專利名稱：Lsi掩模制造系統(tǒng)、lsi掩模制造方法及l(fā)si掩模制造程序的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及制造大規(guī)模集成電路(LSI)系統(tǒng)的掩模的方法、系統(tǒng)、以及程序。
背景技術(shù)：
通常，需要根據(jù)每一半導體制造工藝制造掩模和光刻掩模版。因此，首先，基于大規(guī)模集成電路的設計通過使用計算機輔助設計(CAD)系統(tǒng)生成對應于多個掩模中的每個的掩模數(shù)據(jù)。接著，通過使用諸如電子束寫入器的圖案生成器生成能夠被置于彼此之上的掩模，從而，完成了掩模組。進而，檢查每一掩模。最后，檢查之后的掩模將被用于半導體制造工藝。
通常，諸如半導體制造者、半導體代工廠的客戶指定掩模規(guī)格、特殊編號、以及交貨時間，從而向掩模室訂購掩模，掩模室在交貨時間之前交貨。然而，在這樣的傳統(tǒng)掩模制造方法和系統(tǒng)中，所有的時間安排及機器(例如圖案生成器)都取決于掩模制造室方的決定，客戶不能在掩模制造室方選擇任何時間安排或機器。從而，當改變掩模設計或有其它事情發(fā)生時，制造者很難加急準備掩模。
另外，取得掩模的傳統(tǒng)方法和系統(tǒng)被提供給大客戶，即訂購和委托大量掩模制造的客戶。因而，訂購少量掩模制造的小客戶很難訂購，他們可能失去商業(yè)機會。
而且，還存在涉及掩模生產(chǎn)的安全問題。因此，在研究和開發(fā)中絕對保密地制造掩模，在傳統(tǒng)的掩模制造方法和系統(tǒng)中是不可能的。另外，在掩模室中，提高半導體制造的成本價格的一個因素是在多個地點(或站點)操作制造工具的人力費用。

發(fā)明內(nèi)容
一種大規(guī)模集成電路掩模制造系統(tǒng)，包括網(wǎng)絡；門戶站點服務器，被配置以被連接至該網(wǎng)絡；用戶終端，被配置以被連接至該門戶站點服務器；主終端，被配置以被連接至該網(wǎng)絡；以及光刻單元，被配置以被連接至該主終端。
一種大規(guī)模集成電路掩模制造系統(tǒng)，包括網(wǎng)絡；門戶站點服務器，被配置以被連接至該網(wǎng)絡；用戶終端，被配置以被連接至該門戶站點服務器；主終端，被配置以被連接至該網(wǎng)絡；以及掩模制造單元，被配置以被連接至該主終端。
一種用于大規(guī)模集成電路掩模制造的計算機執(zhí)行的方法，包括在光刻單元數(shù)據(jù)庫中儲存連接至網(wǎng)絡的光刻單元的性能信息；接收來自連接至該網(wǎng)絡的用戶終端的光刻數(shù)據(jù)和光刻預訂條件；在光刻數(shù)據(jù)數(shù)據(jù)庫中儲存光刻數(shù)據(jù)；搜索符合該光刻預訂條件的光刻單元，生成光刻單元列表，并將該列表發(fā)送給該用戶終端；以及接收被該用戶終端指定的光刻單元的信息并將光刻請求發(fā)送給被該用戶終端指定的光刻單元。
一種用于大規(guī)模集成電路掩模制造的計算機執(zhí)行的方法，該方法包括在掩模制造單元數(shù)據(jù)庫中儲存連接至網(wǎng)絡的掩模制造單元的性能信息；接收來自連接至該網(wǎng)絡的用戶終端的數(shù)據(jù)和預訂條件；在掩模制造數(shù)據(jù)數(shù)據(jù)庫中儲存該數(shù)據(jù)；基于該預訂條件確定訂購范圍；搜索符合該預訂條件的掩模制造單元，生成掩模制造單元列表，并將該列表發(fā)送給該用戶終端；以及接收該被用戶終端指定的掩模制造單元的信息并將請求發(fā)送給被該用戶終端指定的掩模制造單元。
一種用于和掩模制造單元一起使用的計算機程序產(chǎn)品，該計算機程序產(chǎn)品包括在光刻單元數(shù)據(jù)庫中儲存連接至網(wǎng)絡的光刻單元的性能信息的指令；接收來自連接至該網(wǎng)絡的用戶終端的光刻數(shù)據(jù)和光刻預訂條件的指令；在光刻數(shù)據(jù)數(shù)據(jù)庫中儲存光刻數(shù)據(jù)的指令；搜索符合該光刻預訂條件的光刻單元，生成光刻單元列表，并將該列表發(fā)送給該用戶終端的指令；以及接收被該用戶終端指定的光刻單元的信息并將光刻請求發(fā)送給被該用戶終端指定的光刻單元的指令。
一種用于和掩模制造單元一起使用的計算機程序產(chǎn)品，該計算機程序產(chǎn)品包括在掩模制造單元數(shù)據(jù)庫中儲存連接至網(wǎng)絡的掩模制造單元的性能信息的指令；接收來自連接至該網(wǎng)絡的用戶終端的數(shù)據(jù)和預訂條件的指令；在掩模制造數(shù)據(jù)數(shù)據(jù)庫中儲存該數(shù)據(jù)的指令；基于該預訂條件確定訂購范圍的指令；搜索符合該預訂條件的掩模制造單元，生成掩模制造單元列表，并將該列表發(fā)送給該用戶終端的指令；以及接收被該用戶終端指定的掩模制造單元的信息并將請求發(fā)送給被該用戶終端指定的掩模制造單元的指令。


圖1是示出根據(jù)本發(fā)明的第一實施例的大規(guī)模集成電路掩模制造系統(tǒng)的概要圖；圖2是示出圖1中的門戶站點服務器的框圖；圖3A和圖3B是示出根據(jù)本發(fā)明的第一實施例的大規(guī)模集成電路掩模制造方法的流程圖；圖4是示出圖3B中所示的光刻數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)送程序的流程圖；圖5是本發(fā)明的第一實施例的轉(zhuǎn)送程序窗口的例子；圖6是示出圖3B所示的光刻預訂程序的流程圖；圖7是本發(fā)明的第一實施例的光刻單元預訂窗口的例子；圖8是本發(fā)明的第一實施例的時間預報程序窗口的例子；圖9是本發(fā)明的第一實施例的搜索結(jié)果顯示窗口的例子；圖10是示出圖3B所示的配置程序的流程圖；圖11是本發(fā)明的第一實施例的光刻開始菜單的例子；圖12是示出圖3B所示的監(jiān)控程序的流程圖；圖13是本發(fā)明的第一實施例的光刻狀態(tài)監(jiān)控窗口的例子；圖14是示出圖3B所示的終止程序的流程圖；
圖15是示出根據(jù)本發(fā)明的第一實施例的預訂時間和收費時間之間的關(guān)系的圖表；圖16是示出根據(jù)本發(fā)明的第二實施例的掩模制造系統(tǒng)的概念圖；圖17是示出圖16所示的掩模制造系統(tǒng)的框圖；圖18、圖19A、以及圖19B是示出根據(jù)本發(fā)明的第二實施例的掩模制造方法的流程圖；圖19C是示出圖19B所示的終止程序的流程圖；以及圖20是本發(fā)明的第二實施例的選擇窗口的例子。
具體實施例方式
下面將參考

本發(fā)明的多個實施例。應當注意的是，在所有附圖中，相同或同樣的參考符號被用于相同或同樣的部分和部件，相同或同樣部分和部件的描述將被省略或簡化。
在以下的描述中，將闡明很多諸如具體信號值等的具體細節(jié)以提供對本發(fā)明的徹底理解。然而，對于本領(lǐng)域技術(shù)人員顯而易見的是，在沒有這些具體細節(jié)的情況下，本發(fā)明也可以在其它情況下實施。為了避免本發(fā)明在非必要的細節(jié)中不明確，所以以框圖的形式顯示了公知的電路。第一實施例-光刻系統(tǒng)的體系結(jié)構(gòu)如圖1和圖2所示，根據(jù)本發(fā)明的第一實施例的大規(guī)模集成電路掩模制造系統(tǒng)包括門戶站點服務器1，第一用戶終端3a，第二用戶終端3b，第三用戶終端3c，具有第一光刻單元5a1、第二光刻單元5a2、和第三光刻單元5a3的第一主終端4a，具有第四光刻單元5b1、第五光刻單元5b2、和第六光刻單元5b3的第二主終端4b，具有第七光刻單元5c1、第八光刻單元5c2、和第九光刻單元5c3的第三主終端4c，具有第十光刻單元5d1、第十一光刻單元5d2、和第十二光刻單元5d3的第四主終端4d，以及連接該門戶站點服務器1、該用戶終端3a-3c和該主終端4a-4d的網(wǎng)絡6。
在本發(fā)明的第一實施例中，互聯(lián)網(wǎng)被建議作為網(wǎng)絡6的一個例子。然而，諸如LAN或個人計算機通信網(wǎng)絡的其它網(wǎng)絡是可替代選項和優(yōu)選的。另外，第一主終端4a、第二主終端4b、第三主終端4c、以及第四主終端4d都可以在一個國家或多個國家連接至網(wǎng)絡6。例如，下面的情況是可能的，第一主終端4a和第二主終端4b在日本連接至網(wǎng)絡6，第三主終端4c在美國連接至網(wǎng)絡6，第四主終端4d在德國連接至網(wǎng)絡6。
該門戶站點服務器1接受第一用戶終端3a、第二用戶終端3b、以及第三用戶終端3c的請求，并預訂第一光刻單元5a1至第十二光刻單元5d3中之一，其被連接至第一主終端4a至第四主終端4d，并符合用戶請求。第一用戶終端3a、第二用戶終端3b、以及第三用戶終端3c可以和該門戶站點服務器1通信。通過該門戶站點服務器1，第一用戶終端3a、第二用戶終端3b、以及第三用戶終端3c搜索光刻單元，進而連接至第一主終端4a至第四主終端4d，并請求預訂。該第一光刻單元5a1至該第十二光刻單元5d3中的每個被連接至該第一主終端4a至該第四主終端4d中之一。該第一主終端4a至該第四主終端4d通過使用該網(wǎng)絡6接受來自門戶站點服務器1的訂單。使用陸地或航空運送工具將完成的掩模交付給該用戶。
門戶站點服務器1、第一至第三用戶終端3a-3c、第一至第四主終端4a-4d中的每個都包括CPU、輸入裝置、輸出裝置、主存儲單元、以及輔助存儲單元(硬盤)。然后，每一CPU分析從網(wǎng)絡6接收的消息，且包括在線控制單元，其執(zhí)行請求程序。另外，該CPU還包括通信控制單元，以將接收的消息通過網(wǎng)絡6傳送給該在線控制單元。此外，位于該門戶站點服務器1的CPU 2包括數(shù)據(jù)庫管理單元。當輸入和輸出需要用于用戶ID數(shù)據(jù)庫30、光刻數(shù)據(jù)數(shù)據(jù)庫31、光刻單元數(shù)據(jù)庫32、以及窗口數(shù)據(jù)庫33時，該數(shù)據(jù)庫控制單元搜索空間以儲存文件、取回文件以及編輯文件。
如圖2所示，該門戶站點服務器1包括輸入單元35、輸出單元36、主存儲器37、輸入/輸出控制單元38、通信控制單元39、用戶ID數(shù)據(jù)庫30、光刻數(shù)據(jù)數(shù)據(jù)庫31、光刻單元數(shù)據(jù)庫32、窗口數(shù)據(jù)庫33、以及CPU 2。用戶ID數(shù)據(jù)庫30、光刻數(shù)據(jù)數(shù)據(jù)庫31、光刻單元數(shù)據(jù)庫32、以及窗口數(shù)據(jù)庫33被儲存在門戶站點服務器1中。另外，可以通過數(shù)據(jù)庫服務器連接用戶ID數(shù)據(jù)庫30、光刻數(shù)據(jù)數(shù)據(jù)庫31、光刻單元數(shù)據(jù)庫32、以及窗口數(shù)據(jù)庫33。
用戶ID數(shù)據(jù)庫30儲存分給每一用戶的識別號。從儲存在用戶ID數(shù)據(jù)庫30的識別號中可能得到數(shù)據(jù)儲存在哪里的信息。光刻數(shù)據(jù)數(shù)據(jù)庫31是用于臨時儲存用戶從第一至第三用戶終端3a-3c接收到的大規(guī)模集成電路掩模的光刻數(shù)據(jù)的記憶裝置。光刻單元數(shù)據(jù)庫32儲存連接至主終端4a-4d中之一的光刻單元5a1-5d3中的每個的信息，并搜索滿足用戶需求的光刻單元。窗口數(shù)據(jù)庫33是儲存用于在門戶站點服務器1提供的各種服務的窗口的數(shù)據(jù)存儲裝置。
此外，門戶站點服務器1的CPU 2包括發(fā)送單元9、定單接收單元10、光刻數(shù)據(jù)接收單元11、光刻時間預報單元12、光刻單元搜索單元13、光刻單元預訂單元14、光刻配置單元15、光刻監(jiān)控單元16、光刻數(shù)據(jù)刪除單元17、以及光刻單元收費單元18。
該發(fā)送單元9基于來自第一用戶終端3a至第三用戶終端3c的請求適當?shù)剡x擇儲存在窗口數(shù)據(jù)庫33中的每一窗口，并將選擇的窗口發(fā)送給用戶終端3a-3c中之一。定單接收單元10從用戶終端3a-3c接收掩模光刻請求。光刻數(shù)據(jù)接收單元11接收來自用戶終端3a-3c的光刻數(shù)據(jù)。光刻時間預報單元12估算在光刻單元5x1中需要用于掩模光刻的時間。用戶基于持續(xù)時間確定光刻單元5x1的預訂時間，該持續(xù)時間由光刻時間預報單元12預報。光刻單元搜索單元13基于從用戶終端3a-3c接收的光刻條件搜索最適合的光刻單元5x1。光刻單元預訂單元14基于來自第一至第三用戶終端3a-3c的請求預訂光刻單元5x1。光刻配置單元15在光刻單元5x1配置掩模光刻條件。另外，用戶通過使用第一用戶終端3a至第三用戶終端3c可手動配置光刻配置單元15。另外，用戶也可以選擇光刻條件的自動配置。光刻監(jiān)控單元16接收來自光刻單元5x1的光刻狀態(tài)，并將該光刻狀態(tài)發(fā)送給第一用戶終端3a至第三用戶終端3c。光刻數(shù)據(jù)刪除單元17基于請求從第一用戶終端3a至第三用戶終端3c接收刪除的數(shù)據(jù)，并刪除儲存在光刻數(shù)據(jù)數(shù)據(jù)庫31中的光刻數(shù)據(jù)。光刻單元收費單元18基于光刻單元5x1使用的實際時間記在第一用戶終端3a至第三用戶終端3c的帳上，并清除大規(guī)模集成電路掩模光刻系統(tǒng)提供的光刻服務。
輸入單元35可包括鍵盤、鼠標、以及光學字符閱讀機(OCR)或類似的識別裝置、諸如圖像掃描儀的圖像輸入單元、或諸如聲音模式識別單元的專用輸入單元，同時，輸出單元36可包括諸如液晶顯示器、陰極射線管(CRT)顯示器的顯示單元、或諸如噴墨打印機或激光打印機的打印機。
輸入/輸出控制單元(輸入/輸出接口單元)38是將輸入單元35、輸出單元36、從諸如光盤只讀存儲器(CD-ROM)、磁光碟(MO)或軟盤(FD)的存儲介質(zhì)讀取數(shù)據(jù)的讀取單元連接至CPU 2的接口。主存儲器37包括只讀存儲器(ROM)和隨機存取存儲器(RAM)。該只讀存儲器起到用于儲存將在CPU 2中執(zhí)行的程序的程序存儲器的作用。該隨機存取存儲器起到用作用于臨時儲存程序執(zhí)行期間在CPU 2中使用的數(shù)據(jù)的工作區(qū)的臨時數(shù)據(jù)存儲器的作用。該通信控制裝置24是用于和網(wǎng)絡6連接的接口。從而，例如，其可以是終端適配器(TA)、撥號路由器、或網(wǎng)卡。另外，其甚至可以是諸如調(diào)制解調(diào)器、數(shù)據(jù)服務單元(DSU)、通信控制單元(CCU)、或通信控制處理器(CCP)的數(shù)據(jù)電路-端接設備。-涉及本發(fā)明的第一實施例的大規(guī)模集成電路掩模制造系統(tǒng)如圖3A和圖3B所示，將解釋本發(fā)明的第一實施例的大規(guī)模集成電路掩模光刻方法。
(a)首先，在圖3A的步驟S8中，該門戶站點服務器1從連接至第一至第四主終端中之一的第一至第十二光刻單元5a1-5d3中的每個接收光刻單元的詳細性能信息。接著，在步驟S9，門戶站點服務器1將第一至第十二光刻單元5a1-5d3的詳細性能信息儲存在光刻單元數(shù)據(jù)庫32中。在步驟S10，確定是否存在下一光刻單元，當存在光刻單元數(shù)據(jù)庫32還沒有接收性能信息的下一光刻單元時，重復步驟S8至S10的程序。如果光刻單元數(shù)據(jù)庫32接收光刻單元的所有性能信息時，光刻單元的接收程序結(jié)束，該程序進行到步驟S11中的程序。
(b)在圖3B的步驟S11中，門戶站點服務器1接受來自第一至第三用戶終端3a-3c中之一的連接請求。在本發(fā)明的第一實施例中，為了易于描述，門戶站點服務器1接受來自第一用戶終端3a的連接請求。接著，在步驟S12，門戶站點服務器1的發(fā)送單元9將服務選擇窗口發(fā)送給第一用戶終端3a。在該服務選擇窗口中，用戶可以通過第一用戶終端3a選擇諸如轉(zhuǎn)送光刻數(shù)據(jù)(S15)、光刻預訂(S17)、光刻條件配置(S19)、光刻監(jiān)控(S21)、以及終止程序(S23)的服務。在步驟S13，定單接收單元10接收來自第一用戶終端3a的用戶選擇的服務信息，并執(zhí)行用戶選擇的服務。
(c)在步驟S14，門戶站點服務器1確定在步驟S13被選擇的信息是否是光刻數(shù)據(jù)的轉(zhuǎn)送。如果其是光刻數(shù)據(jù)的轉(zhuǎn)送，該程序進行至步驟S15的程序，并開始光刻數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)送程序。接著，門戶站點服務器1還執(zhí)行用于接收從第一用戶終端3a發(fā)送的光刻數(shù)據(jù)的程序。如果其不是光刻數(shù)據(jù)的轉(zhuǎn)送，該程序進行至步驟S16。
(d)在步驟S16，門戶站點服務器1確定其是否是在步驟S13接收的被選擇信息。如果其是光刻預訂，則該程序進行至步驟S17，開始光刻預訂程序，且基于第一用戶終端3a的請求執(zhí)行光刻單元的預訂程序。如果其不是光刻預訂，程序進行至步驟S18。
(e)在步驟S18，門戶站點服務器1確定被選擇信息是否是光刻條件配置。如果其是光刻條件配置，該程序進行至步驟S19，且基于來自第一用戶終端3a的請求執(zhí)行光刻單元5x1的光刻條件配置程序。如果其不是光刻條件配置，該程序進行至步驟S20。
(f)在步驟S20，門戶站點服務器1確定在步驟S13接收的被選擇信息是否是光刻監(jiān)控。如果其是光刻監(jiān)控，程序進行至步驟S21，且執(zhí)行光刻監(jiān)控程序，在該光刻監(jiān)控程序中在光刻單元5x1的光刻狀態(tài)被發(fā)送給第一用戶終端3a。
(g)在步驟S22，門戶站點服務器1確定在步驟S13接收的被選擇信息是否是終止程序。如果其是終止程序，該程序進行至步驟S23，且基于第一用戶終端3a的請求刪除光刻數(shù)據(jù)。如果其不是終止程序，門戶站點服務器1斷開第一用戶終端3a并結(jié)束該程序。-轉(zhuǎn)送光刻數(shù)據(jù)(S15)如圖4所示，將解釋在圖3B的步驟S15中的用于轉(zhuǎn)送光刻數(shù)據(jù)的程序。
(a)當?shù)谝挥脩艚K端3a接收的選擇信息是圖3B的步驟S13的“轉(zhuǎn)送光刻數(shù)據(jù)”時，門戶站點服務器1在圖4的步驟S104開始轉(zhuǎn)送光刻數(shù)據(jù)程序。
(b)在步驟S105，發(fā)送單元9將轉(zhuǎn)送窗口41發(fā)送給第一用戶終端3a。圖5示出了轉(zhuǎn)送窗口41的例子。在轉(zhuǎn)送窗口41中顯示了分給每一用戶的用戶ID51。接著，用戶可將門戶站點服務器的目錄指定為服務器目錄52。在圖5所示的轉(zhuǎn)送窗口41中示出在門戶站點服務器1的頂部目錄中的用戶目錄被指定。該用戶還將掩模數(shù)據(jù)文件指定用于圖案數(shù)據(jù)53中的掩模圖案。在圖5中，諸如“patternFile1”和“patternFile2”的兩個文件被指定為圖案數(shù)據(jù)53。在布局設計數(shù)據(jù)54中，可以指定諸如圖案布局設計、對準標記圖案以及標記位置的布局設計數(shù)據(jù)的一個或多個文件。在圖5中，諸如“l(fā)ayoutFile1”和“l(fā)ayoutFile2”的兩個文件被選擇作為布局設計數(shù)據(jù)54。在標記庫55中，可以指定通常用于對準標記圖案和測量的一個或多個標記的庫。
在繪圖方法(drawing recipe)56中，一個或多個方法文件包括用于用戶希望控制的設置條件和曝光條件的參數(shù)。接著，在加密程序57中，用戶可選擇發(fā)送是否加密的特定數(shù)據(jù)。
(c)當數(shù)據(jù)(在服務器目錄52至加密程序57中)被選擇并被從第一用戶終端3a發(fā)送給門戶站點服務器1，門戶站點服務器1通過使用光刻數(shù)據(jù)接收單元11接收包括圖案數(shù)據(jù)的請求數(shù)據(jù)，儲存在光刻數(shù)據(jù)數(shù)據(jù)庫31中，并結(jié)束轉(zhuǎn)送光刻數(shù)據(jù)的程序。-預訂程序(S17)如圖6所示，將解釋圖3B的步驟S17中的預訂程序。
(a)當“光刻預訂”在圖3B的步驟S13中被選擇時，門戶站點服務器1在圖6中的步驟S114開始預訂程序。接著，在步驟S115，發(fā)送單元9將預訂窗口42發(fā)送給第一用戶終端3a。在圖7中示出了預訂窗口42的一個例子。首先，在預訂窗口42中顯示了用戶ID51。接著，在請求的站點58，用戶可指定并請求光刻單元被連接的站點。另外，在項目58b，用戶還可以指定具有一些靈活性的“優(yōu)先權(quán)”或沒有任何靈活性的“固定”。在圖7中，被稱作“國內(nèi)B”的站點被選擇并被列作站點名稱58a，并且在項目58b中“優(yōu)先權(quán)”被指定。從而，在圖7所示的例子中，國內(nèi)站點B被指定為優(yōu)先選擇。盡管沒有在圖7中示出，用來選擇光刻單元的項目可被放在訂購窗口42中。
(b)作為光刻類型(電子束(EB)/激光)59，電子束(EB)曝光或激光曝光可在項目59a被選擇。接著，在項目59b中也可以選擇“優(yōu)先權(quán)”或“固定的”。另外，可在制圖分辨率59c間接選擇用于激光的波長。在預訂窗口42中還可以指定掩模的尺寸和數(shù)目。還可在項目60a將掩模尺寸輸入英寸中，還可在項目60b輸入掩模數(shù)目。接著，用戶可指定請求開始時間61和請求結(jié)束時間62，且用戶可以設置預訂時間63。作為預訂時間63，項目63a中固定時間可被設置，但是用戶可在項目63b設置作圖時間預報程序以預報光刻時間并將該預報時間用作預訂時間。
(c)當在預訂窗口42中的所有項目被填滿時，從第一用戶終端3a將預訂數(shù)據(jù)發(fā)送給門戶站點服務器1，且門戶站點服務器1在圖6的步驟S116接收預訂數(shù)據(jù)。
(d)接著，在步驟S117，門戶站點服務器1確定作圖時間預報項目63b是否被選擇，如果作圖時間預報沒有被選擇，程序進行至步驟S120。如果作圖時間預報被選擇，發(fā)送單元9在步驟S118將時間預報程序窗口43發(fā)送給第一用戶終端3a。圖8示出了預報程序窗口43。如圖8所示，在預報程序窗口43，首先顯示了用戶ID51，如以上解釋的其它窗口一樣。然后，顯示諸如圖案數(shù)據(jù)53、布局設計數(shù)據(jù)54、標記庫55、繪圖方法56、掩模尺寸60a、以及掩模數(shù)目60b的項目。在項目64a，用戶可選擇是否執(zhí)行EB鄰近效應修正，并且當用戶選擇執(zhí)行EB鄰近效應修正時，用戶還可以在項目64b選擇類型。在圖8示出的例子中，用戶選擇執(zhí)行EB鄰近效應修正，其類型是劑量修正(a dose amount correction)。當用戶填滿所有信息時，第一用戶終端3a將用于時間預報的數(shù)據(jù)發(fā)送給門戶站點服務器1。
(e)在步驟S119，門戶站點服務器1從第一用戶終端3a接收用于時間預報的數(shù)據(jù)。接著，在步驟S120，光刻時間預報單元12執(zhí)行光刻預訂程序。在步驟S121，光刻單元搜索單元13至少搜索作為候選光刻單元的光刻單元5x1。
(f)在步驟S122，門戶站點服務器1將包括在步驟S120的搜索結(jié)果的列表的搜索結(jié)果顯示窗口44發(fā)送給第一用戶終端3a。圖9示出了搜索結(jié)果顯示窗口44的一個例子。如圖9所示，在搜索結(jié)果顯示窗口44中顯示了用戶ID51。此外，搜索結(jié)果顯示窗口44顯示了包括用于每個符合用戶所給條件的光刻單元的站點名稱65a、單元名稱65b、類型名稱65c、分辨率65d、開始時間65e、預訂時間65f、以及光刻價格65g的列表。接著，用戶選擇一個光刻單元，例如光刻單元5x1。接著，用戶通過在第一用戶終端3a的搜索結(jié)果顯示窗口44中選擇預訂編號66將光刻單元5x1預訂為候選單元。在圖9中，用戶在預訂編號66中選擇“1”。意味著用戶選擇了搜索結(jié)果顯示窗口44中示出的第一光刻單元。相應于該用戶的行動，門戶站點服務器1在步驟S123接收來自第一用戶終端3a的選擇的數(shù)據(jù)。
(g)在步驟S124，光刻單元預訂單元14將預訂信息發(fā)送給被用戶選擇的光刻單元5x1，且門戶站點服務器1結(jié)束預訂程序(S17)。-配置程序(S19)如圖10所示，將解釋圖3B的步驟S19中的光刻條件配置程序。
(a)當用戶選擇“配置程序(S19)”時，在圖10的步驟S134，門戶站點服務器1將光刻開始菜單45發(fā)送給第一用戶終端。如圖11所示，在光刻開始菜單45中顯示了用戶ID51。用戶可以使用第一終端3a選擇或輸入信息，比如圖案數(shù)據(jù)53、布局設計數(shù)據(jù)54、標記庫55、繪圖方法56、預訂編號66a、單元操作模式66b、以及預訂時間(開始時間)67。在圖11中，儲存在稱作“top”中“draw1”的目錄中的“patternFile1”和“patternFile2”被作為圖案數(shù)據(jù)53選擇。作為布局設計數(shù)據(jù)54，“draw1”中的“l(fā)ayoutFile1”和“l(fā)ayoutFile2”被選擇。作為標記目錄55，“draw1”中的“mark_lib”被選擇。作為繪圖方法56，“draw1”中的“draw_recipe”被選擇。預訂編號66a是“1”，且單元操作模式66b被設置為“手動”模式。接著，在圖11中，預訂(開始)時間67被設置為“2001年6月3日1000am”。
(b)在步驟S135，門戶站點服務器1從用戶終端3a接收用戶輸進光刻開始菜單45的開始數(shù)據(jù)。接著，在步驟S136，門戶站點服務器1確認單元操作模式66b是否被選擇為“手動”或“自動”用于指定“在先操作”是否被選擇。如果單元操作模式66b被選擇為“手動”模式，則“在先操作”被選擇，在步驟S138門戶站點服務器1將光刻條件配置窗口發(fā)送給第一用戶終端3a。接著，在步驟S139，門戶站點服務器1從第一用戶終端3a接收配置數(shù)據(jù)。如果單元操作模式66b被選擇為“自動”模式，則“在先操作”不被選擇，因此該程序進行至步驟S137中的程序，且門戶站點服務器1配置光刻條件。接著，該程序進行至步驟S140中的程序。
(c)在步驟S140，門戶站點服務器1連接至被用戶選擇的光刻單元5x1。接著，在步驟S141，門戶站點服務器1將手動或自動配置的配置數(shù)據(jù)發(fā)送給光刻單元5x1。光刻單元5x1接收配置數(shù)據(jù)并基于配置數(shù)據(jù)在預訂時間開始光刻程序。在光刻程序中，門戶站點服務器1從光刻單元5x1接收光刻程序報告。-監(jiān)控程序(S21)如圖12所示，將解釋圖3B的步驟S21中的光刻監(jiān)控程序。
(a)在圖12所示的步驟S142中，光刻監(jiān)控單元16從光刻單元5x1接收光刻程序報告。接著，在步驟S143，光刻監(jiān)控單元16在如圖13所示的光刻狀態(tài)監(jiān)控窗口46中將光刻程序報告發(fā)送給第一用戶終端3a。在光刻狀態(tài)監(jiān)控窗口46中，用戶可了解到哪個掩模在哪個程序，或是在當前時間程序進行到了什么程度。在光刻狀態(tài)監(jiān)控窗口46中示出了用戶ID51、開始時間68、預報結(jié)束時間69、用來顯示哪個掩模正在進行的項目70a、訂購的掩模數(shù)70b，在一定比例的光刻區(qū)域內(nèi)顯示程序狀況的項目71a(闡明在一定比例的光刻區(qū)域內(nèi)掩模光刻的程序狀態(tài)的項目)、在框架數(shù)字中顯示程序狀態(tài)的項目71b、以及圖示監(jiān)控器72。在圖示監(jiān)控器72中，光刻程序被分為多個程序或種類。因此，用戶可輕易地理解程序進行到了什么程度。在圖示監(jiān)控器72中，如圖13所示，光刻程序被分為八個控制系統(tǒng)，例如束偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)73、激光測量系統(tǒng)74、電子束生成器75、試件室75a、平臺驅(qū)動系統(tǒng)76、抽真空系統(tǒng)77、電子控制系統(tǒng)78、以及控制計算機79。當所有的已訂掩模繼續(xù)進行程序且掩模繪圖結(jié)束，程序進行至步驟S144中的程序。
(b)在步驟S144中，門戶站點服務器1確定光刻程序是否結(jié)束。如果光刻程序未結(jié)束，程序回到步驟S142中的程序并繼續(xù)從光刻單元5x1接收光刻狀態(tài)。如果光刻程序結(jié)束，刪除發(fā)送給光刻單元5x1的作為訂購信息的配置數(shù)據(jù)。然而，門戶站點服務器1仍然具有配置數(shù)據(jù)。因此，當某些事情發(fā)生且光刻單元5x1需要刪除的數(shù)據(jù)時，光刻單元5x1可以接收配置數(shù)據(jù)。因此，為了克服安全問題，可徹底刪除從第一用戶終端3a發(fā)送且臨時儲存在光刻單元5x1中的所有數(shù)據(jù)。-終止程序(S23)如圖14所示，將解釋圖3B的步驟S23中的終止程序。
(a)首先，當圖3B的步驟S23中的“終止程序”被選擇時，在圖14中的步驟S154發(fā)送單元9將刪除數(shù)據(jù)窗口發(fā)送給第一用戶終端3a。用戶可選擇數(shù)據(jù)以在刪除數(shù)據(jù)窗口刪除和輸入關(guān)于刪除數(shù)據(jù)的信息。接著，門戶站點服務器1從第一用戶終端3a接收關(guān)于刪除數(shù)據(jù)的信息。
(b)在步驟S156，光刻數(shù)據(jù)刪除單元17基于接收的來自第一用戶終端3a的關(guān)于刪除數(shù)據(jù)的信息破壞刪除數(shù)據(jù)。該刪除數(shù)據(jù)是存儲在門戶站點服務器1并發(fā)送給用戶選擇的光刻單元5x1的數(shù)據(jù)。當光刻程序在光刻單元5x1完成時，發(fā)送并儲存在光刻單元5x1中的數(shù)據(jù)被破壞。
(c)當數(shù)據(jù)的刪除程序結(jié)束時，光刻收費單元18將交易窗口發(fā)送給第一用戶終端3a，并要求用戶為光刻單元5x1的使用而付費。用戶通常為光刻單元5x1的真正使用時間而付費。例如，如圖15所示，當作出光刻預訂時，通過將預訂富余時間83加上預期的繪圖時間82來計算預訂時間85。接著，在繪圖后，僅對光刻單元5x1使用的實際時間開帳單。例如，圖15中的例子1示出直至結(jié)束時間86的時間將被開帳單。例子2示出當超出預訂時間時，超出時間84將被免除。換言之，在例子2中，盡管圖15中的時間包括預期的繪圖時間82、富余時間83、以及超出時間84，最長的開帳單時間僅是預訂時間，且是免付費時間的超出時間84被免除。當時間預報程序在使用時，為了減小時間預報的不精確，從開帳單時間中免除超出時間84。
(d)在步驟S158，門戶站點服務器1從第一用戶終端3a接收交易數(shù)據(jù)并結(jié)束圖3B中的步驟S23的終止程序。
本發(fā)明的第一實施例的大規(guī)模集成電路掩膜制造系統(tǒng)的功能及方法可被編程并保存在計算機可讀記錄介質(zhì)中。對于本發(fā)明的第一實施例的大規(guī)模集成電路掩模制造方法，保存在記錄介質(zhì)中的程序被傳送給計算機系統(tǒng)中的存儲器，然后被其操作單元操作，由此將該方法付諸實施。記錄介質(zhì)可從半導體存儲器、磁盤、光盤、光磁盤、磁帶、以及任何計算機可讀記錄介質(zhì)中選擇。
根據(jù)本發(fā)明的第一實施例的大規(guī)模集成電路掩模制造系統(tǒng)、方法和程序提供了用戶能夠選擇并控制時間表和光刻單元的系統(tǒng)、方法和程序。另外，根據(jù)本發(fā)明的第一實施例的大規(guī)模集成電路掩模制造系統(tǒng)、方法和程序還提供了能夠制造掩模而不將涉及用于掩模制造的光刻數(shù)據(jù)及程序條件的機密信息泄漏給第三人的系統(tǒng)、方法和程序。此外，根據(jù)本發(fā)明的第一實施例的大規(guī)模集成電路掩模制造系統(tǒng)、方法和程序還提供了通過導入在線訂購系統(tǒng)能夠減少人員費用以提供大規(guī)模集成電路掩模制造系統(tǒng)、方法和程序的系統(tǒng)、方法和程序。另外，根據(jù)本發(fā)明的第一實施例的大規(guī)模集成電路掩模制造系統(tǒng)、方法和程序還提供了由于用戶不必擁有作業(yè)率低用于專門用途或用于應用高科技的單元和機器從而能夠減少大規(guī)模集成電路掩模制造的成本的系統(tǒng)、方法和程序。用戶可以通過使用根據(jù)本發(fā)明的第一實施例的大規(guī)模集成電路掩模制造系統(tǒng)、方法和程序和其他用戶共享這些專用單元。另外，根據(jù)本發(fā)明的第一實施例的大規(guī)模集成電路掩模制造系統(tǒng)、方法和程序還為從小商業(yè)用戶到大用戶(大商業(yè)用戶)的較寬范圍的用戶提供了系統(tǒng)、方法以及程序。第二實施例如圖16所示，根據(jù)本發(fā)明的第二實施例的大規(guī)模集成電路掩模制造系統(tǒng)包括門戶站點服務器1，第一用戶終端3a，第二用戶終端3b，第三用戶終端3c，具有第一光刻單元5a1、第二光刻單元5a2、第三光刻單元5a3、第一計算機輔助設計單元(CAD)5a4、和第二CAD 5a5的第一主終端4a，具有第四光刻單元5b1、第五光刻單元5b2、和第六光刻單元5b3的第二主終端4b，具有第七光刻單元5c1、第八光刻單元5c2、第九光刻單元5c3、第一顯影單元5c4、第一灰化單元5c5、第一掩模檢查單元5c6、和第一蝕刻單元5c8的第三主終端4c，具有第十光刻單元5d1、第十一光刻單元5d2、第十二光刻單元5d3、第二顯影單元5d4、第二灰化單元5d5、第二掩模檢查單元5d6、第三CAD 5d7、第二蝕刻單元5d8、和調(diào)整單元5d9的第四主終端4d，具有第四CAD 5e1、第五CAD 5e2、和第六CAD 5e3的第五主終端4e，具有第七CAD 5f1、第八CAD 5f2、和第九CAD5f3的第六主終端4f，以及連接該門戶站點服務器1、該用戶終端3a-3c和該主終端4a-4f的網(wǎng)絡6。
在本發(fā)明的第二實施例中，互聯(lián)網(wǎng)被建議作為網(wǎng)絡6的一個例子。然而，諸如LAN或個人計算機通信網(wǎng)絡的其它網(wǎng)絡是可選的和優(yōu)選的。另外，第一主終端4a、第二主終端4b、第三主終端4c、第四主終端4d、第五主終端4e、第六主終端4f全部都可以在一個國家或多個國家連接至網(wǎng)絡6。例如，下面的情況是可能的，第一主終端4a和第二主終端4b在日本連接至網(wǎng)絡6，第三主終端4c在美國連接至網(wǎng)絡6，第四主終端4d在德國連接至網(wǎng)絡6。
如圖16和圖17所示，本發(fā)明的第二實施例中的大規(guī)模集成電路掩模制造系統(tǒng)具有如圖1和圖2所示的本發(fā)明的第一實施例中的大規(guī)模集成電路掩模制造系統(tǒng)的很多結(jié)構(gòu)。因此，將只解釋本發(fā)明的第二實施例中的大規(guī)模集成電路掩模制造系統(tǒng)的不同結(jié)構(gòu)。如圖17所示，本發(fā)明的第二實施例中的門戶站點服務器1和圖2的第一實施例中的門戶站點服務器1不同，本發(fā)明的第二實施例中的門戶站點服務器1具有中央處理單元(CPU)2，該中央處理單元包括發(fā)送單元9、接收單元20、數(shù)據(jù)接收單元21、時間預報單元22、掩模制造機器搜索單元23、掩模制造機器預訂單元24、配置單元25、監(jiān)控單元26、數(shù)據(jù)刪除單元27、收費單元28、以及訂購范圍確定單元29。另外，本發(fā)明的第二實施例中的門戶站點服務器1包括掩模制造數(shù)據(jù)數(shù)據(jù)庫95和掩模制造單元數(shù)據(jù)庫96，還包括ID數(shù)據(jù)庫30和窗口數(shù)據(jù)庫33。此外，通過網(wǎng)絡6將本發(fā)明的第二實施例中的門戶站點服務器1連接至掩模制造相關(guān)單元組5。掩模制造相關(guān)單元組5具有從設計數(shù)據(jù)中生成用于掩模的繪圖數(shù)據(jù)的CAD5x2、基于繪圖數(shù)據(jù)繪出掩模的光刻單元5x1、使抗蝕圖案顯影的顯影單元5x3、蝕刻是由鉻或鉻氧化物作為蝕刻掩模屏蔽的薄膜的抗蝕層的蝕刻單元5x6、使被蝕刻的抗蝕層灰化的灰化單元5x4、檢測掩模圖案上的誤差的掩模檢查單元5x5、以及調(diào)整掩模圖案的調(diào)整單元5x7。因而，掩模制造相關(guān)單元組可以是具有上述功能之一或多個上述功能的機器。例如，掩模制造相關(guān)單元組可以僅包括光刻單元5x1，或者掩模制造相關(guān)單元組可以包括CAD 5x2、光刻單元5x1、顯影單元5x3、灰化單元5x4、掩模檢查單元5x5、蝕刻單元5x6、以及調(diào)整單元5x7。此外，CAD 5x2可以是具有諸如修正光學鄰近效應、轉(zhuǎn)換數(shù)據(jù)、以及生成掩模布局圖的多種功能的CAD系統(tǒng)。
接收單元20接收來自用戶終端3a-3c的掩模制造請求。數(shù)據(jù)接收單元21接收來自用戶終端3a-3c的數(shù)據(jù)和預訂信息。時間預報單元22估算需要用于訂購的程序的時間，該訂購的程序是掩模制造。例如，時間預報單元22估計CAD 5x2需要的設計時間以及在光刻單元5x1的光刻時間。掩模制造機器搜索單元23基于從用戶終端3a-3c接收到的預訂條件搜索最合適的機器，建立可能的機器選擇的列表，并將列表發(fā)送給用戶終端3a-3c。例如，如果用戶選擇直至顯影程序的程序，掩模制造機器搜索單元23搜索滿足訂購條件的光刻單元、CAD以及顯影單元，建立列表并將該列表發(fā)送給用戶終端3a-3c。
掩模制造機器預訂單元24基于來自第一至第三用戶終端3a-3c的請求預訂至少一個掩模制造單元。例如，當用戶指定第五CAD5e2、第四光刻單元5b1、第二顯影單元5d4、第二灰化單元5d5、以及第二掩模檢查單元5d6時，掩模制造機器預訂單元24為每一程序預訂第五CAD 5e2、第四光刻單元5b1、第二顯影單元5d4、第二灰化單元5d5、以及第二掩模檢查單元5d6。用戶不需要從同樣的主終端選擇機器或單元。用戶可從多個主終端選擇機器或單元。另外，第一主終端4a至第六主終端4f的全部可不是在國內(nèi)級而是在國際級連接至網(wǎng)絡6。
配置單元25在用戶指定的每個單元配置詳細條件。例如，用戶可指定第一CAD 5a4和第一光刻單元5a1，配置單元25在第一CAD5a4和第一光刻單元5a1中的每個配置詳細條件。監(jiān)控單元26從每一單元接收程序報告并將程序報告發(fā)送給用戶終端3a-3c。例如，如果用戶選擇第一CAD 5a4和第一光刻單元5a1，監(jiān)控單元26從第一CAD 5a4接收程序報告并首先將程序報告發(fā)送給用戶終端3a-3c。當設計程序在第一CAD 5a4中結(jié)束時，監(jiān)控單元26從第一光刻單元5a1接收程序報告并將程序報告發(fā)送給用戶終端3a-3c。
數(shù)據(jù)刪除單元27基于請求從用戶終端3a-3c接收刪除數(shù)據(jù)，并刪除發(fā)送并儲存在每一指定的機器和單元中的數(shù)據(jù)。收費單元28基于機器和單元使用的實際時間向用戶終端3a-3c收費。然后，收賬的費用被支付給每一機器和單元的所有者。訂購范圍確定單元29基于從用戶終端3a-3c接收的預訂信息確定訂購范圍。
掩模制造數(shù)據(jù)數(shù)據(jù)庫95被連接至門戶站點服務器1并儲存需要用于掩模制造的數(shù)據(jù)?！靶枰糜谘谀Ｖ圃斓臄?shù)據(jù)”可以是需要用于每一預訂程序的數(shù)據(jù)。因此，如果訂購程序從設計程序開始，設計規(guī)格數(shù)據(jù)是“需要用于掩模制造的數(shù)據(jù)”之一。掩模制造單元數(shù)據(jù)庫96被連接至門戶站點服務器1并儲存第一至第三光刻單元5a1至5a3、第四至第六光刻單元5b1至5b3、第七至第九光刻單元5c1至5c3、第十至第十二光刻單元5d1至5d3、第一CAD 5a4、第二CAD 5a5、第三CAD 5d7、第四CAD 5e1至第六CAD 5e3、第七CAD5f1至第九CAD 5f3、第一顯影單元5c4、第二顯影單元5d4、第一灰化單元5c5、第二灰化單元5d5、第一掩模檢查單元5c6、第二掩模檢查單元5d6、第一蝕刻單元5c8、第二蝕刻單元5d8、以及調(diào)整單元5d9的性能信息。-大規(guī)模集成電路掩模制造方法如圖18、圖19A、和圖19B所示，將解釋本發(fā)明的第二實施例的大規(guī)模集成電路掩模制造方法。-開始程序(a)在圖18所示的步驟S190，門戶站點服務器1從連接至第一至第六主終端4a-4f的每一單元接收詳細的性能信息。例如，連接至第一至第六主終端4a-4f的這些單元是第一至第十二光刻單元5a1-5d3、第一CAD至第九CAD 5a4-5f3、第一顯影單元5c4、以及第二顯影單元5d4、第一灰化單元5c5、第二灰化單元5d5、第一掩模檢查單元5c6、第二掩模檢查單元5d6、第一蝕刻單元5c8、第二蝕刻單元5d8、以及調(diào)整單元5d9。
(b)接著，在步驟S191，門戶站點服務器1儲存被儲存在掩模制造單元數(shù)據(jù)庫95中的連接至主終端4a-4f的單元的詳細性能信息。
(c)在步驟S192，門戶站點服務器1確定是否存在接收詳細性能信息的下一單元，如果存在下一單元，程序回到步驟S190中的程序來重復步驟S190至步驟S192的程序。如果不存在接收詳細性能信息的下一單元，完成接收程序，該程序進行至圖19A所示的步驟S201中的程序。-主程序(a)在步驟S201，門戶站點服務器1接收并接受來自第一至第三用戶終端3a-3c中之一的連接請求。在本發(fā)明的第二實施例中，為了更易描述，門戶站點服務器1接受來自第二用戶終端3b的連接。在步驟S202，門戶站點服務器1的發(fā)送單元9將服務選擇窗口47傳送給第二用戶終端3b。除了用于本發(fā)明的第一實施例中解釋過的大規(guī)模集成電路掩模制造程序(圖3B中的S15-S23)的服務之外，用戶還可選擇圖20中所示的選擇窗口47a和47b中的掩模制造程序的各種服務。在選擇窗口47a，用戶可選擇諸如生成光刻數(shù)據(jù)(S310)、掩模光刻(S311)、掩模顯影(S312)、蝕刻(S313)、灰化(S314)、掩模檢查(S315)、以及掩模調(diào)整(S316)的服務。在選擇窗口47b，用戶可以選擇諸如OPC(S320)、數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換(S321)、以及生成掩模布局(S322)的設計程序。在服務選擇窗口47的頂部顯示了用戶ID51，在項目90a(開始程序)和90b(結(jié)束程序)中，用戶可以選擇并輸入用于選擇的區(qū)域。例如，用戶從圖20所示的“IN4”至“OUT2”中選擇區(qū)域。這意味著用戶從服務選擇窗口47中的掩模光刻(S311)至掩模顯影(S312)選擇程序。這些項目90a和90b可以是用戶可在其中輸入字和數(shù)字的輸入選框，或者項目90a和90b可以是用戶可從列表中進行選擇的下拉菜單。在用戶選擇服務或程序后，在步驟S203門戶站點服務器1接收來自第二用戶終端3b的服務選擇信息。
(b)在步驟S204，訂購范圍確定單元29確定從第二用戶終端3b接收的選擇信息以確認哪些服務被選擇以及哪些類型的數(shù)據(jù)必須從第二用戶終端3b接收。
(c)當所有的信息被確認時，在步驟S205，門戶站點服務器1的發(fā)送單元9調(diào)整用于被選擇的范圍的數(shù)據(jù)請求窗口并將數(shù)據(jù)請求窗口發(fā)送給第二用戶終端3b。接著，在步驟S206，門戶站點服務器1從第二用戶終端3b接收被請求的數(shù)據(jù)。
(d)在步驟S207，發(fā)送單元9調(diào)整用于被選擇的范圍的預訂窗口并將預訂窗口發(fā)送給第二用戶終端3b。接著，在步驟S208，數(shù)據(jù)接收單元21從第二用戶終端3b接收詳細預訂數(shù)據(jù)。
(e)在步驟S209，門戶站點服務器1確定預期時間程序是否被選擇。如果預期時間程序是否被選擇，在步驟S210，時間預報單元22基于詳細預訂信息預報需要多長時間完成被請求的程序。如果被請求的程序需要多個單元，時間預報單元22估算每一單元所需要的時間，并將每一單元所需要的進行諸如傳輸數(shù)據(jù)的通信的時間包括在內(nèi)。例如，如圖20所示，用戶選擇“IN4”至“OUT2”的范圍。從而，該系統(tǒng)需要光刻單元和顯影單元，時間預報單元22估算光刻單元需要的用來執(zhí)行掩模光刻程序(S311)的時間和顯影單元需要的用來執(zhí)行掩模顯影程序(S312)的時間。接著，時間預報單元22還估算光刻單元和顯影單元需要的用來傳送數(shù)據(jù)的時間，以估算作為估算結(jié)果完成被請求的程序需要多長時間。接著，時間預報單元22將估計的結(jié)果發(fā)送給第二用戶終端3b。如果在步驟S209不選擇時間預報程序，該程序進行到在步驟S211的程序。
(f)在步驟S211，掩模制造機器搜索單元23訪問掩模制造單元數(shù)據(jù)庫96并基于詳細預訂數(shù)據(jù)搜索滿足請求的條件的某掩模制造單元。例如，在本發(fā)明的第二實施例中，需要光刻單元和顯影單元來完成被請求的程序。因此，基于詳細的預訂信息，掩模制造機器搜索單元23搜索儲存在掩模制造單元數(shù)據(jù)庫96中的各種各樣的單元和機器。例如，如圖16所示，第三主終端4c和第四主終端4d具有光刻單元和顯影單元。因此，掩模制造機器搜索單元23可以選擇連接至第三主終端4c的第七至第九光刻單元5c1-5c2中之一與第一顯影單元5c4的組合，或連接至第四主終端4d的第十至第十二光刻單元5d1-5d2中之一與第二顯影單元5d4的組合。如果只有第一光刻單元5a1能夠執(zhí)行被請求的光刻程序，掩模制造機器搜索單元23可以選擇第一光刻單元5a1和第一或第二顯影單元5c4和5d4中的一個。在掩模制造機器搜索單元23搜索并選擇掩模制造機器和單元后，在步驟S212，掩模制造機器搜索單元23將搜索結(jié)果發(fā)送給第二用戶終端3b。
(g)在如圖19B所示的步驟S213中，門戶站點服務器1接收來自第二用戶終端3b的選擇數(shù)據(jù)。接著，在步驟S214，掩模制造機器預訂單元24基于在步驟S213中從第二用戶終端3b接收的選擇數(shù)據(jù)預訂選擇的機器，并將所有需要用于程序的數(shù)據(jù)發(fā)送給被選擇的機器或單元。例如，在本發(fā)明的第二實施例中，用戶選擇第一光刻單元5a1和第二顯影單元5d4的組合作為第一選擇。因此，掩模制造機器預訂單元24試圖預訂對第一光刻單元5a1和第二顯影單元5d4的使用。如果掩模制造機器預訂單元24能夠?qū)Φ谝还饪虇卧?a1和第二顯影單元5d4中的每個做出預訂，掩模制造機器預訂單元24發(fā)送預訂數(shù)據(jù)且需要用于被請求的程序的其它數(shù)據(jù)被發(fā)送給第一光刻單元5a1和第二顯影單元5d4中的每個。
(h)在步驟S215，配置單元25確定第二用戶終端3b是否請求手動設置。如果第二用戶終端3b不請求手動設置，在步驟S219，門戶站點服務器1執(zhí)行自動設置，且程序進行至步驟S220的程序。如果第二用戶終端3b請求手動設置，在步驟S216，發(fā)送單元9將配置窗口發(fā)送給第二用戶終端3b。接著，在步驟S217，門戶站點服務器1接收來自第二用戶終端3b的配置信息，并將該配置信息發(fā)送給每個掩模制造單元，例如第一光刻單元5a1和第二顯影單元5d4。
(i)在步驟S221，監(jiān)控單元26從第一光刻單元5a1和第二顯影單元5d4中的每個接收程序報告。接著，在步驟S222，監(jiān)控單元26將程序報告發(fā)送給第二用戶終端3b。在步驟S223，監(jiān)控單元26確定在每個掩模制造單元中的程序是否完成。例如，在圖20中所示的選擇窗口47中，用戶請求“IN4”至“OUT2”的程序。因此，在步驟S223，監(jiān)控單元26首先確定光刻程序(S311)是否被完成。
(j)如果光刻程序(S311)被完成，監(jiān)控單元26確定是否有下一程序要執(zhí)行。如果存在下一程序要執(zhí)行，該程序回到步驟S221中的程序，且監(jiān)控單元26從下一掩模制造單元接收程序報告并將程序報告發(fā)送給第二用戶終端3b。換言之，如果光刻程序(S311)被完成，步驟S221至步驟S224中的程序被執(zhí)行用于顯影程序(S312)。當該程序到指定范圍的盡頭時，程序結(jié)束并進行至步驟S225的終止程序。-終止程序如圖19C所示，將解釋終止程序。
(a)在步驟S231，發(fā)送單元9將數(shù)據(jù)刪除窗口發(fā)送給第二用戶終端3b。接著，在該數(shù)據(jù)刪除窗口，用戶選擇并輸入關(guān)于用戶想要刪除的數(shù)據(jù)的信息。接著，當門戶站點服務器1從第二用戶終端3b接收信息時，用戶將信息發(fā)送給門戶站點服務器1。
(b)基于被接收的信息，在步驟S233，數(shù)據(jù)刪除單元27刪除特定掩模制造單元中的特定數(shù)據(jù)。這些被刪除的數(shù)據(jù)被儲存在門戶站點服務器1，但在步驟S233，被從掩模制造單元中刪除。
(c)當數(shù)據(jù)的刪除程序結(jié)束時，在步驟S234，收費單元28將收費窗口發(fā)送給第二用戶終端3b并請求用戶付款。通常，用戶只承擔掩模制造單元工作的實際時間段的費用。
(d)在步驟S235，當門戶站點服務器1從第二用戶終端3b接收到付款數(shù)據(jù)時，門戶站點服務器1結(jié)束用于本發(fā)明的第二實施例的程序。
本發(fā)明的第二實施例的大規(guī)模集成電路掩模制造系統(tǒng)的功能及方法可被編程并保存在計算機可讀記錄介質(zhì)中。對于本發(fā)明的第二實施例的大規(guī)模集成電路掩模制造方法，保存在記錄介質(zhì)中的程序被傳送給計算機系統(tǒng)中的存儲器，然后被其操作單元操作，由此將該方法付諸實施。記錄介質(zhì)可從半導體存儲器、磁盤、光盤、光磁盤、磁帶、以及任何計算機可讀記錄介質(zhì)中選擇。
根據(jù)本發(fā)明的第二實施例的大規(guī)模集成電路掩模制造系統(tǒng)、方法和程序提供了用戶能夠選擇并控制時間表和光刻單元的系統(tǒng)、方法和程序。另外，根據(jù)本發(fā)明的第二實施例的大規(guī)模集成電路掩模制造系統(tǒng)、方法和程序還提供了能夠制造掩模而不將涉及用于掩模制造的光刻數(shù)據(jù)及程序條件的機密信息泄漏給第三人的系統(tǒng)、方法和程序。此外，根據(jù)本發(fā)明的第二實施例的大規(guī)模集成電路掩模制造系統(tǒng)、方法和程序還提供了通過導入在線訂購系統(tǒng)能夠減少人員費用以提供大規(guī)模集成電路掩模制造系統(tǒng)、方法和程序的系統(tǒng)、方法和程序。另外，根據(jù)本發(fā)明的第二實施例的大規(guī)模集成電路掩模制造系統(tǒng)、方法和程序還提供了由于用戶不必擁有作業(yè)率低用于專門用途或用于應用高科技所必須的單元和機器從而能夠減少大規(guī)模集成電路掩模制造的成本的系統(tǒng)、方法和程序。用戶可以通過使用根據(jù)本發(fā)明的第二實施例的大規(guī)模集成電路掩模制造系統(tǒng)、方法和程序和其他用戶共享這些專用單元。另外，根據(jù)本發(fā)明的第二實施例的大規(guī)模集成電路掩模制造系統(tǒng)、方法和程序還為從小商業(yè)用戶到大用戶(大商業(yè)用戶)的較寬范圍的用戶提供了系統(tǒng)、方法以及程序。其它實施例盡管已經(jīng)詳細描述了本發(fā)明的實施例，在不脫離其精神或?qū)嵸|(zhì)特征的情況下，本發(fā)明可以以其它特定形式實施。
第一光刻單元5a1至第三光刻單元5a3、第一CAD 5a4、第二CAD 5a5、第四光刻單元5b1至第六光刻單元5b3、第七光刻單元5c1至第九光刻單元5c3、第一顯影單元5c4、第一灰化單元5c5、第一掩模檢查單元5c6、第一蝕刻單元5c8、第十光刻單元5d1至第十二光刻單元5d3、第二顯影單元5d4、第二灰化單元5d5、第二掩模檢查單元5d6、第三CAD 5d7、第二蝕刻單元5d8、調(diào)整單元5d9、第四CAD 5e1至第六CAD 5e3以及第七CAD 5f1至第九CAD 5f3可被連接至被連接至網(wǎng)絡6的第一至第六主終端，或可直接連接至網(wǎng)絡6。
第一主終端4a至第六主終端4f可在國內(nèi)級別或國際級別被連接至網(wǎng)絡6。換言之，某些主終端可以在不同的國家連接至網(wǎng)絡6。
以上所述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實施例而已，并不用于限制本發(fā)明，對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說，本發(fā)明可以有各種更改和變化。凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本發(fā)明的權(quán)利要求范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種大規(guī)模集成電路掩模制造系統(tǒng)，包括網(wǎng)絡；門戶站點服務器，被配置以被連接至所述網(wǎng)絡；用戶終端，被配置以被連接至所述門戶站點服務器；主終端，被配置以被連接至所述網(wǎng)絡；以及光刻單元，被配置以被連接至所述主終端。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中，所述門戶站點服務器包括光刻數(shù)據(jù)接收單元，被配置以從所述用戶終端接收用于光刻程序的光刻數(shù)據(jù)和光刻預訂條件；光刻數(shù)據(jù)數(shù)據(jù)庫，被配置以儲存所述光刻數(shù)據(jù)；光刻單元數(shù)據(jù)庫，被配置以儲存所述光刻單元的性能信息；光刻單元搜索單元，被配置以搜索符合所述光刻預訂條件的光刻單元，生成光刻單元列表，并將所述列表發(fā)送給所述用戶終端；以及光刻單元預訂單元，被配置以接收被所述用戶終端指定的光刻單元的信息，并將光刻請求發(fā)送給被所述用戶終端指定的所述光刻單元。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的系統(tǒng)，還包括光刻收費單元，被配置以基于在所述光刻單元的實際使用時間計算收費額并發(fā)送帳單給所述用戶終端。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的系統(tǒng)，還包括光刻數(shù)據(jù)刪除單元，被配置以從所述光刻數(shù)據(jù)數(shù)據(jù)庫中刪除所述光刻數(shù)據(jù)。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的系統(tǒng)，還包括光刻時間預報單元，被配置以基于所述光刻預訂條件估算光刻時間；光刻配置單元，被配置以在所述光刻單元設置用于大規(guī)模集成電路掩模制造的光刻條件的詳細情況；以及光刻監(jiān)控單元，被配置以從所述光刻單元接收光刻狀態(tài)，并將所述光刻狀態(tài)發(fā)送給所述用戶終端。
6.一種大規(guī)模集成電路掩模制造系統(tǒng)，包括網(wǎng)絡；門戶站點服務器，被配置以被連接至所述網(wǎng)絡；用戶終端，被配置以被連接至所述門戶站點服務器；主終端，被配置以被連接至所述網(wǎng)絡；以及掩模制造單元，被配置以被連接至所述主終端。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的系統(tǒng)，其中，所述門戶站點服務器包括數(shù)據(jù)接收單元，被配置以從所述用戶終端接收用于大規(guī)模集成電路掩模制造的數(shù)據(jù)和預訂條件；掩模制造數(shù)據(jù)數(shù)據(jù)庫，被配置以儲存所述數(shù)據(jù)和所述預訂條件；掩模制造單元數(shù)據(jù)庫，被配置以儲存所述掩模制造單元的性能信息；訂購范圍確定單元，被配置以基于所述預訂條件確定訂購范圍；掩模制造機器搜索單元，被配置以搜索符合所述預訂條件的掩模制造單元，生成掩模制造單元列表，并將所述列表發(fā)送給所述用戶終端；以及掩模制造機器預訂單元，被配置以接收被所述用戶終端指定的掩模制造單元的信息的信息并將請求發(fā)送給被所述用戶終端指定的所述掩模制造單元。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的系統(tǒng)，還包括收費單元，被配置以基于在所述掩模制造單元的實際使用時間計算收費額并將帳單發(fā)送給所述用戶終端。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的系統(tǒng)，還包括數(shù)據(jù)刪除單元，被配置以從所述掩模制造單元刪除數(shù)據(jù)。
10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的系統(tǒng)，還包括時間預報單元，被配置以基于所述預訂條件估算在被所述用戶終端指定的所述掩模制造單元的掩模制造時間；配置單元，被配置以在被所述用戶終端指定的所述掩模制造單元設置用于掩模制造的條件的詳細情況；以及監(jiān)控單元，被配置以從被所述用戶終端指定的所述掩模制造單元接收掩模制造狀態(tài)，并將所述掩模制造狀態(tài)發(fā)送給所述用戶終端。
11.根據(jù)權(quán)利要求6所述的系統(tǒng)，其中，所述掩模制造單元包括CAD單元，被配置以基于設計數(shù)據(jù)設計掩模圖案，并生成用于掩模的光刻數(shù)據(jù)；光刻單元，被配置以使所述掩模圖案在所述掩模的抗蝕膜上曝光；顯影單元，被配置以使在所述光刻單元曝光的所述抗蝕膜顯影；蝕刻單元，被配置以基于被所述顯影單元顯影的所述抗蝕膜蝕刻所述掩模的保護層；灰化單元，被配置以從所述掩模去除所述抗蝕膜；掩模檢查單元，被配置以檢查所述掩模圖案的誤差；以及調(diào)整單元，被配置以調(diào)整所述掩模圖案的所述誤差。
12.根據(jù)權(quán)利要求7所述的系統(tǒng)，其中，所述訂購范圍包括所述設計單元、所述光刻單元、所述顯影單元、所述蝕刻單元、所述灰化單元、所述掩模檢查單元、以及所述調(diào)整單元中的至少一個。
13.一種用于大規(guī)模集成電路掩模制造的計算機執(zhí)行方法，包括在光刻單元數(shù)據(jù)庫中儲存連接至網(wǎng)絡的光刻單元的性能信息；從連接至所述網(wǎng)絡的用戶終端接收光刻數(shù)據(jù)和光刻預訂條件；在光刻數(shù)據(jù)數(shù)據(jù)庫中儲存所述光刻數(shù)據(jù)；搜索符合所述光刻預訂條件的光刻單元，生成光刻單元列表，并將所述列表發(fā)送給所述用戶終端；以及接收被所述用戶終端指定的光刻單元的信息并將光刻請求發(fā)送給被所述用戶終端指定的所述光刻單元。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的方法，還包括基于所述光刻單元的實際使用時間計算收費額；以及將帳單發(fā)送給所述用戶終端。
15.根據(jù)權(quán)利要求13所述的方法，還包括從所述光刻數(shù)據(jù)數(shù)據(jù)庫中刪除所述光刻數(shù)據(jù)。
16.根據(jù)權(quán)利要求13所述的方法，還包括基于所述光刻預訂條件估算光刻時間；在所述光刻單元設置用于大規(guī)模集成電路掩模制造的光刻條件的詳細情況；以及從所述光刻單元接收光刻狀態(tài)，并將所述光刻狀態(tài)發(fā)送給所述用戶終端。
17.一種用于大規(guī)模集成電路掩模制造的計算機執(zhí)行方法，所述方法包括在掩模制造單元數(shù)據(jù)庫中儲存連接至網(wǎng)絡的掩模制造單元的性能信息；從連接至所述網(wǎng)絡的用戶終端接收數(shù)據(jù)和預訂條件；在掩模制造數(shù)據(jù)數(shù)據(jù)庫中儲存所述數(shù)據(jù)；基于所述預訂條件確定訂購范圍；搜索符合所述預訂條件的掩模制造單元，生成掩模制造單元的列表，并將所述列表發(fā)送給所述用戶終端；以及接收被所述用戶終端指定的掩模制造單元的信息，并發(fā)送請求給被所述用戶終端指定的所述掩模制造單元。
18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的方法，還包括基于所述掩模制造單元的實際使用時間計算收費額；將帳單發(fā)送給所述用戶終端；以及從被所述用戶終端指定的所述掩模制造單元刪除所述數(shù)據(jù)。
19.根據(jù)權(quán)利要求17所述的方法，還包括基于所述預訂條件估算掩模制造時間；在所述掩模制造單元設置掩模制造條件的詳細情況；以及從所述掩模制造單元接收掩模制造狀態(tài)，并將所述掩模制造狀態(tài)發(fā)送給所述用戶終端。
20.根據(jù)權(quán)利要求17所述的方法，其中，所述掩模制造單元包括CAD單元，被配置以基于設計數(shù)據(jù)設計掩模圖案，并生成用于掩模的光刻數(shù)據(jù)；光刻單元，被配置以使所述掩模圖案在所述掩模的抗蝕膜上曝光；顯影單元，被配置以使在所述光刻單元曝光的所述抗蝕膜顯影；蝕刻單元，被配置以基于被所述顯影單元顯影的所述抗蝕膜蝕刻所述掩模的保護層；灰化單元，被配置以從所述掩模去除所述抗蝕膜；掩模檢查單元，被配置以檢查所述掩模圖案的誤差；以及調(diào)整單元，被配置以調(diào)整所述掩模圖案的所述誤差。
21.一種用于和掩模制造單元一起使用的計算機程序產(chǎn)品，所述計算機程序產(chǎn)品包括在光刻單元數(shù)據(jù)庫中儲存連接至網(wǎng)絡的光刻單元的性能信息的指令；從連接至所述網(wǎng)絡的用戶終端接收光刻數(shù)據(jù)和光刻預訂條件的指令；在光刻數(shù)據(jù)數(shù)據(jù)庫中儲存所述光刻數(shù)據(jù)的指令；搜索符合所述光刻預訂條件的光刻單元、生成光刻單元列表、并將所述列表發(fā)送給所述用戶終端的指令；以及接收被所述用戶終端指定的光刻單元的信息并將光刻請求發(fā)送給被所述用戶終端指定的光刻單元的指令。
22.一種用于和掩模制造單元一起使用的計算機程序產(chǎn)品，所述計算機程序產(chǎn)品包括在掩模制造單元數(shù)據(jù)庫中儲存連接至網(wǎng)絡的掩模制造單元的性能信息的指令；從連接至所述網(wǎng)絡的用戶終端接收數(shù)據(jù)和預訂條件的指令；在掩模制造數(shù)據(jù)數(shù)據(jù)庫中儲存所述數(shù)據(jù)的指令；基于所述預訂條件確定訂購范圍的指令；搜索符合所述預訂條件的掩模制造單元、生成掩模制造單元的列表、并將所述列表發(fā)送給所述用戶終端的指令；以及接收被所述用戶終端指定的掩模制造單元的信息、并將請求發(fā)送給被所述用戶終端指定的所述掩模制造單元的指令。
全文摘要
一種用于大規(guī)模集成電路掩模制造的計算機執(zhí)行方法，將連接至網(wǎng)絡的光刻單元的性能信息儲存在光刻單元數(shù)據(jù)庫中。該方法從連接至網(wǎng)絡的用戶終端接收光刻數(shù)據(jù)和光刻預訂條件。該方法將該光刻數(shù)據(jù)儲存在光刻數(shù)據(jù)數(shù)據(jù)庫中。該方法搜索符合該光刻預訂條件的光刻單元，生成光刻單元列表，并將該列表發(fā)送給該用戶終端。另外，該方法接收被該用戶終端指定的光刻單元的信息并將光刻請求發(fā)送給被該用戶終端指定的該光刻單元。
文檔編號G06Q50/04GK1447384SQ0312124
公開日2003年10月8日 申請日期2003年3月27日 優(yōu)先權(quán)日2002年3月27日
發(fā)明者小山清美 申請人:株式會社東芝