。圖5是本實(shí)用新型金屬光罩盒的一實(shí)施例爆炸圖。圖6A與圖6B是本實(shí)用新型扣壓件的一實(shí)施例示意圖。附圖中主要組件符號(hào)說明1光罩傳送盒(公知技術(shù))11上蓋體(公知技術(shù))12下蓋體(公知技術(shù))121固持裝置(公知技術(shù))1211限位片(公知技術(shù))1212底持件(公知技術(shù))122限制裝置(公知技術(shù))2金屬光罩盒21金屬上蓋體211蓋體底面22金屬下蓋體221蓋體底面23板子24凸腳25接合機(jī)構(gòu)26鎖扣件27扣壓件271座體2711支撐點(diǎn)2712頂持面2713扣壓面272彎曲彈性組件28鉚釘29底面30補(bǔ)強(qiáng)結(jié)構(gòu)31第一補(bǔ)強(qiáng)結(jié)構(gòu)32第二補(bǔ)強(qiáng)結(jié)構(gòu)33補(bǔ)強(qiáng)結(jié)構(gòu)底面具體實(shí)施方式
本實(shí)用新型提供的金屬光罩盒是由金屬上蓋體與金屬下蓋體組合而 成，形成一內(nèi)部空間可容納光罩，金屬光罩盒具有至少一零件與至少一鎖 固件，該零件設(shè)于金屬上蓋體或金屬下蓋體上，其可為接合機(jī)構(gòu)、鎖扣件 或扣壓件，該鎖固件將零件固設(shè)于金屬上蓋體或金屬下蓋體上，其可為鉚 釘或螺絲。此外，金屬光罩盒由金屬上蓋體與金屬下蓋體組合而成，形成一個(gè)可 容納光罩的內(nèi)部空間，金屬光罩盒的金屬上蓋體與金屬下蓋體具有一大致平坦的底面，并于金屬上蓋體或是金屬下蓋體的底面上設(shè)有至少一補(bǔ)強(qiáng)結(jié) 構(gòu)。本實(shí)用新型提供的金屬光罩盒，可減少電荷累積，并且防止靜電對(duì)光 罩所造成的傷害。本實(shí)用新型提供的金屬光罩盒，可由扣壓件固定光罩，以避免光罩于 運(yùn)送過程中產(chǎn)生碰撞而損害光罩。本實(shí)用新型提供的金屬光罩盒，其零件以鉚釘方式鎖固，以避免傳統(tǒng) 燒結(jié)方式所產(chǎn)生的微粒，減少污染源。本實(shí)用新型的提供的金屬光罩盒，其零件以螺絲方式鎖固，以避免傳 統(tǒng)燒結(jié)方式所產(chǎn)生的微粒，減少污染源。本實(shí)用新型提供的金屬光罩盒，可由其補(bǔ)強(qiáng)結(jié)構(gòu)，增加金屬成型的鋼 性與強(qiáng)度，以克服型變的缺點(diǎn)。本實(shí)用新型提供的金屬光罩盒，其側(cè)邊具有至少一板子，可使金屬光 罩盒直立式擺放，亦可于其上黏貼標(biāo)簽，以便于辨識(shí)金屬光罩盒的內(nèi)容物。本實(shí)用新型提供的金屬光罩盒，其側(cè)邊具有至少一凸腳，可使金屬光 罩盒直立式擺放。由于本實(shí)用新型公開一種金屬光罩盒及其零件的鎖固方式，其中所利 用到的一些光罩或金屬光罩盒的詳細(xì)制造或處理過程，是利用現(xiàn)有技術(shù)來 實(shí)現(xiàn)，故在下述說明中，并不作完整描述。而且下述的附圖，亦并未依據(jù) 實(shí)際的相關(guān)尺寸完整繪制，其作用僅在表達(dá)與本實(shí)用新型特征有關(guān)的示意圖。本實(shí)用新型提供的金屬光罩盒，用以解決靜電放電的問題，然而，由于一般金屬光罩盒多以高分子材料制成，其上的零件例如光罩的支撐件可 直接黏合在高分子的金屬光罩盒上。當(dāng)金屬光罩盒變成金屬材料，則需要 提供新穎的固接方式，并且不能對(duì)金屬光罩盒造成污染。 一般將零件固接 在金屬材質(zhì)上，會(huì)采用焊接或是黏著的方式，但是黏著劑或是焊接所需要 的助焊劑以及焊料本身會(huì)殘留在連接處，且會(huì)在金屬光罩盒的使用中揮發(fā) 出來污染金屬光罩盒的內(nèi)部。此外，由于該金屬光罩盒大致為金屬材質(zhì)所制成，材質(zhì)上具有金屬原 有的彈性，因此當(dāng)金屬光罩盒的上蓋體與卞蓋體為一平坦的底面時(shí)，容易 產(chǎn)生型變，導(dǎo)致金屬光罩盒損壞。圖2是本實(shí)用新型金屬光罩盒的一較佳實(shí)施例示意圖，金屬光罩盒2由金屬上蓋體21與金屬下蓋體22組合而成，形成一個(gè)可容納光罩的內(nèi)部 空間，且此金屬光罩盒2的金屬材質(zhì)可為不銹鋼、鋁合金或鎂合金。此金 屬光罩盒2另可包含至少一個(gè)板子23或至少一凸腳24(請(qǐng)參考圖2A),板 子23與凸腳24是用以使金屬光罩盒2可直立式擺放，此外亦可于板子23 上黏貼標(biāo)簽，以便于辨識(shí)金屬光罩盒2的內(nèi)容物。金屬光罩盒2的一側(cè)邊 上設(shè)有一接合機(jī)構(gòu)25，并利用鉚釘28或螺絲將接合機(jī)構(gòu)25固設(shè)于金屬上 蓋體21或是金屬下蓋體22上，且該鉚釘28或螺絲大致由金屬材料所制 成，接合機(jī)構(gòu)25用以連接金屬上蓋體21及金屬下蓋體22(請(qǐng)參考圖5)。圖3是本實(shí)用新型金屬光罩盒的另一較佳實(shí)施例示意圖，金屬光罩盒 2的一側(cè)邊上設(shè)有一鎖扣件26，并利用鉚釘28或螺絲將鎖扣件26固設(shè)于 金屬上蓋體21或是金屬下蓋體22上，且該鉚釘28或螺絲大致一由金屬材 料所制成，鎖扣件26用以扣合金屬上蓋體21及-金屬下蓋體22，且該鎖扣件26為高分子材料所形成(請(qǐng)參考圖5)。圖4是本實(shí)用新型金屬光罩盒的又一較佳實(shí)施例示意圖，金屬光罩盒 2的金屬上蓋體21或金屬下蓋體22內(nèi)具有一大致平坦的底面29，扣壓件 27則設(shè)于各角落，并利用鉚釘28或螺絲將扣壓件27固設(shè)于金屬上蓋體 21或是金屬下蓋體22上，且該鉚釘28或螺絲大致由金屬材料所制成(請(qǐng) 參考圖4A)，此外，若該金屬光罩盒2另包含至少一補(bǔ)強(qiáng)結(jié)構(gòu)30設(shè)于底面 29上，扣壓件27則設(shè)于補(bǔ)強(qiáng)結(jié)構(gòu)30上，并利用鉚釘28或螺絲固設(shè)(請(qǐng)參 考圖5)。其中，金屬光罩盒2的補(bǔ)強(qiáng)結(jié)構(gòu)30大致呈三角形，并設(shè)于上蓋體21 或是下蓋體22的角落或中央，其中補(bǔ)強(qiáng)結(jié)構(gòu)30為向內(nèi)部空間凹入的結(jié)構(gòu)， 亦可為向外部空間凸出的結(jié)構(gòu)，該補(bǔ)強(qiáng)結(jié)構(gòu)30具有一底面33，上蓋體21 或下蓋體22的底面211或221與該補(bǔ)強(qiáng)結(jié)構(gòu)30底面33的落差為約2至 約5mm。于金屬光罩盒2中，設(shè)于上蓋體21或下蓋體22的補(bǔ)強(qiáng)結(jié)構(gòu)30 可區(qū)分成第一補(bǔ)強(qiáng)結(jié)構(gòu)31與第二補(bǔ)強(qiáng)結(jié)構(gòu)32，第一補(bǔ)強(qiáng)結(jié)構(gòu)31設(shè)于上蓋 體21，第二補(bǔ)強(qiáng)結(jié)構(gòu)32設(shè)于下蓋體22大致對(duì)應(yīng)于第一補(bǔ)強(qiáng)結(jié)構(gòu)31的位 置，其中第一補(bǔ)強(qiáng)結(jié)構(gòu)31與該第二補(bǔ)強(qiáng)結(jié)構(gòu)32的大小不一。圖6A與圖6B是本實(shí)用新型扣壓件的一較佳實(shí)施例示意圖，扣壓件 27結(jié)構(gòu)的特征包括一座體271以及至少一個(gè)彎曲彈性組件272，且此扣壓 件27為高分子材料所形成。座體271是以復(fù)數(shù)個(gè)支撐點(diǎn)2711固接于該金 屬光罩盒2的金屬上蓋體21及金屬下蓋體22內(nèi)各角落的位置，且其座體 271大致為兩兩一對(duì)(請(qǐng)參考圖5)。彎曲彈性組件272其一彎曲的端部結(jié)合 于座體271上，另一彎曲的端部則呈彈性懸浮狀態(tài)于單數(shù)個(gè)或復(fù)數(shù)個(gè)支撐點(diǎn)2711之間，且彎曲彈性組件272進(jìn)一步包括一頂持面2712及一扣壓面 2713。當(dāng)金屬光罩盒2承載一光罩且蓋合時(shí)，該彎曲彈性組件272的頂持 面2712及扣壓面2713會(huì)與該光罩接觸并固定的，以避免光罩于運(yùn)送過程 中產(chǎn)生碰撞而損害光罩。其中，扣壓件27可設(shè)于金屬光罩盒2的上蓋體21或下蓋體22上， 亦可設(shè)于補(bǔ)強(qiáng)結(jié)構(gòu)30上，于金屬光罩盒2中，第一補(bǔ)強(qiáng)結(jié)構(gòu)31設(shè)于金屬 上蓋體21 ，第二補(bǔ)強(qiáng)結(jié)構(gòu)32設(shè)于金屬下蓋體22大致對(duì)應(yīng)于第一補(bǔ)強(qiáng)結(jié)構(gòu) 31的位置，且第一補(bǔ)強(qiáng)結(jié)構(gòu)31與該第二補(bǔ)強(qiáng)結(jié)構(gòu)32的大小不一，因此當(dāng) 金屬上蓋體21與金屬下蓋體22蓋合時(shí)，金屬上蓋體21或金屬下蓋體22 上的扣壓件27會(huì)錯(cuò)開，以此可確保對(duì)光罩施與平均的壓力，有助于定位 且降低光罩損壞的可能性。以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并非用以限定本實(shí)用新 型的權(quán)利要求；同時(shí)以上的描述，對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)可明了及實(shí)施， 因此其它未脫離本發(fā)明所揭示的精神下所完成的等效改變或修飾，均應(yīng)包 含在本實(shí)用新型申請(qǐng)的權(quán)利要求范圍中。
權(quán)利要求1. 一種金屬光罩盒，其特征在于，包含一金屬上蓋體；一金屬下蓋體，與該金屬上蓋體組合，形成一內(nèi)部空間可容納光罩；至少一零件，設(shè)于該金屬上蓋體或是下蓋體上；以及至少一鎖固件，將該零件固設(shè)于該金屬上蓋體或是下蓋體上。
2、 如權(quán)利要求1所述的金屬光罩盒，其特征在于，其中該鎖固件為 一鉚釘。
3、 如權(quán)利要求1所述的金屬光罩盒，其特征在于，其中該鎖固件為一螺絲。
4、 如權(quán)利要求1所述的金屬光罩盒，其特征在于，其中該鎖固件大 致由金屬材料制成。
5、 如權(quán)利要求1所述的金屬光罩盒，其特征在于，其中該零件為一 接合機(jī)構(gòu)，設(shè)于該金屬光罩盒的一側(cè)邊上，連接該金屬上蓋體及該金屬下 蓋體。
6、 如權(quán)利要求1所述的金屬光罩盒，其特征在于，其中該零件為一 鎖扣件，設(shè)于該金屬光罩盒的一側(cè)邊上，扣合該金屬上蓋體及該金屬下蓋 體。
7、 如權(quán)利要求6所述的金屬光罩盒，其特征在于，其中該鎖扣件為 一高分子材料。
8、 如權(quán)利要求1所述的金屬光罩盒，其特征在于，其中該零件為一扣壓件。
9、 如權(quán)利要求8所述的金屬光罩盒，其特征在于，其中該扣壓件設(shè) 于該金屬上蓋體或金屬下蓋體內(nèi)的角落。
10、 一種金屬光罩盒，其特征在于，包含 一金屬上蓋體；一金屬下蓋體，與該金屬上蓋體組合，形成一內(nèi)部空間可容納光罩； 至少一扣壓件，設(shè)于該金屬上蓋體或是下蓋體內(nèi)；以及 至少一鎖固件，將該扣壓件固設(shè)于該金屬上蓋體或是下蓋體上。
11、 如權(quán)利要求10所述的金屬光罩盒，其特征在于，其中該扣壓件 包括一座體，以復(fù)數(shù)個(gè)支撐點(diǎn)固接于該金屬光罩盒的金屬上蓋體及金屬下 蓋體內(nèi)各角落的位置；以及一彎曲彈性組件，其一彎曲的端部結(jié)合于該座體上，另一彎曲的端部 則呈彈性懸浮狀態(tài)于該單或復(fù)數(shù)個(gè)支撐點(diǎn)之間，且進(jìn)一步包括一頂持面及 一扣壓面；其中，當(dāng)該金屬光罩盒承載一光罩且蓋合時(shí)，該彎曲彈性組件的該頂 持面及該扣壓面與該光罩接觸并固定。
12、 一種金屬光罩盒，其特征在于，包含 一金屬上蓋體，具有一大致平坦的底面；一金屬下蓋體，與該金屬上蓋體組合，形成一內(nèi)部空間可容納光罩， 該金屬下蓋體亦具有一大致平坦的底面；以及至少一補(bǔ)強(qiáng)結(jié)構(gòu)設(shè)于該上蓋^:或是下蓋體的底面。
13、 如權(quán)利要求12所述的金屬光罩盒，其特征在于，其中該補(bǔ)強(qiáng)結(jié) 構(gòu)設(shè)于該上蓋體或是下蓋體的角落。
14、 如權(quán)利要求12所述的金屬光罩盒，其特征在于，其中該補(bǔ)強(qiáng)結(jié)構(gòu)設(shè)于該上蓋體或是下蓋體的中央部份。
15、 如權(quán)利要求12所述的金屬光罩盒，其特征在于，其中該補(bǔ)強(qiáng)結(jié) 構(gòu)是向內(nèi)部空間凹入的結(jié)構(gòu)。
16、 如權(quán)利要求12所述的金屬光罩盒，其特征在于，其中該補(bǔ)強(qiáng)結(jié) 構(gòu)是向外部空間凸出的結(jié)構(gòu)。
17、 如權(quán)利要求15或16所述的金屬光罩盒，其特征在于，其中該補(bǔ) 強(qiáng)結(jié)構(gòu)具有一底面，而該上蓋體或下蓋體的底面與該補(bǔ)強(qiáng)結(jié)構(gòu)的底面的落 差為2-5mm。
18、 如權(quán)利要求12所述的金屬光罩盒，其特征在于，其中該補(bǔ)強(qiáng)結(jié) 構(gòu)與該上蓋體或是下蓋體一體成型。
19、 如權(quán)利要求12所述的金屬光罩盒，其特征在于，其中該補(bǔ)強(qiáng)結(jié) 構(gòu)大致呈三角形。
20、 如權(quán)利要求12所述的金屬光罩盒，其特征在于，其中該金屬光 罩盒至少包含一第一補(bǔ)強(qiáng)結(jié)構(gòu)設(shè)于該上蓋體， 一第二補(bǔ)強(qiáng)結(jié)構(gòu)設(shè)于下蓋體 大致對(duì)應(yīng)于該第一補(bǔ)強(qiáng)結(jié)構(gòu)的位置。
21、 如權(quán)利要求20所述的金屬光罩盒，其特征在于，其中該第一補(bǔ) 強(qiáng)結(jié)構(gòu)與該第二補(bǔ)強(qiáng)結(jié)構(gòu)的大小不一。
22、 如權(quán)利要求12所述的金屬光罩盒，其特征在于，另包含至少一 扣壓件設(shè)于該補(bǔ)強(qiáng)結(jié)構(gòu)上。
23、如權(quán)利要求1、 10或12所述的金屬光罩盒，其特征在于，其中 該金屬光罩盒的金屬材質(zhì)大致為不銹鋼、鋁合金或鎂合金。
專利摘要本實(shí)用新型提供一種金屬光罩盒，其由金屬上蓋體與金屬下蓋體組合而成，形成一內(nèi)部空間可容納光罩，金屬光罩盒具有至少一零件與至少一鎖固件，該零件設(shè)于金屬上蓋體或金屬下蓋體上，其可為接合機(jī)構(gòu)、鎖扣件或扣壓件，該鎖固件將零件固設(shè)于金屬上蓋體或金屬下蓋體上，其可為鉚釘或螺絲。
文檔編號(hào)H01L21/673GK201107547SQ20072012559
公開日2008年8月27日 申請(qǐng)日期2007年9月29日 優(yōu)先權(quán)日2007年9月29日
發(fā)明者邱銘乾, 陳建達(dá) 申請(qǐng)人:家登精密工業(yè)股份有限公司