專利名稱：金屬光罩盒及其過濾裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型是有關(guān)于一種光罩盒，特別是有關(guān)于一種金屬光罩盒及其 過濾裝置。
背景技術(shù)：
近代半導(dǎo)體科技發(fā)展迅速，其中光學(xué)微影技術(shù)(Optical Lithography) 扮演重要的角色，只要是關(guān)于圖形(pattem)定義，皆需仰賴光學(xué)微影技術(shù)。 光學(xué)微影技術(shù)在半導(dǎo)體的應(yīng)用上，是將設(shè)計(jì)好的線路制作成具有特定形狀 可透光的光罩(photomask)。利用曝光原理，則光源通過光罩投影至硅晶圓 (silicon wafer)可曝光顯示特定圖案。由于任何附著于光罩上的塵埃顆粒(如 微粒、粉塵或有機(jī)物)都會造成投影成像的質(zhì)量劣化，用于產(chǎn)生圖形的光罩 必須保持絕對潔凈，因此在一般的晶圓制備過程中，都提供無塵室(clean room)的環(huán)境以避免空氣中的顆粒污染。然而，目前的無塵室也無法達(dá)到 絕對無塵狀態(tài)。因此，現(xiàn)代的半導(dǎo)體制備過程皆利用抗污染的光罩盒(retide pod)進(jìn)行 光罩的保存與運(yùn)輸，以使光罩保持潔凈。光罩盒是在半導(dǎo)體制備過程中用 于存放光罩，以利光罩在機(jī)臺之間的搬運(yùn)與傳送，并隔絕光罩與大氣的接 觸，避免光罩被雜質(zhì)污染而產(chǎn)生變化。因此，在先進(jìn)的半導(dǎo)體廠中，通常 會要求光罩傳送盒的潔凈度要符合機(jī)械標(biāo)準(zhǔn)接口 (Standard MechanicalInterface; SMIF)，也就是說保持潔凈度在Class 1以下。故，在光罩盒中 充入氣體便是目前解決的手段之一。然而，為了進(jìn)一步提升產(chǎn)品的良率及降低制造的成本，除了達(dá)到潔凈 度的標(biāo)準(zhǔn)要求的外，還要克服因?yàn)橥鈦須怏w對于光罩的污染。這樣的外來 氣體除了大氣以外，還有兩個(gè)來源，其一是源自于高分子材料所制成的光 罩傳送盒本身所釋出的氣體(outgasing)，其二是源自于殘留在光罩表面的 微量化學(xué)溶液所產(chǎn)生的揮發(fā)氣體。這些非期望氣體會對光罩的表面產(chǎn)生霧 化作用，使得光罩無法再使用而必須報(bào)廢的窘境，使得制造成本增加。在 光罩傳送盒中充入氣體是目前解決光罩霧化的手段之一，其中如何保持充 入氣體的潔凈度，是一個(gè)重要的議題。再者，由于公知的光罩盒多以高分子材質(zhì)所構(gòu)成，此種高分子材質(zhì)具 有成型容易、價(jià)格低廉以及可形成透明體的優(yōu)點(diǎn)。此種絕緣電阻高的高分 子材質(zhì)容易因?yàn)槟ゲ粱驌茈x而產(chǎn)生靜電，尤其是無塵室的作業(yè)環(huán)境需要保 持較低濕度，使高分子材質(zhì)的光罩盒非常容易產(chǎn)生與累積電荷。光罩表面 的靜電容易吸引空氣中的污染微粒，更甚者還會造成光罩上的金屬線出現(xiàn) 靜電放電(electrostatic discharge, ESD)效應(yīng)。靜電放電所產(chǎn)生的瞬間電流 會引起電花(spark)或電弧(arc)，在電花與電弧發(fā)生的同時(shí)，強(qiáng)大的電流伴 隨著高溫，導(dǎo)致金屬線的氧化與溶解，因而改變了光罩的圖案。目前針對靜電放電所解決的方法有許多，首先是改善作業(yè)環(huán)境，使空 氣中維持適當(dāng)?shù)臐穸取⒆鳂I(yè)人員穿著具接地效應(yīng)的衣物或使用離子扇消除 環(huán)境中的靜電。但是改變作業(yè)環(huán)境的具有許多無法預(yù)測的變因，沒有辦法 完全解決靜電對光罩的傷害。實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種金屬光罩盒及其過濾裝置，以對公知 技術(shù)加以改良。為上實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供金屬光罩盒，其包含 一金屬上蓋體；一金屬下蓋體用以與該金屬上蓋體組合，形成一內(nèi)部空間可容納光罩；至少一通孔，設(shè)于該金屬上蓋體或該金屬下蓋體的側(cè)邊，用以連通該 內(nèi)部空間以及光罩盒的外部空間；以及 至少一過濾裝置覆蓋該通孔。 所述的金屬光罩盒，其中該過濾裝置包含一彈性套件，用以卡設(shè)于該通孔，該彈性套件具有一第一開口對應(yīng)于 該通孑L;一夾持件，卡設(shè)于該彈性套件中，其中該夾持件具有至少一孔洞，該 孔洞設(shè)于對應(yīng)于該彈性套件的第一開口的位置；以及 一過濾薄膜夾設(shè)于該夾持件上具有該孔洞的位置。 所述的金屬光罩盒，其中該夾持件由一第一部份以及一第二部份組成。所述的金屬光罩盒，其特征在于，其中該過濾薄膜是夾持(sandwiched)于該第 一部份以及第二部份之間。所述的金屬光罩盒，其中該夾持件的第一部份以及第二部份至少其中之一具有一凹陷部面向該第一部分與第二部份之間，用以形成一空間容置 該過濾薄膜。所述的金屬光罩盒，其中該夾持件的第一部份以及第二部份至少其中 之一具有一凹陷部，另一則具有一凸出部，該凹陷部與該凸出部面向該第 一部分與第二部份之間，且該凹陷部大于該凸出部。所述的金屬光罩盒，其中該第一部份以及第二部分為對稱且一體成型。所述的金屬光罩盒，其中該第一部份以及第二部分為兩個(gè)分離的組件。所述的金屬光罩盒，其中該第一部份以及第二部分為兩個(gè)相同的組件。所述的金屬光罩盒，其中該第一部份以及第二部分各具有該孔洞。 所述的金屬光罩盒，其中該彈性套件第一開口的周圍具有一突出部。 所述的金屬光罩盒，該彈性套件是以該突出部卡設(shè)于該光罩盒的通孔。所述的金屬光罩盒，其中該彈性套件的突出部另包含一溝槽，該突出 部是以該溝槽卡設(shè)于該光罩盒的通孔。所述的金屬光罩盒，其中另包含至少一邊墻設(shè)于該通孔周圍，其中該 彈性套件卡設(shè)于該邊墻。所述的金屬光罩盒，其中另包含至少一邊墻設(shè)于該通孔周圍，其中該 彈性套件是以該突出部卡設(shè)于該光罩盒的邊墻。所述的金屬光罩盒，其中該邊墻是與該上蓋體或T"蓋體一體成型。所述的金屬光罩盒，其中另包含至少一邊墻設(shè)于該通孔周圍，其中該邊墻可焊接于上蓋體或下蓋體。所述的金屬光罩盒，其中該過濾裝置包含一過濾片以及一中空框架卡設(shè)于該邊墻中，使得該過濾片被夾設(shè)于該框架以及該光罩盒之間。 所述的金屬光罩盒，其中該邊墻是朝向該內(nèi)部空間延伸。 所述的金屬光罩盒，其中該邊墻是朝向該外部空間延伸。 所述的金屬光罩盒，其中該彈性套件另包含一大于該第一開口的第二開口，該第二幵口周圍設(shè)有卡持部，用以卡持該夾持件。所述的金屬光罩盒，其中該彈性套件為一高分子材料所形成。 所述的金屬光罩盒，其中該夾持件為金屬材質(zhì)。 所述的金屬光罩盒，其中該過濾薄膜為混合纖維所制成。 本實(shí)用新型提供的過濾裝置，用以覆蓋一光罩盒的通孔，該通孔用以連通該光罩盒的內(nèi)部空間以及光罩盒的外部空間，其中，該過濾裝置包含 一彈性套件，用以卡設(shè)于該通孔，該彈性套件具有一第一開口對應(yīng)于該通孑L;一夾持件，卡設(shè)于該彈性套件中，其中該夾持件具有至少一孔洞，該 孔洞設(shè)于對應(yīng)于該彈性套件的第一開口的位置；以及 一過濾薄膜夾設(shè)于該夾持件上具有該孔洞的位置。 本實(shí)用新型提供的金屬光罩盒，還包含-一金屬上蓋體，具有一邊緣界定出一開口；一金屬下蓋體用以與該金屬上蓋體組合，形成一內(nèi)部空間可容納光 罩，且該下蓋體亦具有一邊緣^_界萣一開口與該上蓋體的開口相對；至少一氣密墊圈包含一溝槽，該氣密墊圈由該溝槽卡設(shè)于該上蓋體或 是下蓋體的邊緣上使得該內(nèi)部空間成為封閉的空間。所述的金屬光罩盒，其中該溝槽具有開口端以及底部，且開口端的寬 度較底部為窄。所述的金屬光罩盒，其中該氣密墊圈是由一黏合劑固接于該上蓋體或是下蓋體的邊緣上。所述的金屬光罩盒，其中該氣密墊圈是由一膠帶固接于該上蓋體或是下蓋體的邊緣上。所述的金屬光罩盒，其中該氣密墊圈大致由高分子樹脂制成。 所述的金屬光罩盒，其中該氣密墊圈大致由導(dǎo)電膠制成。 所述的金屬光罩盒，其中該金屬光罩盒的材質(zhì)大致為不銹鋼系列或鋁A全 縫厶仝n五、妖n並o所述的金屬光罩盒，其中另包含一扣壓件設(shè)于該上蓋體或下蓋體內(nèi)。所述的金屬光罩盒，其中該扣壓件結(jié)構(gòu)包括一座體，以復(fù)數(shù)個(gè)支撐點(diǎn)固接于該光罩盒的金屬上蓋體及金屬下蓋體 內(nèi)各角落的位置；一彎曲彈性組件，其一彎曲的端部結(jié)合于該座體上，另一彎曲的端部 則呈彈性懸浮狀態(tài)于該單或復(fù)數(shù)個(gè)支撐點(diǎn)之間，且進(jìn)一步包括一頂持面及一扣壓面；其中，當(dāng)該光罩盒承載一光罩且蓋合時(shí)，該彎曲彈性組件的該頂持面 及該扣壓面于蓋合時(shí)會與該光罩接觸并固定。由本實(shí)用薪—型的實(shí)施，可避免設(shè)計(jì)復(fù)雜等問題，且又可提供較佳的氣密程度，使得光罩盒既具有防止靜電放電的優(yōu)點(diǎn)，又能具有氣密效果佳且 不擔(dān)心成本高昂的問題。


圖1A與圖1B是一公知技術(shù)，為一種金屬光罩盒的示意圖。圖1C是本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例，為一種金屬光罩盒凸腳的示意圖。圖2A是本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例，為一種過濾裝置的示意圖。 圖2B是本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例，為一種彈性套件的示意圖。 圖2C是本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例，為一種夾持件的示意圖。 圖3A至圖3C是本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例，為光罩盒與過濾裝置卡 設(shè)的示意圖。圖4A是本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例，為一種光罩盒與氣密墊圈的示意圖。圖4B是本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例的剖面圖，為一種氣密墊圈的示意圖。圖4C是本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例，為一種光罩盒與氣密墊圈的示意圖。圖5A至圖5C是本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例，為一種扣壓件的示意圖。 附圖中主要組件標(biāo)記說明1光罩盒l(wèi)l金屬上蓋體111金屬上蓋體邊緣112鎖固孔12金屬下蓋體121金屬下蓋體邊緣122鎖固孔13通孔131邊墻14接合機(jī)構(gòu)15鎖扣件16板子17凸腳18氣密墊圈181溝槽1811幵口端1812底部182氣密墊圈座耳2過濾裝置21彈性套件211第一開口212第二開口213突出部213a溝槽214卡持部22夾持件221孔洞 222第一部份 223第二部份 224凹陷部 225凸出部 23過濾薄膜 3壓扣件 31座體 311支撐點(diǎn) 312頂持面 313扣壓面 32彎曲彈性組件具體實(shí)施方式
本實(shí)用新型是一種具有過濾裝置以及具有氣密效果的金屬光罩盒。光 罩盒是由金屬上蓋體與金屬下蓋體組合而成，形成一內(nèi)部空間可容納光 罩，此光罩盒的金屬上蓋體或該金屬下蓋體側(cè)邊設(shè)有至少一通孔，用以連 通光罩盒的內(nèi)部空間以及外部空間，以及一過濾裝置覆蓋該通孔。該過濾 裝置可為一體成形，或是由多個(gè)部件構(gòu)成。根據(jù)本發(fā)明一較佳實(shí)施例，該 過濾裝置可包含彈性套件、夾持件與過濾薄膜，彈性套件是用以卡設(shè)于該 通孔上，此彈性套件具有一對應(yīng)于通孔的第一開口，夾持件卡設(shè)于彈性套件中，且具有至少一孔洞，該孔洞設(shè)于對應(yīng)于彈性套件的第一開口的位置， 過濾薄膜夾設(shè)于該夾持件上具有該孔洞的位置。此外，金屬光罩盒的金屬上蓋體具有一邊緣界定出一開口，金屬下蓋 體亦具有一邊緣且界定出一開口與金屬上蓋體的開口相對，并于上蓋體的 邊緣或下蓋體的邊緣上設(shè)有一氣密墊圈，使得該內(nèi)部空間成為封閉的空 間，且氣密墊圈是以卡設(shè)的方式固定在上蓋體或是下蓋體的邊緣或上。因 此，本實(shí)用新型提供的金屬光罩盒，可減少電荷累積，并且防止靜電對光 罩所造成的傷害。本實(shí)用新型的光罩盒，可由扣壓裝置固定光罩，以避免光罩于運(yùn)送過 程中產(chǎn)生碰撞而損害光罩。本實(shí)用新型的過濾裝置，可用來過濾空氣中的微塵，以避免光罩受到 污染。本實(shí)用新型的過濾裝置，可用來過濾空氣中的微塵，以保持光罩盒盒 內(nèi)的潔凈度。本實(shí)用新型的過濾裝置，利用卡設(shè)方式設(shè)于光罩盒內(nèi)，以避免微粒產(chǎn) 生，減少污染源。本實(shí)用新型的氣密裝置，使金屬光罩盒的上下蓋體蓋合時(shí)，具有較佳 的密合效果。本實(shí)用新型的氣密裝置，可保持光罩盒內(nèi)氣體的潔凈度，以避免光罩 受到污染。由于本實(shí)用新型是揭露一種具有過濾裝置的光罩盒的結(jié)構(gòu)，其中所利 用到的一些光覃或光罩盒的詳細(xì)制造或處理過程，是利用公知技術(shù)來達(dá)成，故在下述說明中，并不作完整描述。而且下述內(nèi)文中的附圖，亦并未 依據(jù)實(shí)際的相關(guān)尺寸完整繪制，其作用僅在表達(dá)與本實(shí)用新型特征有關(guān)的 示意圖。本實(shí)用新型提供一種金屬光罩盒，用以解決靜電放電的問題，然而， 由于一般光罩盒多以高分子材料制成，因此在光罩盒的上下蓋體蓋合時(shí)， 光罩盒具有彈性，易使上下蓋體密合。當(dāng)使用金屬材料制造盒體時(shí)，上下蓋密合不易，需在蓋體的邊緣做特殊加工，使蓋體具有咬合的部份，以達(dá) 成上下蓋的密合。然而，在金屬光罩盒的蓋體上做特殊加工，除了設(shè)計(jì)上 較為復(fù)雜外，所需花費(fèi)的成本亦較高。圖1A與圖1B是本實(shí)用新型金屬光罩盒的一較佳實(shí)施例示意圖，金 屬光罩盒1是由金屬上蓋體11與金屬下蓋體12組合而成，形成一個(gè)可容 納光罩的內(nèi)部空間，且此光罩盒l(wèi)的金屬材質(zhì)可為例如不銹鋼、鋁合金或鎂合金。光罩盒1的金屬上蓋體11或金屬下蓋體12的側(cè)邊設(shè)有至少一通 孔13，用以連通光罩盒l(wèi)的內(nèi)部空間以及外部空間，并以過濾裝置2覆蓋 在通孔13上。此外，于金屬光罩盒1的側(cè)邊上另包含至少一接合機(jī)構(gòu)14、 至少一鎖扣件15、至少一個(gè)板子16或至少一凸腳17(請參照圖1C)，以及 于金屬光罩盒1的上蓋體11或下蓋體12內(nèi)，另設(shè)有一扣壓件3。接合機(jī) 構(gòu)14用以連接金屬上蓋體11及金屬下蓋體12;鎖扣件15是用以扣合金 屬上蓋體11及金屬下蓋體12，且為一高分子材料所形成；板子16與凸腳 17用以使光罩盒1可直立式擺放，此外，亦可于板子16上黏貼標(biāo)簽，以 便于辨識光罩盒l(wèi)的內(nèi)容物。圖2A是本實(shí)用新型過濾裝置的一較佳實(shí)施例示意圖，過濾裝置2包含彈性套件21、夾持件22與過濾薄膜23。彈性套件21(請參照圖2B)是用 以卡設(shè)于光罩盒1的通孔13上，此彈性套件21具有第一開口 211與第二 開口 212，且第一開口 211小于第二開口 212，第一開口 211的周圍設(shè)有 一突出部213對應(yīng)并卡設(shè)于通孔13上，第二開口 212的周圍設(shè)有一卡持 部214，用以卡持夾持件22，且彈性套件21為一高分子材料所形成。夾 持件22(請參照圖2C)卡設(shè)于彈性套件21中且具有至少一孔洞221，該孔 洞221設(shè)于對應(yīng)于彈性套件21第一開口 211的位置，夾持件22是由一第 -一部份222以及一第二部份223所組成，其第一部份222以及第二部分223 各具有孔洞221 ，其第一部份222以及第二部分223可為對稱且一體成型 的組件或兩個(gè)分離的組件，亦可為兩個(gè)相同的組件，夾持件22的第一部 份222以及第二部份223至少其中之一具有一凹陷部224，另一則具有一 凸出部225，且夾持件22為金屬材質(zhì)所制成。過濾薄膜23夾持(sandwiched) 于夾持件22的第一部份222以及第二部分223之間，并夾設(shè)于夾持件22 上具有該孔洞221的位置，且過濾薄膜23為混合纖維所制成。本實(shí)用新型提供的一夾持件夾持(sandwiched)過濾薄膜的一較佳實(shí)施 例，夾持件22的第一部份222以及第二部分223皆具有凹陷部224或其 中之一具有凹陷部224面向第一部分222與第二部份223之間，用以形成 一可容置過濾薄膜23的空間。本實(shí)用新型另提供一夾持件夾持(sandwiched) 過濾薄膜的另一較佳實(shí)施例，夾持件22的第一部份222以及第二部分223 至少其中之一具有一凹陷部224，另一則具有一凸出部225，凹陷部224 與凸出部225皆面向第一部分222與第二部分223之間，且凹陷部224大 于凸出部225，用以夾持并固定過濾薄膜23于其，V圖3A是本實(shí)用新型光罩盒與過濾裝置卡設(shè)的一較佳實(shí)施例示意圖，過濾裝置2的彈性套件21以其突出部213卡設(shè)于光罩盒1的通孔13上， 且其突出部213具有一溝槽213a，該突出部213是以該溝槽213a卡設(shè)于 該光罩盒的通孔13上，以此方式將過濾裝置2卡設(shè)于光罩盒1上。圖3B 是本實(shí)用新型光罩盒與過濾裝置卡設(shè)的另一較佳實(shí)施例示意圖，光罩盒1 的通孔13周圍設(shè)有至少一邊墻131，彈性套件21以突出部213卡設(shè)于光 罩盒1的邊墻131上，其中，邊墻131與光罩盒1的上蓋體21或下蓋體 22 —體成型，或可另外焊接于光罩盒l(wèi)上，且邊墻131可朝向光罩盒1 的內(nèi)部空間延伸。圖3C是本實(shí)用新型光罩盒與過濾裝置卡設(shè)的又一較佳 實(shí)施例示意圖，邊墻131可朝向光罩盒1的外部空間延伸。根據(jù)本發(fā)明另一較佳實(shí)施例(未示于圖中)，該過濾裝置的過濾部分以 及卡設(shè)于該光罩盒的部分亦可一體成形。根據(jù)本發(fā)明又一較佳實(shí)施例(未示 于圖中)，該過濾裝置包含一過濾片與一中空框架，該過濾片以及該框架可 卡設(shè)于該通孔13周圍的邊墻131中，使得該過濾片被夾設(shè)于該框架以及 該光罩盒之間，以此覆蓋該通孔13，達(dá)成過濾的功效。圖4A是本實(shí)用新型金屬光罩盒的另一較佳實(shí)施例示意圖，金屬光罩 盒l(wèi)的金屬上蓋體ll具有一邊緣lll界定出一開口，金屬下蓋體12亦具 有一邊緣121且界定出一開口與金屬上蓋體11的開口相對，并于上蓋體 11的邊緣111或下蓋體12的邊緣121上設(shè)有一氣密墊圈18，使得該內(nèi)部 空間成為封閉的空間，且該氣密墊圈18大致由高分子樹脂或?qū)щ娔z所制 成，其中氣密墊圈18以卡設(shè)的方式固定在上蓋體11或是下蓋體12的邊 緣111或121上。根據(jù)本實(shí)用新型另一較佳實(shí)施例，該氣密墊圈18亦可直接設(shè)于該金屬上蓋體11的邊緣111或是下蓋體12的邊緣121上。.其中，該氣密墊圈18包含有一溝槽181，氣密墊圈18是由溝槽181 卡設(shè)于上蓋體11或是下蓋體12的邊緣111或121上，其中，溝槽181具 有開口端1811以及底部1812，且開口端1811的寬度較底部1812為窄(請參考圖4B)，該氣密墊圈18可直接由以上結(jié)構(gòu)與與邊緣111或121緊密接合。本實(shí)用新型提供一氣密墊圈固定于上蓋體或下蓋體邊緣上的另一較 佳實(shí)施例，該氣密墊圈18是由一黏合劑固接于上蓋體11或是下蓋體12 的邊緣111或121上。本實(shí)用新型提供一氣密墊圈固定于上蓋體或下蓋體邊緣上的再一較 佳實(shí)施例，請參考圖4C，其中上蓋體11或下蓋體12之側(cè)邊具有數(shù)個(gè)鎖 固孔112或122，氣密墊圈18上則具有數(shù)個(gè)座耳182，且鎖固孔112或 122與座耳182可相對應(yīng)，該氣密墊圈18系藉由一鎖固件將此氣密墊圈 18固設(shè)于上蓋體11或是下蓋體12的邊緣1"或121上。圖5A、圖5B與圖5C是本實(shí)用新型扣壓件的一較佳實(shí)施例示意圖， 扣壓件3結(jié)構(gòu)的特征包括一座體31以及至少一個(gè)彎曲彈性組件32，且此 扣壓件3為高分子材料所形成。座體31是以復(fù)數(shù)個(gè)支撐點(diǎn)311固接于該 光罩盒1的金屬上蓋體11及金屬下蓋體12內(nèi)各角落的位置，且其座體31 大致為兩兩一對(請參考圖5A)。彎曲彈性組件32其一彎曲的端部結(jié)合于 座體31上，另一彎曲的端部則呈彈性懸浮狀態(tài)于單數(shù)個(gè)或復(fù)數(shù)個(gè)支撐點(diǎn) 311之間，且彎曲彈性組件32進(jìn)一步包括一頂持面312及一扣壓面313。 其中，當(dāng)光S—盒1承載一光罩且蓋合時(shí)，該彎曲彈性組件32的頂持面312具有將光罩導(dǎo)正及定位的功能，而扣壓面313于蓋合時(shí)會與光罩接觸并固 定，以避免光罩于運(yùn)送過程中產(chǎn)生碰撞而損害光罩。以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并非用以限定本實(shí)用新型的申請專利權(quán)利；同時(shí)以上的描述，對于本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)可明了及實(shí)施，因此其它未脫離本發(fā)明所揭示的精神下所完成的等效改變或修飾，均 應(yīng)包含在本申請的權(quán)利要求范圍中。
權(quán)利要求1、一種金屬光罩盒，其特征在于，包含一金屬上蓋體；一金屬下蓋體，用以與該金屬上蓋體組合，形成一內(nèi)部空間可容納光罩；至少一通孔，設(shè)于該金屬上蓋體或該金屬下蓋體的側(cè)邊，連通該內(nèi)部空間以及光罩盒的外部空間；以及至少一過濾裝置覆蓋該通孔。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬光罩盒，其特征在于，其中該過濾裝 置包含一彈性套件，卡設(shè)于該通孔，該彈性套件具有一第一開口對應(yīng)于該通孔；一夾持件，卡設(shè)于該彈性套件中，其中該夾持件具有至少一孔洞，該孔洞設(shè)于對應(yīng)于該彈性套件的第一開口的位置；以及 一過濾薄膜夾設(shè)于該夾持件上具有該孔洞的位置。
3、 根據(jù)權(quán)利要求2所述的金屬光罩盒，其特征在于，其中該夾持件 由一第一部份以及一第二部份組成。
4、 根據(jù)權(quán)利要求3所述的金屬光罩盒，其特征在于，其中該過濾薄膜夾持于該第一部份以及第二部份之間。
5、 根據(jù)權(quán)利要求4所述的金屬光罩盒，其特征在于，其中該夾持件 的第一部份以及第二部份至少其中之一具有一凹陷部面向該第一部分與第二部份之間，形成一空間容置該過濾薄膜。
6、 根據(jù)權(quán)利要求4所述的金屬光罩盒，其特征在于，其中該夾持件 的第一部份以及第二部份至少其中之一具有一凹陷部，另一則具有一凸出 部，該凹陷部與該凸出部面向該第一部分與第二部份之間，且該凹陷部大 于該凸出部。
7、 根據(jù)權(quán)利要求3所述的金屬光罩盒，其特征在于，其中該第一部份以及第二部分為對稱且一體成型。
8、 根據(jù)權(quán)利要求3所述的金屬光罩盒，其特征在于，其中該第一部 份以及第二部分為兩個(gè)分離的組件。
9、 根據(jù)權(quán)利要求3所述的金屬光罩盒，其特征在于，其中該第一部 份以及第二部分為兩個(gè)相同的組件。
10、 根據(jù)權(quán)利要求3所述的金屬光罩盒，其特征在于，其中該第一部 份以及第二部分各具有該孔洞。
11、 根據(jù)權(quán)利要求2所述的金屬光罩盒，其特征在于，其中該彈性套 件第一開口的周圍具有一突出部。
12、 根據(jù)權(quán)利要求II所述的金屬光罩盒，其特征在于，該彈性套件 以該突出部卡設(shè)于該光罩盒的通孔。
13、 根據(jù)權(quán)利要求11所述的金屬光罩盒，其特征在于，該彈性套件 的突出部另包含一溝槽，該突出部以該溝槽卡設(shè)于該光罩盒的通孔。
14、 根據(jù)權(quán)利要求2所述的金屬光罩盒，其特征在于，另包含至少一 邊墻設(shè)于該通孔周圍，其中該彈性套件卡設(shè)于該邊墻。
15、 根據(jù)權(quán)利要求11所述的僉屑光罩盒，其特征在于，另包含至少一邊墻設(shè)于該通孔周圍，其中該彈性套件以該突出部卡設(shè)于該光罩盒的邊+血 I回O
16、 根據(jù)權(quán)利要求14或15所述的金屬光罩盒，其特征在于，其中該 邊墻是與該上蓋體或下蓋體一體成型。
17、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬光罩盒，其特征在于，另包含至少一 邊墻設(shè)于該通孔周圍，其中該邊墻焊接于上蓋體或下蓋體。
18、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬光罩盒，其特征在于，其中該過濾裝 置包含一過濾片以及一中空框架卡設(shè)于該邊墻中，使該過濾片被夾設(shè)于該 框架以及該光罩盒之間。
19、 根據(jù)權(quán)利要求14、 15或17所述的金屬光罩盒，其特征在于，其 中該邊墻朝向該內(nèi)部空間延伸。
20、 根據(jù)權(quán)利要求14、 15或17所述的金屬光罩盒，其特征在于，其 中該邊墻朝向該外部空間延伸。
21、 根據(jù)權(quán)利要求2所述的金屬光罩盒，其特征在于，其中該彈性套 件包含一大于該第一開口的第二開口，該第二開口周圍設(shè)有卡持部，卡持 該夾持件。
22、 根據(jù)權(quán)利要求2所述的金屬光罩盒，其特征在于，其中該彈性套 件為一高分子材料。
23、 根據(jù)權(quán)利要求2所述的金屬光罩盒，其特征在于，其中該夾持件 為金屬材質(zhì)。
24、 根據(jù)權(quán)利要求2所述的金屬光罩盒，其特征在于，其中該過濾薄 膜為混合纖維。
25、 一種過濾裝置，覆蓋一光罩盒的通孔，該通孔連通該光罩盒的內(nèi) 部空間以及光罩盒的外部空間，其特征在于，該過濾裝置包含一彈性套件，卡設(shè)于該通孔，該彈性套件具有一第一開口對應(yīng)于該通孔；一夾持件，卡設(shè)于該彈性套件中，其中該夾持件具有至少一孔洞，該 孔洞設(shè)于對應(yīng)于該彈性套件的第一開口的位置；以及 一過濾薄膜夾設(shè)于該夾持件上具有該 孔洞的位置。
26、 一種金屬光罩盒，其特征在于，包含-一金屬上蓋體，具有一邊緣界定出一開口；一金屬下蓋體，與該金屬上蓋體組合，形成一內(nèi)部空間可容納光罩， 且該下蓋體亦具有一邊緣且界定一開口與該上蓋體的開口相對；至少一氣密墊圈包含一溝槽，該氣密墊圈由該溝槽卡設(shè)于該上蓋體或 是下蓋體的邊緣上使該內(nèi)部空間成為封閉的空間。
27、 根據(jù)權(quán)利要求26所述的金屬光罩盒，其特征在于，其中該溝槽 具有開口端以及底部，且開口端的寬度較底部為窄。
28、 根據(jù)權(quán)利要求26所述的金屬光罩盒，其特征在于，其中該氣密 墊圈由一黏合劑固接于該上蓋體或下蓋體的邊緣上。
29、 根據(jù)權(quán)利要求26所述的金屬光罩盒，其特征在于，其中該氣密 墊圈為高分子樹脂材料。
30、 根據(jù)權(quán)利要求26所述的金屬光罩盒，其特征在于，其中該氣密 墊圈為導(dǎo)電膠材料。
31、 根據(jù)權(quán)利要求1或26所述的金屬光罩盒，其特征在于，其中該金屬光罩盒的材質(zhì)為不銹鋼系列或鋁合金、鎂合金。
32、 根據(jù)權(quán)利要求1或26所述的金屬光罩盒，其特征在于，另包含一扣壓件設(shè)于該上蓋體或下蓋體內(nèi)。
33、 根據(jù)權(quán)利要求32所述的金屬光罩盒，其特征在于，其中該扣壓件結(jié)構(gòu)包括一座體，以復(fù)數(shù)個(gè)支撐點(diǎn)固接于該光罩盒的金屬上蓋體及金屬下蓋體內(nèi)各角落的位置；一彎曲彈性組件，其一彎曲的端部結(jié)合于該座體上，另一彎曲的端部 則呈彈性懸浮狀態(tài)于該單或復(fù)數(shù)個(gè)支撐點(diǎn)之間，且進(jìn)一步包括一頂持面及 一扣壓面；其中，當(dāng)該光罩盒承載一光罩且蓋合時(shí)，該彎曲彈性組件的該頂持面 及該扣壓面于蓋合時(shí)會與該光罩接觸并固定。
專利摘要本實(shí)用新型提供一種具有過濾裝置以及氣密效果的金屬光罩盒。光罩盒由金屬上蓋體與金屬下蓋體組合而成，形成一內(nèi)部空間可容納光罩，此光罩盒的金屬上蓋體或該金屬下蓋體側(cè)邊設(shè)有至少一通孔，用以連通光罩盒的內(nèi)部空間以及外部空間，以及一過濾裝置覆蓋該通孔。
文檔編號H01L21/673GK201107546SQ200720125588
公開日2008年8月27日 申請日期2007年10月9日 優(yōu)先權(quán)日2007年10月9日
發(fā)明者邱銘乾, 陳建達(dá) 申請人:家登精密工業(yè)股份有限公司