專利名稱：液體材料的涂布方法及其樹脂層形成法的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本申請主張根椐日本國特許申請第2001-399934號(2001年12月28日提出申請、發(fā)明名稱涂布方法及其樹脂層形成法)的巴黎條約中的優(yōu)先權(quán)、通過其引用而將記載于所述申請中的內(nèi)容構(gòu)成本發(fā)明書的一部分。
本發(fā)明涉及采用旋轉(zhuǎn)涂布的涂布方法及其用于該方法的涂布裝置，采用這種涂布方法制造的物品(如光盤、液晶、磁盤等)以使用這種涂布方法的物品制造方法及制造裝置。
背景技術(shù)：
傳統(tǒng)的液體材料的涂布方法如圖8所示，包括用筆802將液體材料804涂布于被涂物的基板806上的方法(參照圖8(a))、將液體材料804從噴嘴808向基板806上滴下的方法(參照圖8(b))、將霧狀的液體材料804從噴嘴810吹附到基板806的噴射方法(參照圖8(c))、將沾于滾子812上的液體材料804向基板806復(fù)制的滾涂法(參照圖8(d))等。
并且，為了清除涂布于被涂物上多余的液體材料、使涂布所形成的涂膜厚度均勻化，或者為了將供給于被涂物的液體材料在其上面均勻地散開，有一種方法是將被涂物放在旋轉(zhuǎn)工作臺上、工作臺在放有被涂物的狀態(tài)下旋轉(zhuǎn)而使離心力作用于液體材料的旋轉(zhuǎn)涂布法。一般來講，為了實現(xiàn)涂膜厚度均勻化，只有在涂膜厚度十分小的場合才使用該旋轉(zhuǎn)涂布法，涂膜厚度大時，旋轉(zhuǎn)涂布后的涂膜厚度在涂布面內(nèi)的誤差變大，涂膜厚度為10μm以上時，平均厚度會出現(xiàn)20％以上的涂膜厚度的誤差。
圖9為模式表示采用傳統(tǒng)的旋轉(zhuǎn)涂布法、將被涂物即平板901載置于旋轉(zhuǎn)工作臺的載置臺902上進(jìn)行涂布液體材料903的涂布后狀態(tài)的剖視圖。在傳統(tǒng)的旋轉(zhuǎn)涂布法中，平板901的外周部910(由兩方向箭頭所示的平板區(qū)域)形成有厚度的隆起部904(參照圖9(a))。另外，在向中央部具有孔908的平板901涂布液體材料時，平板901的孔908的周邊部、即平板的內(nèi)周部920(由兩方向箭頭所示的平板區(qū)域)的厚度變薄(參照圖9(b))。
作為使用這種旋轉(zhuǎn)涂布法制造的制品，近年來，出現(xiàn)了用作大容量記錄媒體的光盤。目前正在開展光盤的更高容量化、高密度記錄化方面的研究，作為具體的方法，正在研究加大記錄·再生機(jī)的物鏡的開口數(shù)(NA)的方法以及縮短所使用的激光波長的方法。在光盤中，成為光透過層的記錄·再生側(cè)基材〔激光入射側(cè)的基板〕厚度較薄，可減小接受激光點的收差的影響，增大盤片傾斜度(傾斜)容許值。由此，提出有將記錄·再生側(cè)基材的厚度作成約為0.1mm、NA約為0.85、激光波長約為400nm的方案。此時，從對于記錄·再生光的焦點和球面收差的影響角度考慮，最好是將記錄·再生側(cè)基材的厚度控制在5％以內(nèi)。
作為可控制成這種較小厚度的誤差的方法，一般考慮采用將均勻厚度(數(shù)十μm)的片狀基板用光硬化性樹脂進(jìn)行貼合的方法。但是，使用這種片狀基板時，因成本非常高，故最好是使用旋轉(zhuǎn)涂布法，單由光硬化性樹脂形成記錄·再生側(cè)基材。
采用傳統(tǒng)的旋轉(zhuǎn)涂布法，要想將液體材料涂布成厚度數(shù)十微米以上且均勻的涂膜是非常困難的。使用傳統(tǒng)的旋轉(zhuǎn)涂布法時，因離心力會使按壓液體材料的力始終作用于被涂物的外周部，故由涂布形成的涂膜厚度在被涂物的內(nèi)周側(cè)薄、在外周側(cè)厚。另外，因液體材料的表面張力而使外周部極端變厚。由此，本發(fā)明的課題是提供在被涂物上利用旋轉(zhuǎn)涂布法形成涂膜時、可使其厚度更加均勻化的方法。
本

發(fā)明內(nèi)容
為了解決上述課題，本發(fā)明第1涂布方法(或涂膜形成方法)是液體材料的涂布方法，其向由相對的第1主面和第2主面規(guī)定的平板的第1主面供給液體材料，利用旋轉(zhuǎn)涂布(旋轉(zhuǎn)涂布法)將液體材料涂布于第1主面形成涂膜。該第1涂布方法的特征在于，使外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件與平板的外周側(cè)面大致接觸，在使外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件的上面和平板的第1主面位于大致同一水平面的狀態(tài)下實施旋轉(zhuǎn)涂布。這種方法是，使外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件與平板的外周側(cè)面(即、將平板的第1主面與第2主面連接的、沿平板厚度方向延伸的面)大致接觸，使平板的第1主面和外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件的上面在幾何學(xué)上實質(zhì)性地位于同一平面內(nèi)。另外，所謂水平面是指在將某一基準(zhǔn)點的高度定為零時，從該點開始至特定的面(此時是平板的第1主面或?qū)驑?gòu)件的上面)的距離。進(jìn)而意味著是特定面的高度。
在本發(fā)明書中，所謂某一面與其它面處于「大致同一水平面」是指這些面的水平面相同或相近的狀態(tài)(即、大致同一水平面狀態(tài))的位置。具體地講，后述的導(dǎo)向構(gòu)件通過將與平板的外周及/或內(nèi)周側(cè)面「大致接觸」的特征和「大致同一的水平面」的特征組合，與不使用導(dǎo)向構(gòu)件而使用旋轉(zhuǎn)涂布的傳統(tǒng)技術(shù)的涂布方法相比較，只要能使由本發(fā)明的涂布方法形成的涂膜厚度的均勻性提高，即使存在著實際的水平面差，這種水平面差也可滿足本發(fā)明書中所說的「大致同一的水平面」。另外，有關(guān)「大致同一的水平面」的特征在后面予以更具體地說明。
采用本發(fā)明的涂布方法，可在外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件的上面形成涂膜厚度的隆起部，結(jié)果是在平板的外周部，厚度均勻的涂膜也可形成在平板上。
在本發(fā)明書中，平板是一種由相對的平坦的第1和第2主面規(guī)定的片狀(相對主面的大小、厚度方向的大小相當(dāng)小)的構(gòu)件，主面的形狀可以是圓形(中央部有孔時是圓環(huán)狀)、矩形、正方形、多邊形(包含正多邊形)或其它形狀。主面最好是點及/或線對稱的形狀。較佳的平板是稱之為盤片的圓形基板、稱之為卡片的矩形(包含正方形)形狀的基板。
旋轉(zhuǎn)涂布時實施的平板的旋轉(zhuǎn)，是通過使平板圍繞垂直經(jīng)過平板的第1主面內(nèi)的任一點、最好是1主面中心點的軸周圍旋轉(zhuǎn)來實施。在此，中心點既可是第1主面的幾何學(xué)上的重心，也可以是在第1主面是點對稱形狀時、將對稱的中心作為中心點。例如，當(dāng)平板是圓形的盤片形狀時，第1主面即圓的中心就是中心點，當(dāng)平板是矩形(包含正方形)的片狀時，第1主面即矩形的對角線的交點就是中心點。
在一種形態(tài)中，平板的中央具有沿平板厚度方向貫通的孔。該孔的形狀與主面一樣，可以是圓形、矩形、其它形狀等。最好是，其中心點與平板的中心點是同一點。另外，孔的中心點的含義是與前面的平板中心點相同。這樣，在有孔的平板上涂布液體材料的形態(tài)下，內(nèi)側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件與平板的內(nèi)周側(cè)面(對孔進(jìn)行限定)大致接觸，在使內(nèi)側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件的上面與平板的第1主面位于大致同一水平面的狀態(tài)下實施旋轉(zhuǎn)涂布。
為了解決上述課題，本發(fā)明第2涂布方法的特征在于，設(shè)置有內(nèi)側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件，該內(nèi)側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件在向有孔的平板的第1主面旋轉(zhuǎn)涂布液體材料時，被配置于涂布的平板的孔內(nèi)，與限定孔的平板的內(nèi)周側(cè)面大致接觸，并且，具有相對第1主面大致為同一水平面的上面，然后，供給液體材料使平板旋轉(zhuǎn)。采用本發(fā)明的涂布方法，在平板的內(nèi)周部也可形成厚度均勻的涂膜。另外，在第2涂布方法中，也可進(jìn)一步設(shè)置與第1涂布方法一樣的與平板外周側(cè)面大致接觸的外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件。
另外，在上述的涂布方法中，液體材料的供給可以是平板的第1主面或存在時的內(nèi)側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件的上面。例如，可從噴嘴供給液體材料。在向平板的第1主面上供給時，為了加大有效的涂膜區(qū)域，最好是盡可能地向內(nèi)側(cè)供給。
在此，在本發(fā)明的第1和第2涂布方法中，外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件和內(nèi)側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件分別與平板的外周側(cè)面和內(nèi)周側(cè)面大致接觸。這意味著外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件圍繞平板外周側(cè)面的全周而存在、而平板的內(nèi)周側(cè)面圍繞內(nèi)側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件的全周而存在。例如，外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件的上面可以是具有某一寬度的環(huán)狀，而內(nèi)側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件的上面可以是具有某一寬度的圓環(huán)或圓形。例如，外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件可以是具有與平板的外周側(cè)面(第1主面外周部的形狀)對應(yīng)的開口的構(gòu)件、如在平板是圓板時可以是圓環(huán)狀構(gòu)件。例如，內(nèi)側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件可以是具有與平板的內(nèi)周側(cè)面(規(guī)定孔的第1主面內(nèi)周部的形狀)對應(yīng)的外形的構(gòu)件、如在平板有圓形孔時可以是圓環(huán)狀或圓板狀構(gòu)件。
在本發(fā)明書中，術(shù)語「導(dǎo)向構(gòu)件」是一種具有供液體材料流動的上面的構(gòu)件，是指從其上面向平板的第1主面(內(nèi)側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件時)、并從平板的第1主面向其上面(外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件時)、液體橫穿這些面的邊界部進(jìn)行順利流動的構(gòu)件。按該含義，導(dǎo)向構(gòu)件可以說是為了形成這種順利流動而對液體材料進(jìn)行引導(dǎo)即進(jìn)行導(dǎo)向。導(dǎo)向構(gòu)件的上面只要是實質(zhì)性確保與平板大致接觸且位于與平板的第1主面大致同一的水平面而進(jìn)行順利的流動，則無特別的限定。例如，導(dǎo)向構(gòu)件的上面可以具有與平板大致接觸的平面部分，而上面整體最好是平面。
旋轉(zhuǎn)涂布時，在可能的情況下，導(dǎo)向構(gòu)件最好是以與平板相同的旋轉(zhuǎn)中心和旋轉(zhuǎn)方向、并以相同的角速度進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。例如，在平板是圓形盤片形狀、平板繞其中心旋轉(zhuǎn)的場合，可按此方式使與圓形盤片外周側(cè)面大致接觸的圓環(huán)狀的外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件旋轉(zhuǎn)。另外，在平板具有與其中心同心狀的圓形孔的場合，可按此方式使與平板的內(nèi)周側(cè)面大致接觸的圓形或圓環(huán)狀的內(nèi)側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件旋轉(zhuǎn)。這樣，通過使導(dǎo)向構(gòu)件旋轉(zhuǎn)，因?qū)嵸|(zhì)上不存在導(dǎo)向構(gòu)件的上面與平板的第1主面間的相對移動，故可提高本發(fā)明的第1和第2涂布方法的效果。另外，在另一形態(tài)中，在上述的導(dǎo)向構(gòu)件旋轉(zhuǎn)時，角速度也可與平板不相同，在又一個形態(tài)中，旋轉(zhuǎn)方向也可與平板相反。
在上述本發(fā)明的第1和第2涂布方法中，都是將導(dǎo)向構(gòu)件與平板(或平板的側(cè)面)大致接觸。在本說明書中，所謂「大致接觸」是指平板的側(cè)面和與其相對的導(dǎo)向構(gòu)件的面處于接觸狀態(tài)，或者如后所述、只要能體現(xiàn)發(fā)明的效果，也可在這些面之間存在微小的間隙(即這些面隔有間隙而對置)。通過這種的大致接觸，將導(dǎo)向構(gòu)件的上面與平板的第1主面的邊緣部分接觸、或者如上所述隔著微小的間隙而存在。
前者的形態(tài)(即接觸的形態(tài))可適用于導(dǎo)向構(gòu)件與平板相同的旋轉(zhuǎn)中心及其相同的旋轉(zhuǎn)方向、以相同的角速度旋轉(zhuǎn)的場合(即從旋轉(zhuǎn)的平板看到時、看上去導(dǎo)向構(gòu)件靜止時)。后者的形態(tài)(即隔著間隙的形態(tài))可適用于從旋轉(zhuǎn)的平板看到時、看上去導(dǎo)向構(gòu)件正在繞其旋轉(zhuǎn)(或沿其周圍正在移動)的場合。另外，從平板看到時，看上去導(dǎo)向構(gòu)件靜止的場合也可適用于后者的形態(tài)。
這樣，在大致接觸的狀態(tài)下，對于平板的側(cè)面與導(dǎo)向構(gòu)件間的接觸、或者對于隔著這些間隙的狀態(tài)的對置，與平板的側(cè)面接觸或相對的導(dǎo)向構(gòu)件的部分實質(zhì)上是線狀、即平板的側(cè)面與導(dǎo)向構(gòu)件最好是線狀大致接觸。其在接觸的場合是指導(dǎo)向構(gòu)件的線狀部分與平板的側(cè)面接觸，在隔著間隙的狀態(tài)下對置時，是指導(dǎo)向構(gòu)件的線狀部分隔著間隙而與平板的側(cè)面相對。在平板的側(cè)面與導(dǎo)向構(gòu)件線狀大致接觸的形態(tài)下，旋轉(zhuǎn)涂布后，在將形成了涂膜的平板除去之后，當(dāng)下一個新的平板與導(dǎo)向構(gòu)件大致接觸時，可防止殘留于導(dǎo)向構(gòu)件上的液體材料沾附于新涂布的平板的側(cè)面，或者可大幅度減少沾附量。
在上述的本發(fā)明中，旋轉(zhuǎn)涂布時，將平板配置于可旋轉(zhuǎn)的載物臺上，在接觸狀態(tài)下由載物臺支承平板的第2主面。此時，平板的第2主面的外周部最好是位于載物臺外周部的外側(cè)。在此場合，即使將平板配置于載物臺上，平板的第2主面的外周部也不與載物臺接觸。采用該方法，在將涂布后的平板取走后，可防止殘留于外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件上的液體材料從外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件流下而沾附于載物臺外周部的現(xiàn)象。
另外，在平板的中心部具有孔時，最好是平板的內(nèi)周部位于載物臺內(nèi)周部的內(nèi)側(cè)，構(gòu)成載物臺。這樣，在本發(fā)明的涂布方法中，在將平板配置于載物臺上時，平板的第2主面的內(nèi)周部也不與載物臺接觸。采用該方法，在將涂布后的平板除去后，可防止殘留于內(nèi)側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件上的液體材料從內(nèi)側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件流下而沾附于載物臺的內(nèi)周部。
在本發(fā)明的涂布方法中，在采用上述各種形態(tài)中的任一形態(tài)向平板涂布液體材料之后，將導(dǎo)向構(gòu)件遠(yuǎn)離平板，其后將涂有液體材料的平板移至別的場所(即將平板從載物臺取走)。這樣，一旦先將導(dǎo)向構(gòu)件與平板分離，則在涂布后的平板取走之后，可防止殘留于平板的導(dǎo)向構(gòu)件上的液體材料附著在下1次涂布的平板的側(cè)面。另外，不論載物臺的構(gòu)造如何，在涂布后將平板除去時，可防止殘留于內(nèi)側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件上的液體材料向載物臺的內(nèi)周部流下而附著在其上。另外，在涂布后將平板取走時，可防止殘留于外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件上的液體材料流下而附著在載物臺的外周部上。這樣，在為了使下一個新的平板上形成涂膜而配置載物臺時，可防止沾于載物臺上的液體材料不必要地附著在平板的第2主面上。
上述的本發(fā)明的涂布方法適用于將各種液體材料涂布于平板的場合。液體材料只要是作為流體能流動，根椐需要也可包含各種形態(tài)(例如粉末、填充物、粒狀物或其它任一形態(tài))的固體材料。這種液體材料，包含光盤用來形成保護(hù)層、光透過層等的液體狀樹脂組成物(例如光硬化性(如紫外線硬化性)樹脂組成物)等。另外，在可適用本發(fā)明涂布方法的平板中，包含各種形狀的片狀或板狀構(gòu)件，其中，例如包含光盤用的圓形基板或其它形狀(如矩形、多邊形等)的基板?；宓闹醒氩靠梢杂锌?如圓形或其它形狀的孔。這樣，本發(fā)明的涂布方法可適用于在平板上形成樹脂層的方法。
換言之，本發(fā)明提供在平板上形成樹脂層的方法，該方法包括(1)在具有相對的第1主面和第2主面所組成的平板的第1主面上涂布光硬化性樹脂組成物；(2)然后，通過將光硬化性樹脂組成物曝光而硬化、形成樹脂層，光硬化性樹脂組成物的涂布是通過采用上述本發(fā)明的液體材料的涂布方法來實施將平板的側(cè)面與導(dǎo)向構(gòu)件(即外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件及/或內(nèi)側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件)大致接觸，并導(dǎo)向構(gòu)件的上面相對平板的第1主面位于大致同一的水平面，在將平板配置于載物臺上的狀態(tài)下、將光硬化性樹脂組成物進(jìn)行旋轉(zhuǎn)涂布，形成向?qū)驑?gòu)件的上面和平板的第1主面延伸的光硬化性樹脂組成物的涂膜。
另外，如后所述，光硬化性樹脂組成物的硬化最好是采用以下兩種方法中的一種來實施，即(1)將平板從載物臺上取走，將平板曝光而僅使第1主面上的涂膜部分硬化，或者(2)在導(dǎo)向構(gòu)件與平板的側(cè)面大致接觸的狀態(tài)下，使向?qū)驑?gòu)件的上面和平板的第1主面延伸的涂膜硬化。
這種本發(fā)明的樹脂層形成方法是包含采用上述本發(fā)明的涂布方法的任一種而在平板上涂布作為液體材料的光硬化性樹脂組成物，獲得在光硬化性樹脂組成物未硬化的狀態(tài)下涂布的平板，然后，通過使涂布于平板上的光硬化性樹脂組成物硬化(如利用紫外線使其硬化)而形成樹脂層。采用本發(fā)明的樹脂層形成方法，樹脂層的膜厚誤差非常小，又容易回收·再利用未硬化的樹脂組成物，總之，可形成低成本的樹脂層。
并且，本發(fā)明提供采用上述本發(fā)明的涂布方法的涂布裝置，該裝置具有上述的外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件及/或內(nèi)側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件而組成。另外，本發(fā)明提供樹脂層的形成裝置，該裝置具有本發(fā)明的涂布裝置而組成，還具有在形成光硬化性樹脂組成物后使其涂膜硬化的構(gòu)件。采用這種樹脂層的形成裝置，可形成膜厚誤差非常小的涂膜以及厚度均勻的樹脂層。
本發(fā)明提供利用旋轉(zhuǎn)涂布在平板上涂布液體材料用的涂布裝置，該涂布裝置包括支承平板、可作旋轉(zhuǎn)的載物臺；與配置于載物臺的平板的側(cè)面大致線狀接觸的導(dǎo)向構(gòu)件、即具有位于與配置于載物臺的平板的第1主面大致同一水平面的上面的導(dǎo)向構(gòu)件；以及向平板的第1主面上供給液體材料的機(jī)構(gòu)，導(dǎo)向構(gòu)件最好是上述外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件及/或內(nèi)側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件。另外，在具有內(nèi)側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件時，供給液體材料的機(jī)構(gòu)將液體材料供給到平板的第1主面上及/或內(nèi)側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件的上面。
并且，本發(fā)明提供在平板上形成光硬化性樹脂組成物硬化后的樹脂層的樹脂層形成裝置，該裝置包括上述的本發(fā)明的涂布裝置；將形成有作為液體材料的光硬化性樹脂組成物的涂膜的平板從載物臺取走的機(jī)構(gòu)；以及將形成于取走后的平板上的涂膜部分曝光、使光硬化性樹脂組成物硬化而形成樹脂層的機(jī)構(gòu)。
并且，本發(fā)明提供在平板上形成光硬化性樹脂組成物硬化后的樹脂層的另一個樹脂層形成裝置，該裝置包括上述的本發(fā)明的涂布裝置；將形成于平板的第1主面和導(dǎo)向構(gòu)件的上面的涂膜保持原樣地曝光、使光硬化性樹脂組成物硬化而形成樹脂層的機(jī)構(gòu)；將平板從載物臺取走的機(jī)構(gòu)；以及將從取走后的平板的邊緣突出的樹脂層部分予以除去的機(jī)構(gòu)。
另外，上述的樹脂層形成方法及形成裝置可適用于制造光盤的場合。由此，本發(fā)明提供光盤制造方法，在該方法中，采用上述本發(fā)明的樹脂層形成方法，將光盤的光透過層或保護(hù)層形成為樹脂層。并且，本發(fā)明提供光盤的制造裝置，該裝置具有上述本發(fā)明的樹脂層的形成裝置而組成，使用該裝置形成作為光透過層或保護(hù)層的樹脂層。
附圖的簡單說明圖1(a)為模式表示采用本發(fā)明的方法、向配置于載物臺上并具有中心孔的平板涂布液體材料后的狀態(tài)的剖視圖，圖1(b)為模式表示內(nèi)側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件的中央部具有突出部的形態(tài)的剖視圖，圖1(c)為模式表示內(nèi)側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件的中央部具有空隙形態(tài)的剖視圖，圖1(d)為模式表示采用本發(fā)明的涂布方法、在導(dǎo)向構(gòu)件上面的水平面高于平板的第1主面的水平面時進(jìn)行涂布后的涂膜狀態(tài)的剖視圖。
圖2(a)為模式表示外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件與平板外周側(cè)面的一部分大致接觸形態(tài)的剖視圖(圖2(a))及其俯視圖(圖2(a))。
圖3(a)為表示采用本發(fā)明的涂布方法和傳統(tǒng)的涂布方法形成的涂膜位置與厚度之關(guān)系(圖3(a))及涂膜厚度與誤差之關(guān)系(圖3(a))的圖表。
圖4為在多個平板上連續(xù)涂布形成涂膜時的模式剖視圖，圖4(a)表示涂布后將平板從載物臺取走的形態(tài)，圖4(b)表示將應(yīng)涂布的平板配置于載物臺上的形態(tài)(內(nèi)側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件和外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件與平板的內(nèi)周側(cè)面和外周側(cè)面線狀接觸)，圖4(c)表示與平板的內(nèi)周側(cè)面和外周側(cè)面線狀接觸的內(nèi)側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件和外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件的傾斜面與平板的內(nèi)周側(cè)面和外周側(cè)面相對的形態(tài)。
圖5(a)～(e)是在本發(fā)明的涂布方法中按順序表示利用旋轉(zhuǎn)涂布涂布液體材料后、使涂布后的導(dǎo)向構(gòu)件遠(yuǎn)離平板、其后將平板從載物臺取走再配置新的平板、將導(dǎo)向構(gòu)件與平板大致接觸的形態(tài)，圖5(f)和(g)模式表示從上方看到圖5(a)和(b)時的狀態(tài)。
圖6為模式表示采用本發(fā)明的涂布方法、在平板上形成光硬化性樹脂組成物的涂膜(圖6(a))、在該形成的涂膜內(nèi)、僅將實質(zhì)上位于平板上的涂膜曝光并硬化(圖6(b))的形態(tài)。
圖7為模式表示采用本發(fā)明的涂布方法、在平板、導(dǎo)向構(gòu)件及其上面形成涂膜(圖7(a))、將該形成的涂膜實質(zhì)上全部硬化形成樹脂層(圖7(b))、其后將平板從載物臺取走(圖7(c))、最后將從平板露出的樹脂層除去(圖7(d))形態(tài)的剖視圖。
圖8為表示傳統(tǒng)涂布方法的圖。
圖9為表示使用傳統(tǒng)的旋轉(zhuǎn)涂布的涂布方法的圖。
具體實施例方式
現(xiàn)參照


本發(fā)明的各種實施形態(tài)。下面，具體引用的是例如將用于光盤的圓板(中心有圓孔)作為平板例子，但在本發(fā)明中，平板也可無孔，另外，平板的形狀也可是例如卡片狀的方形板而不是圓板，本發(fā)明也適用于采用旋轉(zhuǎn)涂布的任一涂布方法、任一涂布裝置、任一樹脂層形成法以及任一樹脂層形成裝置。
(實施形態(tài)1)在本發(fā)明的方法中，對于液體材料向應(yīng)涂布的平板的供給法，無特別限定，例如，采用滴下、噴涂法，向旋轉(zhuǎn)涂布時的平板的第1主面的旋轉(zhuǎn)中心及其附近或平板第1主面的整個面供給。此時，既可在旋轉(zhuǎn)中連續(xù)供給，也可在旋轉(zhuǎn)開始前停止供給。平板有孔時，在使內(nèi)側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件大致接觸的場合，將液體材料供給至內(nèi)側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件的上面即可。
圖1(a)表示采用本發(fā)明的方法、向配置于載物臺上并具有中心孔的平板102涂布液體材料110后的狀態(tài)的、與圖9相同模式的剖視圖。在圖示的形態(tài)中，配置有與平板102的外周側(cè)面116大致接觸的外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件103，平板的第1主面112的水平面與外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件103的上面114的水平面實質(zhì)上相同、即大致同一的水平面，以此而構(gòu)成外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件103。另外，在平板102的孔內(nèi)，配置有內(nèi)側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件104，內(nèi)側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件104與平板102內(nèi)周部的側(cè)面118大致接觸，平板的第1主面112的水平面與導(dǎo)向構(gòu)件104的上面120的水平面實質(zhì)上相同、即大致同一的水平面，以此而構(gòu)成內(nèi)側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件104。
圖1(a)表示涂布后的狀態(tài)(液體材料110處于涂膜的形態(tài))，但涂布前的形態(tài)只是在不存在有液體材料110這一點上實質(zhì)上不同，例如，將液體材料向內(nèi)側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件104的中心附近供給，然后，使配置于圓板105上的平板102旋轉(zhuǎn)。在圖示的形態(tài)下，外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件103與平板102的外周側(cè)面整體大致接觸，另外，內(nèi)側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件104配置于孔內(nèi)，外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件103與平板的內(nèi)周側(cè)面整體大致接觸。雖然以導(dǎo)向構(gòu)件與平板實質(zhì)接觸的狀態(tài)表示，但如前所述，在它們之間也可不存在間隙。另外，如上所述，導(dǎo)向構(gòu)件103和104的上面的水平面與平板102的第1主面的水平面大致相同。通過這樣的大致接觸，導(dǎo)向構(gòu)件103和104的上面以及平板的第1主面實質(zhì)上存在于單一的平面內(nèi)。
如上所述，在配置導(dǎo)向構(gòu)件進(jìn)行旋轉(zhuǎn)涂布時，由傳統(tǒng)的涂布方法產(chǎn)生的外周部的隆起部101不是平板102(如光盤用板材)的外周部上，而是形成于圖示的外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件103的上面，結(jié)果是對于平板的第1主面，可避免由隆起部101引起的涂膜厚度的誤差。另外，在傳統(tǒng)的涂布方法中，在平板具有中心孔時，為了防止涂布時液體材料流入中心孔，有時不能充分地向平板的最內(nèi)周部供給液體材料而使平板內(nèi)周部的涂膜厚度變薄。按照本發(fā)明的涂布方法，通過將內(nèi)側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件104配置成與平板102大致接觸的狀態(tài)，從而可將液體材料供給至內(nèi)側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件104上，結(jié)果是，平板的最內(nèi)周部也能供給足夠量的涂布液體材料。并且，因旋轉(zhuǎn)涂布的條件不同，有時在平板的旋轉(zhuǎn)中心附近、進(jìn)而在內(nèi)周部會發(fā)生涂膜厚度的較薄部分，但在本發(fā)明中，由于此時的涂膜厚度薄的部分位于內(nèi)側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件104的上面，因此可實現(xiàn)平板102上整體均勻的涂膜厚度。
為了獲得上述的效果，本發(fā)明的要點在于，為僅使由旋轉(zhuǎn)涂布形成的涂膜厚度均勻的部分(除了形成的涂膜的外周部的部分之外、更好的形態(tài)是除了外周部和內(nèi)周部之外的中間的圓環(huán)狀部分)位于平板102上而設(shè)置外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件103，最好是設(shè)置外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件103和內(nèi)側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件104。這是因為在旋轉(zhuǎn)涂布時，平板102的第1主面和外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件103的上面、更好的形態(tài)是平板102的第1主面、外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件103的上面和內(nèi)側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件104的上面必須相互接觸或略微有間隙地存在于1個平面內(nèi)。并且，液體材料(如光硬化性樹脂)必須橫穿這些面與面之間(嚴(yán)格地講是這些面的邊緣相互之間)的邊界部而實質(zhì)上順利地流動。為了實現(xiàn)這一目標(biāo)，外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件103及/或內(nèi)側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件與平板的側(cè)面大致接觸，外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件103的上面114和平板102的第1主面112、并且平板102的第1主面112和內(nèi)側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件104的上面120處于大致同一水平面。
為了使液體材料實質(zhì)上順利流動，外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件103的上面114和內(nèi)側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件104的上面120與平板102的第1主面112水平面之差最好是所形成的涂膜的所需厚度的50％以內(nèi)。25％以內(nèi)更好。既可以提高導(dǎo)向構(gòu)件的上面水平面一方，也可以提高平板的第1主面水平面一方。這樣，在本發(fā)明中，當(dāng)處于所形成的涂膜所需厚度的50％以內(nèi)的水平面之差時，這些面的水平面稱為實質(zhì)上大致同一水平面。
另外，內(nèi)側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件104的上面120或外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件103的上面114的水平面高于平板102的第1主面112的水平面時，沿著內(nèi)側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件104或外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件103的上面120或114和平板102的第1主面112的界面，而在平板102的第1主面上形成涂膜厚度的隆起部106(參照圖1(d))。該隆起部106的隆起高度與外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件103的上面114或內(nèi)側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件104的上面120與平板102的第1主面112水平面之差大致相等。這樣，外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件103的上面114和內(nèi)側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件104的上面120與平板102的第1主面112水平面之差最好是處于涂膜厚度的容許誤差范圍內(nèi)。另外，若水平面之差大于上述的水平面之差，則會降低本發(fā)明的效果。這樣，在本發(fā)明書中，所謂大致同一水平面是指與不使用導(dǎo)向構(gòu)件而使用傳統(tǒng)技術(shù)的旋轉(zhuǎn)涂布的涂布方法相比、只要提高由本發(fā)明的涂布方法形成的涂膜厚度均勻性，則也包括水平面之差大于上述的水平面之差的場合。這樣，容許誤差內(nèi)的上述水平面之差最好的形態(tài)是大致同一水平面。
導(dǎo)向構(gòu)件與平板側(cè)面的間隙、具體是外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件103上面的緣部或?qū)驑?gòu)件104上面的緣部與平板102的第1主面112的緣部間的距離，可以根椐液體材料的粘度來選擇可實現(xiàn)本發(fā)明效果的間隙大小。為了使液體材料能順利地橫穿上述的邊界部進(jìn)行流動，間隙以小為好，特別是在導(dǎo)向構(gòu)件與平板一體旋轉(zhuǎn)時，間隙可以是零，由此，也可使其實質(zhì)性接觸。一般來講，在不損害本發(fā)明效果的情況下，液體材料的粘度越高、間隙可以越大。但防礙液體材料流動那樣大的間隙則是不適當(dāng)?shù)?。通常，間隙的大小(緣部與緣部間的距離)一般最好作成應(yīng)形成的涂膜所需厚度的500％以內(nèi)，更好是在200％以內(nèi)。另外，例如由于導(dǎo)向構(gòu)件的轉(zhuǎn)速與平板不同、平板的尺寸(如直徑)有誤差、與平板的側(cè)面相對、導(dǎo)向構(gòu)件面上附有液體材料等原因，在最好不使導(dǎo)向構(gòu)件與平板的側(cè)面接觸時，選擇的間隙以處于所需涂膜厚度的50～500％范圍內(nèi)為好，最好是100～200％范圍內(nèi)。
通常，對于涂布的平板形狀及尺寸，存在著某種程度的個體差，因該個體差而使間隙變化。如上所述，考慮到間隙的大小，若希望按照應(yīng)形成的涂膜厚度來進(jìn)行選擇的話，則個體差會對采用本發(fā)明的方法涂布的涂膜厚度造成影響。
例如，對直徑12cm的光盤用的圓形基板進(jìn)行考慮。實際制造中的直徑誤差可控制在10～20μm。在此，應(yīng)涂布的涂膜厚度為20μm時，可得到本發(fā)明最良好效果的上述間隙是涂布厚度的100％～200％，即20～40μm，具有20μm的寬度。這樣，光盤用基板外周緣的位置即使是因不同的個體而產(chǎn)生最大20μm變化時，也能確?？傻玫奖景l(fā)明最良好效果的上述間隙?？紤]到將其校正為光盤用基板的直徑，則容許的個體差是2倍的40μm，大于實際制造時的個體差10～20μm。
對于上述的個體差和涂布厚度，通?？梢哉f可得到本發(fā)明最良好效果的上述間隙是涂布厚度的100％～200％，具有涂布厚度的100％寬度。該寬度與容許涂布的平板外周側(cè)面位置的個體差相對應(yīng)?？紤]到將這種容許的個體差校正為平板的尺寸(如直徑)，則應(yīng)形成的涂膜厚度的200％就成為平板容許的直徑的個體差。
另外，上述說明的數(shù)值是用來可得到本發(fā)明最佳效果的例示，即使在個體差大于上述值(即200％)的平板的場合，也能得到本發(fā)明的效果。
如上所述，在具有尺寸的個體差x的平板上形成涂膜時，本發(fā)明的方法可適用于涂膜厚度(1/2)x(或0.5x)以上的場合。對于上述那種光盤用基板，若涂膜厚度至少20μm，則可適用本發(fā)明的方法。當(dāng)然，在光盤用基板方面，若制造時的尺寸的個體差更小，則本發(fā)明的方法也適用于更薄的涂膜厚度。
在圖1的形態(tài)中，外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件103或內(nèi)側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件104與載物臺105實質(zhì)一體接合，外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件103與平板外周側(cè)面的整體大致接觸，內(nèi)側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件104與平板內(nèi)周側(cè)面的整體大致接觸。然而，導(dǎo)向構(gòu)件未必一定要與外周側(cè)面或內(nèi)周側(cè)面的整體大致接觸，如參照圖2的后面所述，只要與外周側(cè)面或內(nèi)周側(cè)面的一部分大致接觸即可。另外，如圖1所示，平板102與外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件103及內(nèi)側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件104接觸，使它們一起、進(jìn)而恰如一體狀地進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。
并且，外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件103及/或內(nèi)側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件104也可是不同于載物臺105的構(gòu)件，構(gòu)成它們與載物臺分開地獨立旋轉(zhuǎn)。在此場合，導(dǎo)向構(gòu)件也可以不同于平板的角速度圍繞與平板同一的中心進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，即使有某種大小的不同，也可得到本發(fā)明的效果。但是，外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件103及/或內(nèi)側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件104最好是與載物臺105(連同平板102)以同一軸、同一轉(zhuǎn)速進(jìn)行相同方向旋轉(zhuǎn)(即、導(dǎo)向構(gòu)件與平板一體狀旋轉(zhuǎn))，因為液體材料橫穿導(dǎo)向構(gòu)件103上面與平板102的第1主面的邊界部、平板102的第1主面與導(dǎo)向構(gòu)件104上面的邊界部、更容易地進(jìn)行順利流動，故較佳。
在本發(fā)明的1個形態(tài)中，如由與圖1相同的模式剖視圖所示的圖2(a)和表示其俯視圖的圖2(b)所示，也可是只與配置于載物臺204上的平板201外周側(cè)面的一部分大致接觸的外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件202。在此場合，也可抑止或避免在不使用導(dǎo)向構(gòu)件的使用旋轉(zhuǎn)涂布場合所產(chǎn)生的涂膜厚度的誤差、以及形成于平板201外周部的涂膜的隆起部101的發(fā)生。外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件202既可使用圖2所示的2個，也可使用其它數(shù)。
在圖2所示的形態(tài)中，相對平板201外周側(cè)面一部分的外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件202的面206呈平坦?fàn)?，但也可是該面整體與平板側(cè)面的一部分大致接觸的其它形狀、即彎曲形狀(最好是實質(zhì)與外周側(cè)面相同曲率的彎曲形狀)。如圖2所示，在外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件202與平板201外周側(cè)面的一部分相對時，為了能使外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件在平板的周圍相對旋轉(zhuǎn)(或移動)，必須選擇外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件和平板的轉(zhuǎn)速(根據(jù)情況也可只使平板旋轉(zhuǎn)而外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件不旋轉(zhuǎn))。
另外，外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件和內(nèi)側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件既可分別單獨使用，或者有可能的話，也可使用兩者，可得到本發(fā)明的效果。對于外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件和內(nèi)側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件的形態(tài)，也不局限于圖1(a)所示的形態(tài)，只要是符合上述本發(fā)明特征的條件范圍內(nèi)，平板與導(dǎo)向構(gòu)件可處于大致接觸狀態(tài)，平板的第1主面與導(dǎo)向構(gòu)件的上面處于大致同一水平面，若它們都存在于同一平面內(nèi)，則也可是其它形態(tài)。
例如，如圖1(b)所示，內(nèi)側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件104的中心部可以具有突出部130、或者外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件103可以是圖1(b)所示的其厚度朝向外側(cè)逐漸變薄的形態(tài)、或者也可是具有朝向外側(cè)分階段地減小的階梯形態(tài)。設(shè)置突出部130時，其優(yōu)點是內(nèi)側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件容易移動。
并且，在另1個形態(tài)中，內(nèi)側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件104例如也可是圓形(圓板狀)，不需要將平板的孔實質(zhì)性整體堵塞，如圖1(c)所示，可在中央部具有空隙132。例如，內(nèi)側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件104可以是圓環(huán)狀(或平坦的環(huán)狀)。這樣，其優(yōu)點是內(nèi)側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件容易移動(或裝取)。特別是規(guī)定空隙、導(dǎo)向構(gòu)件的壁部增厚、其結(jié)果如圖1(c)所示，在壁部突出于液體材料的上方時，例如可用手指將突出部分抬起，此時，其優(yōu)點是可使手指不直接沾上液體材料。另外，當(dāng)平板的孔的中心位置偏離旋轉(zhuǎn)中心時，導(dǎo)向構(gòu)件的位置也可偏離旋轉(zhuǎn)中心。
圖3(a)表示采用無導(dǎo)向構(gòu)件的傳統(tǒng)法、在平板上形成涂膜時以及采用本發(fā)明的涂布方法在平板上形成涂膜時的結(jié)果。圖3(a)表示從平板中心的半徑方向位置及其該位置的涂膜厚度之關(guān)系。作為平板，例如使用了光盤用的基板之類的具有直徑15mm中心孔的半徑60mm的圓板。利用旋轉(zhuǎn)涂布將液狀硬化性樹脂組成物涂布在該圓板上并使其硬化，形成100μm厚度的涂膜。
在傳統(tǒng)法中，一邊使圓板以50rpm旋轉(zhuǎn)，一邊在離中心的半徑位置25mm的附近，將粘度400mPa·s的液狀硬化性樹脂組成物圓環(huán)狀滴下，然后，圓板以轉(zhuǎn)速350rpm旋轉(zhuǎn)15秒鐘。形成的涂膜厚度是內(nèi)周部薄、外周部厚(誤差80％)。另外，所謂誤差是指相對于平均厚度的厚度變動量的比例。
在本發(fā)明的涂布方法中，如圖1(a)所示，配置內(nèi)側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件104(外徑15mm)和外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件103(內(nèi)徑120mm)(導(dǎo)向構(gòu)件與平板是接觸狀態(tài))，一邊使平板與導(dǎo)向構(gòu)件一起以50rpm旋轉(zhuǎn)，一邊將粘度400mPa·s的樹脂向內(nèi)側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件104上滴下，圓板以轉(zhuǎn)速350rpm旋轉(zhuǎn)15秒鐘。形成的涂膜厚度誤差可抑止在從圓板的內(nèi)周部至外周部的2％。另外，在傳統(tǒng)法中，涂膜厚度誤差變化大的區(qū)域是圓板的內(nèi)周部和外周部各自寬度(半徑方向的距離)10mm左右的區(qū)域，從其結(jié)果中可以看出，本發(fā)明的導(dǎo)向構(gòu)件的寬度(即沿著第1主面半徑方向的長度)均為10mm較好。
圖3(b)表示在與圖3(a)相同的圓板上、采用傳統(tǒng)法和本發(fā)明的方法改變涂布的液體材料和涂布條件、涂膜的平均厚度(均是在厚度變化小的區(qū)域(即、除了圓板的內(nèi)周部和外周部之外的區(qū)域)中的平均厚度)涂布成20～600μm時的膜厚誤差。這樣，在形成涂膜厚度20～500μm、特別是40～300μm、更特別是50～200μm、例如50～150μm厚度的涂膜時，可以看到本發(fā)明的效果。
(實施形態(tài)2)在多個平板上連續(xù)涂布、依次形成涂膜的場合，如模式的剖視圖即圖4(a)所示，在將涂布后的平板402(如光盤用基板)按箭頭所示取走后，如圖4(b)的箭頭所示，將下一個平板411配置于載物臺上。這樣，取走后殘留于外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件403或內(nèi)側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件404上的液體材料401(如液狀的光硬化性樹脂組成物)有可能從該處而流落在載物臺405上。在此場合，載物臺405上的液體材料401沾附在下一個涂布的平板所需的部分(第1主面)以外的部分(第2主面的一部分)，有可能使最終得到的平板引起問題。
在此，如圖4(b)所示，設(shè)置有在導(dǎo)向構(gòu)件403、404的下方與其鄰接的、形成有周狀槽408、409的載物臺405。另外，也可是只在單一方的導(dǎo)向構(gòu)件設(shè)置槽的形態(tài)。這樣，即使殘留于導(dǎo)向構(gòu)件上的液體材料401流下，也可使實際支承載物臺405的平板的部分不存在液體材料。換言之，支承平板的載物臺在鄰接于導(dǎo)向構(gòu)件的部分具有凹部，可使殘留于導(dǎo)向構(gòu)件的液體材料流入該凹部，由存在著凹部而導(dǎo)致形成的凸部能發(fā)揮載物臺本來的功能而支承平板。
如前所述，在平板411的側(cè)面與其對向的導(dǎo)向構(gòu)件403或404的面之間設(shè)置間隙的場合，在導(dǎo)向構(gòu)件403或404的如此相對的面上沾有的液體材料401不容易與平板411的側(cè)面沾合。然而，如前所述，在將平板側(cè)面與導(dǎo)向構(gòu)件大致接觸時，如圖4(b)的具體例子所示，將外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件403及/或內(nèi)側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件404與平板的側(cè)面線狀大致接觸，由此，在平板411的外周側(cè)面及/或內(nèi)周側(cè)面上，更加不容易沾附與平板的外周側(cè)面及/內(nèi)周側(cè)面相對的導(dǎo)向構(gòu)件的面406及/或面407上的液體材料401。
另外，在圖示的形態(tài)中，流入槽408和槽409中的液體材料401從排出口410排出后回收，可再利用。對于液體材料401的排出，可采用適當(dāng)?shù)姆椒?，例如利用真空吸引、重力、或者在將平?02取走后、放載平板411之前使載物臺旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的離心力等。
在圖4(b)所示的形態(tài)中，在與平板411的側(cè)面相對的導(dǎo)向構(gòu)件的面406、407內(nèi)，不與平板411大致接觸的部分雖實質(zhì)上沿垂直方向延伸，但面406、407也可如圖4(c)所示地傾斜延伸。例如，預(yù)先將外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件403的該面406傾斜成如圖所示那樣處于向外下方，對于沾在外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件的該面406上的液體材料，在將涂布的平板402取走后、載置新的平板411之前，若使載物臺旋轉(zhuǎn)，則利用由此產(chǎn)生的離心力而可使液體材料順利地向槽流下，便于排出。
另外，參照圖4說明的槽408、槽409、外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件403和內(nèi)側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件404的特征即使各自單獨使用，也可得到本發(fā)明的效果，或通過對其進(jìn)行適當(dāng)?shù)亩喾N組合，可進(jìn)一步增大效果。
在本發(fā)明的涂布方法中，在利用旋轉(zhuǎn)涂布來涂布液體材料后，最好是使導(dǎo)向構(gòu)件遠(yuǎn)離平板。例如，如圖5(a)所示，按照本發(fā)明的涂布方法，使用與平板即圓板501大致接觸配置的外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件503和內(nèi)側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件507，通過旋轉(zhuǎn)涂布方式涂布液體材料502后，如圖5(b)所示，使外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件503相對圓板501作支點旋轉(zhuǎn)而向外側(cè)下方(斜下方)移動，或者使內(nèi)側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件507向上方移動(參照箭頭)。
其次，如圖5(c)所示，從載物臺506將圓板501取走，再如圖5(d)所示，將應(yīng)涂布的新的圓板505載置于載物臺506上，然后如圖5(e)所示，使外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件503和內(nèi)側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件507返回至原來位置。
另外，圖5(f) (外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件503移動前)和圖5(g)(外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件移動后)表示從上方看到外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件503動作的形態(tài)。其中，內(nèi)側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件未作圖示。另外，外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件由4個部件構(gòu)成配置于平板全周的圓環(huán)狀的導(dǎo)向構(gòu)件。這樣，涂布后殘留于外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件503及/或內(nèi)側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件507上的液體材料504可被有效地避免沾附于與圓板505的涂布面即第1主面相對的面(即第2主面)及/或圓板的側(cè)面。
如圖5(b)所示，導(dǎo)向構(gòu)件移動后，一旦放置一定以上的時間，則往往會在平板的外周部附近引起涂膜厚度變化，引起這種變化的區(qū)域有時在徑向上達(dá)到涂膜厚度的約數(shù)倍。該程度的變化只要不出問題就行，但變化有問題時，最好是在涂布后立即實施下一道處理。例如，液體材料是光硬化性樹脂組成物時，最好是在例如30秒以內(nèi)進(jìn)行曝光而使涂膜硬化。
另外，根據(jù)液體材料的種類，在導(dǎo)向構(gòu)件移動時，應(yīng)考慮液體材料劃線。在此，對數(shù)種光硬化性樹脂組成物作了研討，在涂布成數(shù)十～數(shù)百微米程度的涂膜厚度時，沒有發(fā)現(xiàn)問題。特別是在將容易劃線的液體材料涂布成某種程度厚度時，也應(yīng)考慮會引起劃線的問題，但在這種場合，可采取不使導(dǎo)向構(gòu)件移動而使其硬化的后述的方法。
另外，殘留于外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件503上的液體材料504，在下一個平板505的旋轉(zhuǎn)涂布時被甩開，但由于新的同量的液體材料殘留于外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件503上，因此不必在旋轉(zhuǎn)涂布后除去。另外，外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件503和內(nèi)側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件507的形狀、構(gòu)造、移動的方法及其移動后的位置等不限定于圖5的形態(tài)，也可選擇其它任一適當(dāng)?shù)男螒B(tài)。只要是涂布后快速地使導(dǎo)向構(gòu)件遠(yuǎn)離平板，就可得到本發(fā)明的效果。
(實施形態(tài)3)下面參照圖6和圖7，對采用上述任一形態(tài)的本發(fā)明的液體材料涂布方法、通過將涂布于平板的硬化性樹脂組成物一例子的光硬化性樹脂組成物曝光、并使其硬化形成樹脂層的方法作出說明。在后述的任一形態(tài)中，也是在最初使用本發(fā)明的涂布方法，在平板上形成光硬化性樹脂組成物的涂膜。
圖6為模式表示使形成在平板606上的涂膜607內(nèi)、僅實質(zhì)上位于平板上的涂膜部分硬化的形態(tài)。首先，如圖6(a)所示，將平板606載置于具有外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件601、內(nèi)側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件602、外側(cè)槽603和內(nèi)側(cè)槽604的涂布裝置620的載物臺605上，利用旋轉(zhuǎn)涂布而形成液體材料的涂膜607。
其后，如圖6(b)所示，為了利用例如向上移動的支柱(或向上頂?shù)臉?gòu)件)608等沿箭頭A所示使平板606移動、且能按箭頭B所示僅使平板606曝光，通過具有覆蓋平板606的蓋子609的曝光裝置610進(jìn)行曝光，使光硬化性樹脂組成物硬化而形成樹脂層611。在此形態(tài)下，蓋子609與平板側(cè)面緊密接合，不會向蓋子外部漏光。結(jié)果是，平板上的涂膜611以外的涂膜部分(如導(dǎo)向構(gòu)件上的涂膜部分)不曝光，在旋轉(zhuǎn)涂布時被甩開的樹脂組成物例如、殘留于外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件601和內(nèi)側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件602上的樹脂組成物在曝光時不會起變化，從而可將其回收進(jìn)行再利用。
另外，也考慮到了不使導(dǎo)向構(gòu)件離開、只曝光位于平板上的涂膜部分而欲使光硬化性樹脂組成物硬化的情況。在此場合，不曝光位于導(dǎo)向構(gòu)件上的硬化性樹脂組成物的涂膜部分而僅曝光位于平板上的涂膜部分實際上是不可能的，或者即使可能，也需要化費特別的工夫。即使覆蓋導(dǎo)向構(gòu)件上地配置面罩，在欲可靠地曝光位于平板上的涂膜部分的場合，也可曝光、硬化與平板鄰接的、位于導(dǎo)向構(gòu)件上的涂膜部分的一部分。如此，硬化形成的樹脂層沾附、殘留于導(dǎo)向構(gòu)件的上面，在這種狀態(tài)下使用導(dǎo)向構(gòu)件、在下一個平板上形成涂膜時會引起問題。因此，必須將導(dǎo)向構(gòu)件上沾附的樹脂層除去。
圖7是用模式剖視圖來表示在平板706、導(dǎo)向構(gòu)件701和702上形成的涂膜實質(zhì)上全部硬化、其后將從平板露出的樹脂層除去形態(tài)。首先，如圖7(a)所示，與圖6(a)一樣，將具有孔的平板706載置于具有外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件701、內(nèi)側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件702、外側(cè)槽703和內(nèi)側(cè)槽704的涂布裝置720的載物臺705上，利用旋轉(zhuǎn)涂布形成液體材料的涂膜707。
其后，如圖7(b)所示，通過具有將包含外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件701和內(nèi)側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件702上的部分在內(nèi)的涂膜707整體包圍而可曝光的蓋子708的曝光裝置709，將涂膜707曝光，使光硬化性樹脂組成物硬化，形成樹脂層710。其次，如圖7(c)所示，將平板706與樹脂層710一起從載物臺取走，如圖7(d)所示，例如使用具有銳利的刀口部的沖壓機(jī)711等，將從平板露出的不要的部分以及位于平板的孔上的樹脂層部分除去，制成所需的樹脂層的形狀即、只是在平板706上的部分存在樹脂層。采用這種方法，可在形成涂膜的狀態(tài)下曝光，即使涂膜以外的部分曝光也無特別問題，這樣，因可在涂布后馬上對涂膜進(jìn)行曝光，因此，與圖6的場合相比，可使曝光裝置709構(gòu)造簡單化。
在此形態(tài)下，由于可將涂布后殘留于外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件701和內(nèi)側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件702上的樹脂組成物在每次涂布后除去，因此也可避免樹脂組成物與下1次應(yīng)涂布的平板的不需要的部位沾合。在將平板706與樹脂層710一起除去時(圖7(c))，如圖6的形態(tài)所示，既可由支柱608之類的機(jī)構(gòu)從下向上推，或者，因樹脂組成物已經(jīng)硬化，故通過真空抽吸等從平板的上側(cè)向上吸引，或者也可使用以上的兩者。
此時，為了容易地將外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件701和內(nèi)側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件702上的樹脂層剝離，可對外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件701和內(nèi)側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件702作點改進(jìn)。例如，通過在外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件701和內(nèi)側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件702的上面形成許多細(xì)槽，例如放射狀及/或周狀，可使剝離時的方向性適當(dāng)化，或者，通過使用氟化合物例如、氟聚合體等的表面處理，使其具有易剝離的表面性，或者預(yù)先設(shè)置多個貫通導(dǎo)向構(gòu)件的可使氣體流通的小孔，剝離時由氣體進(jìn)行加壓而從下向上推，也是有效的。
采用圖6所示的本發(fā)明的方法，在厚度約1.1mm的光盤基板(直徑120mm)的信號面上，例如利用轉(zhuǎn)速350rpm·15秒鐘的旋轉(zhuǎn)涂布涂布粘度400mPa·s的紫外線硬化性樹脂組成物，通過光硬化而形成厚度約0.1mm且厚度誤差2％以下的光透過層，對如此制造的光盤通過NA為0.85左右、激光波長約400nm的再生機(jī)進(jìn)行評價，結(jié)果是顯示出球面收差、聚焦性能良好的結(jié)果。例如，在聚焦殘差方面，與使用片狀基板形成光透過層的光盤相比，約縮小20％。從中可以證明，本發(fā)明的涂布方法(本發(fā)明的樹脂層形成方法)對于制造光盤的光透過層是一種良好的方法。
另外，在實施形態(tài)3中，涂布的平板例如是光盤之類的有孔的平板，但涂布的平板即使無孔、或不是圓形而是橢圓、三角形、方形、多邊形等的形狀，也可得到本發(fā)明的效果。
綜上所述，采用本發(fā)明的涂布方法，與傳統(tǒng)的涂布方法相比，可飛躍性地形成膜厚誤差小的涂布膜。另外，采用本發(fā)明的樹脂層涂布方法，與以往相比，可減少膜厚誤差，降低成本，可形成高品質(zhì)的樹脂層。特別是導(dǎo)向構(gòu)件相對平板側(cè)面線狀大致接觸時，本發(fā)明的效果明顯。
另外，采用本發(fā)明的涂布方法，在向平板涂布光硬性化樹脂組成物、使形成后的涂膜曝光而硬化成為樹脂層的場合，在使導(dǎo)向構(gòu)件遠(yuǎn)離平板的狀態(tài)下得到具有涂膜的平板，其次，將其涂膜曝光、或者在形成了涂膜的狀態(tài)下保持原樣地(即、保持導(dǎo)向構(gòu)件與平板側(cè)面大致接觸的狀態(tài)) 將涂膜曝光而形成樹脂層，然后，通過將多余的樹脂層除去，可在平板上形成厚度誤差小的樹脂層。這種樹脂層的形成方法對光盤例如、保護(hù)層、光透過層等由光硬化性樹脂組成物形成的場合特別有用。
權(quán)利要求
1.一種樹脂層的形成方法，它是在平板上形成樹脂層的方法，其特征在于，包括(1)在具有相對的第1主面和第2主面所組成的平板的第1主面上涂布光硬化性樹脂組成物；(2)然后，通過將光硬化性樹脂組成物曝光而使其硬化，形成樹脂層，光硬化性樹脂組成物的涂布，是通過使用液體材料的涂布方法來實施，即通過將平板的側(cè)面與導(dǎo)向構(gòu)件大致接觸、并使導(dǎo)向構(gòu)件的上面位于相對平板的第1主面大致同一的水平面，在將平板配置于載物臺上的狀態(tài)下，對光硬化性樹脂組成物進(jìn)行旋轉(zhuǎn)涂布，形成向?qū)驑?gòu)件的上面和平板的第1主面延伸的光硬化性樹脂組成物的涂膜，光硬化性樹脂組成物的硬化采用以下兩種方法中的一種來實施，即(a)、將平板從載物臺上取走，使該平板曝光而使第1主面上的涂膜部分硬化，或者(b)、在導(dǎo)向構(gòu)件與平板的側(cè)面大致接觸的狀態(tài)下，使向?qū)驑?gòu)件的上面和平板的第1主面延伸的涂膜硬化。
2.如權(quán)利要求1所述的樹脂層的形成方法，其特征在于，在液體材料的涂布方法中，導(dǎo)向構(gòu)件與平板的側(cè)面線狀大致接觸。
3.如權(quán)利要求1所述的樹脂層的形成方法，其特征在于，導(dǎo)向構(gòu)件是與平板的外周側(cè)面大致接觸的外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件。
4.如權(quán)利要求3所述的樹脂層的形成方法，其特征在于，平板具有貫通于其厚度方向的孔，導(dǎo)向構(gòu)件又是與平板的內(nèi)周側(cè)面大致接觸的內(nèi)側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件。
5.如權(quán)利要求1所述的樹脂層的形成方法，其特征在于，在液體材料的涂布方法中，在旋轉(zhuǎn)涂布時，導(dǎo)向構(gòu)件圍繞與平板相同的旋轉(zhuǎn)中心并以相同的角速度旋轉(zhuǎn)。
6.如權(quán)利要求1所述的樹脂層的形成方法，其特征在于，在液體材料的涂布方法中，為了進(jìn)行旋轉(zhuǎn)涂布，在將平板配置于載物臺時，平板的第2主面的外周部與載物臺不接觸。
7.如權(quán)利要求4所述的樹脂層的形成方法，其特征在于，在液體材料的涂布方法中，為了進(jìn)行旋轉(zhuǎn)涂布，在將平板配置于載物臺時，平板的第2主面的內(nèi)周部與載物臺不接觸。
8.如權(quán)利要求1所述的樹脂層的形成方法，其特征在于，形成的涂膜厚度是20μm～500μm。
9.如權(quán)利要求1所述的樹脂層的形成方法，其特征在于，在光硬化性樹脂組成物硬化時，在將涂布后的平板從載物臺取走之前，使導(dǎo)向構(gòu)件離開平板。
10.如權(quán)利要求1所述的樹脂層的形成方法，其特征在于，在光硬化性樹脂組成物硬化時，在使向?qū)驑?gòu)件的上面和平板的第1主面延伸的涂膜硬化后，將平板從載物臺取走，將從平板的外周緣向外突出的樹脂層部分除去。
11.如權(quán)利要求1所述的樹脂層的形成方法，其特征在于，平板是光盤基板。
12.一種液體材料的涂布方法，包括在具有相對的第1主面和第2主面所組成的平板的第1主面上涂布液體材料，其特征在于，液體材料的涂布是使用外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件來實施，通過將外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件與平板的外周側(cè)面線狀大致接觸，并使外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件上面位于相對平板的第1主面大致同一的水平面，在將平板配置于載物臺上的狀態(tài)下，旋轉(zhuǎn)涂布液體材料，而形成向外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件的上面和平板的第1主面延伸的液體材料的涂膜。
13.一種液體材料的涂布方法，包括在具有相對的第1主面和第2主面所組成的平板的第1主面上涂布液體材料，其特征在于，平板具有貫通于其厚度方向的孔，液體材料的涂布是使用配置于孔中的內(nèi)側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件來實施，通過將內(nèi)側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件與平板的內(nèi)周側(cè)面線狀大致接觸，并使內(nèi)側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件上面位于相對平板的第1主面大致同一的水平面，在將平板配置于載物臺上的狀態(tài)下，旋轉(zhuǎn)涂布液體材料，而形成向內(nèi)側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件的上面和平板的第1主面延伸的液體材料的涂膜。
14.如權(quán)利要求13所述的液體材料的形成方法，其特征在于，內(nèi)側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件與平板的內(nèi)周側(cè)面線狀大致接觸。
15.如權(quán)利要求13所述的液體材料的形成方法，其特征在于，液體材料的涂布是還使用外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件來實施，將外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件與平板的外周側(cè)面線狀大致接觸，并使外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件上面位于相對平板的第1主面大致同一的水平面，在將平板配置于載物臺上的狀態(tài)下進(jìn)行液體材料的旋轉(zhuǎn)涂布。
16.如權(quán)利要求13所述的液體材料的形成方法，其特征在于，在旋轉(zhuǎn)涂布時，導(dǎo)向構(gòu)件圍繞與平板相同的旋轉(zhuǎn)中心、并以相同的角速度旋轉(zhuǎn)。
17.如權(quán)利要求13所述的液體材料的形成方法，其特征在于，形成的涂膜厚度是20μm～500μm。
18.如權(quán)利要求12所述的液體材料的形成方法，其特征在于，外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件與平板的外周側(cè)面線狀大致接觸。
19.如權(quán)利要求12所述的液體材料的形成方法，其特征在于，在旋轉(zhuǎn)涂布時，導(dǎo)向構(gòu)件圍繞與平板相同的旋轉(zhuǎn)中心、并以相同的角速度旋轉(zhuǎn)。
20.如權(quán)利要求12所述的液體材料的形成方法，其特征在于，形成的涂膜厚度是20μm～500μm。
21.一種涂布裝置，是利用旋轉(zhuǎn)涂布向平板涂布液體材料用的涂布裝置，其特征在于，包括支承平板、且可旋轉(zhuǎn)的載物臺；與配置于載物臺的平板的側(cè)面線狀大致接觸的導(dǎo)向構(gòu)件，其上面位于相對配置于載物臺的平板的第1主面大致同一水平面；以及向平板的第1主面上供給液體材料的機(jī)構(gòu)。
22.如權(quán)利要求21所述的涂布裝置，其特征在于，平板還包括具有貫通于其厚度方向的孔、并與配置于載物臺的平板的內(nèi)周側(cè)面大致接觸的內(nèi)側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件，內(nèi)側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件具有位于相對平板的第1主面大致同一水平面的上面，供給液體材料的機(jī)構(gòu)向平板的第1主面及/或內(nèi)側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件的上面供給液體材料。
23.如權(quán)利要求22所述的涂布裝置，其特征在于，內(nèi)側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件與平板的內(nèi)周側(cè)面線狀大致接觸。
24.如權(quán)利要求21所述的涂布裝置，其特征在于，在將平板配置于載物臺上時，平板的第2主面的外周部與載物臺不接觸。
25.如權(quán)利要求22所述的涂布裝置，其特征在于，在將平板配置于載物臺上時，平板的第2主面的內(nèi)周部與載物臺不接觸。
26.如權(quán)利要求21所述的涂布裝置，其特征在于，外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件以與載物臺旋轉(zhuǎn)相同的旋轉(zhuǎn)中心、并以相同的角速度進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。
27.如權(quán)利要求22所述的涂布裝置，其特征在于，外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件和內(nèi)側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件以與載物臺旋轉(zhuǎn)相同的旋轉(zhuǎn)中心、并以相同的角速度進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。
28.如權(quán)利要求21所述的涂布裝置，其特征在于，具有平板涂布后使外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件遠(yuǎn)離平板、然后將涂布的平板從載物臺取走的機(jī)構(gòu)。
29.如權(quán)利要求21所述的涂布裝置，其特征在于，具有平板涂布后使外側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件和內(nèi)側(cè)導(dǎo)向構(gòu)件遠(yuǎn)離平板、然后將涂布后的平板從載物臺取走的機(jī)構(gòu)。
30.一種光盤制造方法，是采用權(quán)利要求1所述的樹脂層形成方法的光盤制造方法，其特征在于，將光透過層或保護(hù)層形成為樹脂層。
31.一種樹脂層的形成裝置，是在平板上形成使光硬化性樹脂組成物硬化的樹脂層的樹脂層形成裝置，其特征在于，包括權(quán)利要求21所述的涂布裝置；將形成有作為液體材料的光硬化性樹脂組成物涂膜的平板從載物臺取走的機(jī)構(gòu)；以及將取走后的平板上形成的涂膜部分曝光、使光硬化性樹脂組成物硬化而形成樹脂層的機(jī)構(gòu)。
32.一種樹脂層的形成裝置，是在平板上形成使光硬化性樹脂組成物硬化的樹脂層的樹脂層形成裝置，其特征在于，包括權(quán)利要求21所述的涂布裝置；將形成于平板的第1主面和導(dǎo)向構(gòu)件的上面上的涂膜保持原樣地曝光、使光硬化性樹脂組成物硬化而形成樹脂層的機(jī)構(gòu)；將平板從載物臺取走的機(jī)構(gòu)；以及將從除去后的平板的邊緣突出的樹脂層部分除去的機(jī)構(gòu)。
33.一種光盤的制造裝置，是具有光透過層或保護(hù)層的光盤的制造裝置，其特征在于，具有形成作為光透過層或保護(hù)層的樹脂層的如權(quán)利要求31所述的樹脂層形成裝置所組成。
34.一種光盤的制造裝置，是具有光透過層或保護(hù)層的光盤的制造裝置，其特征在于，具有形成作為光透過層或保護(hù)層的樹脂層的如權(quán)利要求32所述的樹脂層形成裝置所組成。
全文摘要
一種在平板上形成樹脂層的方法，包括(1)在平板(102)的第1主面(112)上涂布作為液體材料的光硬化性樹脂組成物(110)；(2)然后通過將光硬化性樹脂組成物曝光而硬化、形成樹脂層，光硬化性樹脂組成物的涂布是通過將平板的側(cè)面與導(dǎo)向構(gòu)件(103、104)大致接觸、并使導(dǎo)向構(gòu)件的上面(114、120)位于相對平板的第1主面大致同一的水平面，在將平板配置于載物臺上的狀態(tài)下進(jìn)行旋轉(zhuǎn)涂布，而在平板的第1主面涂布光硬化性樹脂組成物，形成向?qū)驑?gòu)件的上面和平板的第1主面延伸的涂膜，將該涂膜曝光。由此，通過旋轉(zhuǎn)涂布可使形成的涂膜厚度均勻化，使最終形成的樹脂層的厚度均勻化。
文檔編號H01L21/027GK1429664SQ0216049
公開日2003年7月16日 申請日期2002年12月27日 優(yōu)先權(quán)日2001年12月28日
發(fā)明者伊藤英一, 久田和也, 林一英, 阿部伸也, 大野銳二 申請人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會社